JP4691688B2 - 有機無機ハイブリッド薄膜センサ - Google Patents
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(1)基板と、該基板上に作製された、電極と、及び、層状構造を持つ無機化合物からなり層方向が基板と平行になるように配向した高配向薄膜に有機化合物からなる導電性ポリマーあるいは有機イオンを該無機化合物の層間においてインターカレートした構造を有する導電性有機無機ハイブリッド薄膜と、から構成される、VOCガスに対して抵抗値が変化することで応答するVOCガスセンサであって、
前記層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜が、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する酸化モリブデンを主成分とするものであり、ミクロンサイズの結晶粒子からなる薄膜と比べてVOCガスに対するセンサ応答感度を向上させたものであることを特徴とする上記VOCガスセンサ。
(2)多孔質構造を持つ高配向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更にこれを有機化合物と置換した構造を有することを特徴とする前記(1)記載の導電性有機無機ハイブリッド薄膜センサ。
(3)前記無機化合物と格子定数が整合した金属酸化物単結晶基板上に作製された、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する、高配向薄膜を用いることを特徴とする前記(1)又は(2)記載の有機無機ハイブリッド薄膜センサ。
(4)基板と、該基板上に作製された、電極と、及び、導電性有機無機ハイブリッド薄膜と、から構成される、VOCガスに対して抵抗値が変化することで応答するVOCガスセンサを製造する方法であって、
層状構造を持つ無機化合物からなり層方向が基板と平行になるように配向した高配向薄膜に有機化合物からなる導電性ポリマーあるいは有機イオンを該無機化合物の層間にインターカレートすること、
前記層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜が、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する酸化モリブデンを主成分とするものであること、該高配向薄膜へ水和アルカリイオンをインターカレートすること、及び該水和アルカリイオンと導電性ポリマーあるいは有機イオンとの置換反応を行うこと、を特徴とする上記VOCガスセンサの製造方法。
(5)前記無機化合物と格子定数が整合した金属酸化物単結晶基板上に、ナノサイズ結晶粒子からなり多孔質構造を有する高配向薄膜を作製することを特徴とする前記(4)記載のVOCガスセンサの製造方法。
本発明は、上述のように、層状構造を持つ無機化合物の、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する高配向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更にこれを有機化合物と置換することにより、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する、導電性インターカレート型有機無機ハイブリッド薄膜センサを製造することを特徴とするものである。
の(100)面を採用したが、これらに限定されるものではない。
に対して酸素量の少ない結晶相が、不純物として析出する。基板には、格子定数のミスマッチの小さな、ペロブスカイト型構造を有するLaAlO3 (100)単結晶を用いた。この基板を用いることで、酸化モリブデンの層方向が基板表面と平行になるように配向した、酸化モリブデン薄膜が成長する。
MoO4 )を添加し、攪拌することで、これらを溶解する。ここへ(1)で作製した、ナノサイズ結晶粒子からなる酸化モリブデン配向多孔質薄膜を浸積する。浸積時間は、通常、5〜120秒、好ましくは10〜60秒程度である。この間、無色の酸化モリブデン薄膜は青色に変化し、酸化モリブデンが還元されると共に、水和ナトリウムイオンがインターカレートしたことが確認できる。浸積後、薄膜を蒸留水で洗浄し乾燥することで、酸化モリブデン層間に水和ナトリウムイオンがインターカレートした〔Na(H2
O)2 〕x MoO3 薄膜が得られる。インターカレーション反応の進行は、X線回折パターンから確認できる。水和ナトリウムイオンのインターカレーションにより、酸化モリブデンの層間が広がり、このため、(0k0)に指数付けされる回折ピークは低角度側にシフトする。
