JP4847361B2 - 異方性導電膜切断装置及び方法、並びに異方性導電膜貼付装置 - Google Patents

Description

本発明は、異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープに対して、上記ベーステープを残して異方性導電膜を切断する異方性導電膜切断装置及び方法、並びに、当該切断装置を備えて、当該切断装置により所定の長さに切断した異方性導電膜を基板上の所定の貼付位置に貼り付ける異方性導電膜貼付装置に関する。

電子部品等を基板に実装する方法として、異方性導電膜（以下、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）という）を基板の電極上に貼付け、その上から電子部品等を圧着する方法が知られている。このＡＣＦは、導電性粒子が分散された樹脂で構成され粘着性を有して取り扱いにくいため、通常、非粘着性のベーステープの一面に積層され保持された状態で扱われる（以下、ＡＣＦをベーステープに積層し保持させたものをＡＣＦテープという）。基板の電極上にＡＣＦを貼り付けるときには、ＡＣＦテープのＡＣＦのみを所定の長さに切断してから貼り付ける。

このＡＣＦを切断する装置には、ベーステープを切断しないようにしつつＡＣＦテープを完全に切断しなければならないため、ＡＣＦテープを切断するカッターの平行度やその切断位置（ＡＣＦテープ内においてカッターの前進を停止させる位置）を高精度に調整することが要求される。
この要求に対応する装置としては、従来、種々の構造のものが提案されている。

例えば、特許文献１（特開平７−１０１６１８号公報）には、マイクロメータを用いてカッターの平行度や切断位置を調整するように構成された装置が開示されている。また、特許文献２（特開平９−２６５９４号公報）には、ＡＣＦがカッターにより切断されるときにカッターの当接側の面とは反対側の面からＡＣＦテープを保持する受け部材に、ベーステープの厚みを越えない高さの段差部（凹部）を設けて、上記調整の必要性を低減する装置が開示されている。
特開平７−１０１６１８号公報 特開平９−２６５９４号公報

しかしながら、特許文献１の装置は、マイクロメータを用いて使用者が目視しながら調整するものであるために、上記調整を高精度で行うには多大な手間を要する。
これに対して、上記特許文献２の装置では、ベーステープのみが段差部に嵌り、当該段差部にはカッターが進入しないようになっているので、当該段差部の高さ分だけベーステープを切断しないようにすることができる。これにより、カッターの平行度や切断位置を高精度に調整する必要性が低減される。

しかしながら、上記特許文献２の装置では、ベーステープの種類（厚みや幅等）に応じた段差部を受け部材に設ける構成であるため、ベーステープの種類を少しでも変えると、その度に、その変更に対応するように各部品の位置調整や受け部材の変更を行う手間が必要である。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、異方性導電膜テープのベーステープを残して異方性導電膜を切断する装置及び方法において、カッターの平行度や切断位置を高精度に調整する必要性を低減するとともに、ベーステープの種類の変更に伴う手間を軽減した異方性導電膜切断装置及び方法、並びに当該切断装置を備えた異方性導電膜貼付装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１態様によれば、異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープに対して、上記ベーステープを残して上記異方性導電膜を切断する異方性導電膜切断装置において、
上記異方性導電膜を切断する刃先を有するカッターと、
上記カッターを保持し、上記カッターの上記刃先を上記異方性導電膜の面に対して前進移動させて上記異方性導電膜を切断するカッター移動装置と、
上記カッターの上記刃先に対して対向配置されるとともに上記ベーステープの背面を保持可能な受け面と、上記カッターの上記刃先より上記異方性導電膜テープに作用される力を受けて、上記受け面を変位させる弾性体とを有する受け部と、
を備える異方性導電膜切断装置を提供する。
ここで、「作用される力」とは、カッターの刃先が受け面に対して異方性導電膜テープを前進方向に押圧する力をいう。

本発明の第２態様によれば、上記受け面が上記弾性体で構成されている、第１態様に記載の異方性導電膜切断装置を提供する。

本発明の第３態様によれば、上記受け面が上記弾性体とは別の部材で構成され、上記弾性体が上記部材の上記受け面を変位させる、第１態様に記載の異方性導電膜切断装置を提供する。

