JP4883624B2 - 高感度ガスセンサ及びその製造方法 - Google Patents
高感度ガスセンサ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4883624B2 JP4883624B2 JP2006312309A JP2006312309A JP4883624B2 JP 4883624 B2 JP4883624 B2 JP 4883624B2 JP 2006312309 A JP2006312309 A JP 2006312309A JP 2006312309 A JP2006312309 A JP 2006312309A JP 4883624 B2 JP4883624 B2 JP 4883624B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- ppb
- organic
- layers
- moo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 title description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 105
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 72
- 125000002485 formyl group Chemical class [H]C(*)=O 0.000 claims description 64
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 claims description 55
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 55
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 claims description 55
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 53
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 23
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 21
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 20
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 claims description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 165
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 90
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 55
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 51
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 42
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 37
- 230000004044 response Effects 0.000 description 37
- 229920001103 Poly(o-methoxyaniline) Polymers 0.000 description 24
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 21
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 11
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 10
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 9
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 9
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000036541 health Effects 0.000 description 8
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 6
- MMCPOSDMTGQNKG-UHFFFAOYSA-N anilinium chloride Chemical compound Cl.NC1=CC=CC=C1 MMCPOSDMTGQNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- MEFBJEMVZONFCJ-UHFFFAOYSA-N molybdate Chemical compound [O-][Mo]([O-])(=O)=O MEFBJEMVZONFCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 5
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 4
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000000967 suction filtration Methods 0.000 description 4
- IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N acetaldehyde Chemical compound [14CH]([14CH3])=O IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- CVBPCZQPPXQUEF-UHFFFAOYSA-O 1-methoxypropan-2-yl-[(4-methylsulfanylphenyl)methyl]azanium Chemical compound COCC(C)[NH2+]CC1=CC=C(SC)C=C1 CVBPCZQPPXQUEF-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMEKHKCRNHDFOW-UHFFFAOYSA-N O.O.[Na].[Na] Chemical compound O.O.[Na].[Na] XMEKHKCRNHDFOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N o-anisidine Chemical compound COC1=CC=CC=C1N VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L sodium thiosulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=S AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 235000019345 sodium thiosulphate Nutrition 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N Disodium Chemical compound [Na][Na] QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004616 Na2MoO4.2H2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000004566 building material Substances 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000000645 desinfectant Substances 0.000 description 1
- 150000004683 dihydrates Chemical class 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 231100000206 health hazard Toxicity 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000003905 indoor air pollution Methods 0.000 description 1
