JP4852236B2 - バンプ付きメンブレンおよびその製造方法およびウエハの検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について、8インチウエハに形成された電気回路の動作を検査する際に用いられるプローブカードの電気コンタクト端子としてのバンプ付きメンブレン及びその製造方法を、図面を参照しながら説明する。
同図に示すように、バンプ付きメンブレンは、直径300mmの円板状の絶縁基体12
と、基端から先端方向に徐々に径が小さくなるプローブとしての凸型導電部31と前記凸型導電部31の基端と一体に接続され凸型導電部31の基端より径大の径大電極としての四角形電極30とからなるバンプ32と、四角形電極30と同形状で相互に導通しない金属膜層としての金属膜11とを備えている。
図3は、バンプ付きメンブレンの製造工程を模式的に順を追って示した層状シートの一部断面図である。
層状シート10は、直径300mmの円板状であり、厚み2μmの銅薄膜からなる金属膜11、厚み25μmのポリイミド樹脂からなる絶縁基体12、型体層としての厚み30μmのレジストからなる型体13、厚み5μmの銅薄膜からなる封口層14を備え、さらに取り扱いを簡便化するために厚み300μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)樹脂からなるハンドリング層15を最外層部に備えている(図3−a)。
プログラムに入力しておくが、最終位置決めは、露光にて形成した四角形の開口部21をCCDカメラにて形状認識し、その中心位置を補正して決定する。この露光により形成した開口部21の位置精度が高く再現性も優れているため、この開口部21に基づき孔開け加工の位置を補正することにより、位置精度±10μm以下の高価かつ頻繁な位置補正が必要なレーザステージが不要となる。さらに、高精度なレーザステージに必要な高精度を維持するための恒温・恒湿の作業室も不要となる。従って本実施形態を採用することで、安価に高精度な位置精度を確保することが可能となる。
ここで、孔加工による微細孔19の径を50μm以下としたいために、波長は355nmを用いた。これは、波長が短いほど集光スポットの径を小さくすることができるためであるが、50μm以下の径であれば、YAG第2高調波532nmを用いても同様の結果を得ることができる。ただし、550nmより大きい波長では、孔径を小さくすることが非常に困難となるため、好ましくない。
め、金属膜11の膜厚が1μmよりうすい場合、孔開け加工に用いるレーザの出力は60mW以上100mW以下の範囲が望ましい。
(1)厚さが1μm以上、5μm以下の金属膜11を貫通するレーザ条件は以下のようにすることが望ましい。
照射時間=0.01(秒/μm)×金属膜11の厚み(μm)±50%
(2)厚さが0.1μm以上、1μm未満の金属膜11を貫通するレーザ条件は以下のようにすることが望ましい。
照射時間=0.05(秒/μm)×金属膜11の厚み(μm)±50%
(3)合計の厚さが1μm以上500μm以下の絶縁基体12および型体13を貫通し、封口層は貫通せずにその表面を微細孔19の底面とする条件は以下のようにすることが好ましい。
次に、導電物質充填工程としてニッケルメッキにて、微細孔19および、開口部21に導電性物質であるニッケルを充填する(S105)(図3−c)。本実施形態では、微細孔19及び開口部21に導電性物質を充填し、さらに、四角形の開口部21の深さ20μmに対して20%程度オーバーするように充填を行った。このように開口部21の開口面から隆起するように充填することで、メッキ成長速度のバラツキが発生しても、微細孔19および四角形の開口部21にニッケルを完全に充填することができる。
本発明の第2実施形態について、図面を参照しながら説明する。
次に層状シート10の金属膜11側表面に樹脂パターン層20を形成する(S602)。ここで、当該樹脂パターン層20は、金属膜11をエッチングするためのマスキングとしての役割を担うものであり、四角形電極30を設ける位置にレジストを配置し、その他の部分は開口状態となっている。
を用いて電子回路とコンタクトしてもバンプ32全数が容易に通電状態とすることができることを確認した。
次に、本発明にかかる他の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
の導電体である等方性弾性導電体51を用いている。従って、異方性導電ゴムをもちいる場合に比べて寿命の観点から非常に良い効果がある。これは、等方性導電ゴム等の等方性弾性導電体は、経時変化による導電粒子配置変化による抵抗値の変化がないからである。
前記実施形態1〜3の方法で得られたバンプ付きメンブレンをそれぞれ備えたプローブカードを準備し、ウエハ上の電気回路に面接触し、複数の電気コンタクトを同時に行う電気特性検査を行った。この結果、被測定物である電気回路のコンタクト部を直径φ100μmとした場合においても、安定した電気コンタクトを実現することができた。
きた。
11 金属層
12 絶縁基体
13 型体
14 封口層
15 ハンドリング層
19 微細孔
20 樹脂パターン層
30 四角形電極
31 凸型導電部
32 バンプ
51 等方性弾性導電体
1000 プローブカード
1001 バンプ付きメンブレン
1002 配線回路基板
Claims (6)
- 一端から他端に向けて徐々に径が小さくなるプローブと前記プローブの前記一端の径より径が大きい径大電極とで形成された複数のバンプと、
前記複数のバンプをそれぞれ所定位置に保持する絶縁基体と、を備え、
前記絶縁基体を厚さ方向に貫通して前記プローブが配置され、前記径大電極と前記絶縁基体との間に金属膜が配置され、
前記バンプの径大電極表面に等方性弾性導電体が形成され、
前記等方性弾性導電体同士がそれぞれ非接触であること
を特徴とするバンプ付きメンブレン。 - 等方性弾性導電体は、圧縮率が10%以上でかつ50%以下であることを特徴とする請求項1記載のバンプ付きメンブレン。
- 金属膜層と絶縁基体層と型体層と封口層とがこの順に配置された層状体を準備する工程と、
前記金属膜層の前記絶縁基体層と反対側の面に、下記微細孔と連通かつ当該微細孔の径より大きな径の開口部を有する樹脂パターン層を形成する樹脂パターン層形成工程と、
前記金属膜層から前記型体層に向けて徐々に径が小さくなる微細孔を形成する微細孔形成工程と、
前記微細孔と前記開口部とに導電物質を充填してプローブと径大電極とを有するバンプを形成する導電物質充填工程と、
前記樹脂パターン層を除去する樹脂パターン層除去工程と、
前記バンプがそれぞれに絶縁状態となるように前記金属膜層の一部を除去する金属膜層除去工程と、
前記型体層及び前記封口層を前記絶縁基体層から除去する型体層除去工程と、
