JP2002258160A - 共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法 - Google Patents
共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法Info
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- JP2002258160A JP2002258160A JP2001060210A JP2001060210A JP2002258160A JP 2002258160 A JP2002258160 A JP 2002258160A JP 2001060210 A JP2001060210 A JP 2001060210A JP 2001060210 A JP2001060210 A JP 2001060210A JP 2002258160 A JP2002258160 A JP 2002258160A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 レーザーを用いた共焦点型レーザー顕微鏡
で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、または
透明である測定対象物の表面の合焦点位置を正確に判定
する方法、および、測定対象物の表面の高さを正確に測
定する方法を提供する。 【解決手段】オートフオーカス等により基準表面に焦点
を合わせることにより、共焦点光学系をこの高さ方向所
定位置であるＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位
置Ｚａｆを基準に、Ｚ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の
各位置における反射光を検出器で取り込み、強度データ
を第１の反射強度データとして得た後、第１の反射強度
データから、前記Ｚ軸位置Ｚａｆからの所定の高さ幅高
いＺ軸位置Ｚａをしきい値として、しきい値Ｚａ以下の
データを、カットし、新たに第２の反射強度データを得
て、第２の強度データのしきい値Ｚａ以上の領域で、変
極点が得られれば、前記変極点位置を合焦点位置として
判定する。
で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、または
透明である測定対象物の表面の合焦点位置を正確に判定
する方法、および、測定対象物の表面の高さを正確に測
定する方法を提供する。 【解決手段】オートフオーカス等により基準表面に焦点
を合わせることにより、共焦点光学系をこの高さ方向所
定位置であるＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位
置Ｚａｆを基準に、Ｚ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の
各位置における反射光を検出器で取り込み、強度データ
を第１の反射強度データとして得た後、第１の反射強度
データから、前記Ｚ軸位置Ｚａｆからの所定の高さ幅高
いＺ軸位置Ｚａをしきい値として、しきい値Ｚａ以下の
データを、カットし、新たに第２の反射強度データを得
て、第２の強度データのしきい値Ｚａ以上の領域で、変
極点が得られれば、前記変極点位置を合焦点位置として
判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光を用い
た共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー光の
波長域に近いもの、または透明である測定対象物の表面
の、合焦点位置決定方法、および、単色のレーザー光を
用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面の、高さを測定方法に関する。
た共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー光の
波長域に近いもの、または透明である測定対象物の表面
の、合焦点位置決定方法、および、単色のレーザー光を
用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面の、高さを測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、測定対象物の表面の微小な高
さの測定方法としては、単色のレーザーを用いた共焦点
型レーザー顕微鏡による高さ測定方法がある。この方法
は、共焦点光学系を高さ方向（以下、Ｚ軸方向とも呼
ぶ）へスキヤンし、検出器で取り込まれたデータの中で
最も検出値が高い時、即ち、被測定物の表面からの反射
光が最も強い光学系のＺ軸位置を、合焦点の位置と判断
し、これを測定対象物の表面高さデータとして対応付け
ている。この方法では、測定対象物の表面においてレー
ザー光の反射光が最も強いことを前提としている。図４
（ａ）に示すように、測定対象物の表面がレーザー光を
透過透過しない場合には、Ｚ軸方向位置をパラメータと
して反射光の強度を測定した場合、測定対象物の表面か
らの反射光のみが１つの山として検出され、上記方法が
適用できる。しかし、この共焦点型レーザ顕微鏡におい
ては、測定対象物の透過特性がレーザー光の波長域に近
いもの、または透明であると、レーザー光が測定物を透
過してしまう傾向がある。そして、測定対象物の透過特
性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である