薄膜を浸積する。浸積時間は、通常、3秒〜5分、好ましくは10〜60秒程度である。薄膜を取り出し、洗浄、乾燥することでPPyx MoO3
薄膜が得られる。ここで用いる酸化剤はピロールを酸化させ得るものであれば特に制限されず、塩化鉄、ペルオキソ2硫酸アンモニウム、硝酸鉄などを例示することができる。ピロールの添加量は、〔Na(H2
O)2 〕x MoO3 に対して、通常、50〜200倍当量、好ましくは100〜150倍当量である。酸化剤の添加量は〔Na(H2
O)2 〕x MoO3 に対して、通常、1〜3倍当量、好ましくは1.5〜2倍当量である。
H9 NH3 Cl)を蒸留水に溶解し、ここに、〔Na(H2 O)2 〕x
MoO3 薄膜を浸積する。浸積時間は、通常、3秒〜10分、好ましくは5〜60秒程度である。薄膜を取り出し、洗浄、乾燥することで(C4
H9 NH3 )x MoO3 薄膜が得られる。C4
H9 NH3 Clの添加量は〔Na(H2 O)2 〕x
MoO3 に対して、通常、1〜10倍当量、好ましくは2〜7倍当量である。
MoO3 薄膜センサに比較して、数倍程度向上した。
ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有するMoO3 薄膜の作製には、CVD法を用いた。基板として、金櫛型電極を蒸着した10mm角のLaAlO3 (100)単結晶を用いた。基板は加熱用ヒーターを持つホルダーにセットした。モリブデンソースであるヘキサカルボニルモリブデン(Mo(CO)6
)0.2gを石英ガラスボートに入れ、ソース室にセットし、ソース室を60℃にした。試料室及びソース室を含む系全体に酸素ガス(150ml/min)流し、試料室部分を電気炉により460℃に加熱し、更に基板加熱用ヒーターにより基板温度を500℃にした。基板温度が安定した後、系全体を真空ポンプで排気し、真空度2.3Torrに調整した。系全体を減圧にした段階で、Mo(CO)6
の揮発が始まり、MoO3 膜の成長が開始した。系全体を真空ポンプで排気してから、真空度が2.3Torrに達するまでの18秒間、製膜した後、系全体を大気圧に戻した。これにより、ソースの揮発が抑制され、製膜が終了する。この18秒間の製膜プロセスを合計3回繰り返した。得られた薄膜のX線回折パターンを図1に示す。観測される回折ピークは、基板からのピークを除けば、層状構造を持つMoO3
の(0k0)に指数付けが可能であり、MoO3 のb軸配向膜が成長している。
なす型フラスコ中で蒸留水25mlを20分間アルゴンガスでバブリングした後、亜ジチオン酸ナトリウムNa2 S2 O4 (0.4g,2.2mmol)及びモリブデン酸ナトリウムNa2
MoO4 2H2 O(6g,24.8mmol)を添加し、攪拌することで、これらを溶解した。ここへ、(1)で得られたMoO3
薄膜を50秒間浸積した。この間、無色の三酸化モリブデン薄膜は青色に変化した。浸積後、薄膜を蒸留水で洗浄し、空気中125℃で約30分間乾燥した。この薄膜試料のX線回折パターンを図2(b)に、MoO3
薄膜と比較して示す。(010)で指数付けされるピークが観測されるが、これらのピークはMoO3 に比較して低角度側にシフトしており、層間距離が増加していることが分かる。図2(a)から求めた層間距離は、0.97nmであり、MoO3
の層間距離(0.69nm)に比べて0.28nm増加している。この層間距離の広がりは、水和ナトリウムイオンNa(H2 O)2 がインターカレーションした場合に相当することから、〔Na(H2
O)2 〕x MoO3 薄膜が生成していることが確認できた。
蒸留水25mL中にピロール(2.0ml,28.9mmol)を加え、超音波ホモジナイザーで3分間処理した後、酸化剤として塩化鉄FeCl3 (0.086g,0.51mmol)を加え、室温で10分間攪拌した。ここへ、上記〔Na(H2
O)2 〕x MoO3 薄膜を2分間浸積した。ここで、薄膜を取り出し、エタノール20mlを添加した上記溶液中に再度20秒間浸積させた後、蒸留水で1回洗浄し、空気中90℃で約20分間乾燥した。この薄膜試料のX線回折パターンを図2(c)にMoO3
薄膜及び〔Na(H2 O)2 〕x MoO3 薄膜と比較して示す。(010)で指数付けされるピークが観測されるが、これらのピークは〔Na(H2
O)2 〕x MoO3 に比較して低角度側にシフトしており、層間距離が増加していることが分かる。図2(c)から求めた層間距離は、1.47nmであり、MoO3
の層間距離(0.69nm)に比べて0.78nm増加している。この層間距離の広がりは、ポリピロールがインターカレーションした場合に相当することから、PPyx
