JP2008046484A - 自動焦点検出装置及び自動焦点検出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明では、光学顕微鏡において、光検出器の検出感度値を合焦評価値として用いて、サンプルに依存しない自動焦点検出装置を提供する。
【解決手段】試料が載置されたステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に連続移動可能な顕微鏡の合焦を行う自動焦点検出装置は、前記試料に照明光を照射してその反射光に応じた輝度データを検出する光検出手段と、前記光検出手段から取得した輝度データに基づいて、該光検出手段の検出感度を調整して該調整した検出感度を該光検出手段に設定する検出感度調整手段と、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定する合焦点位置推定手段と、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】試料が載置されたステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に連続移動可能な顕微鏡の合焦を行う自動焦点検出装置は、前記試料に照明光を照射してその反射光に応じた輝度データを検出する光検出手段と、前記光検出手段から取得した輝度データに基づいて、該光検出手段の検出感度を調整して該調整した検出感度を該光検出手段に設定する検出感度調整手段と、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定する合焦点位置推定手段と、を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微鏡などの光学機器に適用される自動焦点検出技術に関する。
従来、顕微鏡などに適用される自動焦点方法として、様々な方式が考えられている。例えば、試料面で反射した反射光を受光素子により検出して得られた輝度データを焦点評価値として扱い、この評価値が最高値となるようにステージまたは対物レンズをZ軸方向に移動させ合焦させるという山登りサーボ方式によるオートフォーカス制御が知られている(例えば、特許文献1。)。
また、上記オートフォーカス制御において合焦時間を短縮したい場合は、焦点評価値を所定の関数で近似し、その関数に基づいて合焦位置を推測する方法が知られている(例えば、特許文献2。)。
特開2001−59935号公報
特開平8−29667号公報
従来技術では、使用者は光検出器の感度設定を最適に調整してからオートフォーカスを実行する必要があった。そのため、反射率の異なるサンプルを連続して観察する場合、サンプルごとに光検出器の感度設定を調整する必要があり、使用者の負担が大きかった。
上記課題に鑑み、本発明では、光学顕微鏡において、光検出器の検出感度値を合焦評価値として用いて、サンプルに依存しない自動焦点検出装置及び自動焦点検出方法を提供する。
本発明にかかる、試料が載置されたステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に連続移動可能な顕微鏡の合焦を行う自動焦点検出装置は、前記試料に照明光を照射してその反射光に応じた輝度データを検出する光検出手段と、前記光検出手段から取得した輝度データに基づいて、該光検出手段の検出感度を調整して該調整した検出感度を該光検出手段に設定する検出感度調整手段と、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定する合焦点位置推定手段と、を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、さらに、前記輝度データより構築される2次元画像データ内の所定の領域の輝度値を検出する輝度検出手段と、を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記輝度検出手段は、前記輝度データより構築される2次元画像内の所定の領域を構成する画素群のうちの輝度値の最大値及び最小値のうち少なくともいずれかを検出し、該検出した輝度値が前記光検出手段の検出感度の調整条件として設定されている所定の閾値の誤差範囲内に含まれるか否かを判断することを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記輝度検出手段は、前記輝度データより構築される2次元画像内の所定の領域を構成する画素群のうちの輝度値の最大値及び最小値のうち少なくともいずれかを検出し、該検出した輝度値が前記光検出手段の検出感度の調整条件として設定されている所定の閾値の誤差範囲内に含まれるか否かを判断することを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記検出感度調整手段は、前記輝度検出手段による検出結果に基づいて、前記光検出手段の検出感度を調整することを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記所定の領域は、前記2次元画像全体、または該2次元画像の一部の領域であることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記所定の領域は、前記2次元画像全体、または該2次元画像の一部の領域であることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記所定の閾値は、前記光検出手段から出力された検出信号に基づいて設定される値、または任意に設定される値であることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、さらに、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