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 lanthanum aluminate Chemical class 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 238000001824 photoionisation detection Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 208000008842 sick building syndrome Diseases 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010399 three-hybrid screening Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007039 two-step reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0047—Organic compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
(1)数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する高感度ガスセンサ材料を製造する方法であって、1)層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子を挿入することにより当該層間に導電性有機高分子をインターカレートさせるプロセスにおいて、層状構造を持つ無機化合物として、酸化モリブデンを主成分とする化合物を使用し、有機導電性高分子として、ポリアニリン又はポリアニリン誘導体を主成分とする分子を使用し、2)その際に、不溶の導電性有機高分子を除いた水溶液を用いて当該無機化合物の層間に導電性有機高分子を挿入し、3)それにより、層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子がインターカレートされた状態で存在する構造を有し、かつ無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料から構成され、抵抗値の変化により、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知できる高感度ガスセンサ材料を作製する、ことを特徴とするガスセンサ材料の製造方法。
(2)層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子がインターカレートされた構造を有し、かつ、無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料の形状が配向膜である、前記(1)記載のガスセンサ材料の製造方法。
(3)前記(1)又は(2)に記載の方法で製造された、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する高感度ガスセンサ材料であって、1)層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子がインターカレートされた構造を有し、かつ無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料から構成され、2)層状構造を持つ無機化合物が、酸化モリブデンを主成分とする化合物であり、3)有機導電性高分子が、ポリアニリン又はポリアニリン誘導体を主成分とする分子であり、4)抵抗値の変化により、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知できる高感度の特性を有している、ことを特徴とするガスセンサ材料。
(4)層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子がインターカレートされた構造を有し、かつ、無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料の形状が配向膜である、前記(3)に記載のガスセンサ材料。
(5)ベンゼン環のオルト位にアルコキシ基を有するポリアニリン誘導体を主成分とする、前記(3)に記載のガスセンサ材料。
(6)前記(3)から(5)のいずれかに記載のガスセンサ材料をセンサ素子として含み、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する特性を有することを特徴とする化学センサ部材。
本発明は、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する高感度ガスセンサ材料であって、層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子が挿入された有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料であること、無機化合物の層間に挿入されていない導電性有機高分子が除かれて存在しないこと、抵抗値の変化により、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知するまで高感度化されていること、を特徴とするものである。本発明では、層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子が挿入され、かつ、無機化合物の層間に挿入されていない導電性有機高分子が除かれた有機無機ハイブリッド材料の形状が配向膜であること、を好ましい実施の態様としている。
(1)本発明は、有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料で、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する新規ガスセンサ材料を提供することを可能とする。
(2)それにより、ガス濃縮素子等の増感作用を行う素子を用いることなく、有機無機ハイブリッド材料からなる化学センサ素子単独で数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスの検知が可能となる。
(3)本発明により、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する、小型で安価な濃度検出装置を提供することが出来る。
(4)本発明の検出装置を利用することにより、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスの濃度の常時モニタリングが可能となる。
(5)本発明により、有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料の層間有機物によって、数十ppbの濃度の各アルデヒド系のガスに対する応答を制御する技術を提供することが可能である。
(6)本発明により、特にホルムアルデヒドに対しては、厚生労働省が平成14年に示した個別濃度指針値までの濃度の検知を可能にする。
20mm四方の熱酸化膜付Si基板に、85mmol/LのLaAlO3前駆体溶液を滴下し、500rpmで10秒の条件に続き、3000rpmで30秒の条件でスピンコートした。その後、90℃で約30分間乾燥させ、次いで、1100℃で30分焼成した。以上の工程を経て、熱酸化膜付Si基板に、酸化モリブデンと結晶格子定数の近いLaAlO3バッファー層を塗布した。
MoO3薄膜は、CVD法にて作製した。基板は、LaAlO3バッファー層を塗布したSi基板上に、電極幅20μm、電極間距離20μmを有した10mm四方内の金櫛形電極を蒸着したものを用いた。この基板を、加熱用ヒーターを持つ試料ホルダーに設置した。ソース室から試料室にかけて、酸素ガス50mL/minを流して系内を置換し、試料ホルダーを500℃に、試料室を455℃に、ソース室を40℃に加熱した。
蒸留水15mLをフラスコ内で攪拌しながら、25分間窒素ガスでバブリングした後、緩衝剤として、モリブデン酸(VI)二ナトリウム・二水和物(Na2MoO4・2H2O:6g)を加えて溶解させ、次いで、次亜硫酸ナトリウム(Na2S2O4:0.4g)を加えた。これを溶解した後、攪拌と窒素ガスのバブリングを止め、MoO3薄膜を20秒間浸漬させた。モリブデンの一部が還元されることで、薄膜が、淡青色から青色へ変化した。