MoO3 薄膜が生成していることが確認できた。図3に、PPyx MoO3 薄膜の原子間力顕微鏡写真を示す。図3より、80−200nmの結晶粒子サイズを持つ、多孔質PPyx
MoO3 薄膜が生成していることが確認できた。
上記(3)で得られたPPyx MoO3
薄膜の、直流2端子法で測定した電気抵抗値は、室温で0.45MΩであった。PPyx MoO3 薄膜センサのホルムアルデヒドガスに対するセンサ特性を電気抵抗値の変化で評価した。図4に、ホルムアルデヒドガスに対する応答感度((Rgas
−Ra )/Ra :Ra は初期抵抗値、Rgas はガス雰囲気中での抵抗値)のホルムアルデヒドガス濃度依存性を、ミクロンサイズの結晶粒子からなる緻密なPPyx
MoO3 薄膜と比較して示す。ここで作製した、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有するPPyx MoO3
薄膜の感度は、ミクロンサイズの結晶粒子からなる緻密なPPyx MoO3 薄膜に比べて、数倍向上した。
MoO3 薄膜を作製した。MoO3 薄膜、〔Na(H2 O)2 〕y
MoO3 薄膜、及びPPyy MoO3 薄膜のX線回折図を図5に示す。実施例1の場合と同様に、インターカレーションにより、層間距離が大きくなり、PPyx
MoO3 薄膜が生成していることが確認できた。図6に、PPyx MoO3 薄膜の原子間力顕微鏡写真を示す。図6より、40−150nmの結晶粒子サイズを持つ、多孔質PPyx
MoO3 薄膜が生成していることが確認できた。実施例1のPPyx MoO3 薄膜より、更に、ナノサイズ粒子化が進んでいる。
MoO3 薄膜と比較して示す。ここで作製した、(PPy)x MoO3 薄膜は、実施例1に比べて、更に、微細粒子化されており、これを反映して、応答感度も向上した。
Claims (5)
- 基板と、該基板上に作製された、電極と、及び、層状構造を持つ無機化合物からなり層方向が基板と平行になるように配向した高配向薄膜に有機化合物からなる導電性ポリマーあるいは有機イオンを該無機化合物の層間においてインターカレートした構造を有する導電性有機無機ハイブリッド薄膜と、から構成される、VOCガスに対して抵抗値が変化することで応答するVOCガスセンサであって、
前記層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜が、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する酸化モリブデンを主成分とするものであり、ミクロンサイズの結晶粒子からなる薄膜と比べてVOCガスに対するセンサ応答感度を向上させたものであることを特徴とする上記VOCガスセンサ。 - 多孔質構造を持つ高配向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更にこれを有機化合物と置換した構造を有することを特徴とする請求項1記載の導電性有機無機ハイブリッド薄膜センサ。
- 前記無機化合物と格子定数が整合した金属酸化物単結晶基板上に作製された、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する、高配向薄膜を用いることを特徴とする請求項1又は2記載の有機無機ハイブリッド薄膜センサ。
- 基板と、該基板上に作製された、電極と、及び、導電性有機無機ハイブリッド薄膜と、から構成される、VOCガスに対して抵抗値が変化することで応答するVOCガスセンサを製造する方法であって、
層状構造を持つ無機化合物からなり層方向が基板と平行になるように配向した高配向薄膜に有機化合物からなる導電性ポリマーあるいは有機イオンを該無機化合物の層間にインターカレートすること、
前記層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜が、ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有する酸化モリブデンを主成分とするものであること、該高配向薄膜へ水和アルカリイオンをインターカレートすること、及び該水和アルカリイオンと導電性ポリマーあるいは有機イオンとの置換反応を行うこと、を特徴とする上記VOCガスセンサの製造方法。 - 前記無機化合物と格子定数が整合した金属酸化物単結晶基板上に、ナノサイズ結晶粒子からなり多孔質構造を有する高配向薄膜を作製することを特徴とする請求項4記載のVOCガスセンサの製造方法。
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