定後の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成する焦点評価値生成手段を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、さらに、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定後の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成する焦点評価値生成手段を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、さらに、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定前の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成する焦点評価値生成手段を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置において、前記合焦点位置推定手段は、前記焦点評価値生成手段により生成された焦点評価値を表す関数のピーク位置を合焦点とすることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、さらに、前記合焦位置推定手段により推定された合焦点位置情報に基づいて、前記ステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に移動させる移動制御手段を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、さらに、前記合焦位置推定手段により推定された合焦点位置情報に基づいて、前記ステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に移動させる移動制御手段を備えることを特徴とする。
前記自動焦点検出装置は、顕微鏡システムに搭載されることを特徴とする。
試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に移動させることができ、該試料に照明光を照射してその反射光を光検出器により検出することが可能な顕微鏡の自動焦点検出方法は、前記光検出器より出力される輝度信号を取得し、前記取得された輝度信号により表される2次元画像データ内の所定の領域の輝度値に基づいて、前記光検出器の検出感度を調整して該調整した検出感度を該検出器に設定し、前記設定された前記光検出器の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定することを特徴とする。
試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に移動させることができ、該試料に照明光を照射してその反射光を光検出器により検出することが可能な顕微鏡の自動焦点検出方法は、前記光検出器より出力される輝度信号を取得し、前記取得された輝度信号により表される2次元画像データ内の所定の領域の輝度値に基づいて、前記光検出器の検出感度を調整して該調整した検出感度を該検出器に設定し、前記設定された前記光検出器の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定することを特徴とする。
使用者は、光検出器の検出感度の設定をすることなく、合焦点を検出することが可能となる。また、オートゲインコントロール(以下、「AGC」と称する)により試料の反射率に合わせて光検出器の設定を調整する必要がないので、使用者の負担を軽減させることができる。
本発明の実施形態にかかる自動焦点検出装置は、試料が載置されたステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に連続移動可能な顕微鏡の合焦制御を行うものである。自動焦点検出装置は、光検出手段と、検出感度調整手段と、合焦点位置推定手段とを備える。
光検出手段(以下の実施形態で言えば、光検出器11に相当する)は、前記試料からの反射光に応じた輝度データを検出する。
検出感度調整手段(以下の実施形態で言えば、AGC102に相当する)は、前記光検出手段から取得した輝度データに基づいて、該光検出手段の検出感度を調整して該調整した検出感度を該光検出手段に設定する。この検出感度調整手段は、後述の輝度検出手段による検出結果に基づいて、前記光検出手段の検出感度を調整する。
検出感度調整手段(以下の実施形態で言えば、AGC102に相当する)は、前記光検出手段から取得した輝度データに基づいて、該光検出手段の検出感度を調整して該調整した検出感度を該光検出手段に設定する。この検出感度調整手段は、後述の輝度検出手段による検出結果に基づいて、前記光検出手段の検出感度を調整する。
合焦点位置推定手段(以下の実施形態で言えば、合焦点判断手段103に相当する)は、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定する。
このように構成することにより、AGC後の光検出器の検出感度設定値と、AGCにより調整される前の輝度値から、AGC後の輝度値を算出し、それを新たな焦点評価値として用いることにより、オートフォーカス前の光検出器の調整を必要としない自動焦点検出装置を提供することができる。
前記自動焦点検出装置は、さらに、輝度検出手段を備える。輝度検出手段(以下の実施形態で言えば、輝度検出手段101に相当する)は、前記輝度データより構築される2次元画像データ内の所定の領域の輝度値を検出する。この輝度検出手段は、前記輝度データより構築される2次元画像内の所定の領域を構成する画素群のうちの輝度値の最大値及び最小値のうち少なくともいずれかを検出し、該検出した輝度値が前記光検出手段の検出感度の調整条件として設定されている所定の閾値の誤差範囲内に含まれるか否かを判断する。
