JP2005179115A - 有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 - Google Patents
有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005179115A JP2005179115A JP2003422141A JP2003422141A JP2005179115A JP 2005179115 A JP2005179115 A JP 2005179115A JP 2003422141 A JP2003422141 A JP 2003422141A JP 2003422141 A JP2003422141 A JP 2003422141A JP 2005179115 A JP2005179115 A JP 2005179115A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- organic
- moo
- inorganic hybrid
- inorganic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 186
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 claims abstract description 19
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 claims description 32
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 18
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 18
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 12
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- -1 cationic organic compound Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 6
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 5
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 58
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 32
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 6
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 42
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 33
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 30
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 15
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 13
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 13
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 7
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 238000002233 thin-film X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- ICXXXLGATNSZAV-UHFFFAOYSA-N butylazanium;chloride Chemical compound [Cl-].CCCC[NH3+] ICXXXLGATNSZAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- JVBXVOWTABLYPX-UHFFFAOYSA-L sodium dithionite Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S(=O)S([O-])=O JVBXVOWTABLYPX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 235000015393 sodium molybdate Nutrition 0.000 description 2
- 239000011684 sodium molybdate Substances 0.000 description 2
- TVXXNOYZHKPKGW-UHFFFAOYSA-N sodium molybdate (anhydrous) Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Mo]([O-])(=O)=O TVXXNOYZHKPKGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N Sodium cation Chemical compound [Na+] FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000002597 Solanum melongena Nutrition 0.000 description 1
- 244000061458 Solanum melongena Species 0.000 description 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N acetaldehyde Chemical compound [14CH]([14CH3])=O IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012935 ammoniumperoxodisulfate Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N butan-1-amine Chemical class CCCCN HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- YPLPZEKZDGQOOQ-UHFFFAOYSA-M iron oxychloride Chemical compound [O][Fe]Cl YPLPZEKZDGQOOQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N iron(2+);dinitrate Chemical compound [Fe+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000984 pole figure measurement Methods 