場合、測定対象物表面からの反射光、測定対象物内から
の反射光が発生する。例えば、図４（ｂ）に示すよう
に、反射光の山が２つ生じ、実際には測定対象物の表面
からの反射光の山はであるが、の反射光が強い方の
山を測定対象物表面からの反射光と判断してしまう。こ
のため、共焦点型レーザ顕微鏡においては、測定対象物
表面からの反射光より、測定対象物内からの反射光の方
が強いと、実際の高さが正確に測定できないと言う問題
があった。
さの測定方法としては、単色のレーザーを用いた共焦点
型レーザー顕微鏡による高さ測定方法がある。この方法
は、共焦点光学系を高さ方向（以下、Ｚ軸方向とも呼
ぶ）へスキヤンし、検出器で取り込まれたデータの中で
最も検出値が高い時、即ち、被測定物の表面からの反射
光が最も強い光学系のＺ軸位置を、合焦点の位置と判断
し、これを測定対象物の表面高さデータとして対応付け
ている。この方法では、測定対象物の表面においてレー
ザー光の反射光が最も強いことを前提としている。図４
（ａ）に示すように、測定対象物の表面がレーザー光を
透過透過しない場合には、Ｚ軸方向位置をパラメータと
して反射光の強度を測定した場合、測定対象物の表面か
らの反射光のみが１つの山として検出され、上記方法が
適用できる。しかし、この共焦点型レーザ顕微鏡におい
ては、測定対象物の透過特性がレーザー光の波長域に近
いもの、または透明であると、レーザー光が測定物を透
過してしまう傾向がある。そして、測定対象物の透過特
性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である
場合、測定対象物表面からの反射光、測定対象物内から
の反射光が発生する。例えば、図４（ｂ）に示すよう
に、反射光の山が２つ生じ、実際には測定対象物の表面
からの反射光の山はであるが、の反射光が強い方の
山を測定対象物表面からの反射光と判断してしまう。こ
のため、共焦点型レーザ顕微鏡においては、測定対象物
表面からの反射光より、測定対象物内からの反射光の方
が強いと、実際の高さが正確に測定できないと言う問題
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、単色のレ
ーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性
がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である測
定対象物の表面を検査ないし測定する際、合焦点位置を
正確に判定できない場合があり、この対応が求められて
いた。また、単色のレーザーを用いた共焦点型レーザ顕
微鏡においては、測定対象物の透過特性がレーザー光の
波長域に近いもの、または透明である場合、実際の高さ
が正確に測定できない場合があり、この対応が求められ
ていた。本発明は、これに対応するもので、レーザーを
用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面に焦点を合わせる際、あるいは前記測定対象物の表
面の微小な高さを測定する際、それぞれ、合焦点位置を
正確に判定できる方法、測定対象物の表面の高さを正確
に測定できる方法を提供しようとするものである。
ーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性
がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である測
定対象物の表面を検査ないし測定する際、合焦点位置を
正確に判定できない場合があり、この対応が求められて
いた。また、単色のレーザーを用いた共焦点型レーザ顕
微鏡においては、測定対象物の透過特性がレーザー光の
波長域に近いもの、または透明である場合、実際の高さ
が正確に測定できない場合があり、この対応が求められ
ていた。本発明は、これに対応するもので、レーザーを
用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面に焦点を合わせる際、あるいは前記測定対象物の表
面の微小な高さを測定する際、それぞれ、合焦点位置を
正確に判定できる方法、測定対象物の表面の高さを正確
に測定できる方法を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の共焦点型レーザ
ー顕微鏡における合焦点位置判定方法は、レーザー光を
用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面の合焦点位置を判定する、合焦点位置判定方法であ
って、予め、オートフオーカス等により基準面表面に焦
点を合わせることにより、共焦点型レーザー顕微鏡の共
焦点光学系をこの高さ方向所定位置であるＺ軸位置Ｚａ
ｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを基準に、共焦点
光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方
向の各位置における反射光を検出器で取り込み、Ｚ軸位
置に対応した反射光の強度データを第１の反射強度デー
タとして得た後、第１の反射強度データから、前記Ｚ軸
位置Ｚａｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位置Ｚａを
しきい値として、しきい値Ｚａ以下のデータを、カット
し、新たに第２の反射強度データを得て、第２の強度デ
ータのしきい値Ｚａ以上の領域で、変極点が得られれ