このように構成することにより、前記光検出器の検出感度を最適な値になるように調整することができる。
前記所定の領域は、前記2次元画像全体、または該2次元画像の一部の領域である。このように構成することにより、AGCをどの領域に対して有効にするか目的に合わせて任意に設定することが可能となる。
前記所定の領域は、前記2次元画像全体、または該2次元画像の一部の領域である。このように構成することにより、AGCをどの領域に対して有効にするか目的に合わせて任意に設定することが可能となる。
前記所定の閾値は、前記光検出手段から出力された検出信号に基づいて設定される値、または任意に設定される値である。このように構成することにより、AGCの調整条件を、使用者により任意に設定することが可能となる。
前記自動焦点検出装置は、さらに、焦点評価値生成手段を備える。この焦点評価値生成手段(以下の実施形態で言えば、焦点評価値生成手段601)は、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定後の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成する。
このように構成することにより、AGC後の光検出器の検出感度設定値と、該検出感度設定値が適応された後の光検出器からの出力値とに基づいて、新たな焦点評価値を生成することにより、合焦位置検出の精度の向上を図ることができる。
また、焦点評価値生成手段は、前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定前の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成することもできる。
このように構成することにより、AGC後の光検出器の検出感度設定値と、該検出感度設定値が適応される前の光検出器からの出力値とに基づいて、新たな焦点評価値を生成することにより、合焦位置検出の精度の向上を図ることができる。
前記合焦点位置推定手段は、前記焦点評価値生成手段により生成された焦点評価値を表す関数のピーク位置を合焦点とすることができる。
前記自動焦点検出装置は、さらに、移動制御手段を備える。移動制御手段(以下の実施形態で言えば、移動駆動部8に相当する)は、前記合焦位置推定手段により推定された合焦点位置情報に基づいて、前記ステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に移動させる。
前記自動焦点検出装置は、さらに、移動制御手段を備える。移動制御手段(以下の実施形態で言えば、移動駆動部8に相当する)は、前記合焦位置推定手段により推定された合焦点位置情報に基づいて、前記ステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に移動させる。
それでは、以下に、本発明の実施形態の詳細について説明する。
<第1の実施形態>
本実施形態では、光検出器の検出感度値を合焦評価値に用いた顕微鏡システムについて説明する。
<第1の実施形態>
本実施形態では、光検出器の検出感度値を合焦評価値に用いた顕微鏡システムについて説明する。
(実施例1)
図1は、本実施形態における共焦点走査型顕微鏡システムの概略構成を示す。同図において、光源1は、レーザ光などの点光源から構成される。この光源1からのスポット光は、2次元走査用スキャナ2に導かれる。
図1は、本実施形態における共焦点走査型顕微鏡システムの概略構成を示す。同図において、光源1は、レーザ光などの点光源から構成される。この光源1からのスポット光は、2次元走査用スキャナ2に導かれる。
2次元走査用スキャナ2は、光源1からのスポット光を試料4上に2次元方向に走査する。2次元走査用スキャナ2は、例えば、X軸方向走査用のXスキャナ(レゾナントスキャナまたはガルバノミラー)と、Y軸方向走査用のYスキャナ(ガルバノミラー)を有している。2次元走査用スキャナ2は、これらXスキャナとYスキャナをX軸方向及びY軸方向に振ることで、スポット光を試料4上でXY方向に振らせるようになっている。
対物レンズ3を透過して2次元走査されたスポット光は、ステージ5上の試料4に照射される。この場合、対物レンズ3は、サーボモータなどの移動駆動部8によりスポット光の光軸方向、つまりZ軸方向に連続的に移動可能になっている。
試料4からの反射光は、対物レンズ3を通して2次元走査用スキャナ2に戻り、この2次元走査用スキャナ2からの反射光は光検出器11に導かれる。光検出器11は、受光面の前面に図示しないピンホールを有する。光検出器11は、ピンホールを介してその反射光を受光し、その光量に対応した輝度信号をA/D変換器6に出力する。
光検出器11は、A/D変換器6を介してCPU7と接続されている。CPU7には、2次元走査用スキャナ2、移動駆動部8の他に、フレームメモリ9を介して表示部10が接続されている。
CPU7は、移動駆動部8に対して対物レンズ3のZ軸方向の移動速度の設定、移動開始停止の指示及び停止位置の読み込みなどを行なう。また、CPU7は、所定のメモリより本実施形態にかかるプログラムを読み出すことにより、CPU7は輝度検出手段101、AGC102、合焦点判断手段103、感度検出手段104として機能する。
輝度検出手段101は、対物レンズ3のZ軸方向の移動に伴って、所定のピッチまたはサンプリング間隔で光検出器11からの輝度信号を検出する。
AGC102は、この輝度検出手段101により検出された輝度信号を所定の範囲のダイナミックレンジにするために、光検出器11に対して適切な検出感度を設定する。
AGC102は、この輝度検出手段101により検出された輝度信号を所定の範囲のダイナミックレンジにするために、光検出器11に対して適切な検出感度を設定する。
感度検出手段104は、AGC102により設定された検出感度値(ゲイン値)を記憶して、この記憶した検出感度値と新たに設定した検出感度値とを比較する。
合焦点判断手段103は、光検出器11に設定された検出感度値の変化に基づいて、合焦点を判断する。
合焦点判断手段103は、光検出器11に設定された検出感度値の変化に基づいて、合焦点を判断する。
CPU7は、さらに、2次元走査用スキャナ2に対してスポット光の走査を指示し、このスポット光走査により得られる反射光を光検出器11で受光して、光検出器11により検出された輝度信号により共焦点観察像を生成する。表示部10は、CPU7で生成されたその共焦点観察像を、フレームメモリ9を介して表示する。
なお、不図示のROM(リードオンリーメモリ)やRAM(ランダムアクセスメモリ)等の記憶装置も備えており、CPU7は、これらの記憶装置から後述する調整条件や誤差範囲その他のパラメータを読み込む。また、これらの記憶装置には、後述するフローを実行するためのプログラムも格納されており、CPU7はそのプログラムを読み込んで本実施形態を実行し、顕微鏡システムを制御する。
次に本発明の原理について説明する。
図2は、本実施形態におけるIZ曲線と焦点評価値との関係を示す。IZ曲線201は、光検出器11から出力される輝度信号(I)と対物レンズ3の光軸方向の位置(Z)との関係を表したものである。すなわち、IZ曲線201は、ある一定の検出感度設定値で取得した曲線であり、試料4に充分近い位置から遠ざかる方向に向かって、対物レンズ3を移動させたときに得られる光検出器11から出力される輝度信号を表したものである。
図2は、本実施形態におけるIZ曲線と焦点評価値との関係を示す。IZ曲線201は、光検出器11から出力される輝度信号(I)と対物レンズ3の光軸方向の位置(Z)との関係を表したものである。すなわち、IZ曲線201は、ある一定の検出感度設定値で取得した曲線であり、試料4に充分近い位置から遠ざかる方向に向かって、対物レンズ3を移動させたときに得られる光検出器11から出力される輝度信号を表したものである。
焦点評価値曲線202は、光検出器11から得られる輝度信号を所定のレンジ203になるようにAGC102を実行した時に光検出器11に設定された検出感度設定値(焦点評価値)とZ位置との関係を表している。
今、対物レンズ3を試料4に充分近い位置(例えばA点)から遠ざかる方向へ連続的に移動させる。そうすると、光検出器11により検出される輝度値は、対物レンズ3の移動とともに増加していき、最高輝度値を超えた時点から減少するようになる(IZ曲線201)。従来は、この最高輝度値を合焦点と判断していた。
一方、新たな焦点評価値202は、対物レンズ3を試料4に充分近い位置(例えばA点)から遠ざかる方向に連続的に移動させると、AGC102により設定された検出感度設定値は、対物レンズ3の移動とともに減少していき、最小検出感度設定値を超えた時点から増加するようになる。本実施形態では、この新たな焦点評価値202の最小検出感度設定値を合焦点と判断することを特徴とする。
次に、図1の共焦点走査型顕微鏡システムを用いて、大まかな合焦位置を検出するための動作を、図3に従い説明する。
図3は、本実施形態における合焦点検出処理フローを示す。まず、CPU7は対物レンズ3を開始位置へ移動させる(ステップ1。以下、ステップを「S」と称する。)。具体的には、対物レンズ3を試料4に充分近付けて位置させる。それから、光源1からのスポット光を、対物レンズ3を介して試料4上に照射するとともに、試料4からの反射光を光検出器11により検出させて輝度信号として出力するように設定する。
図3は、本実施形態における合焦点検出処理フローを示す。まず、CPU7は対物レンズ3を開始位置へ移動させる(ステップ1。以下、ステップを「S」と称する。)。具体的には、対物レンズ3を試料4に充分近付けて位置させる。それから、光源1からのスポット光を、対物レンズ3を介して試料4上に照射するとともに、試料4からの反射光を光検出器11により検出させて輝度信号として出力するように設定する。
次に、CPU7は、移動駆動部8を駆動させて対物レンズ3を上方向へ移動させる(S2)。すなわち、S1の状態から、移動駆動部8により、試料4から離れる方向にZ軸に沿って所定のピッチで対物レンズ3を離散的に移動させる。このZ方向の移動ピッチは、対物レンズ3が高倍の場合には狭く、低倍の場合には広く設定している。
次に、CPU7は光検出器11により検出された輝度データの取り込みを開始する(S3)。ここでは、所定のピッチ毎に試料4を2次元走査することで得られた反射光が光検出器11により検出されて、その光検出器11から出力された輝度信号がCPU7により取得される。
次に、CPU7は感度検出処理を行う(S4)。ここでは、S3で取得された輝度信号が輝度検出手段101により所定のレンジの範囲外であると判断された場合は、AGC102により光検出器11に対して最適な検出感度値が設定される。すなわち、そのレンジ内に収まるようにゲインがかけられる。
一方、S3で取得された輝度信号が輝度検出手段101により所定のレンジの範囲内であると判断された場合は、AGC102は光検出器11に設定されている検出感度値を変えない。
AGC102により光検出器11に設定された検出感度値は、対物レンズ3の移動とともに減少していき、最小検出感度を越えた時点から増加するようになる。このS4については、図4で詳述する。
次に、CPU7により対物レンズ3が最小検出感度値を通過し所定ステップ移動したか否かが判断される(S5)。対物レンズ3は所定のピッチで光軸方向に移動するので、光検出器11に設定した検出感度値は、そのピッチ毎に感度検出手段104により記憶される。感度検出手段104は、前回記憶した検出感度値と今回記憶した設定した検出感度値とを比較する。これにより、前回設定した検出感度値より今回設定した検出感度値が大きいという判断が所定回数続けば、最小検出感度値を越えたと判断することができる。