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920006295 polythiol Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- XYKIUTSFQGXHOW-UHFFFAOYSA-N propan-2-one;toluene Chemical compound CC(C)=O.CC1=CC=CC=C1 XYKIUTSFQGXHOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- YBCAZPLXEGKKFM-UHFFFAOYSA-K ruthenium(iii) chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Ru+3] YBCAZPLXEGKKFM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N tetrabutylammonium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USFPINLPPFWTJW-UHFFFAOYSA-N tetraphenylphosphonium Chemical compound C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 USFPINLPPFWTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】 下記工程を含むことを特徴とする電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法であって、三酸化モリブデンの高配向薄膜を作製し、そこへ化学反応により導電性ポリマー或いは有機イオンをインターカレートすることを特徴とする、電気伝導性を有する有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法、該方法により作製される、室温、空気中での導電率が10-6Scm-1以上である導電性薄膜、及び上記導電性薄膜を構成要素として含む導電性部材及びセンサ部材。
【選択図】図7
Description
本発明は、有機化合物と無機化合物をナノレベルで複合化した高機能性ハイブリッド材料の技術分野において、従来のハイブリッド薄膜では、基板との密着性に問題があり、また、容易に剥離しやすいという問題があり、更に、優れた導電性を有するハイブリッド材料は得られていないことを踏まえ、有機化合物と無機化合物で機能を分担させると共に、これらを微細なナノレベルで複合化することにより、従来製品における諸問題を抜本的に解決することを可能とする、例えば、酸化モリブデンを主成分とする導電性有機無機ハイブリッド薄膜の製造技術を確立することに成功したものであり、本発明は、例えば、エレクトロデバイス材料として使用し得る高品質の導電性有機無機ハイブリッド薄膜を製造することを可能とする新規導電性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法、及びその製品、特に、VOCガスに対してセンサ抵抗が増加することで応答する新しいタイプの化学センサ部材を提供するものとして有用である。
本発明は、導電性を有する高品質の有機無機ハイブリッド薄膜を製造する方法、その有機無機ハイブリッド薄膜、及び導電性部材、更には、新しいタイプのセンサ部材を提供することを目的とするものである。
(1)層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更に、これを有機化合物と置換したことを特徴とする導電性有機無機ハイブリッド薄膜。
(2)前記層状構造を持つ無機化合物が、酸化モリブデンを主成分とすることを特徴とする前記(1)記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
(3)前記有機化合物が、導電性ポリマーであることを特徴とする前記(1)記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
(4)前記有機化合物が、有機イオンであることを特徴とする前記(1)記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
(5)前記無機化合物と格子定数が類似した金属酸化物単結晶基板上に作製した高配向薄膜を用いることを特徴とする前記(1)記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
(6)導電性有機無機ハイブリッド薄膜を製造する方法であって、
1)層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜を作製する、
2)上記高配向薄膜に水和アルカリ金属イオンをインターカレートする、
3)これを有機化合物と置換する、
ことを特徴とする有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
(7)前記層状構造を持つ無機化合物が、酸化モリブデンを主成分とすることを特徴とする前記(6)記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
(8)前記有機化合物が、導電性ポリマーであることを特徴とする前記(6)記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
(9)前記有機化合物が、カチオン性有機化合物であることを特徴とする前記(6)記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
(10)前記無機化合物と格子定数が類似した金属酸化物単結晶基板上に作製した高配向薄膜を用いることを特徴とする前記(6)記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。(11)前記(1)から(5)のいずれかに記載の有機無機ハイブリッド薄膜を構成要素として含むことを特徴とする導電性部材。
(12)前記(1)から(5)のいずれかに記載の有機無機ハイブリッド薄膜を構成要素として含むことを特徴とする化学センサ部材。
本発明は、上述のように、層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更に、これを有機化合物と置換することにより導電性を有するインターカレート型の有機無機ハイブリッド薄膜を製造することを特徴とするものである。本発明において、インターカレート型の有機無機ハイブリッド薄膜を製造するには、(1)三酸化モリブデン(MoO3 )の高配向薄膜の作製、(2)三酸化モリブデン薄膜への水和アルカリイオンのインターカレート、及び、(3)水和アルカリイオンと導電性ポリマーあるいは有機イオンとの置換反応、の3段階の工程を経る必要がある。以下に、それぞれの工程について詳しく説明する。