ば、前記変極点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点
位置として判定することを特徴とするものである。本発
明の共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置決定方
法は、また、レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微
鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、また
は透明である測定対象物の表面の合焦点位置を判定す
る、合焦点位置判定方法であって、予め、共焦点型レー
ザー顕微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であ
るＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを
基準に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキ
ヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器で取
り込み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度データを反射
強度データとして得るもので、且つ、前記Ｚ軸位置Ｚａ
ｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位置Ｚａをしきい値
とし、Ｚ軸位置ＺａｆからＺ軸位置Ｚａまでの区間は、
検出感度を０もしくは０に近い値にし、Ｚ軸位置Ｚａ以
上の領域では所定の感度で反射光を検出器で取り込むも
ので、得られた反射強度データのしきい値Ｚａ以上の領
域で、反射光強度の山の変極点が得られれば、前記変極
点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点位置として判
定することを特徴とするものである。そして、上記にお
いて、共焦点型レーザー顕微鏡が走査型であることを特
徴とするものである。
ー顕微鏡における合焦点位置判定方法は、レーザー光を
用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面の合焦点位置を判定する、合焦点位置判定方法であ
って、予め、オートフオーカス等により基準面表面に焦
点を合わせることにより、共焦点型レーザー顕微鏡の共
焦点光学系をこの高さ方向所定位置であるＺ軸位置Ｚａ
ｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを基準に、共焦点
光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方
向の各位置における反射光を検出器で取り込み、Ｚ軸位
置に対応した反射光の強度データを第１の反射強度デー
タとして得た後、第１の反射強度データから、前記Ｚ軸
位置Ｚａｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位置Ｚａを
しきい値として、しきい値Ｚａ以下のデータを、カット
し、新たに第２の反射強度データを得て、第２の強度デ
ータのしきい値Ｚａ以上の領域で、変極点が得られれ
ば、前記変極点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点
位置として判定することを特徴とするものである。本発
明の共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置決定方
法は、また、レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微
鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、また
は透明である測定対象物の表面の合焦点位置を判定す
る、合焦点位置判定方法であって、予め、共焦点型レー
ザー顕微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であ
るＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを
基準に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキ
ヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器で取
り込み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度データを反射
強度データとして得るもので、且つ、前記Ｚ軸位置Ｚａ
ｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位置Ｚａをしきい値
とし、Ｚ軸位置ＺａｆからＺ軸位置Ｚａまでの区間は、
検出感度を０もしくは０に近い値にし、Ｚ軸位置Ｚａ以
上の領域では所定の感度で反射光を検出器で取り込むも
ので、得られた反射強度データのしきい値Ｚａ以上の領
域で、反射光強度の山の変極点が得られれば、前記変極
点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点位置として判
定することを特徴とするものである。そして、上記にお
いて、共焦点型レーザー顕微鏡が走査型であることを特
徴とするものである。
【０００５】尚、オートフォーカスとは、焦点が合った
位置からの差異量（デフォーカス量）を自動的に検出
し、この差異量に応じて、例えば、対物レンズ又はステ