本発明の第４態様によれば、上記弾性体の硬度が、上記異方性導電膜の硬度よりも大きく、上記ベーステープの硬度よりも小さい、第１〜３態様のいずれか１つに記載の異方性導電膜切断装置を提供する。

本発明の第５態様によれば、基板を支持する貼付ステージと、
上記貼付ステージにより支持された上記基板の上方に、異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープを、上記異方性導電膜が上記貼付ステージに対向するように供給する異方性導電膜テープ供給装置と、
上記異方性導電膜のみを、上記基板上に配置された貼付位置に対応する長さに切断する、第１〜４態様のいずれか１つに記載の異方性導電膜切断装置と、
上記基板の上方に上下動可能に設けられ、上記異方性導電膜テープ供給装置により供給される上記異方性導電膜テープにベーステープの背面から接触して上記貼付位置に押圧し、上記切断された異方性導電膜のみを上記貼付位置に貼り付ける貼付ユニットと、
を備える異方性導電膜貼付装置を提供する。

本発明の第６態様によれば、異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープに対して、上記ベーステープを残して上記異方性導電膜を切断する異方性導電膜切断方法において、
上記異方性導電膜の面に対してカッターの刃先を前進移動させて当接させるとともに、上記ベーステープの背面を受け部に保持させ、
上記カッターの上記刃先を上記当接状態から更に前進させて、上記カッターの上記刃先より上記異方性導電膜に作用される力を受けて上記受け部の受け面を変位させることにより、上記異方性導電膜テープを撓ませながら上記異方性導電膜を切断する、異方性導電膜切断方法を提供する。

本発明の異方性導電膜切断装置によれば、弾性体によりベーステープの背面を受ける受け面を変位させるように構成されているので、カッター移動装置によりカッターが異方性導電膜の面に当接した状態で更に前進したとき、当該前進方向に作用される力により弾性体の弾性力に抗して異方性導電膜テープを撓ませることが可能となる。また、カッターの刃先により異方性導電膜が切断されるとき、異方性導電膜テープの表面とカッターの刃先とが平行となるように、受け面を変位させることが可能となる。これにより、カッターの平行度や切断位置の調整幅を広げることができるので、上記調整を高精度に行う必要性を低減することができるとともに、ベーステープの種類に応じて各部品の位置調整や受け部材の変更の必要性も低減することができ、ベーステープの種類の変更に伴う手間を軽減することができる。

また、本発明の異方性導電膜切断方法によれば、カッターの刃先より異方性導電膜に作用される力を受けて受け部の受け面を変位させることにより、異方性導電膜テープを撓ませながら異方性導電膜を切断するようにしているので、カッターの平行度や切断位置の調整幅を広げることができ、上記調整を高精度に行う必要性を低減することができるとともに、ベーステープの種類の変更に伴う手間を軽減することができる。

また、本発明の異方性導電膜貼付装置によれば、上記のように構成された異方性導電膜切断装置を備えているので、カッターの平行度や切断位置の調整を高精度に行う必要性を低減することができるとともに、ベーステープの種類の変更に伴う手間を軽減することができる。

本発明の記述を続ける前に、添付図面において同様の部品については同じ参照符号を付している。
以下、本発明の最良の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

《実施形態》
本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置について、図１及び図２を用いて説明する。図１は本発明の実施形態にかかるＡＣＦシート切断装置の平面図であり、図２はその側面図である。

本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置１は、図１及び図２に示すように、ＡＣＦ２ａが非粘着性のベーステープ２ｂに保持されてなるＡＣＦテープ２のＡＣＦ２ａを切断可能な刃先１１ａを有する板状のカッター１１と、カッター１１を保持し、カッター１１の刃先１１ａをＡＣＦ２ａの面に対して進退移動可能に構成されたカッター移動装置１２と、ＡＣＦテープ２を介してカッター１１の刃先１１ａに対向するように配置された受け部１３とを備えている。