等方性弾性導電体同士が非接触になるように、前記バンプの径大電極表面に前記等方性弾性導電体を形成する弾性導電体形成工程と、を有すること
を特徴とするバンプ付きメンブレンの製造方法。 - 微細孔形成工程は、第1出力のレーザを照射することで金属膜層を貫通させた後に、前記第1出力よりも低出力の第2出力のレーザを照射することで型体層まで貫通させることであること
を特徴とする請求項3記載のバンプ付きメンブレンの製造方法。 - 前記導電物質充填工程は、金属メッキ法を用いて微細孔と開口部とに金属を成長させつつ充填することを特徴とする請求項3または4記載のバンプ付きメンブレンの製造方法。
- ウエハ上にある複数の半導体デバイスに対応する配線パターンを有する配線回路基板と、請求項1または2記載のバンプ付メンブレンとで構成されたプローブカードのプローブを、前記複数の半導体デバイスの電極に接触させることにより半導体デバイスの検査を行う
ことを特徴とするウエハの検査方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004296948A JP4852236B2 (ja) | 2004-10-08 | 2004-10-08 | バンプ付きメンブレンおよびその製造方法およびウエハの検査方法 |
US11/244,138 US7292056B2 (en) | 2004-10-08 | 2005-10-06 | Membrane with bumps, method of manufacturing the same, and method of testing electrical circuit |
KR1020050094362A KR100989482B1 (ko) | 2004-10-08 | 2005-10-07 | 범프를 갖는 멤브레인, 그 제조 방법 및 전기 회로 검사방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004296948A JP4852236B2 (ja) | 2004-10-08 | 2004-10-08 | バンプ付きメンブレンおよびその製造方法およびウエハの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006105933A JP2006105933A (ja) | 2006-04-20 |
JP4852236B2 true JP4852236B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=36144622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004296948A Expired - Fee Related JP4852236B2 (ja) | 2004-10-08 | 2004-10-08 | バンプ付きメンブレンおよびその製造方法およびウエハの検査方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7292056B2 (ja) |
JP (1) | JP4852236B2 (ja) |
KR (1) | KR100989482B1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6930256B1 (en) | 2002-05-01 | 2005-08-16 | Amkor Technology, Inc. | Integrated circuit substrate having laser-embedded conductive patterns and method therefor |
US9691635B1 (en) | 2002-05-01 | 2017-06-27 | Amkor Technology, Inc. | Buildup dielectric layer having metallization pattern semiconductor package fabrication method |
US7548430B1 (en) | 2002-05-01 | 2009-06-16 | Amkor Technology, Inc. | Buildup dielectric and metallization process and semiconductor package |
US10811277B2 (en) | 2004-03-23 | 2020-10-20 | Amkor Technology, Inc. | Encapsulated semiconductor package |
US11081370B2 (en) | 2004-03-23 | 2021-08-03 | Amkor Technology Singapore Holding Pte. Ltd. | Methods of manufacturing an encapsulated semiconductor device |
US8826531B1 (en) | 2005-04-05 | 2014-09-09 | Amkor Technology, Inc. | Method for making an integrated circuit substrate having laminated laser-embedded circuit layers |
KR100752672B1 (ko) * | 2006-09-06 | 2007-08-29 | 삼성전자주식회사 | 신뢰성 있는 범프 접속 구조를 갖는 인쇄 회로 기판 및 그제조방법, 및 이를 이용한 반도체 패키지 |
JP4612605B2 (ja) * | 2006-10-03 | 2011-01-12 | 株式会社みくに工業 | コンタクトプローブの製造方法 |
US7589398B1 (en) | 2006-10-04 | 2009-09-15 | Amkor Technology, Inc. | Embedded metal features structure |
US7752752B1 (en) * | 2007-01-09 | 2010-07-13 | Amkor Technology, Inc. | Method of fabricating an embedded circuit pattern |
US8872329B1 (en) | 2009-01-09 | 2014-10-28 | Amkor Technology, Inc. | Extended landing pad substrate package structure and method |
JP2011258591A (ja) | 2010-06-04 | 2011-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子の検査方法、半導体素子の検査装置、及び半導体素子 |