ージ移動をすることにより鮮明な像が得られるように自
動調整するもので、「オートフオーカスにより基準面表
面に焦点を合わせる」とは、共焦点光学顕微鏡の光学系
を利用、あるいは、他の光学系により、オートフォーカ
スで、基準面の位置にオートフォーカスの焦点を合わせ
ることにより、共焦点光学顕微鏡の共焦点光学系の対物
レンズの位置を、高さ方向所定位置であるＺ軸位置Ｚａ
ｆに合わせることを意味する。また、本発明の共焦点型
レーザー顕微鏡における合焦点位置決定方法の具体的な
適用対象としては、液晶用カラーフィルターの異物突起
を観察する際、異物突起の着色材層表面からの高さ（突
起量とも言う）を測定する際の、合焦点位置の決定が挙
げられる。
位置からの差異量（デフォーカス量）を自動的に検出
し、この差異量に応じて、例えば、対物レンズ又はステ
ージ移動をすることにより鮮明な像が得られるように自
動調整するもので、「オートフオーカスにより基準面表
面に焦点を合わせる」とは、共焦点光学顕微鏡の光学系
を利用、あるいは、他の光学系により、オートフォーカ
スで、基準面の位置にオートフォーカスの焦点を合わせ
ることにより、共焦点光学顕微鏡の共焦点光学系の対物
レンズの位置を、高さ方向所定位置であるＺ軸位置Ｚａ
ｆに合わせることを意味する。また、本発明の共焦点型
レーザー顕微鏡における合焦点位置決定方法の具体的な
適用対象としては、液晶用カラーフィルターの異物突起
を観察する際、異物突起の着色材層表面からの高さ（突
起量とも言う）を測定する際の、合焦点位置の決定が挙
げられる。
【０００６】本発明の測定対象物の表面の高さ測定方法
は、レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透
過特性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明で
ある測定対象物の表面の高さを測定する際の、高さ測定
方法であって、予め、オートフオーカス等により基準面
表面に焦点を合わせることにより、共焦点型レーザー顕
微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であるＺ軸
位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを基準
に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキヤン
し、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器で取り込
み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度データを反射強度
データとして得た後、前記反射強度データを元に、デー
タ処理により、得られた測定データのしきい値Ｚａ以上
の領域で、反射光強度の山の変極点が得られれば、前記
変極点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点位置とし
て判定し、測定対象物の表面の高さを、前記合焦点位置
のＺ軸位置に対応させて、得ることを特徴とするもので
ある。
は、レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透
過特性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明で
ある測定対象物の表面の高さを測定する際の、高さ測定
方法であって、予め、オートフオーカス等により基準面
表面に焦点を合わせることにより、共焦点型レーザー顕
微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であるＺ軸
位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを基準
に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキヤン
し、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器で取り込
み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度データを反射強度
データとして得た後、前記反射強度データを元に、デー
タ処理により、得られた測定データのしきい値Ｚａ以上
の領域で、反射光強度の山の変極点が得られれば、前記
変極点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点位置とし
て判定し、測定対象物の表面の高さを、前記合焦点位置
のＺ軸位置に対応させて、得ることを特徴とするもので
ある。
【０００７】
【作用】本発明は、このような構成にすることにより、
レーザー光を用いた共焦点型レーザ顕微鏡で、透過特性
がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である測
定対象物の表面の、合焦点位置を正確に判定できる方
法、および単色のレーザーを用いた共焦点型レーザ顕微
鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、また
は透明である測定対象物の表面の高さを正確に測定でき
る方法の提供を可能とするものである。特に、共焦点型
レーザー顕微鏡が走査型である場合には、特に有効であ
る。簡単には、共焦点型レーザー顕微鏡の光学系のＺ軸
方向位置とその位置における反射光の強度の関連データ
を元に、処理範囲を限定する所定のデータ処理を行な