ＡＣＦテープ２のＡＣＦ２ａは、例えば導電性粒子が分散されたエポキシ樹脂などで構成され、例えば２０μｍ程度の厚さに形成されている。ＡＣＦテープ２のベーステープ２ｂは、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などで構成され、例えば５０μｍ〜８０μｍ程度の厚さに形成されている。ＡＣＦテープ２の幅は、例えば、１〜６ｍｍ程度に形成されている。
また、ＡＣＦテープ２は、外力が加わらないときには、その両端を引っ張られて張設（ピンと張った状態で設置）されている。

カッター１１は、その刃先１１ａがＡＣＦ２ａの面に対して垂直に当接できるようにその幅方向（図１の上下方向）に一直線状に形成されている。刃先１１ａの幅方向の長さは、ＡＣＦ２ａの幅よりも長い。
カッター移動装置１２は、一例として、支持プレート１２１と、ガイドレール１２２と、スライドガイド１２３と、カッター取付プレート１２４と、カッター押えブロック１２５と、ボルト１２６と、シリンダ１２７とで構成されている。

支持プレート１２１は、上記各部品を支持するよう板状に形成されている。ガイドレール１２２は、支持プレート１２１の上面に、カッター１１の進退移動方向（図１及び図２の左右方向）と平行に固定され、スライドガイド１２３を摺動自在に保持している。カッター取付プレート１２４は、スライドガイド１２３の上面に固定され、その上面にカッター１１を載置できるよう板状に形成されている。カッター取付プレート１２４及びカッター押えブロック１２５にはそれぞれ、ボルト１２６が螺合可能なネジ穴１２４ａ，１２５ａが形成されている。カッター押えブロック１２５は、ボルト１２６がネジ穴１２５ａを貫通してネジ穴１２４ａに螺合することにより、カッター取付プレート１２４との間でカッター１１を挟持（保持）するように構成されている。カッター取付プレート１２４とカッター押えブロック１２５によるカッター１１の挟持力は、ボルト１２６の締め方の強弱により調整可能である。シリンダ１２７は、その側部に配置されたロッド１２７ａを突没可能に構成されている。ロッド１２７ａの先端は、カッター取付プレート１２４の一側面に固定されている。シリンダ１２７は、ロッド１２７ａを突没させることにより、カッター取付プレート１２４に固定されたスライドガイド１２３をガイドレール１２２に沿って摺動させ、カッター取付プレート１２４とカッター押えブロック１２５との間で挟持されるカッター１１を進退移動させることができる。シリンダ１２７の駆動動作は、例えば後述するＡＣＦ貼付装置１００の制御部６により制御される。

受け部１３は、概ね矩形ブロック状の金属などの剛体で構成され、カッター１１の刃先１１ａと対向する面に凹部が形成された本体１３ａと、シリコンゴムやウレタンゴムなどのゴム部材で形成され、本体１３ａの凹部に隙間無く嵌合された弾性体１３ｂとを備えている。受け部１３は、弾性部１３ｂのカッター１１の刃先１１ａに対向する面１００（以下、受け面１００という）でベーステープ２ｂを保持する。

本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置１は、上記のように構成されている。
次に、ＡＣＦ切断装置１の動作を、図１〜図５を参照しつつ説明する。図３は、ＡＣＦ切断装置１において、カッター１１がＡＣＦ２ａに当接した状態を示す側面図である。図４は、ＡＣＦ切断装置１において、ＡＣＦ２ａの切断を完了したときの側面図であり、図５は、図４の点線で囲まれた部分２００の拡大断面図である。

まず、図１及び図２に示す状態から、シリンダ１２７を駆動させてカッター１１をＡＣＦテープ２のＡＣＦ２ａの面に向けて前進移動させ、図３に示すように、カッター１１の刃先１１ａをＡＣＦ２ａに当接させるとともに、ベーステープ２ｂを受け部１３の弾性体１３ｂの受け面１００に保持させる。
なお、図１及び図２では、カッター１１の刃先１１ａが前進移動するとき既に、ＡＣＦテープ２が受け面１００上に接触しているように示したが、受け面１００から少し離れた位置に配置されてもよい。すなわち、カッター１１の刃先１１ａが前進移動してＡＣＦテープ２を押すことにより、ベーステープ２ｂを受け面１００に接触保持させるようにしてもよい。

上記動作に続いて、シリンダ１２７の駆動を止めることなく更にカッター１１を前進させ、図４及び図５に示すようにＡＣＦ２ａを切断する。
なお、このとき、カッター１１の前進移動を止める位置（以下、切断位置という）は、図２及び図３に示すようにＡＣＦテープ２が張設された状態において、カッター１１の刃先１１ａが、ＡＣＦ２ａとベーステープ２ｂとの接合面よりも受け部１３側に位置するように設定されている。上記切断位置は、ＡＣＦ２ａとベーステープ２ｂとの接合面よりも受け部１３側であれば、弾性体１３ｂの弾性力に応じて調整することができる。すなわち、弾性体１３ｂを備えていない従来の装置に比べて、カッター１１を高精度に切断位置に止めることは要求されない。また、カッター１１の切断位置を高精度に調整する必要性が低減されるので、カッター１１の平行度を高精度に調整する必要性も低減される。なお、上記切断位置は、ベーステープ２ｂを全く切断しないような位置に設定する必要はなく、図４に示すようにＡＣＦテープ２が撓んだ状態においてベーステープ２ｂが切断されない程度（例えば、ベーステープ２ｂの厚さの１／３程度）であれば、ベーステープ２ｂに切り込みが形成される位置に設定しても構わない。すなわち、カッター１１の進退方向のストローク量は、ＡＣＦテープ２における切り込み深さと、受け面１００の変位量とに基づいて決定される。なお、これに対して、従来の構成では、カッター１１の進退方法のストローク量は、ＡＣＦテープ２における切り込み深さのみに基づいて決定される。

また、上記ＡＣＦ２ａを切断するとき、ＡＣＦテープ２は、図５に示すように弾性体１３ｂの弾性力に抗してカッター１１により撓まされるが、カッター１１を後退させると、弾性体１３ｂの弾性力と張力により元の位置（図５では点線で示す）に戻る。このとき、カッター１１により切断されたＡＣＦ２ａは、図５の上下方向に引っ張られて、その切断部分が広げられる。すなわち、上記切断位置をＡＣＦ２ａが完全に切断される位置に設定しなくても、ＡＣＦ２ａを完全に切断することが可能である。したがって、カッター１１の切断位置及び平行度を高精度に調整する必要性を更に低減させることができる。また、ＡＣＦ２ａの切断部分が上下方向に引っぱられて広げられるので、切断後に隣接するＡＣＦ２ａ同士が基板への貼付動作時に互いに引っ付くなどの不具合も防止される。

なお、弾性体１３ｂの硬度は、ＡＣＦ２ａの硬度よりも大きく、ベーステープ２ｂの硬度よりも小さく設定されることが好ましい。このように設定されることにより、ＡＣＦ２ａの硬度が最も小さいので、カッター１１によりＡＣＦ２ａを確実に切断できる。また、カッター１１がベーステープ２ｂに当接した状態で更に前進されても、ベーステープ２ｂの硬度が弾性体１３ｂの硬度よりも大きいので、ベーステープ２ｂが切断される前に確実に弾性体１３ｂが変形することとなるため、ベーステープ２ｂが切断される可能性を抑えることができ、カッター１１の切断位置及び平行度を高精度に調整する必要性を更に抑えることができる。

以上、説明したように、本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置１によれば、弾性体１３ｂによりベーステープ２ｂの背面を受ける受け面１００を変位させるように構成されているので、カッター移動装置１２によりカッター１１がＡＣＦ２ａの面に当接した状態で更に前進したとき、当該移動力により弾性体１３ｂの弾性力に抗してＡＣＦテープ２を撓ませることが可能となる。また、カッター１１の刃先１１ａによりＡＣＦ２ａが切断されるとき、ＡＣＦテープ２の表面とカッター１１の刃先１１ａとが平行となるように、受け面１００を変位させることが可能となる。これにより、カッター１１の平行度や切断位置の調整幅を広げることができるので、上記調整を高精度に行う必要性を低減することができるとともに、ベーステープ２ｂの種類に応じて各部品の位置調整や受け部材の変更の必要性も低減することができ、ベーステープ２ｂの種類の変更に伴う手間も軽減することができる。

次に、本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置１を備えたＡＣＦ貼付装置１００の全体構成について、図６を用いて説明する。図６は、ＡＣＦ貼付装置１００の全体構成を説明する正面図である。

図６に示すように、ＡＣＦ貼付装置１００は、基板２１を支持する貼付ステージ３と、貼付ステージ３により支持された基板２１の上方に、ＡＣＦテープ２を供給するＡＣＦテープ供給装置４と、ＡＣＦ２ａのみを基板２１上に配置された貼付位置に対応する長さに切断するＡＣＦ切断装置１と、基板２１の上方に上下動可能に設けられ、上記貼付位置にＡＣＦ２ａのみを貼り付ける貼付ユニット５と、各部及び各装置に接続された各種モータやシリンダ等に接続され、予め記憶された動作プログラムに基づいてそれぞれの駆動を制御する制御部６とを備えている。

貼付ステージ３は、その下部をＸテーブル３１及びＹテーブル３２に固定され、Ｘテーブル３１に取り付けられたモータ３１ａが駆動されることによりＸ方向（図６の左右方向）に移動でき、Ｙテーブル３２に取り付けられたモータ３２ａが駆動されることによりＹ方向（図６の奥行き方向）に移動できるように構成されている。
ＡＣＦ供給装置４、ＡＣＦ切断装置１、及び貼付ユニット５は、貼付ステージ３の上方に配置された矩形板体の支持フレーム１０の前面にそれぞれ取り付けられている。

ＡＣＦ供給装置４は、ＡＣＦテープ２を巻回状態で備えた供給リール４１と、供給リール４１からＡＣＦテープ２を引き出し、貼付ユニット５によりＡＣＦ２ａが上記貼付位置に貼り付けられて残されたベーステープ２ｂを巻き取り可能な巻き取りリール４２と、供給リール４１と巻き取りリール４２との間のベーステープ２ｂの移動をガイドするローラ４３ａ〜４３ｉとを備えている。供給リール４１、巻き取りリール４２、及びローラ４３ａ〜４３ｈは、それぞれ支持フレーム１０の前面に回転可能に軸支されている。

供給リール４１の側方（図６の左側）に設けられたローラ４３ａは、別途設けられたモータ（図示せず）に接続され、当該モータが駆動することにより、供給リール４１からＡＣＦテープ２を引き出すように構成されたテープ引き出し用ローラである。
テープ引き出し用ローラ４３ａよりＡＣＦテープ２の移動方向下流側において、テープ引き出し用ローラ４３ａより下方に配置されたローラ４３ｂと、ローラ４３ｂの上方に配置されたローラ４３ｃとは、ＡＣＦテープ２に所定の張力を与えるように構成されている。

ローラ４３ｃの下方にはローラ４３ｄが配置されている。ローラ４３ｃとローラ４３ｄとは、ＡＣＦ切断装置１のカッター１１と受け部１３との間に、ＡＣＦ２ａがカッター１１と対向するようにＡＣＦテープ２が供給されるよう、ＡＣＦテープ２の移動をガイドする。
ローラ４３ｄの側方（図６の右側）にはローラ４３ｅが配置されている。ローラ４３ｄとローラ４３ｅとは、後述する貼付ユニット５の圧着ヘッド５１と貼付ステージ３上に載置された基板２１との間に、ＡＣＦ２ａが貼付ステージ３と対向するようにＡＣＦテープ２が供給されるよう、ＡＣＦテープ２の移動をガイドする。

ローラ４３ｅの上方にはローラ４３ｆとローラ４３ｇとが並設され、さらにそれらの上方にはローラ４３ｈとローラ４３ｉとが並設されている。ローラ４３ｆは、ローラ４３ｅにガイドされて移動してきたベーステープ２ｂを、ローラ４３ｇとの間で挟持して、ベーステープ２ｂの送り量を検出できるように構成された送り量検出用ローラである。ローラ４３ｉは、バネ４４に接続され、送り量検出ローラ４３ｇとローラ４３ｇとの間を通過してきたベーステープ２ｂを、バネ４４の付勢力によりローラ４３ｈに押し付けられるように構成されたクランプ用ローラである。ローラ４３ｈは、別途設けられたモータ（図示せず）に接続され、上記テープ引き出し用モータに同期して当該モータが駆動することにより、巻き取りリール４２にベーステープ２ｂを巻き取らせるように構成されたテープ送り用ローラである。

