JP4852041B2 - 剪断試験装置 - Google Patents
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Description
個別のボールが、典型的に基板に付加され、別の構成要素への次の接続中にリフローされる。
このような溶着部の剪断強度をその一方の側にツールを当てることによって試験することが提案されている。基板の表面を擦るツールによって発生する摩擦を回避するために、ツールは、基板表面のすぐ上方にあることが必要である。基板上方のツールの高さは、典型的に±0.001mm以内で厳密に制御され、正確な力測定をもたらさなければならない。
ツールがボール溶着部に接触する前に高速で移動する衝撃試験の場合、剪断力を検出するのは容易ではない。これは、歪みゲージの付いた要素がツールからいくらか遠隔であり、測定されている力をカートリッジの慣性が隠すからである。典型的に、試験の速度は、歪みゲージがツールでの力に応答する時間を有する前に、試験が終わってしまうほど十分に高速である。
好ましくは、装置は、結晶のためのシールドを更に含み、そのために剪断荷重は、シールドを通じてボール溶着部に与えられる。
シールドは、例えば、ボール溶着部の周囲の一部分に係合するようになった部分球形凹部を有することにより、試験されるボール溶着部の形状に適応させることができる。
層はまた、結晶のための電気絶縁体を提供することができ、又は電気経路によっては導電性とすることができる。
金又は半田のワイヤは、それぞれのボール溶着部に非常に密接に関連し得、従って、1つの剪断ツール装置を別の装置に対して正確に較正することができる。装置は、要求に応じて上述の開口を通してワイヤを指標付けするための及び指標付け毎の上述の表面上方のワイヤの突出を判断するための手段を含んでいてもよい。指標付けするための手段は、モータ駆動とすることができる。
ワイヤは、均一な材料であり、検出された剪断力が厳密に反復可能であるから、反復試験に十分に適するものである。従って、異なる剪断ツールを用いる連続する剪断試験を相関させることができ、それぞれのツールの剪断センサは、一貫した規準に対して較正することができる。
ワイヤの機械的特性は、通常は公知であり、従って、本方法を用いて検出された剪断力は、絶対値並びに相対値に関連させることができる。
本発明の他の特徴は、添付図面に例示的に示すいくつかの好ましい実施形態の以下の説明から明らかであろう。
使用中、ツールは、表面11上に取り付けられたボール溶着部に対して矢印14の方向に横向きに移動して剪断試験を実施し、アーム16の偏位に応答する歪みゲージによって力が判断される。試験ツール17の先端は、典型的に非常に小さく、ボール溶着部の直径程度、すなわち、50〜1000μmの範囲である。
下端23は、テーパ付であり、これに圧電性結晶24が取り付けられている。結晶の外面は、シールド25を有する。結晶は、立方体で示されているが、円筒形のような他の形状も勿論可能である。
シールドは、結晶を機械的損傷から保護するが、荷重をそこに完全に伝達させるようになったあらゆる適切な材料被覆とすることができる。例えば、シールドは、結晶に結合された薄い金属プレートを含むことができる。
図4の断面図は、シールド及び結晶が、どのように、ボール溶着部27の湾曲形状に適応することができるかを示している。
第2の実施形態が、図5に示されており、支持要素21を含み、そこからアンビル31が、ピン32又はあらゆる適切な種類のクリップに対して吊り下げられている。ツールはプレート状であり、結晶24に圧縮荷重を直接与えることができる。好ましい実施形態では、ツールは、その内部弾性により、例えば、上端22と接触する部分の厚みを低減することにより結晶に対して付勢される。
代替アンビル33が断面で示されており、ボール溶着部に密接に係合するための部分球形凹部34を有する。
図7は、図5に対応し、同様の負のレーキ59を示している。図8は、ツールの残った部分に対する負のレーキが必要でないように、図示のように下方に突出する代替アンビル61を示している。
図8及び図9は、典型的なツール70の構成部品の例示的な配置を示している。
ツール71は、皿ビス72によって本体71の前面に取り付けられ、皿ビスは、ツールの正確な位置決めを確保し、回転は、本体71のスロット83内で案内されるペグ82によって回避される。
圧電性結晶は、大体の寸法が4mm×2mm、厚み0.3mmの市販の製品である。結晶の材料は、典型的にジルコニアのような頑強で硬質な非導電性セラミックである。
アンビル71は、試験溶着部との接触のための下方突出部87を有する。
歪みゲージ及び圧電性結晶のような要素を用いて力を感知するツールの1つの問題は、ツールを較正することである。多くの場合に、絶対値(グラムで測定される破壊荷重のような)を判断することは可能ではなく、ユーザは、結果の比較を可能にする相対値に頼る必要がある。この後者の技術は、1つのみの試験ツールが用いられている場合は受け入れられるが、試験ツールを置換する必要があるか、又はいくつかの同様のツールからの結果を比較すべき時に問題になる。