い、測定対象物表面からの反射光を見極わめ、合焦点位
置抽出すうることを可能にし、更に、合焦点位置である
Ｚ軸位置に対応させ、測定対象物の表面の高さを正確に
測定することを可能としている。
レーザー光を用いた共焦点型レーザ顕微鏡で、透過特性
がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である測
定対象物の表面の、合焦点位置を正確に判定できる方
法、および単色のレーザーを用いた共焦点型レーザ顕微
鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、また
は透明である測定対象物の表面の高さを正確に測定でき
る方法の提供を可能とするものである。特に、共焦点型
レーザー顕微鏡が走査型である場合には、特に有効であ
る。簡単には、共焦点型レーザー顕微鏡の光学系のＺ軸
方向位置とその位置における反射光の強度の関連データ
を元に、処理範囲を限定する所定のデータ処理を行な
い、測定対象物表面からの反射光を見極わめ、合焦点位
置抽出すうることを可能にし、更に、合焦点位置である
Ｚ軸位置に対応させ、測定対象物の表面の高さを正確に
測定することを可能としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の共焦点型レーザー顕微鏡
における合焦点位置判定方法の実施の形態例および測定
対象物の表面の高さ測定方法の実施の形態例のフローを
示したフロー図で、図２（ａ）、図２（ｂ）は、それぞ
れ、Ｚ軸方向位置と反射光の強度の関係を示した反射光
の強度データ図で、図３は図１のフローを実施するため
の共焦点型レーザー顕微鏡の概略構成図である。尚、図
１中、Ｓ１１〜Ｓ２３は処理ステップである。図３中、
１１０は半導体レーザー（発光素子）、１１１はレーザ
ー光、１２０は対物レンズ、１２５はコリメータレン
ズ、１２７はハーフミラー、１３０は検出器、１４０は
測定対象物（試料とも言う））、１５０は（対物レンズ
のＺ軸方向移動用）駆動部、１６０は位置センサ、１７
０はメモリー（データ部）、１８１、１８２はデータ処
理部である。
いて説明する。図１は本発明の共焦点型レーザー顕微鏡
における合焦点位置判定方法の実施の形態例および測定
対象物の表面の高さ測定方法の実施の形態例のフローを
示したフロー図で、図２（ａ）、図２（ｂ）は、それぞ
れ、Ｚ軸方向位置と反射光の強度の関係を示した反射光
の強度データ図で、図３は図１のフローを実施するため
の共焦点型レーザー顕微鏡の概略構成図である。尚、図
１中、Ｓ１１〜Ｓ２３は処理ステップである。図３中、
１１０は半導体レーザー（発光素子）、１１１はレーザ
ー光、１２０は対物レンズ、１２５はコリメータレン
ズ、１２７はハーフミラー、１３０は検出器、１４０は
測定対象物（試料とも言う））、１５０は（対物レンズ
のＺ軸方向移動用）駆動部、１６０は位置センサ、１７
０はメモリー（データ部）、１８１、１８２はデータ処
理部である。
【０００９】はじめに、本発明の共焦点型レーザー顕微
鏡における合焦点位置判定方法の実施の形態例を図１、
図３に基づいて説明する。先ず、共焦点型レーザー顕微
鏡における合焦点位置判定方法の実施の形態の第１の例
を挙げる。第１の例は、単色のレーザー光を用いた図３
に示す共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面の、合焦点位置判定方法である。例えば、液晶用の
カラーフィルター中の異物突起を観察する際、あるいは
異物突起の高さを測定する際の、測定対象物である異物
突起の表面の、合焦点位置判定方法である。尚、図３に
示す共焦点型レーザー顕微鏡は、観察部（モニター）が
検出器１３０を兼ねるものである。先ず、共焦点型レー
ザー顕微鏡に測定対象物をセットする。（Ｓ１１） 次いで、オートフオーカスにより基準面表面に焦点を合
わせることにより、共焦点型レーザー顕微鏡の共焦点光
学系をこの高さ方向所定位置であるＺ軸位置Ｚａｆに合
わせる。（Ｓ１２） 本例におけるオートフオーカスとは、駆動部１５０にて
対物レンズ１２０をＺ方向にスキャンしながら、検出器
１３０より反射光を検出することにより、Ｚ軸をパラメ
ータとした反射光の強度のデータをメモリー部１７０に
蓄積し、オートフォーカス用のデータ処理部２（１８
２）にて、反射強度が最大の山の変極点を合焦点位置と
して、駆動部１５０にて対物レンズをそのＺ方向位置Ｚ
ａｆに設定する動作を自動で行なうものである。ここで
は、基準面ではその表面からの反射光が最も強いと言う
ことを前提に、オートフォーカス用のデータ処理部２
（１８２）にて、合焦点位置の抽出が行われる。液晶用
のカラーフィルター中の異物突起を観察する際、あるい
は異物突起の高さを測定する際の、測定対象物である異
物突起の表面の、合焦点位置判定をする場合、基準面と
しては、通常、着色材層表面が用いられる。一方、Ｚ方
向位置Ｚａｆからのしきい値Ｚａをきめておく。このし
きい値Ｚａは、目的とする範囲を決めるものである。
（Ｓ１３） 目的とするデータがこのしき値以上であると予め分かっ
ている場合、このようにする。
鏡における合焦点位置判定方法の実施の形態例を図１、
図３に基づいて説明する。先ず、共焦点型レーザー顕微
鏡における合焦点位置判定方法の実施の形態の第１の例
を挙げる。第１の例は、単色のレーザー光を用いた図３
に示す共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー
光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の
