JP4883527B2 - 無機el用蛍光体の製造方法 - Google Patents

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本発明は、各種情報や画像を表示するディスプレイ等に用いられる薄膜エレクトロルミネッセンス(EL)の発光材料である無機EL用蛍光体の製造方法に係り、より詳しくは青色発光の無機EL用バリウムチオアルミネート系蛍光体の製造方法に関するものである。
近年、各種情報や画像を表示するディスプレイ等に用いられる薄膜エレクトロルミネッセンス(EL)の発光材料である無機EL素子の開発が盛んに進められている。その技術としては、例えば、高輝度の希土類添加アルカリ土類チオアルミネート蛍光体を含有する蛍光体を用いてフルカラー表示を行う方法が知られている(特許文献1参照)。この方法は、例えば、Cを構成する元素を有する水素化物のガスをスパッタガス中に含む反応性スパッタ法、あるいはA、B、C、Reを構成する各元素を一種類以上有する複数の蒸気ガスを独立に制御して基板表面に供給して薄膜を形成する製膜手法により製膜される蛍光体薄膜を数種類用いて多色表示薄膜ELパネルを製造する方法である。
また、希土類添加アルカリ土類チオアルミネート蛍光体としては、例えば高輝度で色純度の優れた青色発光を有するEL材料および該材料を発光層とする薄膜EL素子が知られている(特許文献2参照)。このEL材料は、アルカリ土類チオアルミネートを母材料とし、セリウム等のランタノイド系元素を付活材とするものである。
このような薄膜EL材料の中で、特にEu添加BaAl硫化物蛍光体は、輝度が高く、色純度が良いため最も期待されている材料である。これらの蛍光体は、硫化アルミニウム、硫化バリウム、硫化ユーロピウム等の硫化物粉末を混合、焼成することにより得られるが、その際には原料粉末が微細であるほど均質な蛍光体が得られる。特に高輝度の蛍光体を作製するには発光元素であるEuが均一に分散し、Baの元素位置を置換することが重要である。
特開平7−122364号公報 特開平8−134440号公報
しかるに、前記したEu添加BaAl硫化物蛍光体の原料である硫化アルミニウム、硫化バリウム、硫化ユーロピウム等の硫化物は、空気中の水分と反応して品質が劣化し易い上、粉砕・混合時に有毒な硫化水素ガスを発生するという問題がある。また、品質が劣化した硫化物を用いると硫化物蛍光体の結晶性が悪くなり、蛍光強度が低下するという欠点を有し、特に粉末が微細化すると硫化物の品質劣化が著しくなる。さらに、BaSやEuSは98〜99%と純度が低く、不純物の管理も容易でないという難点がある。
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたもので、特に硫化アルミニウム、硫化バリウム、硫化ユーロピウム等の硫化物の粉砕・混合時の有毒ガスの発生を抑制すると共に、Euが均一に分散した高品質のEu添加BaAl硫化物蛍光体を製造し得る無機EL用蛍光体の製造方法を提案しようとするものである。
本発明に係る無機EL用蛍光体の製造方法は、無機EL用Eu添加バリウムチオアルミネート硫化物を真空中で合成して無機EL用蛍光体を製造する方法であって、Euが均一に分散したEu添加BaCOを合成する第1の工程と、Euが均一に分散したEu添加BaSを合成する第2の工程と、前記第2の工程で得られるEu添加BaSと硫化アルミニウムを混合し、真空中で熱処理する第3の工程とからなることを特徴とするものである。
また、この方法における前記第1の工程では、酸化Euを酸に溶解しアルコール、オキシカルボン酸、炭酸バリウムを順次加え、さらに120〜250℃でゲルを得た後に、該ゲルを400〜500℃で熱処理して得られた前駆体を再度650〜1000℃で熱処理することを特徴とし、前記第2の工程では、前記第1の工程で得られるEuが均一に分散したEu添加BaSを10%以上のHS−Nガス流通下で850〜1100℃で熱処理することを特徴とし、前記第3の工程では、前記第2の工程で得られるEu添加BaSと硫化アルミニウムを、不活性ガス雰囲気中で湿度0.02%以下の雰囲気で混合し、その後該Eu添加BaSと硫化アルミニウムの混合物を真空中で950〜1080℃で熱処理することを特徴とするものである。
なお、前記Eu添加BaSと硫化アルミニウムの混合物を真空中で熱処理する際には、このEu添加BaSと硫化アルミニウムの混合物を石英アンプルに真空封入して熱処理する方法を採用してもよい。
本発明は、Euが均一に分散したEu添加BaCOを合成する第1の工程と、Euが均一に分散したEu添加BaSを合成する第2の工程と、前記第2の工程で得られるEu添加BaSと硫化アルミニウムを混合し、真空中で熱処理する第3の工程により無機EL用Eu添加バリウムチオアルミネート硫化物を合成して無機EL用蛍光体を製造する方法であるから、硫化アルミニウム、硫化バリウム、硫化ユーロピウム等の硫化物の粉砕・混合時に有毒ガスを発生させることなく、Euが均一に分散した高品質のEu添加BaAl硫化物蛍光体を製造することができる。また、この方法によれば、Eu添加BaAl硫化物蛍光体中に原料化合物や副生物等の残留物がなくなることから、結晶性の良好な高輝度に発光するEu添加BaAl硫化物蛍光体薄膜を得ることができる。
1.Euが均一に分散したEu添加BaCOを合成する第1の工程:
添加するEu源は、原料のEuを濃度40〜60質量%の硝酸、または酢酸に溶解するのが好ましい。なお、硫酸や塩酸は完全溶解が困難なため好ましくない。原料のEuを完全に溶解させるためには1時間程度攪拌する。その後、このEu溶解液にアルコールとオキシカルボン酸を加える。加えるアルコールとオキシカルボン酸としては、それぞれエチレングリコールとクエン酸が好適である。そして、クエン酸が完全に溶解すると、液温を35〜45℃上昇までさせ、炭酸バリウム(BaCO)を加えてEuを均一に分散させる。その際には、難溶性の炭酸塩を完全に溶解するため8時間以上攪拌するのが好ましい。なお、エチレングリコールに替えて、プロピレングリコール等のグリコールあるいはポリビニルアルコールを使用することもできる。また、クエン酸に替えて、リンゴ酸や酒石酸等を用いてもよい。
次いで、炭酸塩が完全に溶解した後、重合させるため液温を120〜250℃、より好ましくは180〜220℃にして粘性を有するゲル状になるまで攪拌する。これによりEuを均一に含んだゲルが得られる。続いて、得られたゲルを400〜500℃、より好ましくは440〜460℃に加熱し、ゲルを熱分解させて前駆体粉末を作製する。その後、得られた前駆体粉末を軽く粉砕し炭酸塩化するためアニールを行う。アニール処理条件としては、アニール温度650〜1000℃、より好ましくは750〜900℃、アニール時間5〜24時間、より好ましくは8〜12時間である。
2.Euが均一に分散したEu添加BaSを合成する第2の工程:
この工程では、前記第1の工程で得られたEu添加BaCO粉末を10%HSを含んだ窒素または10%HSを含んだアルゴンガス中で加熱し、850〜1100℃、より好ましくは920〜1000℃で7〜10時間アニール処理を施してEu添加BaS粉末を得る。得られた粉末は、X線回折によればBaSに一致するXRDパターンのみが得られる。なお、アニール処理中は、HS(硫化水素)を含むガスが必要であり、また反応終了後の冷却中、ガス中にHSが無いと硫酸塩が生成することがあるため、冷却が完了し室温になるまでHSを流入させることが好ましい。
尚、硫酸塩を含む場合は粉末が黄色を示す場合がある。そのような場合は、真空中でアニール処理を行うことで硫化物に還元することができる。より具体的には、真空度を0.1〜5Pa程度でアニール温度920〜1000℃で7〜10時間行うとBaSOをBaSへ還元することができる。
3.Eu添加BaSと硫化アルミニウムを混合し、真空中で熱処理する第3の工程:
この工程では、窒素、またはアルゴン等の不活性ガス中で、湿度が0.02%以下のグローブボック中で前記第2の工程で得られたEu添加BaS粉末とAl粉末を20〜30分混合し、その後得られた混合物を石英アンプルに真空封入し、この石英アンプルを950〜1080℃で5〜24時間熱処理を行ってEu添加BaAlを合成する。Eu添加BaAl粉末の合成は、不活性ガス中でも可能であるが、ガスに酸素や水分が混入すると硫酸塩や酸化物が形成され再現性に欠けて不安定となるため、真空封入が好ましい。また、単に真空熱処理する方法では、異相成分であるBaSやBaAlやBaAl等の相が形成されるため、BaAlの単相が得られず高輝度が得られないため好ましくない。なお、前記真空封入で合成する以外の方法としては、例えば真空引き後にArガス置換しホットプレスして合成する方法を用いることも可能である。
酸化ユーロピウム(フルウチ化学株式会社製 3N)0.26gを濃度15%の硝酸(関東化学株式会社製 60%)に溶解し、次いで5分後に0.01リットルの水を加え、更に完全に溶解させるため1時間攪拌した。攪拌後、この液にエチレングリコール(関東化学株式会社製 99.5%)21gとクエン酸(和光純薬株式会社製 98%)20gを加え、このクエン酸が完全に溶解した後、液温を40℃にしてさらに炭酸バリウム(BaCO)5.5gを加え、8時間攪拌して炭酸塩を完全に溶解させた。続いて、炭酸塩が完全に溶解した混合液の液温を200℃に高めて、粘性を有するゲル状になるまで攪拌した。攪拌後、得られたゲルをマントルヒーターで450℃に加熱し、ゲルを熱分解させて前駆体粉末を作製し、該前駆体粉末をメノウ乳鉢で軽く粉砕した後アルミナの坩堝に入れて管状炉により850℃、10時間のアニールを行って炭酸塩を作成した。
得られたEu添加BaCO粉末のX線回折を行ったところ、炭酸バリウム(BaCO)に一致するXRDパターンのみが得られ、Euが均一に分散したBaCO粉末5.0gが得られたことを確認した。得られた粉末のX線回折データを図1に示す。
また、このEu添加BaCO粉末2.0gをHS濃度が10.5%の窒素―硫化水素混合ガス中で加熱し、950℃で24時間アニールしてEu添加BaS粉末1.7gを得た。得られた粉末のX線回折を行ったところBaSに一致するXRDパターンのみが得られた。得られた粉末のX線回折データを図2に示す。
さらに、窒素ガスで置換された湿度が0.02%以下のグローブボックス中で前記Eu添加BaS粉末1.1gと市販のAl粉末(Sterm Chemicals製)0.94gをメノウ乳鉢で20分混合し、この混合物をハンドプレスで200MPaまで加圧して作製したφ12mmの成型体(ペレット)を石英アンプルに真空封入し、この石英アンプルを1000℃まで加熱し24時間保温して熱処理を行った。得られた粉末のX線回折パターンを図3に示す。
図3から明らかなごとく、得られたEu添加BaAl粉末には、代表的な不純物であるBaSやAlは含まれておらず、BaAlのほぼ単相であることが確認された。
また、前記Eu添加BaS粉末と市販のAl粉末(Sterm Chemicals製)をメノウ乳鉢で混合し、ハンドプレスで成型体を作製する作業中の硫化水素濃度を測定したところ0.7ppmであり、硫化水素の発生はほとんど認められなかった。
実施例1と同じ方法で作製したEu添加BaS 粉末4.5gを、窒素ガスで置換し湿度が0.02%以下のグローブボックス中で市販のAl粉末(Sterm Chemicals製)とメノウ乳鉢で20分混合し、この混合物を内径30mmのカーボン型に詰め、ホットプレス(大亜真空製)に入れて5×10−4Paまで真空引きし、80℃で1時間放置し乾燥させた。その後、ホットプレスにArガスを流して内部をArガス雰囲気にし、そのまま1050℃まで加熱して1時間焼成した。
得られた硫化物蛍光体をX線回折にかけて結晶性を調べた結果、目的とするBaAlの結晶ができていることが確認された。また、この硫化物蛍光体の蛍光測定を行った結果、発光の中心波長は実施例1とほぼ同じで輝度は75%程度であった。
また、前記Eu添加BaS粉末と市販のAl粉末(Sterm Chemicals製)をメノウ乳鉢で混合し、この混合物をカーボン型に詰め、ホットプレスハンドプレスで成型体を作製する作業中の硫化水素濃度を測定したところ0.6ppmであり、本実施例においても硫化水素の発生はほとんど認められなかった。
[比較例]
Eu添加BaS粉末4.5gとAl粉末4.0gを用い実施例1と同様にペレットを作成し、これを真空排気した石英管中で熱処理した以外は、実施例1と同じ方法で作成した粉末のX線回折パターンを図4に示す。
図4から明らかなごとく、得られた粉末にはBaAl以外にBaS、BaAl、BaAlが検出された。
[従来例]
市販のBaS(Alfa AeSar製)10.7gとEuS(フルウチ化学株式会社製)0.5gとAl9.9gを秤量し、湿度が0.02%以下の窒素置換したグローブボックス中でメノウ乳鉢で20分混合した以外は実施例1と同じ方法で粉末を作成した。得られた粉末のX線回折パターンを図5に示す。
図5から明らかなごとく、得られた粉末にはBaAl以外にAlが検出された。
また、前記BaS(高純度化学製)とEuS(高純度化学製)0.5gとAl9.9gをメノウ乳鉢で混合し、この混合物を型に入れてホットプレスで焼結体を作製する作業中における硫化水素濃度を測定したところ0.8ppmであった。
また、前記した実施例1と従来例で作成したそれぞれのペレット表面の黒ずみを研磨紙で取り除き、それぞれのペレットに254nmの光を照射して励起し蛍光強度を測定した結果を図6に示す。
図6から明らかなごとく、本発明法により得られた粉末は473nmにピークを持つ強い蛍光を発することが確認された。即ち、実施例1の蛍光体は、従来例の蛍光体に比べ強度が強いことが判明した。なお、実施例2の蛍光体においても同様の結果が得られることはいうまでもない。
従来例で輝度が低い原因はEuの混合状態が悪いためと思われるが、BaSとEuSを乾式法、例えばボールミルで混合すると粉末が容器の壁にはり付いて混合が不十分であった。湿式混合法では水やアルコールはOH基があるため反応して硫化水素ガスが発生する。フロリナート等のフッ化物を用いて混合すると比較的硫化水素の発生は抑制できる。しかし湿式混合法ではBaSとEuSを混合、乾燥してAlを加えることは効率が悪く時間もかかる。そこでAlも加えて湿式混合を行う、この場合はAlが硫化水素を発生しやすいため、硫化水素として1〜30ppm程度が発生する。
[硫化水素等の有毒ガスの発生の有無]
従来技術に係る蛍光体と本願発明に係る蛍光体とで、粉砕・混合時の有毒ガスの発生にどのような違いがあるのかを確認するために、以下の実験を行った。
[従来技術に係る蛍光体]
市販のAl(CERAC製)13.2g、BaS(高純度化学製)14.1g、EuS(高純度化学製)0.8g、メノウの10mmのボール67.5gとフロリナート80gを窒素置換した真空グローブボックス(三輪製作所製)中でメノウのポットに入れて密封した。
そのポットを取り出して遠心ボールミルで1時間粉砕し、再び窒素置換した真空グローブボックスに入れてポットを開封し、スラリーを篩にかけてボールと取り除き、濾過してフロリナートを分離して粉末を乾燥させた。
乾燥粉末を型に入れてホットプレスで焼結体を作成した。濾過、型詰め作業中に真空グローブボックス内(内容積450リットル)の硫化水素濃度を硫化水素モニタ(ガステック製HS-6A)で測定した。
その結果硫化水素濃度はポット開封前0ppmであったが、ポット開封後急に増加し5分で26ppmまで上昇し、その後一定の値となった。これはフロリナート中の微量水分とAlとが反応したことが原因と思われる。
尚、発生した硫化水素を含むガスは、安全性の観点から局所排気フードから活性炭吸着式のガス処理施設で処理した。
[本願発明に係る蛍光体]
これに対し、本発明によるEu添加BaS4.50gとAl(CERAC製)3.95gを窒素置換した真空グローブボックス(三輪製作所製)中でメノウの乳鉢で混合しホットプレスの型に入れた。この作業中の硫化水素濃度は0.7ppmであり、殆ど硫化水素は発生していないことが分かった。
以上のように本発明で得られた蛍光体は、BaAl:Eu単相であり、蛍光強度も従来例より強く、作業性も向上することが分かった。
尚、テレビ用の蛍光体膜用のスパッタターゲットなどは1〜3kg程度のAlを含むため、硫化水素発生量もAl量と共に増加する。従って、硫化水素発生量を減少させることが作業性、環境面から極めて重要となる。
本発明方法によれば、硫化アルミニウム、硫化バリウム、硫化ユーロピウム等の硫化物の粉砕・混合時に有毒ガスを発生させることなく、Euが均一に分散した高品質のEu添加BaAl硫化物蛍光体を製造することができ、またEu添加BaAl硫化物蛍光体中に原料化合物や副生物等の残留物がなくなることから、結晶性の良好な高輝度に発光するEu添加BaAl硫化物蛍光体薄膜を得ることができるので、その工業的価値は極めて大である。
本発明の実施例1におけるEu添加BaCO粉末のX線回折測定結果を示す図である。 本発明の実施例1におけるEu添加BaS粉末のX線回折測定結果を示す図である。 本発明の実施例1におけるEu添加BaAl粉末のX線回折測定結果を示す図である。 本発明の比較例におけるX線回折測定結果を示す図である。 本発明の従来例におけるX線回折測定結果を示す図である。 本発明の実施例1と従来例の蛍光強度測定結果を示す図である。

Claims (4)

  1. 無機EL用Eu添加バリウムチオアルミネート硫化物を真空中で合成して無機EL用蛍光体を製造する方法であって、Euが均一に分散したEu添加BaCOを合成する第1の工程と、Euが均一に分散したEu添加BaSを合成する第2の工程と、前記第2の工程で得られるEu添加BaSと硫化アルミニウムを混合し、その後該Eu添加BaSと硫化アルミニウムの混合物を、石英アンプルに真空封入して熱処理するか、又は、真空引き後にArガス置換しホットプレスする第3の工程とからなることを特徴とする無機EL用蛍光体の製造方法。
  2. 前記第1の工程では、酸化Euを酸に溶解しアルコール、オキシカルボン酸、炭酸バリウムを順次加え、さらに120〜250℃でゲルを得た後に、該ゲルを400〜500℃で熱処理して得られた前駆体を再度650〜1000℃で熱処理することを特徴とする請求項1に記載の無機EL用蛍光体の製造方法。
  3. 前記第2の工程では、前記第1の工程で得られるEuが均一に分散したEu添加BaSを10%以上のHS−Nガス流通下で850〜1100℃で熱処理することを特徴とする請求項1に記載の無機EL用蛍光体の製造方法。
  4. 前記石英アンプルに真空封入して熱処理する第3の工程では、前記第2の工程で得られるEu添加BaSと硫化アルミニウムを、不活性ガス雰囲気中で湿度0.02%以下の雰囲気で混合し、その後該Eu添加BaSと硫化アルミニウムの混合物を真空中で950〜1080℃で熱処理することを特徴とする請求項1に記載の無機EL用蛍光体の製造方法。
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