MoO3 薄膜の作製にはCVD法を用いた。基板として10mm角のLaAlO3(100)単結晶を用いた。基板は、加熱用ヒーターを持つホルダーにセットした。モリブデンソースであるヘキサカルボニルモリブデン(Mo(CO)6)0.9gを石英ガラスボートに入れ、ソース室にセットした。試料室及びソース室を含む系全体に酸素ガス(100ml/min)流し、試料室部分を電気炉により460℃に加熱し、更に、基板加熱用ヒーターにより基板温度を500℃にした。基板温度が安定した後、系全体を真空ポンプで排気し、真空度7Torrに調整した。系全体を減圧にした段階で、Mo(CO)6の揮発が始まり、MoO3 膜の成長が開始した。ソースであるMo(CO)6 は特に加熱する必要はなく、ソースは室温に保持されていた。減圧下15分間製膜した後、系全体を大気圧に戻した。これにより、ソースの揮発が抑制され、製膜が終了した。
ナス型フラスコ中で蒸留水25mlを10分間アルゴンガスでバブリングした後、亜ジチオン酸ナトリウムNa2 S2 O4 (0.2g,1.1mmol)及びモリブデン酸ナトリウムNa2MoO4 2H2 O(6g,24.8mmol)を添加し、攪拌することで、これらを溶解した。ここへMoO3配向薄膜を10秒間浸積した。この間、無色の三酸化モリブデン薄膜は青色に変化した。浸積後、薄膜を蒸留水で洗浄し、空気中125℃で約30分間乾燥した。この薄膜試料のX線回折パターンを図4(a)に示す。(0k0)で指数付けされるピークが観測されるが、これらのピークは、MoO3に比較して低角度側にシフトしており、層間距離が増加していることが分かる。図4(a)から求めた層間距離は、0.97nmであり、MoO3 の層間距離(0.69nm)に比べて0.28nm増加している。この層間距離の広がりは、水和ナトリウムイオンNa(H2O)2 がインターカレーションした場合に相当することから、〔Na(H2 O)2 〕xMoO3 薄膜が生成していることが確認できた。
蒸留水25mL中にピロール(2.0ml,28.9mmol)を加え、超音波ホモジナイザーで3分間処理した後、酸化剤として塩化鉄FeCl3 (0.086g,0.51mmol)を加え、室温で10分間攪拌した。ここへ上記〔Na(H2O)2 〕x MoO3 薄膜を5分間浸積した。ここで薄膜を取り出し、エタノール20mlを添加した上記溶液中に再度2分間浸積させた後、蒸留水で1回、エタノールで4回洗浄し、空気中125℃で約60分間乾燥した。この薄膜試料のX線回折パターンを図4(b)に示す。(0k0)で指数付けされるピークが観測されるが、これらのピークは〔Na(H2O)2 〕x MoO3 に比較して低角度側にシフトしており、層間距離が増加していることが分かる。図4(b)から求めた層間距離は、1.47nmであり、MoO3の層間距離(0.69nm)に比べて0.78nm増加している。この層間距離の広がりは、ポリピロールがインターカレーションした場合に相当することから、PPyxMoO3 薄膜が生成していることが確認できた。
得られたPPyx MoO3薄膜上に金櫛形電極を蒸着し、センサ素子を作製した。直流2端子法で測定した電気抵抗値は室温で0.77MΩであった。PPyx MoO3薄膜センサのホルムアルデヒドガスに対するセンサ特性を電気抵抗値の変化で評価した。用いたホルムアルデヒドガス濃度は800ppmとし、測定は室温で行った。清浄空気(25分)、サンプルガス(15分)、更に、清浄空気を順次流した時の抵抗値の変化を図5に示す。図5の縦軸は、初期抵抗で規格化した抵抗値である。ホルムアルデヒドに対して、センサの抵抗値が増加し、清浄空気中では元の抵抗値にもどり、確かにセンサとして機能していることが分かる。更に、ホルムアルデヒド以外のVOCガスに対するセンサ特性を密閉型センサ特性評価装置を用いて評価した。容器中のヒーターに液体のVOCを供給することで気化させ、所定の濃度のVOC環境を作り、センサの抵抗値の変化を測定した。
MoO3 薄膜を作製する際の基板をMgO(100)単結晶を用いたこと、製膜時間を30分にしたこと以外は、実施例1の方法に準じてPPyxMoO3 薄膜の作製を試みた。図13に、MoO3 薄膜のX線回折パターンを示す。観測される回折ピークは、すべてMoO3相によるものであり、MoO3 単相膜が得られている。しかし、(0k0)以外の回折ピークが見られることから、MoO3薄膜は多結晶構造であり、配向性は十分でない。図14に示すSEM写真では、直径500〜900nm、厚さ150〜250nmのMoO3 粒子が積み重なって成長している様子が見られる。板状結晶粒のよく発達した面は、必ずしも基板表面と平行ではなく、b軸配向性が十分でないことが分かる。この様な微細構造を持つMoO3薄膜に水和ナトリウムイオンのインターカレーションを試みたところ、膜の大部分が剥離した。
Claims (12)
- 層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更に、これを有機化合物と置換したことを特徴とする導電性有機無機ハイブリッド薄膜。
- 前記層状構造を持つ無機化合物が、酸化モリブデンを主成分とすることを特徴とする請求項1記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
- 前記有機化合物が、導電性ポリマーであることを特徴とする請求項1記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
- 前記有機化合物が、有機イオンであることを特徴とする請求項1記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
- 前記無機化合物と格子定数が類似した金属酸化物単結晶基板上に作製した高配向薄膜を用いることを特徴とする請求項1記載の有機無機ハイブリッド薄膜。
- 導電性有機無機ハイブリッド薄膜を製造する方法であって、
(1)層状構造を持つ無機化合物の高配向薄膜を作製する、
(2)上記高配向薄膜に水和アルカリ金属イオンをインターカレートする、
(3)これを有機化合物と置換する、
ことを特徴とする有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。 - 前記層状構造を持つ無機化合物が、酸化モリブデンを主成分とすることを特徴とする請求項6記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
- 前記有機化合物が、導電性ポリマーであることを特徴とする請求項6記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
- 前記有機化合物が、カチオン性有機化合物であることを特徴とする請求項6記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
- 前記無機化合物と格子定数が類似した金属酸化物単結晶基板上に作製した高配向薄膜を用いることを特徴とする請求項6記載の有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法。
- 請求項1から5のいずれかに記載の有機無機ハイブリッド薄膜を構成要素として含むことを特徴とする導電性部材。
- 請求項1から5のいずれかに記載の有機無機ハイブリッド薄膜を構成要素として含むことを特徴とする化学センサ部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003422141A JP4243687B2 (ja) | 2003-12-19 | 2003-12-19 | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003422141A JP4243687B2 (ja) | 2003-12-19 | 2003-12-19 | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005179115A true JP2005179115A (ja) | 2005-07-07 |