貼付ユニット５は、貼付ヘッド５１と、シリンダ５２と、剥離装置５３とを備えている。
貼付ヘッド５１は、基板２１の上記貼付位置よりも長さ及び幅が大きくなるように形成された加圧加熱面５１ａを備え、当該加圧加熱面５１ａの近傍に加熱ヒータ（図示せず）を内蔵している。貼付ヘッド５１は、ＡＣＦテープ２にベーステープ２ｂ側から加圧加熱面５１ａで接触してベーステープ２ｂを介してＡＣＦ２ａを加圧及び加熱可能に構成されている。

シリンダ５２は、ロッド５２ａを突没可能に構成され、ロッド５２ａの先端部は、貼付ヘッド５１の上部に固定されている。シリンダ５２は、ロッド５２ａを突出させることにより貼付ヘッド５１の加圧加熱面５１ａをベーステープ２ｂに接触させ、ベーステープ２ｂを介してＡＣＦ２ａを上記貼付位置に加圧することができるように構成されている。

剥離装置５３は、支持フレーム１０の下端側部に水平移動可能に取り付けられ、ＡＣＦテープ２の長さ方向と交差する方向に延在する駆動ピン５３ａを備えている。剥離ピン５３は、貼付ヘッド５１によるＡＣＦ２ａの上記貼付位置への加圧及び加熱が完了したのち、ＡＣＦ２ａとベーステープ２ｂとの間に水平移動することにより、ベーステープ２ｂをＡＣＦ２ａから剥離することができるように配置されている。剥離ピン５３の水平移動は、剥離装置５３に接続されたモータ（図示せず）が駆動されることにより行われる。

本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置１を備えたＡＣＦ貼付装置１００は、以上のように構成されている。
次に、ＡＣＦ貼付装置１００の動作を、図６、及び図７Ａ〜図７Ｃを参照しつつ説明する。図７Ａ〜図７Ｃは、ＡＣＦ切断装置１００の動作を示す概略説明図である。なお、各装置及び各部の動作は、制御部６の制御の下に行われる。

まず、引き出し用ローラ４３ａ及びテープ送り用ローラ４３ｈを駆動させて、供給リール４１に巻回されたＡＣＦテープ２を引き出し、ＡＣＦ切断装置１によりベーステープ２ｂを残してＡＣＦ２ａのみを切断する。
次いで、更に引き出し用ローラ４３ａ及びテープ送り用ローラ４３ｈを駆動させて、ＡＣＦテープ２を基板２１の上記貼付位置の長さに対応した長さ分、巻き取りリール４２側に送り、再びＡＣＦ切断装置１によりベーステープ２ｂを残してＡＣＦ２ａのみを切断する。これにより、上記貼付位置の長さに対応する長さに、ＡＣＦ２ａが切断される。

次いで、更に引き出し用ローラ４３ａ及びテープ送り用ローラ４３ｈを駆動させて、上記ＡＣＦ２ａの切断動作を逐次繰り返しながら、切断後のＡＣＦ２ａを、図７Ａに示すように貼付ヘッド５１の下方に送る。このとき同時的に、モータ３１ａ，３２ａを駆動させて、Ｘテーブル３１及びＹテーブル３２に固定された貼付ステージ３をＸＹ方向に移動させ、切断後のＡＣＦ２ａが基板２１の上記貼付位置の上方に位置するように位置あわせする。

次いで、シリンダ５２を駆動させてロッド５２ａの先端部に固定された貼付ヘッド５１を下降させ、図７Ｂに示すように、ベーステープ２ｂを介してＡＣＦ２ａを上記貼付位置に加圧するとともに、貼付ヘッド５１の加熱ヒータ（図示せず）を発熱させて、ベーステープ２ｂを介してＡＣＦ２ａを加熱する。その後、ＡＣＦ２ａを冷却（例えば自然冷却）することにより、ＡＣＦ２ａがベーステープ２ｂとＡＣＦ２ａとの接合力よりも強い接合力で上記貼付位置に貼り付く。

次いで、剥離装置５３に接続されたモータを駆動させて、図７Ｃに示すようにＡＣＦ２ａとベーステープ２ｂとの間に剥離ピン５３ａを水平移動させ、上記貼付位置に貼り付いたＡＣＦ２ａをベーステープ２ｂから剥離する。これにより、１つの貼付位置へのＡＣＦ２ａの貼付が完了する。

上記貼付位置が複数ある場合には、上記動作に次いで、引き出し用ローラ４３ａ及びテープ送り用ローラ４３ｈを駆動させて、ＡＣＦ２ａが剥離されたベーステープ２ｂを巻き取りリール４２側に送り、巻き取りリール４２に巻き取らせる。この動作により、ＡＣＦ切断装置１により次の貼付位置に対応する長さに切断された次のＡＣＦ２ａが貼付ヘッド５１の下方に供給される。このとき同時的に、モータ３１ａ，３２ａを駆動させて、Ｘテーブル３１及びＹテーブル３２に固定された貼付ステージ３をＸＹ方向に移動させ、次のＡＣＦ２ａが次の貼付位置の上方に位置するように位置あわせする。
以下、基板２１の全ての貼付位置にＡＣＦ２ａを貼付するまで、上記動作（図７Ａ〜図７Ｃに示す動作）を繰り返す。

以上のように、本発明の実施形態にかかるＡＣＦ切断装置１を備えたＡＣＦ貼付装置１００は動作する。
本発明の実施形態にかかるＡＣＦ貼付装置１００によれば、上述したＡＣＦ切断装置１を備えているので、カッター１１の平行度や切断位置の調整を高精度に行う必要性を低減することができるとともに、ベーステープ２ｂの種類の変更に伴う手間を軽減することができる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
例えば、上記では、ローラ４３ａ及びローラ４３ｈにモータを接続して、供給リール４１からＡＣＦテープ２を引き出し、ベーステープ２ｂを巻き取りリール４２に巻き取らせるようにしたが、例えば巻き取りリール４２にモータを接続してもよい。

また、上記では、貼付ステージ３をＸＹ方向に移動させることで、切断後のＡＣＦ２ａと基板２１上の貼付位置とを位置合わせするようにしたが、支持フレーム１０をＸＹ方向に移動させて上記位置合わせが行われるように構成されてもよい。

また、上記では、ＡＣＦ切断装置１において、弾性体１３ｂを本体１３ａに設けた凹部に嵌合するように構成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、受け部１３の全部が弾性体で構成されてもよい。また、受け部１３に代えて、図８及び図９に示すように、本体１１３ａ，１１３ａの間に弾性体１１３ｂが配置された受け部１１３で構成されてもよい。すなわち、ベーステープ２ｂの背面を受ける受け面１００Ａを、弾性体１３ｂとは別の部材で構成してもよい。この場合、カッター１１がＡＣＦテープ２に当接したとき、弾性体１１３ｂはカッター１１の前進方向に全体的に圧縮されて、図１０及び図１１に示すようにしてＡＣＦ２ａが切断される。すなわち、上記実施形態に比べて、ＡＣＦテープ２が撓む範囲が大きくなる。

上記のように弾性体１１３ｂを本体１３ａ，１３ａの間に配置すれば、ＡＣＦテープ２に接触する部分を弾性体１３ｂとする上記実施形態よりも、当該接触部分の清掃性を向上させることができる。
また、上記のように弾性体１３ｂを本体１３ａ，１３ａの間に配置すれば、コイルバネのような弾性体も使用することができる。すなわち、弾性体がＡＣＦテープ２に間接的に接触する構成とすることで、弾性体として使用できる部材の幅を広げることができる。

また、上記では、弾性体１３ｂ，１１３ｂにより受け面１００，１００Ａを変位させるように構成したが、本発明はこれに限定されるものではない。カッター１１の刃先１１ａよりＡＣＦ２ａに作用される力を、受け面１００，１００Ａを変位させることで逃がす機能を有していればよく、例えば弾性体を用いない機械的な機構で構成されてもよい。

