JP2009191313A - 原子層成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原料ガスおよび酸化ガスが供給される成膜容器と、この成膜容器内でプラズマを生成するための、棒状の複数のアンテナ本体が平行に配設されたアンテナアレイと、基板が載置される基板ステージとを備えている。アンテナアレイは、成膜容器の上壁と基板ステージとの間に、基板ステージと平行に配設されている。複数のアンテナ本体は、成膜容器側の面が基板ステージの面と平行に形成された誘電体からなる収納部材内に収納され、一体型に構成されている。
【選択図】図1
Description
原料ガスおよび酸化ガスが供給される成膜容器と、この成膜容器内でプラズマを生成するための、棒状の複数のアンテナ本体が平行に配設されたアンテナアレイと、前記基板が載置される基板ステージとを備え、
前記アンテナアレイは、前記成膜容器の上壁と前記基板ステージとの間に、前記基板ステージと平行に配設され、前記複数のアンテナ本体は、前記成膜容器側の面が前記基板ステージの面と平行に形成された誘電体からなる収納部材内に収納され、一体型に構成されていることを特徴とする原子層成長装置を提供するものである。
原料ガスおよび窒化ガスが供給される成膜容器と、この成膜容器内でプラズマを生成するための、棒状の複数のアンテナ本体が平行に配設されたアンテナアレイと、前記基板が載置される基板ステージとを備え、
前記アンテナアレイは、前記成膜容器の上壁と前記基板ステージとの間に、前記基板ステージと平行に配設され、前記複数のアンテナ本体は、前記成膜容器側の面が前記基板ステージの面と平行に形成された誘電体からなる収納部材内に収納され、一体型に構成されていることを特徴とする原子層成長装置を提供する。
以下の説明は、縦370mm×横470mm角の基板42表面にSiO2膜を形成した場合の一例である。
以上、本発明の原子層成長装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
12 成膜容器
14 ガス供給部
16,17 排気部
18a,18b 供給管
20a、20b 供給孔
22,23 排気管
24,25 排気孔
26 アンテナ素子
28 アンテナアレイ
30 ヒータ
32 基板ステージ
34 高周波電力供給部
36 分配器
38 インピーダンス整合器
39 アンテナ本体
40 円筒部材
41 収納部材
42 成膜対象基板(基板)
44 昇降機構
46 ヒータストッパ
48 成膜室
50 真空室
51 隙間
52 支持部材
Claims (5)
- 酸化ガスを用いてプラズマを生成することにより、基板上に酸化膜を生成する原子層成長装置であって、
原料ガスおよび酸化ガスが供給される成膜容器と、この成膜容器内でプラズマを生成するための、棒状の複数のアンテナ本体が平行に配設されたアンテナアレイと、前記基板が載置される基板ステージとを備え、
前記アンテナアレイは、前記成膜容器の上壁と前記基板ステージとの間に、前記基板ステージと平行に配設され、前記複数のアンテナ本体は、前記成膜容器側の面が前記基板ステージの面と平行に形成された誘電体からなる収納部材内に収納され、一体型に構成されていることを特徴とする原子層成長装置。 - 窒化ガスを用いてプラズマを生成することにより、基板上に窒化膜を生成する原子層成長装置であって、
原料ガスおよび窒化ガスが供給される成膜容器と、この成膜容器内でプラズマを生成するための、棒状の複数のアンテナ本体が平行に配設されたアンテナアレイと、前記基板が載置される基板ステージとを備え、
前記アンテナアレイは、前記成膜容器の上壁と前記基板ステージとの間に、前記基板ステージと平行に配設され、前記複数のアンテナ本体は、前記成膜容器側の面が前記基板ステージの面と平行に形成された誘電体からなる収納部材内に収納され、一体型に構成されていることを特徴とする原子層成長装置。 - 前記収納部材は、前記成膜容器の上壁および側壁からシース厚以下の空間を空けて、前記成膜容器の壁面に当接しないように配設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の原子層成長装置。
- 前記アンテナ本体は、熱膨張率が前記収納部材と略等しい材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の原子層成長装置。
- 前記収納部材の材料は石英であり、前記アンテナ本体の材料は、インバー合金、スーパーインバ、ステンレスインバのうちの1つであることを特徴とする請求項4に記載の原子層成長装置。
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