フラスコ内に蒸留水15mLと濃塩酸を1.4mL加えて攪拌し、そのうち、1mLを、別容器に移した。残った15.4mLの塩酸水溶液にアニリン(1.5mL,16.5mmol)を加え、均一溶液となるように攪拌し、窒素ガスでバブリングを行い、アニリン塩酸塩水溶液とした。別容器に移した1mLの塩酸水溶液に、重合開始剤である過硫酸アンモニウム((NH4)2S2O8:50mg,0.22mmol)を溶解させた。アニリン塩酸塩水溶液への攪拌、窒素ガスによるバブリングを継続し、過硫酸アンモニウム水溶液を加え、引き続き、窒素ガスでバブリングを行いながら、30分間攪拌した。
得られたポリアニリン水溶液に、上記の[Na(H2O)2]xMoO3薄膜を30秒浸漬した後、蒸留水で洗浄し、空気中にて30分間、90℃で乾燥させることで、(PANI)xMoO3薄膜を得た。
(PANI)xMoO3薄膜による化学センサのセンサ特性を、電気抵抗値の変化で評価した。対象VOCガスは、ホルムアルデヒド又はアセトアルデヒドとした。測定は、図4、図5に示すガスライン、バルブ、マスフローコントローラ、試料室で構成される装置で行った。金櫛形電極を試料室内の電気抵抗測定器と接続して、試料室内を30℃に加熱し、温度を安定させた後に測定を行った。
Claims (6)
- 数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する高感度ガスセンサ材料を製造する方法であって、1)層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子を挿入することにより当該層間に導電性有機高分子をインターカレートさせるプロセスにおいて、層状構造を持つ無機化合物として、酸化モリブデンを主成分とする化合物を使用し、有機導電性高分子として、ポリアニリン又はポリアニリン誘導体を主成分とする分子を使用し、2)その際に、不溶の導電性有機高分子を除いた水溶液を用いて当該無機化合物の層間に導電性有機高分子を挿入し、3)それにより、層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子がインターカレートされた状態で存在する構造を有し、かつ無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料から構成され、抵抗値の変化により、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知できる高感度ガスセンサ材料を作製する、ことを特徴とするガスセンサ材料の製造方法。
- 層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子がインターカレートされた構造を有し、かつ、無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料の形状が配向膜である、請求項1記載のガスセンサ材料の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の方法で製造された、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する高感度ガスセンサ材料であって、1)層状構造を持つ無機化合物の層間に導電性有機高分子がインターカレートされた構造を有し、かつ無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料から構成され、2)層状構造を持つ無機化合物が、酸化モリブデンを主成分とする化合物であり、3)有機導電性高分子が、ポリアニリン又はポリアニリン誘導体を主成分とする分子であり、4)抵抗値の変化により、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知できる高感度の特性を有している、ことを特徴とするガスセンサ材料。
- 層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子がインターカレートされた構造を有し、かつ、無機化合物の層間にインターカレートされていない導電性有機高分子が存在しない有機無機ハイブリッド材料の形状が配向膜である、請求項3に記載のガスセンサ材料。
- ベンゼン環のオルト位にアルコキシ基を有するポリアニリン誘導体を主成分とする、請求項3に記載のガスセンサ材料。
- 請求項3から5のいずれかに記載のガスセンサ材料をセンサ素子として含み、数十ppbの濃度のアルデヒド系のガスを検知する特性を有することを特徴とする化学センサ部材。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312309A JP4883624B2 (ja) | 2006-11-18 | 2006-11-18 | 高感度ガスセンサ及びその製造方法 |
US11/939,959 US20080118404A1 (en) | 2006-11-18 | 2007-11-14 | High sensitive gas sensor and its manufacturing process |
EP07022134A EP1923697A1 (en) | 2006-11-18 | 2007-11-14 | High sensitive resistive-type gas sensor and its manufacturing process comprising an organic-inorganic intercalated hydbrid sensing material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312309A JP4883624B2 (ja) | 2006-11-18 | 2006-11-18 | 高感度ガスセンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008128747A JP2008128747A (ja) | 2008-06-05 |
JP4883624B2 true JP4883624B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=39106351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006312309A Expired - Fee Related JP4883624B2 (ja) | 2006-11-18 | 2006-11-18 | 高感度ガスセンサ及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080118404A1 (ja) |
EP (1) | EP1923697A1 (ja) |
JP (1) | JP4883624B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5027771B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2012-09-19 | パナソニック株式会社 | モリブデン酸化物薄膜の製造方法及び化学センサ |
JP5330893B2 (ja) * | 2009-05-13 | 2013-10-30 | パナソニック株式会社 | 換気装置 |
US20110198240A1 (en) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | Diaz-Quijada Gerardo A | Sensors and Methods for Detecting Organic Carbonyl Species |
JP6077318B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2017-02-08 | Koa株式会社 | 無電解めっき浴、三酸化モリブデン膜の製造方法、及び化学センサの製造方法 |
CN104267068A (zh) * | 2014-08-26 | 2015-01-07 | 吉林大学 | 基于α-Fe2O3/SnO2复合纳米纤维的丙酮气体传感器及其制备方法 |
CN104897735B (zh) * | 2015-04-28 | 2017-12-19 | 北京大学 | 一种双层结构的光催化式甲醛传感器及其制备方法 |
CN105181762B (zh) * | 2015-09-20 | 2017-11-03 | 吉林大学 | 一种基于Co‑Sn复合氧化物半导体敏感材料的乙醇传感器 |
CN106483169B (zh) * | 2016-09-18 | 2019-04-12 | 西安交通大学 | 一种高灵敏度气体传感器用纳米CeO2/石墨烯复合材料的制备方法 |