基板91には、直角に延びる開口92が通っており、これを通してワイヤ93が突出する。矢印95の方向に駆動される試験ツール94は、ワイヤを剪断することになり、適切に適応した場合、相対破壊荷重を測定することができる。例えば、ツールは、本明細書に説明する電気歪みゲージ又は圧電性結晶装置に頼ることができる。
ワイヤは、非常に均一な材料であり、更に、半導体素子に用いられる基板に付加される半田及び金ボールの前駆物質として容易に入手可能である。従って、較正試験は、試験ツールの商業的用途で試験される的確な材料を用いて達成することができる。
開口92は、試験ツールが直角に打つことを確保するために、好ましくは、ワイヤ93に密接に適合すべきである。
この技術は、従って、いくつかの異なるツールからの結果を比較することができるように、類似のツール及び名目上同一のツールを較正することを可能にする。この技術は、多くの異なる製造場所で用いることができる生産試験ツールの較正の場合に特に価値がある。
また、ワイヤの強度及び材料に関する公知の情報を用いて、この技術が試験ツールを較正することを可能にして例えばグラム、ニュートン、又は他のあらゆる適切な単位での読取値を与えるように、絶対破壊荷重の遙かに良好な検出を得ることが可能であることも分かるであろう。
21 支持要素
24 圧電性結晶
25 シールド
Claims (13)
- 基板上に溶着された金又は半田のボール溶着部に剪断荷重を与えるための試験装置であって、
上下方向に延び、上端と、この上端から下方に向けてテーパされた下端とを有する支持要素(21)を有し、この支持要素は前記上端において支持されており、
更に、前記支持要素(21)の下端に取付けられた圧電性結晶(24)を含み、
前記支持要素(21)の下端は、ボール溶着部に接触して、ボール溶着部に剪断荷重を与え、ボール溶着部を基板から剥すようになっており、かくして、支持要素とボール溶着部との間における接触により、圧電性結晶(24)を応力下に置いて、剪断荷重を表す電気信号を圧電性結晶から発生させる、ことを特徴とする装置。 - 前記結晶のためのシールド(25)を更に含み、該シールドを通じて剪断荷重がボール溶着部に与えられる、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記シールド(25)は、前記結晶(24)に直接付加された保護表面を含む、ことを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記シールドは、前記支持要素(21)上に取り付けられて前記結晶(24)に対して担持するようになったツール要素(31)を含む、ことを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記ツール要素(31)は、意図する剪断方向に前記結晶(24)に予備荷重を掛けるように配置されている、ことを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記シールドは、試験される前記ボール溶着部の形状に適応している、ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の装置。
- 前記シールド(23)は、ボール溶着部の周囲の一部分に係合するようになった部分球形凹部(34)を有する、ことを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記支持体と前記結晶の間のインタフェースは、実質的に均一な平面接触をもたらすようになった力分散層を含む、ことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記シールドと前記結晶の間のインタフェースは、実質的に均一な平面接触をもたらすようになった力分散層を含む、ことを特徴とする請求項2から5のいずれか1項に記載の装置。
- 前記層は、流動的である間に前記それぞれのインタフェースの表面上に広がって、組立後に硬化して平面接触を確保するようになったエポキシ樹脂を含む、ことを特徴とする請求項8又は9に記載の装置。
- 前記層は、前記それぞれのインタフェース表面を互いに不動に結合して一体アセンブリをもたらす、ことを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記層は、電気絶縁体である、ことを特徴とする請求項8から11のいずれか1項に記載の装置。
- 前記層は、導電性である、ことを特徴とする請求項8から11のいずれか1項に記載の装置。
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