JP4847295B2 - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
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そこで、二次元走査する画像に対して、取得した画像から光源強度や検出器感度を自動調整して適切なコントラストを得ようとする試みが以前から行われている。例えば、特許文献1には、共焦点顕微鏡のゲインをソフトレベルで短時間かつ確実に自動調整できるゲインの調整方法について開示されている。
例えば、ミラーなどの平坦な表面内に微少な傷や異物等がある場合、その部分にはコントラストが必要だが、他の大部分の表面領域には、コントラストの少ない平坦なものとして観察できることが望ましい。
図1は、本発明の実施例に係る共焦点顕微鏡100の構成例を示す図である。
光源101から出射した光は、ビームスプリッタ102を透過して2次元走査機構103に入射する。2次元走査機構103は、第1の光スキャナ103aと第2の光スキャナ103bとを備え、光束を2次元に走査して対物レンズ105へと導く。
Zレボルバ104は、複数の対物レンズ105を備え、所望の倍率の対物レンズ105を2次元走査の光路中に挿入することができる。また、Z軸方向(光軸方向)に移動可能となっており、対物レンズ105の集光位置と試料8の相対位置(以下、単に「相対位置」という)とを変化させることができる。
対物レンズ105による集光位置は、ピンホール108と共役な位置にあり、試料106が対物レンズ105による集光位置にある場合は、試料106からの反射光がピンホール108上で集光してピンホールを通過するが、試料106が対物レンズ105による集光位置からずれた位置にある場合は、試料106からの反射光はピンホールを通過しない。
図2は、本発明の実施例に係るコントラスト強調処理について説明する図である。
ヒストグラム200は、輝度値が広く均一に分布するほどコントラストが強い画像であることを示す。したがって、輝度値の下限レベルaと上限レベルbに挟まれる領域の輝度分布をダイナミックレンジの範囲内で広げる(又は狭める)ことにより、コントラストの強弱を調整することが可能となる。
図3は、本発明の実施例に係るレベル制御テーブル110aの例を示している。
レベル制御テーブル302は、コントラストの「強調レベル」と、観察する試料106の表面の「凹凸度」と、コントラストの「強調度」と、を備え、観察する試料106の表面の凹凸度に応じて強調レベルおよび強調レベルに対応する強調度を定義する。
・・・(1)
なお、平均面を抽出する方法としては、例えば、最小自乗方法を用いる。
以上に説明した強調度には1.0以上の値を使用しているが、1.0より小さい値を使用してもよい。例えば、強調度が0.5の場合、傾きが0.5から1.0になるまで下限レベルaと上限レベルbに挟まれる領域の輝度分布を狭める処理を行えばよい。
また、凹凸度には、各画素について「実際の高さ」と「平均面の高さ」との差を求めて積算した値の自乗平均平方根等を使用してもよい。
(第1の実施例)
図5は、本発明の第1の実施例に係る共焦点顕微鏡の処理を示すフローチャートである。
ステップS501において、共焦点顕微鏡100は、図1で説明した動作により試料106の全焦点画像データ及び高さマップ画像データを取得し、例えば、共焦点顕微鏡100に備わる記憶装置に記憶する。そして、処理をステップS502に移行する。
ステップS505において、共焦点顕微鏡100は、例えば、記憶装置の所定のアドレスに記憶されているレベル制御テーブル301を参照し、レベル番号n=0と一致する「強調レベル」の「高さ」(以下、「第2の高さ」という)を取得する。そして、第1の高さと第2の高さとを比較する。
ステップS506において、共焦点顕微鏡100は、レベル番号nを1だけインクリメントする。そして、レベル番号nと、レベル制御テーブル301の終わりを示すレベル番号Nとを比較する。レベル番号nがN以下の場合には、処理をステップS505に移行する。また、レベル番号nがNより大きい場合には、処理をステップS509に移行する。
ステップS507において、共焦点顕微鏡100は、記憶装置に記憶されているレベル制御テーブル301を参照する。そして、ステップS505及びS506の処理によって決定した強調レベルnの「強調度」を取得する。
ステップS509において、共焦点顕微鏡100は、全焦点画像データをモニタ113に出力して全焦点画像を表示する。
なお、以上の説明した第1の高さには、高さマップ画像データにおける高さの最大値と最小値との差を用いているが、例えば、ステップS501において機器使用者が全焦点画像データを取得する試料の範囲(高さの範囲)を指定する場合、当該範囲を第1の高さとして用いてもよい。
(第2の実施例)
図6は、本発明の第2の実施例に係る共焦点顕微鏡の処理を示すフローチャートである。
ステップS601において、共焦点顕微鏡100は、図1で説明した動作により試料106の全焦点画像データ及び高さマップ画像を取得し、例えば、共焦点顕微鏡100に備わる記憶装置に記憶する。そして、処理をステップS602に移行する。