このようにして、前回の検出感度値と今回の検出感度値を順次比較することにより、連続して検出感度値が所定回数増加する傾向が見られると(S5で「YES」へ進む)、CPU7は移動駆動部8を制御して、対物レンズ3の移動を停止させる。
S5で「NO」の場合、CPU7は対物レンズ3がZ軸方向の所定の範囲内を移動したかを判断する(S6)。対物レンズ3が所定の範囲内を移動していない場合は(S6で「NO」へ進む)、所定のピッチ分、対物レンズ3を上方向へ移動させ、S3の処理に戻る。
S6で「YES」の場合、CPU7の合焦点判断手段103は最小検出感度値を取得した対物レンズ3のZ位置を推定する(S7)。対物レンズ3は所定のピッチで離散的に移動しているため、合焦点判断手段103は、それまでに離散的に停止してきた対物レンズ3のZ位置と、そのZ位置に対応する検出感度値とに基づいて、理想とする最小検出感度値に対応する対物レンズ3のZ位置を算出する。このようにして、検出感度値とそれに対応する対物レンズ3のZ位置を用いると、合焦点を所定の関数でフィッティングすることにより推定することができる。
ここでは、ガウス曲線を用いたフィッティング処理の一例を示す。例えば、各点の取得データ間にガウス曲線(理想曲線)を描き、この曲線と取得した検出感度値との誤差距離が最小になるように曲線近似を行い、その曲線を表す関数を数学的に算出する。そして、フィッティング処理された曲線からピーク位置を推定できる。
なお、上記の例では対物レンズ3のZ位置が離散的に移動したため計算によりZ位置を推定したが、これに限定されず、例えば推定値を用いずに、実際の位置を用いてもよい。すなわち、ピッチを十分細かくし、対物レンズ3のZ位置を連続的に移動させることにより実際に測定された最小検出感度値に対応するZ位置を用いてもよい。
次に、推定した位置に対物レンズ3を移動駆動部8により移動させる(S8)。このようにして、合焦位置を検出することができる。
図4は、本実施形態におけるAGC処理のフローの一例である。当該フローは、CPU7により実行されるフローであって、図3のS4の詳細を示すフローである。なお、本実施形態では、光検出器11としてフォトマルチプライヤを用いるが、これに限定されず、例えば、フォトダイオードやCCDのような固体撮像素子であってもよい。
図4は、本実施形態におけるAGC処理のフローの一例である。当該フローは、CPU7により実行されるフローであって、図3のS4の詳細を示すフローである。なお、本実施形態では、光検出器11としてフォトマルチプライヤを用いるが、これに限定されず、例えば、フォトダイオードやCCDのような固体撮像素子であってもよい。
まず、2次元走査用スキャナ2を駆動させて試料4を1回以上走査させることで、CPU7は輝度データ(画像データ)を取得する(S4−1)。次に、輝度検出手段101は、その取得した画像データから、例えば関心領域を構成する画素群の輝度値の最大値や最小値等を取得する。関心領域は、予め本実施形態にかかるプログラム上で設定しておくか、もしくは使用者により指定されてもよい。なお、その取得した画像データの全画素群の輝度値の最大値や最小値等を取得してもよい。
次に、輝度検出手段101は、その算出した輝度値の最大値が所定の閾値(調整条件)に対して、所定の誤差範囲に入っているかどうか判断する(S4−2)。所定の誤差範囲は、予め本実施形態にかかるプログラム上で設定しておくか、もしくは使用者により指定される。輝度検出手段101は、例えば、関心領域の輝度値の最大値が調整条件(例えば、ダイナミックレンジの60%)に対して、所定の誤差範囲(例えば、±5%)内に入っているかどうか判断する。
S4−2において、関心領域の輝度値の最大値が所定の誤差範囲内に入ってないと判断された場合(S4−2で「NO」へ進む)、AGC102は、調整条件になるように、現在の検出感度設定と輝度値から、光検出器11に設定して検出感度を調整するための調整値を算出する(S4−3)。
本実施形態では、光検出器としてフォトマルチプライヤを用いているので、AGC102は、検出感度を印加電圧HVで制御することで調整できる。検出感度Gは、ある印加電圧HVにおいて、
G=k×HV^a
で表すことができる。ここで、a,kは、フォトマルチプライヤ固体毎に決まる値である。
G=k×HV^a
で表すことができる。ここで、a,kは、フォトマルチプライヤ固体毎に決まる値である。
例えば、最大値がダイナミックレンジの60%以下、最小値が50%という調整条件が設定されている場合、調整前の状態では、輝度値I(1)は、印加電圧HV(1)でサンプルの反射率がr、光学系効率がtとすると、
I(1)=G(1)×r×t (式1)
であるから、
I(1)=r×t×k×HV(1)^a
となる。輝度値をI(60%)に調整したい場合は、
I(1)/I(60%)={HV(1)^a}/{HV(60%)^a}
より、係数aが定まれば、HV(60%)を求めることが可能である。
I(1)=G(1)×r×t (式1)
であるから、
I(1)=r×t×k×HV(1)^a
となる。輝度値をI(60%)に調整したい場合は、
I(1)/I(60%)={HV(1)^a}/{HV(60%)^a}
より、係数aが定まれば、HV(60%)を求めることが可能である。
ここで、係数aは、フォトマルチプライヤの特性として、例えば製造メーカの示す値を用いても良いし、厳密には、装置毎に実験的に特性を求めればよい。同様に、HV(50%)を求める。
仮に、光検出器11にフォトディテクタを用いた場合は、増幅器の特性に基づいて、調整値を同様に算出することは可能である。通常、増幅器の特性についてのグラフにおける増幅にかかる部分は線形で示されるので、演算はより容易である。
また、演算方法は、従来技術にあるような、2分式探索方法等を用いても良い。また、オフセット等の他のパラメータがある場合は、そのパラメータに応じて演算式を立てて、その式に基づいて演算すればよい。
次に、AGC102はS4−3で得られた調整パラメータを光検出器11に設定する(S4−4)。本実施形態では、S4−3で得られた調整パラメータは、フォトマルチプライヤに設定される。その後に、S4−1と同様にして再度画像データを取得し、S4−2と同様にして輝度値を求めて、再度調整が必要かどうか判断し(S4−2)、必要があれば再度調整する処理(S4−3,S4−4)を加えても良い。
本実施形態では、計算式により検出感度値を算出したが、光検出器への入力信号が予め決められた閾値よりも低い場合は、予め決められた設定値分だけ光検出器の検出感度を上げてもよい。なお、光検出器が飽和してしまう場合は、予め決められた設定値分だけ光検出器の検出感度を下げてもよい。
(実施例2)
実施例1では、最小検出感度値を取得する度に、対物レンズ3を一定の間隔で停止させていたが、本実施例2では、対物レンズ3を連続的に移動させ、それに従って最小検出感度値を取得するようにしてもよい。
実施例1では、最小検出感度値を取得する度に、対物レンズ3を一定の間隔で停止させていたが、本実施例2では、対物レンズ3を連続的に移動させ、それに従って最小検出感度値を取得するようにしてもよい。
すなわち、所定のサンプリング周期、例えば1KHzで光検出器11から輝度データを取得し、その輝度データに対して、上記の実施形態と同様にAGC102を実行し、焦点評価値を取得し、ピーク位置を推定すればよい。
ただし、対物レンズ3の移動中のある時点での位置をCPU7で読み取ることができないという制約がある場合は、特許文献1のような手法でピーク位置周辺を往復運動させてピーク位置を特定すればよい。
(実施例3)
実施例1では、光検出器11の検出感度を調整したが、本実施例では、光源1の光量設定を調整する。
実施例1では、光検出器11の検出感度を調整したが、本実施例では、光源1の光量設定を調整する。
図5は、本実施形態(実施例3)における共焦点走査型顕微鏡の概略構成を示す。同図では、図1のCPU7内にあるAGC102の代わりに、自動光量調整手段502が設けられている。また、CPU7は、光源1と接続されている。
図3のS4において、光検出器11から取得した輝度信号が所定のレンジの範囲であった場合は、自動光量調整手段502により最適な光源1の光量を設定する。これにより、実施例1と同一の作用、効果を得ることができる。
光検出器11への入力信号が予め決められた閾値よりも低い場合は、自動光量調整手段502により予め決められた設定値分だけ光源1の光量を上げてもよいし、計算により光量を求めてもよい。また、光検出器11が飽和してしまう場合は、自動光量調整手段502により予め決められた設定値分だけ光源1の光量を下げてもよいし、計算により光量を求めてもよい。
以上より、本実施形態によれば、使用者は、光検出器の検出感度の設定をすることなしに、合焦点を検出することができる。また、AGCにより試料の反射率に合わせて、光検出器の設定を調整する必要がないので、使用者の負担を軽減させることができる。
<第2の実施形態>
本実施形態では、AGC102による調整後の光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を適応する前または後の光検出器11への入力信号とに基づいて、合焦評価値を算出する。
本実施形態では、AGC102による調整後の光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を適応する前または後の光検出器11への入力信号とに基づいて、合焦評価値を算出する。
図6は、本実施形態における共焦点走査型顕微鏡の概略構成を示す。本実施形態は、第1の実施形態のCPU7内に、さらに、焦点評価値生成手段601を追加したものである。
実施例1では、焦点評価値生成手段601を用いて、AGC102による調整後の光検出器の検出感度設定値と、その検出感度設定値を適応後の光検出器への入力信号とに基づいて、その検出感度設定値における光検出器11の出力値を計算により求める。
実施例2では、焦点評価値生成手段601を用いて、AGC102による調整後の光検出器の検出感度設定値と、その検出感度設定値を適応前の光検出器への入力信号とに基づいて、その検出感度設定値における光検出器11の出力値を計算により求める。
(実施例1)
本実施例では、AGC102により設定された光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を光検出器に設定した後の輝度値とから、その検出感度設定値における光検出器11の出力値を算出する方法について説明する。ここで、出力値の計算方法の一例を図7を用いて説明する。
本実施例では、AGC102により設定された光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を光検出器に設定した後の輝度値とから、その検出感度設定値における光検出器11の出力値を算出する方法について説明する。ここで、出力値の計算方法の一例を図7を用いて説明する。
図7は、本実施形態(実施例1)におけるAGC102による調整後の光検出器の検出感度設定値(701)と、その検出感度設定値の適応後の光検出器への入力信号(702)から、合焦評価値(704)を取得することについて説明するための図である。
符号701は、AGC102の実行後の光検出器11の感度設定値を示している。符号702は、符号701の検出感度を光検出器11に設定した後の、光検出器11への入力信号(輝度値)を示している。符号703は、図2の符号203で表したレンジに相当する。
焦点評価値生成手段601は、符号701と符号702の信号から、新たな焦点評価値704を生成する。計算方法は、例えば、式(1)によりAGC102により設定された光検出器11の検出感度設定値にAGC102を実行後の輝度値を乗じればよい。出力値は、実際には光検出器11の種類に応じた計算方法で算出すればよい。
この場合、符号704のような従来のIZ曲集と同様な信号が得られる。すなわち、対物レンズを試料に充分近い位置から、試料から遠ざかる方向に連続的に移動させると、新たな焦点評価値は、対物レンズ3の移動とともに増加していき、最大値を超えた時点から減少するようになる。
合焦点判断手段103では、以上のようにして求めた新たな焦点評価値を用いて、合焦判断を行う。
(実施例2)
本実施例では、AGC102により設定された光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を光検出器に設定する前の輝度値とから、その検出感度設定値における光検出器11の出力値を算出する方法について説明する。ここで、出力値の計算方法の一例を図8を用いて説明する。
(実施例2)
本実施例では、AGC102により設定された光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を光検出器に設定する前の輝度値とから、その検出感度設定値における光検出器11の出力値を算出する方法について説明する。ここで、出力値の計算方法の一例を図8を用いて説明する。
図8は、本実施形態(実施例2)におけるAGC102による調整後の光検出器の検出感度設定値(801)と、その検出感度設定値の適応後の光検出器への入力信号(802)から、合焦評価値(804)を取得することについて説明するための図である。
符号801は、AGC102の実行後の光検出器11の感度設定値を示している。符号802は、符号801の検出感度を光検出器11に設定前の、光検出器11への入力信号(輝度値)を示している。
符号801は、AGC102の実行後の光検出器11の感度設定値を示している。符号802は、符号801の検出感度を光検出器11に設定前の、光検出器11への入力信号(輝度値)を示している。
焦点評価値生成手段601は、符号801と符号802の信号から、新たな焦点評価値804を生成する。計算方法は、例えば、式(1)によりAGC102により設定された光検出器11の検出感度設定値にAGC102を実行前の輝度値を乗じればよい。出力値は、実際には光検出器11の種類に応じた計算方法で算出すればよい。
この場合、符号804のような従来のIZ曲集と同様な信号が得られる。すなわち、対物レンズを試料に充分近い位置から、試料から遠ざかる方向に連続的に移動させると、新たな焦点評価値は、対物レンズ3の移動とともに増加していき、最大値を超えた時点から減少するようになる。
合焦点判断手段103では、以上のようにして求めた新たな焦点評価値を用いて、合焦判断を行う。
このように、本実施形態では、AGC102による調整後の光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を適応する前または後の光検出器11への入力信号との2種類の生データを用いるので、より精密な焦点評価値を算出することができる。
このように、本実施形態では、AGC102による調整後の光検出器11の検出感度設定値と、その検出感度設定値を適応する前または後の光検出器11への入力信号との2種類の生データを用いるので、より精密な焦点評価値を算出することができる。
本発明によれば、合焦点検出のための焦点評価値として、AGC後の光検出器の検出感度設定値を用いることにより、オートフォーカス前の光検出器の調整を必要としない自動焦点検出装置を提供することができる。
また、本発明によれば、AGC後の光検出器の検出感度設定値と、AGCにより調整される前の輝度値から、AGC後の輝度値を算出し、それを新たな焦点評価値として用いることにより、オートフォーカス前の光検出器の調整を必要としない自動焦点検出装置を提供することができる。
また、本発明によれば、AGCをどの領域に対して有効にするか目的に合わせて任意に設定することが可能となる。
また、本発明によれば、AGCの調整条件を、使用者により任意に設定することが可能となる。
また、本発明によれば、AGCの調整条件を、使用者により任意に設定することが可能となる。
また、本発明によれば、合焦点検出のための焦点評価値として、自動光量調整後の光量を用いることにより、オートフォーカス前の光検出器の調整を必要としない自動焦点検出装置を提供することができる。
また、本発明によれば、自動光量調整をどの領域に対して有効にするか目的に合わせて任意に設定することが可能となる。
また、本発明によれば、自動光量調整の調整条件を、使用者により任意に設定することが可能となる。
また、本発明によれば、自動光量調整の調整条件を、使用者により任意に設定することが可能となる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
1 光源
2 2次元走査用スキャナ
3 対物レンズ
4 試料
5 ステージ
6 A/D変換器
7 CPU
8 移動駆動部
9 フレームメモリ
10 表示部
11 光検出器
101 輝度検出手段
102 AGC
103 合焦点判断手段
104 感度検出手段
502 自動光量調整手段
601 焦点評価値生成手段
2 2次元走査用スキャナ
3 対物レンズ
4 試料
5 ステージ
6 A/D変換器
7 CPU
8 移動駆動部
9 フレームメモリ
10 表示部
11 光検出器
101 輝度検出手段
102 AGC
103 合焦点判断手段
104 感度検出手段
502 自動光量調整手段
601 焦点評価値生成手段
Claims (12)
- 試料が載置されたステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に連続移動可能な顕微鏡の合焦を行う自動焦点検出装置であって、
前記試料に照明光を照射してその反射光に応じた輝度データを検出する光検出手段と、
前記光検出手段から取得した輝度データに基づいて、該光検出手段の検出感度を調整して該調整した検出感度を該光検出手段に設定する検出感度調整手段と、
前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定する合焦点位置推定手段と、
を備えることを特徴とする自動焦点検出装置。 - 前記自動焦点検出装置は、さらに、
前記輝度データより構築される2次元画像データ内の所定の領域の輝度値を検出する輝度検出手段と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の自動焦点検出装置。 - 前記輝度検出手段は、前記輝度データより構築される2次元画像内の所定の領域を構成する画素群のうちの輝度値の最大値及び最小値のうち少なくともいずれかを検出し、該検出した輝度値が前記光検出手段の検出感度の調整条件として設定されている所定の閾値の誤差範囲内に含まれるか否かを判断する
ことを特徴とする請求項2に記載の自動焦点検出装置。 - 前記検出感度調整手段は、前記輝度検出手段による検出結果に基づいて、前記光検出手段の検出感度を調整する
ことを特徴とする請求項2に記載の自動焦点検出装置。 - 前記所定の領域は、前記2次元画像全体、または該2次元画像の一部の領域である
ことを特徴とする請求項2に記載の自動焦点検出装置。 - 前記所定の閾値は、前記光検出手段から出力された検出信号に基づいて設定される値、または任意に設定される値である
ことを特徴とする請求項3に記載の自動焦点検出装置。 - 前記自動焦点検出装置は、さらに、
前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定後の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成する焦点評価値生成手段
を備えることを特徴とする請求項1に記載の自動焦点検出装置。 - 前記自動焦点検出装置は、さらに、
前記検出感度調整手段により設定された前記光検出手段の検出感度設定値と、該検出感度設定値を設定前の該光検出手段により検出された輝度情報とに基づいて、焦点評価値を生成する焦点評価値生成手段
を備えることを特徴とする請求項1に記載の自動焦点検出装置。 - 前記合焦点位置推定手段は、前記焦点評価値生成手段により生成された焦点評価値を表す関数のピーク位置を合焦点とする
ことを特徴とする請求項7または8に記載の自動焦点検出装置。 - 前記自動焦点検出装置は、さらに、
前記合焦位置推定手段により推定された合焦点位置情報に基づいて、前記ステージと対物レンズとを光軸方向に相対的に移動させる移動制御手段
を備えることを特徴とする請求項1に記載の自動焦点検出装置。 - 請求項1〜10のいずれかに記載の自動焦点検出装置を搭載した顕微鏡システム。
- 試料が載置されたステージと対物レンズとの間の距離を光軸方向に相対的に移動させることができ、該試料に照明光を照射してその反射光を光検出器により検出することが可能な顕微鏡の自動焦点検出方法であって、
前記光検出器より出力される輝度信号を取得し、
前記取得された輝度信号により表される2次元画像データ内の所定の領域の輝度値に基づいて、前記光検出器の検出感度を調整して該調整した検出感度を該検出器に設定し、
前記設定された前記光検出器の検出感度設定値に基づいて、合焦点位置を推定する
ことを特徴とする自動焦点検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223397A JP2008046484A (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | 自動焦点検出装置及び自動焦点検出方法 |
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ID=39180263
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011257661A (ja) * | 2010-06-11 | 2011-12-22 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス機構及びこれを備えた光学式処理装置 |
JP2012078727A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡および該共焦点顕微鏡による自動焦点調節方法 |
JP2012155011A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Keyence Corp | 顕微鏡システム、焦点位置検出方法および焦点位置検出プログラム |
JP2014511508A (ja) * | 2011-02-25 | 2014-05-15 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | 画像における焦点誤差推定 |
-
2006
- 2006-08-18 JP JP2006223397A patent/JP2008046484A/ja not_active Withdrawn
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---|---|---|---|---|
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JP2014511508A (ja) * | 2011-02-25 | 2014-05-15 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | 画像における焦点誤差推定 |
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