JP4858801B2 - マイクロ波表面波酸素プラズマを利用した薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
図5は、RF成膜装置の簡略図である。
図示するように、このRF成膜装置は、チャンバ11内に設けられているコイルアンテナ12を13.56MHz程度の高周波電力源RFによって給電することにより、このコイルアンテナ12よりプラズマ13を発生させる構成となっている。
この蒸発源14は、Zn材を導電性容器に内装させた形態のもので、導電性容器に電流を流すことで、この容器を抵抗加熱させ、内部のZn材を蒸発させる。
なお、このガラス基板17は、チャンバ11の上方部に備えられた基板加熱装置18によって均一加熱される。
先ず、ガラス基板17を加熱するための基板加熱装置18が必要なる。
また、プラズマ密度が低いためZnO化合物の堆積に時間がかかる他に、プラズマ温度が高いので基板に熱ダメ−ジを与えることがあり、均一な膜形成ができず透明膜性能の向上が難しい。
この結果、加熱装置による基板への熱ダメ−ジが防止でき、また、装置コストの低減が図れる。
また、マイクロ波を利用した酸素プラズマは、電子密度が高く、プラズマ温度の低い表面波プラズマとして発生させることができるので、プラズマ領域が広く、広い面積の基板についても薄膜形成することが可能になると共に、膜性能も向上させることができる。
これにより、ZnO化合物が基板に堆積するから、透明な薄膜が基板に形成される。
すなわち、成膜材や成膜材の酸化物がマイクロ波窓(石英ガラスなど)に付着することを防止する構成となっている。
図1は、本発明の第1実施形態として示した薄膜形成装置の簡略図である。
この薄膜形成装置は、チャンバ21の一側部にマイクロ波窓22を設け、このマイクロ波窓22からマイクロ波電力Pをチャンバ21内に供給する。
なお、金属のZnは酸化すると透明度と電気抵抗が上がる。
この特性図において、横軸は試料としてのZnO膜に照射するX線の角度、縦軸は回折線のピ−クの強度を表わす。
この薄膜形成装置は、Zn材の蒸発源26の他に、Ga材の蒸発源33を備えている。
Ga材の蒸発源33はGa材を内装させた導電性容器となっており、Zn材の蒸発源26と同様に電流を流すことによって抵抗加熱させてGa材を蒸発させる構成となっている。
なお、Zn粉末とGa粉末とを混ぜ合せて一つの導電性容器に内装させた蒸発源として構成することもできる。
この第3実施形態では、ガラス基板をチャンバに順次送り込み、各々のガラス基板に連続的に薄膜形成する構成となっている。
本実施形態の薄膜形成装置は、チャンバ41の搬入口41a側に前予備室42を備え、チャンバ41の搬出口41b側に後予備室43を備えている。
さらに、ガラス基板48は転送ロ−ラ49によってチャンバ41内に送り込むが、転送ロ−ラ49を正転、逆転させてガラス基板48を少ない距離で往復動させながら、ZnOの膜を形成する。
なお、チャンバ41には、減圧するための真空ポンプ50とO2ガスを供給するガスパイプ51が設けてある。
続いて、シャッタ52bが開き、ガラス基板48が図示実線で示す如く、前予備室42からチャンバ41内に搬入され、ZnO膜の成膜動作が行なわれる。
この後予備室43は成膜形成したガラス基板48をチャンバ41から搬出させるときに、真空ポンプ56によって減圧し、その後、シャッタ55aを開き、ガラス基板48を後予備室43内に送り込む。この送り込みは転送ロ−ラ49、57で行なわれる。
22 マイクロ波窓
23 真空ポンプ
24 O2ボンベ
25 酸素プラズマ
26 Zn材の蒸発源
28 ガラス基板
Claims (3)
- 減圧室にマイクロ波電力と酸素ガスとを供給してマイクロ波表面波酸素プラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記減圧室内に設けて成膜材を蒸発させる蒸発手段と、
前記減圧室内に設け、前記マイクロ波表面波酸素プラズマによって加熱する基板とを備え、
蒸発してマイクロ波表面波酸素プラズマに晒されて酸化される成膜材の化合物を基板に堆積させ薄膜を形成することを特徴とするマイクロ波表面波酸素プラズマを利用した薄膜形成装置。 - 請求項1に記載した薄膜形成装置において、
Zn材の蒸発手段を設け、基板面にZnO化合物の透明薄膜を形成することを特徴とするマイクロ波表面波酸素プラズマを利用した薄膜形成装置。 - 請求項1に記載した薄膜形成装置において、
前記プラズマ発生手段は、マイクロ波電力を供給するマイクロ波窓を減圧室の底部側に設け、上記蒸発手段をそのマイクロ波窓と同じ高さとなる減圧室内の底部側又はマイクロ波窓より高い位置となる減圧室の内側位置に設置したことを特徴とするマイクロ波表面波酸素プラズマを利用した薄膜形成装置。
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