表面の、合焦点位置判定方法である。例えば、液晶用の
カラーフィルター中の異物突起を観察する際、あるいは
異物突起の高さを測定する際の、測定対象物である異物
突起の表面の、合焦点位置判定方法である。尚、図３に
示す共焦点型レーザー顕微鏡は、観察部（モニター）が
検出器１３０を兼ねるものである。先ず、共焦点型レー
ザー顕微鏡に測定対象物をセットする。（Ｓ１１） 次いで、オートフオーカスにより基準面表面に焦点を合
わせることにより、共焦点型レーザー顕微鏡の共焦点光
学系をこの高さ方向所定位置であるＺ軸位置Ｚａｆに合
わせる。（Ｓ１２） 本例におけるオートフオーカスとは、駆動部１５０にて
対物レンズ１２０をＺ方向にスキャンしながら、検出器
１３０より反射光を検出することにより、Ｚ軸をパラメ
ータとした反射光の強度のデータをメモリー部１７０に
蓄積し、オートフォーカス用のデータ処理部２（１８
２）にて、反射強度が最大の山の変極点を合焦点位置と
して、駆動部１５０にて対物レンズをそのＺ方向位置Ｚ
ａｆに設定する動作を自動で行なうものである。ここで
は、基準面ではその表面からの反射光が最も強いと言う
ことを前提に、オートフォーカス用のデータ処理部２
（１８２）にて、合焦点位置の抽出が行われる。液晶用
のカラーフィルター中の異物突起を観察する際、あるい
は異物突起の高さを測定する際の、測定対象物である異
物突起の表面の、合焦点位置判定をする場合、基準面と
しては、通常、着色材層表面が用いられる。一方、Ｚ方
向位置Ｚａｆからのしきい値Ｚａをきめておく。このし
きい値Ｚａは、目的とする範囲を決めるものである。
（Ｓ１３） 目的とするデータがこのしき値以上であると予め分かっ
ている場合、このようにする。
【００１０】次いで、Ｚ軸位置Ｚａｆを基準に、共焦点
光学系の対物レンズ１２０を高さ方向であるＺ軸方向へ
スキヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器
１３０で取り込み（Ｓ１４）、Ａ／Ｄ変換等を施し、Ｚ
軸をパラメータとした反射光の強度のデータをメモリー
部１７０に蓄積し、Ｚ軸位置をパラメータとした反射光
強度データ１を得る。（Ｓ１５） 反射光強度データ１としては、例えば、図２（ａ）に示
すように、Ｚ軸位置の高い方（大きい方の意味）から順
にみて、第１の山、第２の山があるものが得られる。第
２の山はＺ軸位置ＺａｆとＺ軸位置Ｚａの間にあり、第
１の山は、Ｚ軸位置ＺａよりＺ大側にある。次いで、得
られた反射光強度データ１を元に、反射光強度データ１
から、前記Ｚ軸位置ａｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ
軸位置Ｚａをしきい値として、しきい値Ｚａ以下のデー
タをカットし（Ｓ１６）、新たに反射光強度データ２を
得る。（Ｓ１７） 、図２（ａ）に示す反射光強度データ１は、しきい値Ｚ
ａ以下のデータをカットされて、図２（ｂ）に示す反射
光強度データ２が得られる。
光学系の対物レンズ１２０を高さ方向であるＺ軸方向へ
スキヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器
１３０で取り込み（Ｓ１４）、Ａ／Ｄ変換等を施し、Ｚ
軸をパラメータとした反射光の強度のデータをメモリー
部１７０に蓄積し、Ｚ軸位置をパラメータとした反射光
強度データ１を得る。（Ｓ１５） 反射光強度データ１としては、例えば、図２（ａ）に示
すように、Ｚ軸位置の高い方（大きい方の意味）から順
にみて、第１の山、第２の山があるものが得られる。第
２の山はＺ軸位置ＺａｆとＺ軸位置Ｚａの間にあり、第
１の山は、Ｚ軸位置ＺａよりＺ大側にある。次いで、得
られた反射光強度データ１を元に、反射光強度データ１
から、前記Ｚ軸位置ａｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ
軸位置Ｚａをしきい値として、しきい値Ｚａ以下のデー
タをカットし（Ｓ１６）、新たに反射光強度データ２を
得る。（Ｓ１７） 、図２（ａ）に示す反射光強度データ１は、しきい値Ｚ
ａ以下のデータをカットされて、図２（ｂ）に示す反射
光強度データ２が得られる。
【００１１】次いで、得られた反射光強度データ２を元
に、データ処理部１８１で、微分処理等を施し、反射光
の強度の変極点を検出し（Ｓ２０）、反射光の強度の変
極点位置（Ｚ軸位置）Ｚ０を合焦点位置として、抽出す
る。（Ｓ２１） これは、Ｚ軸位置の高い方から順にみて、一番最初にあ
る反射光強度の山の変極点とそのＺ軸位置である。この
ようにして、測定対象物の表面の、合焦点位置Ｚ０が求
められ、対物レンズをこの位置におくことにより合焦点
で観察が可能となる。この合焦点位置Ｚ０と、位置検出
センサ１６０からの位置データを元に、対物レンズ１２
０を合焦点位置Ｚ０に合わせることができる。この場
合、位置センサー１６０によりその位置を管理しなが
ら、駆動部１５０により対物レンズ１２０をＺ軸方向所
定位置に移動する。
に、データ処理部１８１で、微分処理等を施し、反射光
の強度の変極点を検出し（Ｓ２０）、反射光の強度の変
極点位置（Ｚ軸位置）Ｚ０を合焦点位置として、抽出す
る。（Ｓ２１） これは、Ｚ軸位置の高い方から順にみて、一番最初にあ
る反射光強度の山の変極点とそのＺ軸位置である。この
ようにして、測定対象物の表面の、合焦点位置Ｚ０が求
められ、対物レンズをこの位置におくことにより合焦点
で観察が可能となる。この合焦点位置Ｚ０と、位置検出
センサ１６０からの位置データを元に、対物レンズ１２
０を合焦点位置Ｚ０に合わせることができる。この場
合、位置センサー１６０によりその位置を管理しなが
ら、駆動部１５０により対物レンズ１２０をＺ軸方向所
定位置に移動する。
【００１２】図３において、音響光学偏向素子（ＡＯ素
子）等を設け、レーザビームを走査し、検出器１３０と
してＣＣＤイメージセンサを用いる共焦点走査型レーザ
ー顕微鏡の場合も、基本的には同様である。この場合
は、測定対象物表面の各点からの反射光がそれぞれ所定
位置のＣＣＤ素子に取り込まれることとなり、対物レン
ズ１２０をＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の各位置に
おける反射光をそれぞれ取り込むことにより、各点毎
に、合焦点位置を求められる。また、図３に示す共焦点
走査型レーザー顕微鏡は、観察部（モニター）が検出器
１３０を兼ねるものであるが、観察部とは別に共焦点の
検出器を設けても良い。
子）等を設け、レーザビームを走査し、検出器１３０と
してＣＣＤイメージセンサを用いる共焦点走査型レーザ
ー顕微鏡の場合も、基本的には同様である。この場合
は、測定対象物表面の各点からの反射光がそれぞれ所定
位置のＣＣＤ素子に取り込まれることとなり、対物レン
ズ１２０をＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の各位置に
おける反射光をそれぞれ取り込むことにより、各点毎
に、合焦点位置を求められる。また、図３に示す共焦点
走査型レーザー顕微鏡は、観察部（モニター）が検出器
１３０を兼ねるものであるが、観察部とは別に共焦点の
検出器を設けても良い。
【００１３】尚、半導体レーザ１１０に代え、レーザ発
信管を用い、レーザー光を得ても良く、ピンホールで絞
り、点光源として使用する。レーザ発信管を用いたレー
ザー光としては、現在、アルゴンレーザーは近紫外光
（３６０ｎｍ位）から緑色（５１４ｎｍ）まで、ヘリウ
ム−ネオンレーザーは緑色（５４３ｎｍ）から赤色（６
３３ｎｍ）の光を出すことができるが、よく使用される
波長はアルゴンレーザーの４８８ｎｍとヘリウム−ネオ
ンレーザーの５４３ｎｍである。半導体レーザー１１０
にも各種波長のものがある。
信管を用い、レーザー光を得ても良く、ピンホールで絞
り、点光源として使用する。レーザ発信管を用いたレー
ザー光としては、現在、アルゴンレーザーは近紫外光
（３６０ｎｍ位）から緑色（５１４ｎｍ）まで、ヘリウ
ム−ネオンレーザーは緑色（５４３ｎｍ）から赤色（６
３３ｎｍ）の光を出すことができるが、よく使用される
波長はアルゴンレーザーの４８８ｎｍとヘリウム−ネオ
ンレーザーの５４３ｎｍである。半導体レーザー１１０
にも各種波長のものがある。
【００１４】次に、共焦点型レーザー顕微鏡における合
焦点位置判定方法の実施の形態の第２の例を挙げる。第
２の例は、第１の例と同様、単色のレーザー光を用いた
図３に示す共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレー
ザー光の波長域に近いもの、または透明である測定対象
物の表面の、合焦点位置判定方法である。第２の例は、
第１の例と同様、ステップＳ１１からＳ１３を経た後、
Ｚ軸位置Ｚａｆを基準に、共焦点光学系を高さ方向であ
るＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反
射光を検出器で取り込み（Ｓ１８）、Ｚ軸位置に対応し
て反射光の強度のデータを得るが、第１の例とは異な
り、Ｚ軸位置Ｚａｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位
置Ｚａをしきい値とし、Ｚ軸位置ＺａｆからＺ軸位置Ｚ
ａまでの区間は、検出感度を０もしくは０に近い値に
し、Ｚ軸位置Ｚａ以上の領域では所定の感度で反射光を
検出器で取り込む。（Ｓ１９） 同じ測定対象物の表面で反射光の取り込みを行い第 1の
例で、そのデータが図２（ａ）のようになる場合、第２
の例のでは図２（ｂ）のようなデータが得られる。得ら
れたデータについて、第１の例と同様、ステップＳ２０
を行ない、合焦点位置Ｚ０を抽出する。（Ｓ２１） このようにして、第２の例の場合も、測定対象物の表面
の、合焦点位置Ｚ０が求められ、対物レンズをこの位置
におくことにより合焦点で観察が可能となる。この場合
も、合焦点位置Ｚ０と、位置検出センサ１６０からの位
置データを元に、対物レンズ１２０を合焦点位置Ｚ０に
合わせることができ、位置センサー１６０によりその位
置を管理しながら、駆動部１５０により対物レンズ１２
０をＺ軸方向所定位置に移動する。
焦点位置判定方法の実施の形態の第２の例を挙げる。第
２の例は、第１の例と同様、単色のレーザー光を用いた
図３に示す共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレー
ザー光の波長域に近いもの、または透明である測定対象
物の表面の、合焦点位置判定方法である。第２の例は、
第１の例と同様、ステップＳ１１からＳ１３を経た後、
Ｚ軸位置Ｚａｆを基準に、共焦点光学系を高さ方向であ
るＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反
射光を検出器で取り込み（Ｓ１８）、Ｚ軸位置に対応し
て反射光の強度のデータを得るが、第１の例とは異な
り、Ｚ軸位置Ｚａｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位
置Ｚａをしきい値とし、Ｚ軸位置ＺａｆからＺ軸位置Ｚ
ａまでの区間は、検出感度を０もしくは０に近い値に
し、Ｚ軸位置Ｚａ以上の領域では所定の感度で反射光を
検出器で取り込む。（Ｓ１９） 同じ測定対象物の表面で反射光の取り込みを行い第 1の