US10329022B2 (en) * | 2016-10-31 | 2019-06-25 | Honeywell International Inc. | Adjustable sensor or sensor network to selectively enhance identification of select chemical species |
CN113597550A (zh) * | 2019-03-20 | 2021-11-02 | 京瓷株式会社 | 气体检测系统 |
CN111116905A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-08 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种具有氨敏性能的导电聚苯胺原位合成方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3890413B2 (ja) * | 2003-03-12 | 2007-03-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ガスセンサ及びその製造方法 |
JP4211572B2 (ja) | 2003-11-05 | 2009-01-21 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
JP4243687B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2009-03-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 |
JP4691687B2 (ja) * | 2004-05-11 | 2011-06-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機無機ハイブリッドガスセンサ材料及びその製造方法 |
JP4691688B2 (ja) * | 2004-05-11 | 2011-06-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機無機ハイブリッド薄膜センサ |
JP4831561B2 (ja) | 2005-05-16 | 2011-12-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-11-18 JP JP2006312309A patent/JP4883624B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-11-14 US US11/939,959 patent/US20080118404A1/en not_active Abandoned
- 2007-11-14 EP EP07022134A patent/EP1923697A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080118404A1 (en) | 2008-05-22 |
JP2008128747A (ja) | 2008-06-05 |
EP1923697A1 (en) | 2008-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4883624B2 (ja) | 高感度ガスセンサ及びその製造方法 | |
Tang et al. | Conductive polymer nanowire gas sensor fabricated by nanoscale soft lithography | |
EP2988121B1 (en) | Methylbenzene gas sensor using chrome-doped nickel oxide nanostructures and method for producing same | |
Bao et al. | Printed flexible bifunctional electrochemical urea-pH sensor based on multiwalled carbon nanotube/polyaniline electronic ink | |
KR101817334B1 (ko) | 탄소나노소재 기반 고습 환경에서 극민감한 가스 센서 | |
EP1457772A2 (en) | Gas sensor comprising a resistance dependent organic-inorganic intercalated hybrid material and manufacturing method of said sensor | |
Wu et al. | Microhotplate gas sensors incorporated with Al electrodes and 3D hierarchical structured PdO/PdO2-SnO2: Sb materials for sensitive VOC detection | |
Niskanen et al. | Atomic layer deposition of tin dioxide sensing film in microhotplate gas sensors | |
Zhou et al. | Synthesis of core-shell flower-like WO3@ ZIF-71 with enhanced response and selectivity to H2S gas | |
Guo et al. | Batch fabrication of H2S sensors based on evaporated Pd/WO3 film with ppb-level detection limit | |
CN103336034B (zh) | 一种苯胺气体传感器及其制备方法 | |
CN112162015B (zh) | 一种抗气体干扰型mems气体传感器及制备方法 | |
JP4899230B2 (ja) | ガスセンサ材料、その製造方法及びガスセンサ | |
EP1895294A1 (en) | Method of manufacturing a gas sensor | |
Choi et al. | Tin oxide nanosheets on microelectromechanical system devices for improved gas discrimination | |
CN104697879A (zh) | 聚苯胺/二氧化钛薄膜qcm气敏传感器及其制备方法 | |
KR101130084B1 (ko) | 수소 센서 및 그 제조방법 | |
JP4883612B2 (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
ur Rahman et al. | Electrical and hysteric properties of organic compound-based humidity sensor and its dualistic interactive approach to H2O molecules | |
KR101806742B1 (ko) | 산화니켈몰리브데늄이 첨가된 산화니켈 나노복합체를 이용한 자일렌 가스 센서 및 그 제조방법 | |
KR102545323B1 (ko) | 산화아연 나노시트(ZnO Nanosheet)로 도핑된 그래핀을 이용한 고감도 이산화질소 가스센서 및 이의 제조 방법 | |
JP2009145136A (ja) | 電気的抵抗の変動が抑制された有機無機ハイブリッド材料 | |
CN110361434B (zh) | 一种对极低浓度丙酮敏感的氧化锌/硫化钼薄膜 | |
Bae et al. | One-step synthesis of Bi2O2Se microstructures for trace oxygen gas sensor application | |
Hoat et al. | Room-temperature sensing of NH3 gas using CsPbBr3 thin films grown via dual-source evaporation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111115 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4883624 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |