JP4859542B2 - Mos型固体撮像装置及びmos型固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Description
次に、マルチプレクサ11は、行選択信号と、マルチプレクサ11の外部から入力されるトランス信号とが同時に入力された場合に、行選択信号を電圧変換回路12へ出力する。つまり、マルチプレクサ11は、行選択信号とトランス信号とについてアンド演算を行う。次に、電圧変換回路12は、行選択信号を3V系から5V系へ昇圧させた後に、行選択信号線14を通じて、画素領域13の選択する行に属する画素の転送トランジスタのゲート電極へと入力する。
なお、昇圧回路を備えないMOS型固体撮像装置の場合には、マルチプレクサ11から出力される行選択信号を昇圧しないで、行選択信号線14を通じて転送トランジスタのゲート電極へ入力する。
なお、一般的に、MOS型固体撮像装置の製造には、P型半導体基板が用いられる。このため、PMOSのN型ウェルとN型半導体基板との間に生じるパンチスルー電流の問題は発生しない。
図1は、第1の実施形態のMOS型固体撮像装置である。以下に、図1を用いて、第1の実施形態のMOS型固体撮像装置について説明する。図1において、図面の右側に画素領域が示され、図面の左側に、CMOSが形成されるPMOS形成領域及びNMOS形成領域を含む周辺回路領域が示されている。そして、このCMOSは、昇圧回路によって昇圧された高い電圧によって駆動する。また、画素領域は、上記した、混色を抑制した従来のMOS型固体撮像装置(図10を参照)によって形成される。
図6は、第2の実施形態のMOS型固体撮像装置である。以下に、図6を用いて、第2の実施形態のMOS型固体撮像装置について説明する。第2の実施形態のMOS型固体撮像装置は、N型ウェル3の下に、P型ウェル4の代わりにP型ウェル2の一部が位置するように形成されている点で第1の実施形態のMOS型固体撮像装置と異なる。従って、以下では、この異なる点を中心に説明する。なお、図6において、第1の実施形態のMOS型固体撮像装置(図1を参照)と同じ構成要素については、同じ参照符号を用いる。
3 N型ウェル
100 P型半導体基板
101、114 N型半導体基板
116 素子分離、
104 フォトダイオード間P型分離領域
117 N型受光部
106 空乏層
107 空乏層内で光電変換した電子
109 空乏層外で光電変換した電子
118 ゲート酸化膜
119 ゲート電極
115 N型エピタキシャル層
120 受光部表面P型領域
121 側壁絶縁膜
122 N型ソースドレイン領域
123 P型ソースドレイン領域
124 P型高濃度不純物領域
200 半導体基板表面
Claims (6)
- N型半導体基板の上に複数の画素が形成された画素領域と画素領域の周辺回路が形成された周辺回路領域とを備えたMOS型固体撮像装置であって、
前記画素領域及び前記周辺回路領域において、前記N型半導体基板の上に形成されたN型エピタキシャル層と、
前記画素領域において、
前記N型エピタキシャル層の上に形成された第1のP型ウェルと、
前記第1のP型ウェルの内部に形成され、フォトダイオードを構成する受光領域とを備え、
前記周辺回路領域において、
前記周辺回路領域の表面から所望の深さまで形成され、NチャンネルMOSトランジスタを構成する第2のP型ウェルと、
前記周辺回路領域の表面から所望の深さまで形成され、PチャンネルMOSトランジスタを構成するN型ウェルと、
前記N型エピタキシャル層から前記N型ウェルをさえぎる形状に形成された、前記第1のP型ウェルよりも不純物濃度が高い第3のP型ウェルとを備えることを特徴とする、MOS型固体撮像装置。 - 前記第1のP型ウェルは、前記画素領域の表面から深部に向かうにつれて不純物濃度が高くなるレトログレードウェルであって、前記受光領域の周囲に生ずる空乏層よりも深い位置に不純物濃度の極大を有することを特徴とする、請求項1に記載のMOS型固体撮像装置。
- 前記PチャンネルMOSトランジスタは、外部電源電圧よりも昇圧された電圧で駆動することを特徴とする、請求項1又は2に記載のMOS型固体撮像装置。
- 前記第3のP型ウェルの不純物濃度が、1017個/cm3 以上であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のMOS型固体撮像装置。
- N型半導体基板の上に複数の画素が形成された画素領域と画素領域の周辺回路が形成された周辺回路領域とを備えたMOS型固体撮像装置の製造方法であって、
前記画素領域及び前記周辺回路領域において、
前記N型半導体基板の上にN型エピタキシャル層を形成するステップと、
前記画素領域及び前記周辺回路領域の表面から受光領域の周囲に生ずる空乏層よりも深い位置まで第1のP型ウェルを形成するステップと、
前記画素領域において、前記第1のP型ウェルの内部に前記受光領域を形成するステップと、
前記周辺回路領域において、前記第1のP型ウェルの内部に、NチャンネルMOSトランジスタを構成する第2のP型ウェルとPチャンネルMOSトランジスタを構成するN型ウェルとを形成するステップと、
前記N型ウェルの下の領域に、前記第1のP型ウェルよりも不純物濃度が高い第3のP型ウェルを、前記N型エピタキシャル層から前記N型ウェルをさえぎる形状に形成するステップとを備えることを特徴とする、MOS型固体撮像装置の製造方法。 - N型半導体基板の上に複数の画素が形成された画素領域と画素領域の周辺回路が形成された周辺回路領域とを備えたMOS型固体撮像装置の製造方法であって、
前記画素領域及び前記周辺回路領域において、
前記N型半導体基板の上にN型エピタキシャル層を形成するステップと、
前記画素領域及び前記周辺回路領域の表面から受光領域の周囲に生ずる空乏層よりも深い位置にまで第1のP型ウェルを形成するステップと、
前記画素領域において、前記第1のP型ウェルの内部に前記受光領域を形成するステップと、
前記周辺回路領域において、前記第1のP型ウェルの内部に、前記第1のP型ウェルよりも不純物濃度が高い、NチャンネルMOSトランジスタを構成する第2のP型ウェルを形成するステップと、
前記第2のP型ウェルの内部に、PチャンネルMOSトランジスタを構成するN型ウェルを形成するステップとを備えることを特徴とする、MOS型固体撮像装置の製造方法。
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