ステップS606において、共焦点顕微鏡100は、例えば、記憶装置の所定のアドレスに記憶されているレベル制御テーブル302を参照し、レベル番号n=0と一致する「強調レベル」の「凹凸度」(以下、「第2の凹凸度」という)を取得する。そして、第1の凹凸度と第2の凹凸度とを比較する。
ステップS607において、共焦点顕微鏡100は、レベル番号nを1だけインクリメントする。そして、レベル番号nと、レベル制御テーブル302の終わりを示すレベル番号Nとを比較する。レベル番号nがN以下の場合には、処理をステップS606に移行する。また、レベル番号nがNより大きい場合には、処理をステップS610に移行する。
ステップS608において、共焦点顕微鏡100は、記憶装置に記憶されているレベル制御テーブル302を参照する。そして、ステップS606及びS607の処理によって決定した強調レベルnの「強調度」を取得する。
(第3の実施例)
図7は、本発明の第3の実施例に係る共焦点顕微鏡の処理を示すフローチャートである。
ステップS701において、共焦点顕微鏡100は、図1で説明した動作により試料106の全焦点画像データ及び高さマップ画像を取得し、例えば、共焦点顕微鏡100に備わる記憶装置に記憶する。そして、処理をステップS702に移行する。
ステップS706において、共焦点顕微鏡100は、例えば、記憶装置の所定のアドレスに記憶されているレベル制御テーブル303を参照し、レベル番号n=0と一致する「強調レベル」の「微分値」(以下、「第2の微分値」という)を取得する。そして、第1の微分値と第2の微分値とを比較する。
ステップS707において、共焦点顕微鏡100は、レベル番号nを1だけインクリメントする。そして、レベル番号nと、レベル制御テーブル303の終わりを示すレベル番号Nとを比較する。レベル番号nがN以下の場合には、処理をステップS706に移行する。また、レベル番号nがNより大きい場合には、処理をステップS712に移行する。
ステップS708において、共焦点顕微鏡100は、ステップS701で取得した全焦点画像データの輝度ヒストグラムから輝度偏差σを求める。そして、処理をステップS709に移行する。
ステップS710において、共焦点顕微鏡100は、記憶装置に記憶されているレベル制御テーブル303を参照する。そして、ステップS706及びS707の処理によって決定した強調レベルnの「強調度」を取得する。
なお、第1および第2の実施例では、それぞれ「高さ」、「凹凸度」に応じて全焦点画像に対するコントラストの強調レベル(強調度)を最適なレベルに制御している例を示したが、第3の実施例と同様に、「偏差閾値」を組み合わせて使用してもよい。
また、第1〜第3の実施例では、ステップS501(S601、S701)で取得した全焦点画像データに直接コントラスト強調処理を施す場合について説明している(この場合、全焦点画像データ自体が変更される)が、当該全焦点画像データ自体は変更せずに、当該全焦点画像データに対してコントラスト強調を施した表示用データを新たに生成してモニタ113に出力してもよい。
101 ・・・ 光源
102 ・・・ ビームスプリッタ
103 ・・・ 2次元走査機構
104 ・・・ Zレボルバ
105 ・・・ 対物レンズ
106 ・・・ 試料
107 ・・・ 結像レンズ
108 ・・・ ピンホール
109 ・・・ 光検出器
110 ・・・ コンピュータ
111 ・・・ 試料台
112 ・・・ ステージ
113 ・・・ モニタ
200 ・・・ 輝度分布を示すヒストグラム
301〜303 ・・・ レベル制御テーブル
Claims (6)
- 対物レンズを介して試料に集束光を照射する光照射手段と、
前記試料に対する前記対物レンズの集光位置を前記集束光の光軸方向にそって任意の範囲で変動させる集光位置変動手段と、
該集光位置毎に前記光軸方向に直交する所定の平面内を走査し、前記集束光の前記試料による反射光を受光して共焦点画像を取得する共焦点画像取得手段と、
該共焦点画像から各画素について最大輝度値を抽出して全焦点画像を生成する全焦点画像生成手段と、
該最大輝度値を取得した集光位置から該集光位置における前記試料の高さを取得して高さマップ画像を生成する高さマップ画像生成手段と、
該高さマップ画像から得られる試料の状態に応じて、前記全焦点画像に対して施すコントラストの強調レベルを決定する強調レベル制御手段と、
該強調レベル制御手段が決定した強調レベルにしたがって前記全焦点画像に対してコントラスト強調処理を行う画像処理部と、
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 前記試料の状態に応じた前記強調レベルを定義するレベル制御情報を記憶するレベル制御情報記憶手段をさらに有し、
前記強調レベル制御手段は、該レベル制御情報記憶手段から前記レベル制御情報を読出して参照し、前記高さマップ画像から得られる試料の状態に該当する強調レベルを取得する、