CN102289107A (zh) * | 2011-07-01 | 2011-12-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板预倾角的制作装置和方法 |
KR20130062720A (ko) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 삼성전기주식회사 | 기판 및 그 제조방법, 그리고 프로브 카드 |
JP5859834B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-02-16 | エルフィノート・テクノロジー株式会社 | プローブカード用のバンプ付きメンブレンシート、プローブカード及びプローブカード用のバンプ付きメンブレンシートの製造方法 |
KR101366033B1 (ko) * | 2012-07-06 | 2014-02-24 | (주) 루켄테크놀러지스 | 프로브 필름, 그를 포함하는 프로브 유닛 및 프로브 필름의 제조방법 |
US9310649B2 (en) * | 2014-08-19 | 2016-04-12 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Alignment method of alignment film |
CN104133323A (zh) * | 2014-08-19 | 2014-11-05 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 导向膜配向方法 |
NZ748822A (en) | 2016-06-14 | 2020-02-28 | Mkb Company Llc | Silt fence configured for capturing pollutants |
CN113533805B (zh) * | 2020-04-20 | 2024-01-23 | 台湾中华精测科技股份有限公司 | 分隔式薄膜探针卡及其弹性模块 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02224515A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Tdk Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP3098130B2 (ja) | 1993-02-01 | 2000-10-16 | 日東電工株式会社 | テストヘッド構造体およびこの使用方法 |
JPH07123490A (ja) * | 1993-10-27 | 1995-05-12 | Toto Ltd | 骨伝導マイクロホン |
JP2984205B2 (ja) | 1996-01-10 | 1999-11-29 | 日東電工株式会社 | 異方導電フィルム |
JPH10163805A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-19 | Kyocera Corp | ラダー型フィルタ |
JP3467394B2 (ja) * | 1997-10-31 | 2003-11-17 | 松下電器産業株式会社 | バーンイン用ウェハカセット及びプローブカードの製造方法 |
JP3900732B2 (ja) * | 1999-02-17 | 2007-04-04 | Jsr株式会社 | 異方導電性シートおよびその製造方法 |
JP2001066341A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-16 | Ibiden Co Ltd | 導通検査方法及び導通検査装置 |
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JP4556327B2 (ja) * | 2000-12-25 | 2010-10-06 | 凸版印刷株式会社 | 検査治具の製造方法 |
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JP2004172588A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-06-17 | Jsr Corp | シート状コネクターおよびその製造方法並びにプローブ装置 |
JP2005172509A (ja) | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Jsr Corp | シート状プローブおよびその製造方法並びにその応用 |
-
2004
- 2004-10-08 JP JP2004296948A patent/JP4852236B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-10-06 US US11/244,138 patent/US7292056B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-10-07 KR KR1020050094362A patent/KR100989482B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060076967A1 (en) | 2006-04-13 |
US7292056B2 (en) | 2007-11-06 |
KR20060052111A (ko) | 2006-05-19 |
JP2006105933A (ja) | 2006-04-20 |
KR100989482B1 (ko) | 2010-10-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080819 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081009 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100420 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100513 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100806 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110926 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |