JP2006005147A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】AlNなどの絶縁性セラミックスからなるサセプタ本体22Aには電極22Bおよびヒータ23が埋設されている。電極22Bには高周波源22Cより13.56MHzの高周波パワーが供給され、被処理基板に基板バイアスを形成する。本体22Aは平坦な表面を有し、さらに本体22A上には、石英ガラスカバー22aが装着されている。石英ガラスカバー22aは薄い外側領域22a1と外側領域22a1に囲まれ被処理基板を保持する厚い内側領域22a2とよりなり、内側領域22a1と外側領域22a2との間には3〜10mmの段差dが形成されている。
【選択図】図4
Description
請求項1に記載したように、
排気装置により排気され、プロセス空間を画成する処理容器と、
前記プロセス空間に処理ガスを供給する処理ガス供給機構と、
前記プロセス空間内にプラズマを生成させるプラズマ源と、
前記プロセス空間内に被処理基板を保持するように配設されたサセプタと、
前記サセプタ中に埋設された電極と、
前記電極に高周波電力を供給する高周波源と
を備えた基板処理装置であって、
前記サセプタ上には、前記被処理基板Wを保持する絶縁カバーが、前記サセプタ表面を覆うように形成されており、
前記絶縁カバーは、前記被処理基板が載置される第1の領域と、前記第1の領域を囲む第2の領域とよりなり、
前記第1の領域は、前記第2の領域よりも大きな厚みを有することを特徴とする基板処理装置により、または
請求項2に記載したように、
前記第2の領域は、前記高周波源より前記サセプタに高周波電力を供給した場合、前記第2の領域上に膜が形成されないような厚さに形成されていることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置により、または
請求項3に記載したように、
前記絶縁カバーは、石英ガラスよりなることを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置により、または
請求項4に記載したように、
前記第2の領域は3〜10mm以下の厚さを有することを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項5に記載したように、
前記サセプタ表面はAlNよりなることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項6に記載したように、
前記サセプタは平坦な表面を有し、前記絶縁カバーは前記第1の領域が上方に突出していることを特徴とする請求項1〜5のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項7に記載したように、
前記高周波源は、前記電極に高周波パワーを、前記絶縁カバー表面において、前記絶縁カバー表面に堆積する膜にスパッタエッチングが生じるような条件で供給することを特徴とする請求項1〜6のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項8に記載したように、
前記高周波源は、前記高周波パワーを、前記被処理基板表面に膜の堆積が生じるような条件で供給することを特徴とする請求項7記載の基板処理装置により、または
請求項9に記載したように、
前記処理ガスは、前記被処理基板表面に膜の堆積を生じるようなガスであることを特徴とする請求項1〜8のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項10に記載したように、
前記処理ガスは、前記被処理基板表面に金属膜の堆積を生じるようなガスであることを特徴とする請求項1〜9のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項11に記載したように、
前記さらに前記処理ガス供給機構と前記排気装置とを交互に作動させる制御系を備えたことを特徴とする請求項9または10記載の基板処理装置により、または
請求項12に記載したように、
前記処理ガスは、前記被処理基板表面をエッチングするようなガスであることを特徴とする請求項1〜8のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項13に記載したように、
前記プラズマ源は、前記サセプタ上の被処理基板に対向するように配設された電極を含むことを特徴とする請求項1〜12のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、または
請求項14に記載したように、
前記プラズマ源は、前記処理容器外部に巻回されたコイルを含むことを説く請求項1〜12のうち、いずれか一項記載の基板処理装置により、解決する。
図4は、本発明の原理を示す。ただし図4は、本発明によるサセプタ22の構成を示す。
[第1実施例]
図7は、本発明の第1実施例によるプラズマCVD装置20の構成を示す。
[第2実施例]
図9は、本発明の第2実施例によるプラズマエッチング装置60の構成を示す。
[第3実施例]
図10は、本発明の第3実施例による基板処理装置の構成を示す。ただし図10中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
21,91,101 処理容器
21A,101A プロセス空間
21a,101a 処理容器上部
22a 絶縁カバー
22a1 周辺領域
22a2 内側領域
22 サセプタ
22A サセプタ本体
22B 電極
22C 高周波電源
22D 整合器
23 ヒータ
24 ヒータ電源
25,105 絶縁体
26,27,28,29,30,31、106,107,108,109,110,111 ガス通路
32,33,34,112,113,114 ガス源
35,115 バルブ
36,116 MFC
37,117 整合器
38,118 高周波源
39,119 排気管
40,130 シャワーヘッド
41,121 マッチャー
50,120 排気装置
51 制御装置
92 高周波コイル
Claims (14)
- 排気装置により排気され、プロセス空間を画成する処理容器と、
前記プロセス空間に処理ガスを供給する処理ガス供給機構と、
前記プロセス空間内にプラズマを生成させるプラズマ源と、
前記プロセス空間内に被処理基板を保持するように配設されたサセプタと、
前記サセプタ中に埋設された電極と、
前記電極に高周波電力を供給する高周波源と
を備えた基板処理装置であって、
前記サセプタ上には、前記被処理基板Wを保持する絶縁カバーが、前記サセプタ表面を覆うように形成されており、
前記絶縁カバーは、前記被処理基板が載置される第1の領域と、前記第1の領域を囲む第2の領域とよりなり、
前記第1の領域は、前記第2の領域よりも大きな厚みを有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記第2の領域は、前記高周波源より前記サセプタに高周波電力を供給した場合、前記第2の領域上に膜が形成されないような厚さに形成されていることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記絶縁カバーは、石英ガラスよりなることを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記第2の領域は3〜10mm以下の厚さを有することを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記サセプタ表面はAlNよりなることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記サセプタは平坦な表面を有し、前記絶縁カバーは前記第1の領域が上方に突出していることを特徴とする請求項1〜5のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記高周波源は、前記電極に高周波パワーを、前記絶縁カバー表面において、前記絶縁カバー表面に堆積する膜にスパッタエッチングが生じるような条件で供給することを特徴とする請求項1〜6のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記高周波源は、前記高周波パワーを、前記被処理基板表面に膜の堆積が生じるような条件で供給することを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 前記処理ガスは、前記被処理基板表面に膜の堆積を生じるようなガスであることを特徴とする請求項1〜8のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記処理ガスは、前記被処理基板表面に金属膜の堆積を生じるようなガスであることを特徴とする請求項1〜9のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記さらに前記処理ガス供給機構と前記排気装置とを交互に作動させる制御系を備えたことを特徴とする請求項9または10記載の基板処理装置。
- 前記処理ガスは、前記被処理基板表面をエッチングするようなガスであることを特徴とする請求項1〜8のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記プラズマ源は、前記サセプタ上の被処理基板に対向するように配設された電極を含むことを特徴とする請求項1〜12のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記プラズマ源は、前記処理容器外部に巻回されたコイルを含むことを説く請求項1〜12のうち、いずれか一項記載の基板処理装置。
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