ことを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡。 - 前記試料の状態には、前記高さマップ画像から得られる前記試料の高さの最大値と最小値の差を用いることを特徴とする請求項2に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記試料の状態には、前記高さマップ画像から得られる前記試料の任意の表面の凹凸度を用いることを特徴とする請求項2に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記試料の状態には、前記高さマップ画像から得られる前記試料の任意の表面の変化率を用いることを特徴とする請求項2に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記強調レベル制御手段は、前記全焦点画像から輝度偏差を算出し、該輝度偏差とあらかじめ設定された偏差閾値とを比較し、前記輝度偏差が前記偏差閾値より大きい場合のみ、レベル制御情報から強調レベルを取得して前記画像処理部にコントラスト強調処理を実行させることを特徴とする請求項2に記載の共焦点顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312547A JP4847295B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 共焦点顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312547A JP4847295B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 共焦点顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008129226A JP2008129226A (ja) | 2008-06-05 |
JP4847295B2 true JP4847295B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=39555114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006312547A Active JP4847295B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 共焦点顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4847295B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5759271B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2015-08-05 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置 |
JP6246555B2 (ja) * | 2013-10-25 | 2017-12-13 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡撮像装置、顕微鏡撮像方法および顕微鏡撮像プログラム |
JP2020112633A (ja) * | 2019-01-09 | 2020-07-27 | 国立大学法人 筑波大学 | 顕微観察方法及び顕微観察用試料保持具 |
CN111044455B (zh) * | 2019-12-27 | 2022-08-30 | 河北工程大学 | 一种数字全息显微成像设备光路共焦装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3704387B2 (ja) * | 1995-02-23 | 2005-10-12 | オリンパス株式会社 | 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法 |
JP3722535B2 (ja) * | 1996-02-06 | 2005-11-30 | オリンパス株式会社 | 走査型共焦点顕微鏡及びこの顕微鏡を使用した測定方法 |
JP2000321503A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-24 | Keyence Corp | 共焦点顕微鏡の自動調整方法および共焦点顕微鏡 |
JP2001281550A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 |
JP4493453B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2010-06-30 | オリンパス株式会社 | 光検出回路および該光検出回路を備えた走査型共焦点顕微鏡 |
JP2006126375A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Olympus Corp | 走査型レーザ顕微鏡及びその調整方法、並びにプログラム |
-
2006
- 2006-11-20 JP JP2006312547A patent/JP4847295B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008129226A (ja) | 2008-06-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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