本発明にかかる異方性導電膜切断装置及び方法は、カッターの平行度や切断位置を高精度に調整する必要性を低減するとともに、ベーステープの種類の変更に伴う手間を軽減する効果を有し、異方性導電膜テープのベーステープを残して異方性導電膜を切断する異方性導電膜切断装置及び方法、並びに、当該切断装置を備えて、当該切断装置により所定の長さに切断した異方性導電膜を基板上の所定の貼付位置に貼り付ける異方性導電膜貼付装置等として有用である。

本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置の平面図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置の側面図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置において、カッターとＡＣＦが当接した状態を示す側面図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置において、カッターによりＡＣＦが切断される状態を示す図である。 図４の部分拡大断面図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置を備えた異方性導電膜貼付装置の正面図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置を備えた異方性導電膜貼付装置の動作を示す概略説明図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置を備えた異方性導電膜貼付装置の動作を示す概略説明図である。 本発明の実施形態にかかる異方性導電膜切断装置を備えた異方性導電膜貼付装置の動作を示す概略説明図である。 本発明の実施形態の変形例にかかる異方性導電膜切断装置の平面図である。 本発明の実施形態の変形例にかかる異方性導電性切断装置の側面図である。 本発明の実施形態の変形例にかかる異方性導電膜切断装置において、カッターによりＡＣＦが切断される状態を示す図である。 図１０の部分拡大断面図である。

符号の説明

１ ＡＣＦ切断装置
２ ＡＣＦテープ
２ａ ＡＣＦ
２ｂ ベーステープ
３ 貼付ステージ
４ ＡＣＦ供給装置
５ 貼付ユニット
６ 制御部
１０ 支持フレーム
１１ カッター
１２ カッター移動装置
１３ 受け部
１３ａ 弾性体
１００ ＡＣＦ貼付装置

Claims (6)

1. 異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープに対して、上記ベーステープを残して上記異方性導電膜を切断する異方性導電膜切断装置において、
   上記異方性導電膜を切断する刃先を有するカッターと、
   上記カッターを保持し、上記カッターの上記刃先を上記異方性導電膜の面に対して前進移動させて上記異方性導電膜を切断するカッター移動装置と、
   上記カッターの上記刃先に対して対向配置されるとともに上記ベーステープの背面を保持可能な受け面と、上記カッターの上記刃先より上記異方性導電膜テープに作用される力を受けて、上記受け面を変位させる弾性体とを有する受け部と、
   を備える異方性導電膜切断装置。
2. 上記受け面が上記弾性体で構成されている、請求項１に記載の異方性導電膜切断装置。
3. 上記受け面が上記弾性体とは別の部材で構成され、上記弾性体が上記部材の上記受け面を変位させる、請求項１に記載の異方性導電膜切断装置。
4. 上記弾性体の硬度が、上記異方性導電膜の硬度よりも大きく、上記ベーステープの硬度よりも小さい、請求項１〜３のいずれか１つに記載の異方性導電膜切断装置。
5. 基板を支持する貼付ステージと、
   上記貼付ステージにより支持された上記基板の上方に、異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープを、上記異方性導電膜が上記貼付ステージに対向するように供給する異方性導電膜テープ供給装置と、
   上記異方性導電膜のみを、上記基板上に配置された貼付位置に対応する長さに切断する、請求項１〜４のいずれか１つに記載の異方性導電膜切断装置と、
   上記基板の上方に上下動可能に設けられ、上記異方性導電膜テープ供給装置により供給される上記異方性導電膜テープにベーステープの背面から接触して上記貼付位置に押圧し、上記切断された異方性導電膜のみを上記貼付位置に貼り付ける貼付ユニットと、
   を備える異方性導電膜貼付装置。
6. 異方性導電膜がベーステープの一面に保持されてなる異方性導電膜テープに対して、上記ベーステープを残して上記異方性導電膜を切断する異方性導電膜切断方法において、
   上記異方性導電膜の面に対してカッターの刃先を前進移動させて当接させるとともに、上記ベーステープの背面を受け部に保持させ、
   上記カッターの上記刃先を上記当接状態から更に前進させて、上記カッターの上記刃先より上記異方性導電膜に作用される力を受けて上記受け部の受け面を変位させることにより、上記異方性導電膜テープを撓ませながら上記異方性導電膜を切断する、異方性導電膜切断方法。

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