JP4243687B2 JP4243687B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=34783104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003422141A Expired - Lifetime JP4243687B2 (ja) | 2003-12-19 | 2003-12-19 | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4243687B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005321327A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 有機無機ハイブリッド薄膜センサの高感度化 |
JP2007271598A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-10-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスセンサ及びその製造方法 |
EP1923697A1 (en) | 2006-11-18 | 2008-05-21 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | High sensitive resistive-type gas sensor and its manufacturing process comprising an organic-inorganic intercalated hydbrid sensing material |
JP2009019934A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスセンサ材料、その製造方法及びガスセンサ |
JP2009053054A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | ガスセンサの製造方法 |
JP2009145136A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電気的抵抗の変動が抑制された有機無機ハイブリッド材料 |
JP2010078380A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Panasonic Electric Works Co Ltd | モリブデン酸化物薄膜の製造方法及び化学センサ |
JP2010266102A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 換気装置 |
JP2014145110A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Koa Corp | 無電解めっき浴、三酸化モリブデン膜の製造方法、及び化学センサ |
KR20170063749A (ko) * | 2014-11-07 | 2017-06-08 | 플란제 에스이 | 금속산화물 박막, 금속산화물 박막을 증착하기 위한 방법 및 금속산화물 박막을 포함하는 장치 |
-
2003
- 2003-12-19 JP JP2003422141A patent/JP4243687B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4691688B2 (ja) * | 2004-05-11 | 2011-06-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機無機ハイブリッド薄膜センサ |
JP2005321327A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 有機無機ハイブリッド薄膜センサの高感度化 |
JP2007271598A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-10-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスセンサ及びその製造方法 |
EP1923697A1 (en) | 2006-11-18 | 2008-05-21 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | High sensitive resistive-type gas sensor and its manufacturing process comprising an organic-inorganic intercalated hydbrid sensing material |
JP2008128747A (ja) * | 2006-11-18 | 2008-06-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 高感度ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2009019934A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガスセンサ材料、その製造方法及びガスセンサ |
JP2009053054A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | ガスセンサの製造方法 |
JP2009145136A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電気的抵抗の変動が抑制された有機無機ハイブリッド材料 |
JP2010078380A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Panasonic Electric Works Co Ltd | モリブデン酸化物薄膜の製造方法及び化学センサ |
JP2010266102A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 換気装置 |
JP2014145110A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Koa Corp | 無電解めっき浴、三酸化モリブデン膜の製造方法、及び化学センサ |
KR20170063749A (ko) * | 2014-11-07 | 2017-06-08 | 플란제 에스이 | 금속산화물 박막, 금속산화물 박막을 증착하기 위한 방법 및 금속산화물 박막을 포함하는 장치 |
JP2018502215A (ja) * | 2014-11-07 | 2018-01-25 | プランゼー エスエー | 金属酸化物薄膜、金属酸化物薄膜を堆積する方法及び金属酸化物薄膜を備える装置 |
