JP4575998B2 - 薄膜形成装置および薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
例えば、下記特許文献1には、真空引きされた処理容器内で、遷移金属を含む遷移金属含有原料ガスと酸素含有ガスとにより被処理体の表面に、熱処理により薄膜を形成する。この薄膜の形成に用いる熱処理は、原料ガスと酸素含有ガスとを交互に繰り返し供給して成膜を行うALD法を用いる。これにより、例えばMn含有膜やCuMn含有合金膜等を、CVD等の熱処理によって形成する際に、微細な凹部でも、高いステップカバレッジで埋め込むことが可能となる、と記載されている。
すなわち、薄膜形成装置は、
第1の内部空間を形成する外側真空容器と、
前記外側真空容器の前記第1の内部空間に設けられ、第2の内部空間を形成する内側真空容器と、
前記第1の内部空間に設けられ、高周波電力の供給を受けてプラズマを発生させるプラズマ発生源と、
前記プラズマ発生源と対向するように前記第1の内部空間に設けられ、前記内側真空容器とともとに前記第2の内部空間を囲み、前記第2の内部空間内に基板を載置させる基板ステージと、を有し、
前記第2の内部空間には、前記基板ステージに載置される基板が配置され、
前記第2の内部空間にプラズマが発生し、前記第1の内部空間にプラズマが発生しないように、前記第1の内部空間及び前記第2の内部空間のそれぞれの空間の圧力と、前記プラズマ発生源に供給する電力とが制御されている。さらに、前記内側真空容器は、前記基板ステージに載置されて着脱自在に構成されている。
すなわち、薄膜形成方法は、
第1の内部空間、および、前記第1の内部空間内に設けられた第2の内部空間の圧力をそれぞれ定めた圧力条件に従って制御するステップと、
前記第2の内部空間内の基板上に、原料ガスを流すとともに、前記第1の内部空間に設けられたプラズマ発生源に、前記圧力条件に応じた高周波電力を与えることで、前記第2の内部空間にプラズマを発生させて、基板に薄膜を形成するステップと、を有する。その際、前記第2の内部空間は、基板を載置した基板ステージに着脱自在に載置された真空容器により前記第1の内部空間から隔離されている。
図1は、本発明の薄膜形成装置の一実施例であるALD装置の構成を表す概略図である。図2は、図1に示すALD装置におけるアンテナアレイと給電ユニットを説明する図である。
図1に示すALD装置10は、2種類の成膜ガス(原料ガスおよび酸化ガス)を成膜対象の基板24上に交互に供給する。この2種類のガスは、ALD法を適用して形成しようとする膜を構成する元素を主成分とするガスである。その時、反応活性を高めるためにプラズマを生成して基板上に原子層単位で原料ガスの酸化膜を形成する。上記処理を1サイクルとして、処理を複数サイクル繰り返すことにより所望厚さの膜を形成する。なお、酸化ガスの替わりに窒化ガスを用いることもできる。
成膜容器14は、第1の内部空間26を形成する。この第1の内部空間26には、複数のアンテナ素子28からなるアンテナアレイ30と、基板ステージ32が設けられている。第1の内部空間26の、基板ステージ32上にはベルジャ(内側真空容器)34が設けられて固定されている。基板ステージ32とベルジャ34とで囲まれて、第1の内部空間26と隔たった第2の内部空間36が形成されている。ベルジャ34には、基板ステージ32から着脱可能な、図示されない機構が設けられている。
分配器15は、高周波信号生成器13で生成された高周波信号を複数の高周波信号に分割して、各アンテナ素子28に供給する。分配器15から各アンテナ素子28にいたる給電線の長さは同じである。
給電ユニット12は、第1の内部空間26および第2の内部空間36に設定された圧力(圧力条件)に応じた電力をアンテナアレイ30の各アンテナ素子28に給電する。
また、アンテナ素子28のそれぞれは、基板ステージ32の基板載置面と平行な方向に配置される。さらに、複数のアンテナ素子28の配列方向は基板ステージ32の基板載置面と平行な方向である。
アンテナ素子28は、例えば直径約6mmのアンテナ本体を、直径約12mmの誘電体の円筒部材中に設けて構成されている。第2の内部空間36内の圧力が20Pa程度の場合、給電ユニット12から約1600Wの高周波信号を供給すると、アンテナ素子28のアンテナ長が高周波信号の波長の(2n+1)/4倍(nは0または正の整数)に等しい条件で高周波信号の定在波が生じてアンテナ素子28は共振状態となる。これにより、アンテナ素子28の周囲に電磁波が放射されプラズマが生成される。
基板ステージ32が上昇すると、ヒータストッパ60下面と基板ステージ32縁部上面の段差部とが当接して、基板ステージ32上面の高さが、ヒータストッパ46上面の高さと略同一(面一)となるように位置決めされる。このとき、成膜容器14の第1の内部空間26は、基板ステージ32よりも上側の空間と、基板ステージ32の下側の空間とに分離される。
このため、図中P2の範囲で定まる供給電力より高く、P1の範囲で定まる供給電力より低い電力をアンテナアレイ30の各アンテナ素子28に供給することにより、第1の内部空間26では、プラズマを発生させず、第2の内部空間36ではプラズマを発生させることができる。すなわち、アンテナアレイ30に供給する高周波電力は、第1の内部空間26の圧力でプラズマが発生する最小電力より低く、第2の内部空間36の圧力でプラズマが発生する最小電力より高い。勿論、第1の内部空間26では、図中P2の範囲より高い圧力が設定されて、圧力が制御されてもよい。
また、第2の内部空間をつくる内側真空容器は、基板ステージに対して着脱自在に構成されているので、内側真空容器のクリーニングが容易にできメンテナンスが高い。
12 給電ユニット
13 高周波信号生成器
14 成膜容器
14a 上方部
14b 下方部
15 分配器
16,18 ガス供給部
20,21,22 排気部
24 基板
26 第1の内部空間
28 アンテナ素子
30 アレイアンテナ
32 基板ステージ
34 ベルジャ
36 第2の内部空間
38,40 供給管
41,44,48 排気管
42,46 排気孔
50 ヒータ
52 インピーダンス整合器
54 モノポールアンテナ
56 円筒部材
58 昇降機構
60 ヒータストッパ
62 隙間
Claims (11)
- プラズマを用いて基板に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
第1の内部空間を形成する外側真空容器と、
前記外側真空容器の前記第1の内部空間に設けられ、第2の内部空間を形成する内側真空容器と、
前記第1の内部空間に設けられ、高周波電力の供給を受けてプラズマを発生させるプラズマ発生源と、
前記プラズマ発生源と対向するように前記第1の内部空間に設けられ、前記内側真空容器とともとに前記第2の内部空間を囲み、前記第2の内部空間内に基板を載置させる基板ステージと、を有し、
前記第2の内部空間には、前記基板ステージに載置される基板が配置され、
前記第2の内部空間にプラズマが発生し、前記第1の内部空間にプラズマが発生しないように、前記第1の内部空間及び前記第2の内部空間のそれぞれの空間の圧力と、前記プラズマ発生源に供給する電力とが制御され、
前記内側真空容器は、前記基板ステージに載置されて着脱自在に構成されている、ことを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記第2の内部空間の圧力と前記第1の内部空間の圧力は圧力差を有するように制御される、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記第1の内部空間には第1の真空ポンプが接続され、前記第2の内部空間には第2の真空ポンプが接続され、
前記第1の内部空間の圧力が、1×10-3〜1×10-2Paもしくは1200〜3000Paに、前記第2の内部空間の圧力が、20〜100Paになるように、前記第1の真空ポンプと前記第2の真空ポンプにより圧力が制御されている、請求項2に記載の薄膜形成装置。 - 前記プラズマ発生源に供給する前記電力は、前記第1の内部空間の圧力でプラズマが発生する最小電力より低く、前記第2の内部空間の圧力でプラズマが発生する最小電力より高くなるように制御する、請求項3に記載の薄膜形成装置。
- 前記プラズマ発生源が、電磁波結合型あるいは誘導結合型の発生源であり、前記内側真空容器は石英で構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記第2の内部空間内に位置する前記基板ステージの面上には、原料ガスの供給口および排気口が設けられている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記外側真空容器内には、上方から、前記プラズマ発生源を構成するプラズマ発生素子、前記内側真空容器、前記基板ステージが順に配置され、
前記外側真空容器は、前記プラズマ発生素子と、前記内側真空容器および前記基板ステージと、が分離されるように、2つの部位に分離される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。 - プラズマを用いて基板に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
第1の内部空間、および前記第1の内部空間内に設けられた第2の内部空間の圧力をそれぞれ定めた圧力条件に従って制御するステップと、
前記第2の内部空間内の基板上に、原料ガスを流すとともに、前記第1の内部空間に設けられたプラズマ発生源に、前記圧力条件に応じた高周波電力を与えることで、前記第2の内部空間にプラズマを発生させて、基板に薄膜を形成するステップと、を有し、
前記第2の内部空間は、基板を載置した基板ステージに着脱自在に載置された真空容器により前記第1の内部空間から隔離されている、ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 前記圧力条件は、前記第2の内部空間の圧力と前記第1の内部空間の圧力とが圧力差を有するように制御される条件である、請求項8に記載の薄膜形成方法。
- 前記第1の内部空間の圧力が、1×10-3〜1×10-2Paもしくは1200〜3000Paに、前記第2の内部空間の圧力が、20〜100Paに制御される、請求項9に記載の薄膜形成方法。
- 前記プラズマ発生源に供給する前記高周波電力は、前記第1の内部空間の圧力でプラズマが発生する最小電力より低く、前記第2の内部空間の圧力でプラズマが発生する最小電力より高い、請求項8に記載の薄膜形成方法。
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