JP4854216B2 - 撮像装置および撮像システム - Google Patents
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Description
分離特性が充分なものとなる様に設計した場合には、横方向にポテンシャル障壁領域が広がってしまうために、画素領域の光電変換部やトランジスタの特性に影響がでることも考えられる。
図1は、本発明の好適な実施形態の撮像装置(MOS型撮像装置)における1つの画素の等価回路図である。なお、撮像装置を構成する画素は、図1に示す例に限定されるものではなく種々の構成を有しうる。
図2は、本発明の第1実施形態の撮像装置における撮像領域の一部を示す断面図である。図2には、2画素分のフォトダイオード100と転送トランジスタ101が示されている。画素10を構成するリセットトランジスタ102、増幅トランジスタ103、選択トランジスタ104は、図2において手前側又は奥側に配置されうる。ここでは、2つの画素10を第1画素12、第2画素14として説明する。
図8は、本発明の第2実施形態の撮像装置の撮像領域の一部を示す断面図である。図8には、2画素分のフォトダイオード100と転送トランジスタ101が示されている。画素10を構成するリセットトランジスタ102、増幅トランジスタ103、選択トランジスタ104は、図8において手前側又は奥側に配置されうる。ここでは、2つの画素10を第1画素12、第2画素14として説明する。
図12は、本発明の第3実施形態の撮像装置の撮像領域の一部を示す断面図である。図12には、2画素分のフォトダイオード100と転送トランジスタ101が示されている。画素10を構成するリセットトランジスタ102、増幅トランジスタ103、選択トランジスタ104は、図12において手前側又は奥側に配置されうる。ここでは、2つの画素10を第1画素12、第2画素14として説明する。
0.25≦t≦0.35、1.0×1013≦D≦1.0×1014
(2)p型分離領域(510a)
1.0≦t≦1.4、1.0×1011≦D≦1.0×1012
(3)p型分離領域(510b)
1.2≦t≦1.7、1.0×1011≦D≦1.0×1012
(4)p型分離領域(510c)
1.6≦t≦2.0、1.0×1012≦D≦5.0×1012
(5)p型分離領域(510d)
1.8≦t≦2.5、1.0×1012≦D≦1.0×1013
(6)高濃度の埋め込みp型半導体領域(509)
2.5≦t≦4.0、1.0×1013≦D≦1.0×1014
p型分離領域510a、510b、510c、510dの不純物濃度のピーク値は、上記の範囲内において、510b<510a<510c<510dの関係を満たすことが好ましい。このような不純物分布によれば、基板501側への信号電荷(電子)の流出を低減することができる。また、p型分離領域510a、510b、510c、510dのうち高濃度の埋め込みp型半導体領域509に接するp型分離領域510dの不純物濃度を最も高くすることによって、p型半導体領域509の濃度ピーク付近で発生した電子がp型半導体領域509の電位勾配をつたって隣接画素への漏れ込むことが、分離領域510dが形成するポテンシャル障壁によって抑制される。
図16は、第1〜第3実施形態に代表される本発明に係る撮像装置が組み込まれた撮像システム(例えば、デジタルカメラ)の構成例を示す図である。撮影レンズ(光学系)1002の手前等の適所に、露出(露光時間)を制御するためのシャッター1001が配置されている。露出は、絞り1003によっても制御されうる。撮影レンズ1002は、本発明が適用された撮像装置1004の撮像面に被写体像を形成する。撮像装置1004から出力された信号は、信号処理回路1005で処理され、A/D変換器1006によりアナログ信号からデジタル信号に変換される。デジタル信号は、信号処理部1007で演算処理され、メモリ部1010に記録されたり、外部I/F1013を通して外部の機器に送られたりする。撮像装置1004、撮像信号処理回路1005、A/D変換器1006、信号処理部1007は、タイミング発生部1008により制御される。システム全体は、全体制御部・演算部1009により制御される。信号処理部1007で処理されたデジタル信号(デジタル画像)は、記録媒体制御I/F部1011によって記録媒体1012に記録される。
Claims (7)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成された信号電荷と同導電型である第1導電型の第1の半導体領域、及び、前記第1の半導体領域よりも前記半導体基板の深部に形成された第2導電型の第2の半導体領域を含んで構成された光電変換部と、
前記光電変換部で生成された電荷が転送される転送領域と、
前記光電変換部及び前記転送領域を含む領域を取り囲む素子分離領域と、
前記第2の半導体領域を貫通し又は前記第2の半導体領域と接触するように前記素子分離領域の下方に配置されて、前記第2の半導体領域と共に、前記領域の少なくとも一部を取り囲む第2導電型のポテンシャル障壁領域と、を備え、
前記第1の半導体領域が前記転送領域の下に広がっており、
前記ポテンシャル障壁領域が、重ねて配置された複数の障壁領域で構成され、深い位置に形成される障壁領域ほど第2導電型の不純物濃度が高い、
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記素子分離領域の下にチャネルストップ領域が配置され、
前記ポテンシャル障壁領域が前記チャネルストップ領域と前記第2の半導体領域との間を前記複数の障壁領域で連結するように配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記ポテンシャル障壁領域が前記第2の半導体領域を貫通していることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。
- 半導体基板に形成された第1及び第2画素を有する撮像装置であって、
前記第1及び第2画素は、各々、信号電荷と同導電型である第1導電型の第1の半導体領域、及び、前記第1の半導体領域よりも前記半導体基板の深部に形成された第2導電型の第2の半導体領域を含んで構成された光電変換部と、前記光電変換部で生成された電荷が転送される転送領域とを含み、
前記撮像装置は、
前記第1画素の転送領域と前記第2画素の光電変換部との間に配置された素子分離領域と、
前記第2の半導体領域を貫通し又は前記第2の半導体領域と接触するように前記素子分離領域の下方に配置されたポテンシャル障壁領域と、を有し、
前記第1の半導体領域が前記転送領域の下に広がっており、
前記ポテンシャル障壁領域が、重ねて配置された複数の障壁領域で構成され、深い位置に形成される障壁領域ほど第2導電型の不純物濃度が高い、
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記第2の半導体領域が前記第1の半導体領域の下に配置され、
前記素子分離領域の下にチャネルストップ領域が配置され、
前記ポテンシャル障壁領域が前記チャネルストップ領域と前記第2の半導体領域との間を前記複数の障壁領域で連結するように配置されている、
ことを特徴とする請求項4に記載の撮像装置。 - 前記ポテンシャル障壁領域が前記第2の半導体領域を貫通していることを特徴とする請求項5に記載の撮像装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置の撮像面に像を形成する光学系と、
前記撮像装置から出力される信号を処理する信号処理回路と、
を備えることを特徴とする撮像システム。
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