US10366803B2 (en) | 2014-11-07 | 2019-07-30 | Plansee Se | Metal oxide thin film, method for depositing metal oxide thin film and device comprising metal oxide thin film |
KR102266536B1 (ko) * | 2014-11-07 | 2021-06-18 | 플란제 에스이 | 금속산화물 박막, 금속산화물 박막을 증착하기 위한 방법 및 금속산화물 박막을 포함하는 장치 |
JP7091577B2 (ja) | 2014-11-07 | 2022-06-28 | プランゼー エスエー | 金属酸化物薄膜、金属酸化物薄膜を堆積する方法及び金属酸化物薄膜を備える装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4243687B2 (ja) | 2009-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zou et al. | Polymer-assisted-deposition: a chemical solution route for a wide range of materials | |
Le Paven-Thivet et al. | Photoelectrochemical properties of crystalline perovskite lanthanum titanium oxynitride films under visible light | |
Chandrasekhar et al. | Room temperature solution-processed Fe doped NiOx as a novel hole transport layer for high efficient perovskite solar cells | |
Wan et al. | Controlled Electrochemical Deposition of Large‐Area MoS2 on Graphene for High‐Responsivity Photodetectors | |
JP2017519896A (ja) | 気相の前駆体を用いて有機金属構造体薄膜を製造する方法 | |
JP4243687B2 (ja) | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法 | |
Zhuiykov et al. | Interfacial engineering of two-dimensional nano-structured materials by atomic layer deposition | |
Graf et al. | Interdependence of structure, morphology, and phase transitions in CVD grown VO2 and V2O3 Nanostructures | |
Chang et al. | Atomic layer deposition of environmentally benign SnTiOx as a potential ferroelectric material | |
JP4831561B2 (ja) | 有機無機ハイブリッド薄膜及びその製造方法 | |
Won Ahn et al. | Effect of Ta content on the phase transition and piezoelectric properties of lead-free (K0. 48Na0. 48Li0. 04)(Nb0. 995-xMn0. 005Tax) O3 thin film | |
Gong et al. | Polypyrrole coated niobium disulfide nanowires as high performance electrocatalysts for hydrogen evolution reaction | |
Uprety et al. | Growth and characterization of transparent Pb (Zi, Ti) O3 capacitor on glass substrate | |
Na et al. | Atomic-layer-deposited TiO2 with vapor-grown MAPbI3− xClx for planar perovskite solar cells | |
KR101807459B1 (ko) | 결함-치유 환원된 그래핀 산화물 히터를 이용한 자가치유 고분자의 자가치유 방법 | |
KR20170012704A (ko) | 3차원 나노사이즈 다공성 그래핀 구조체, 이의 제조방법, 및 이를 이용한 물품 | |
Mackie et al. | Microplasmas for direct, substrate-independent deposition of nanostructured metal oxides | |
Rodrigues et al. | Atomic layer deposition of TiO2 thin films on electrospun poly (butylene adipate-co-terephthalate) fibers: Freestanding TiO2 nanostructures via polymer carbonization | |
KR101563261B1 (ko) | 전기화학적인 방법에 의한 그래핀 옥사이드의 기판 증착 방법, 이에 의하여 제조된 그래핀 옥사이드가 증착된 기판 및 이를 포함하는 전기 소자 | |
Phillips et al. | Atomic layer deposition fabricated substoichiometric TiOx nanorods as fuel cell catalyst supports | |
JP4691688B2 (ja) | 有機無機ハイブリッド薄膜センサ | |
Dirnstorfer et al. | Atomic layer deposition of anatase TiO2 on porous electrodes for dye-sensitized solar cells | |
JP4944707B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 | |
KR102387536B1 (ko) | 플라즈마를 이용한 팔면체 전이금속 디칼코게나이드 제조 방법 | |
JP3500787B2 (ja) | ビスマス化合物の製造方法とビスマス化合物の誘電体物質 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080715 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080916 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4243687 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |