JP4879957B2 - センシングユニットを有する基板処理装置 - Google Patents
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Description
10 チャンバー
20 支持プレート
30 昇降部材
50 シャワーヘッド
60 排気ユニット
70 センシングユニット
72 ハウジング
74 センサー
76 シーリングパッド
77 Oリング
78 締結具
79 弾性部材
Claims (5)
- 基板に対する工程が行われる工程空間を提供するチャンバーと;
前記チャンバーの内部に提供され、前記基板が置かれる支持プレートと;
前記支持プレートの上部に提供される下部が開放された本体と、前記本体の下部に連結されて前記支持プレートの上部にソースガスを供給する噴射板と、前記噴射板の上部に提供され前記支持プレートとともに前記シャワーヘッドから供給された前記ソースガスを用いてプラズマを生成する上部電極とを有するシャワーヘッドと;
前記噴射板の上部面に一端が接触するセンサーと、前記センサーが実装されたハウジングと、前記ハウジングを前記上部電極上に設置する締結具と、前記ハウジングに対して前記噴射板に向かう方向に弾性力を提供する弾性部材と、前記ハウジングと前記上部電極との間に提供されて気密を維持するシーリングパッドとを有するセンシングユニットと;
を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記ハウジングは、前記締結具が貫通される締結ホールを有し、
前記弾性部材の一端は前記締結ホールの加圧面と接触し、前記弾性部材の他端は、前記締結ホールより大きい直径を有する前記締結具のヘッドに連結されることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記ハウジングは、前記センサーの周りに配置され、前記締結具が貫通される締結ホールを有するフランジ部を有し、
前記上部電極は、前記フランジ部が定着される定着面を有し、
前記シーリングパッドは、前記フランジ部と前記定着面との間に提供されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記上部電極は、前記定着面の内側に前記定着面より低く位置するシーリング面をさらに有し、
前記センシングユニットは、前記シーリングパッドと前記シーリング面との間に提供されて気密を維持するシーリング部材をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記シャワーヘッドは、
前記上部電極と前記噴射板との間に提供される拡散板と;
前記拡散板と前記噴射板との間に提供されて前記噴射板の温度を調節する冷却板と;をさらに含むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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