例で、そのデータが図２（ａ）のようになる場合、第２
の例のでは図２（ｂ）のようなデータが得られる。得ら
れたデータについて、第１の例と同様、ステップＳ２０
を行ない、合焦点位置Ｚ０を抽出する。（Ｓ２１） このようにして、第２の例の場合も、測定対象物の表面
の、合焦点位置Ｚ０が求められ、対物レンズをこの位置
におくことにより合焦点で観察が可能となる。この場合
も、合焦点位置Ｚ０と、位置検出センサ１６０からの位
置データを元に、対物レンズ１２０を合焦点位置Ｚ０に
合わせることができ、位置センサー１６０によりその位
置を管理しながら、駆動部１５０により対物レンズ１２
０をＺ軸方向所定位置に移動する。
【００１５】この場合も、図３において、音響光学偏向
素子（ＡＯ素子）等を設け、レーザビームを走査し、検
出器１３０としてＣＣＤイメージセンサを用いる共焦点
走査型レーザー顕微鏡の場合も、基本的には同様であ
る。この場合は、測定対象物表面の各点からの反射光が
それぞれ所定位置のＣＣＤ素子に取り込まれることとな
り、対物レンズ１２０をＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方
向の各位置における反射光をそれぞれ取り込むことによ
り、各点毎に、合焦点位置を求められるため、測定対象
物表面の走査方向の高さのプロファイルを得ることもで
きる。
素子（ＡＯ素子）等を設け、レーザビームを走査し、検
出器１３０としてＣＣＤイメージセンサを用いる共焦点
走査型レーザー顕微鏡の場合も、基本的には同様であ
る。この場合は、測定対象物表面の各点からの反射光が
それぞれ所定位置のＣＣＤ素子に取り込まれることとな
り、対物レンズ１２０をＺ軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方
向の各位置における反射光をそれぞれ取り込むことによ
り、各点毎に、合焦点位置を求められるため、測定対象
物表面の走査方向の高さのプロファイルを得ることもで
きる。
【００１６】次に、測定対象物の表面の高さ測定方法の
実施の形態例を説明する。本例は、先に述べた、共焦点
型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法の実施の
形態の第１の例、第２の例のようにして、ステップＳ１
１からステップＳ２１までを行ない、合焦点位置Ｚ０を
求めた後、Ｚａｆを基準面の高さとし、これとのＺ方向
距離から高さｈ０をＺ０−Ｚａｆとして決定するもので
ある。ステップＳ１１からステップＳ２１までの各処理
の説明はここでは省略する。
実施の形態例を説明する。本例は、先に述べた、共焦点
型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法の実施の
形態の第１の例、第２の例のようにして、ステップＳ１
１からステップＳ２１までを行ない、合焦点位置Ｚ０を
求めた後、Ｚａｆを基準面の高さとし、これとのＺ方向
距離から高さｈ０をＺ０−Ｚａｆとして決定するもので
ある。ステップＳ１１からステップＳ２１までの各処理
の説明はここでは省略する。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、上記のように、レーザーを用
いた共焦点型レーザ顕微鏡で、透過特性がレーザー光の
波長域に近いもの、または透明である測定対象物の表面
の、合焦点位置を正確に判定できる方法の提供、および
色のレーザーを用いた共焦点型レーザ顕微鏡で、透過特
性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である
測定対象物の表面の、測定対象物の表面の高さを正確に
測定できる方法の提供を可能とした。これにより、特
に、着色材層中の異物突起の高さスペックが決められて
いる液晶用のカラーフィルターを作製する場合におい
て、異物突起を観察する際、あるいは異物突起の高さを
測定する際の、測定対象物である異物突起の表面の合焦
点位置判定方法を、そしてその高さ測定を、実用レベル
で簡単なものとした。
いた共焦点型レーザ顕微鏡で、透過特性がレーザー光の
波長域に近いもの、または透明である測定対象物の表面
の、合焦点位置を正確に判定できる方法の提供、および
色のレーザーを用いた共焦点型レーザ顕微鏡で、透過特
性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である
測定対象物の表面の、測定対象物の表面の高さを正確に
測定できる方法の提供を可能とした。これにより、特
に、着色材層中の異物突起の高さスペックが決められて
いる液晶用のカラーフィルターを作製する場合におい
て、異物突起を観察する際、あるいは異物突起の高さを
測定する際の、測定対象物である異物突起の表面の合焦
点位置判定方法を、そしてその高さ測定を、実用レベル
で簡単なものとした。
【図１】本発明の共焦点型レーザー顕微鏡における合焦
点位置判定方法の実施の形態例および測定対象物の表面
の高さ測定方法の実施の形態例のフローを示したフロー
図である。
点位置判定方法の実施の形態例および測定対象物の表面
の高さ測定方法の実施の形態例のフローを示したフロー
図である。
【図２】図２（ａ）、図２（ｂ）は、それぞれ、Ｚ軸方
向位置と反射光の強度の関係を示した反射光の強度デー
タ図である。
向位置と反射光の強度の関係を示した反射光の強度デー
タ図である。
【図３】図１のフローを実施するための共焦点型レーザ
ー顕微鏡の概略構成図である。
ー顕微鏡の概略構成図である。
【図４】従来の方法を説明するための反射光の強度デー
タ
タ
１１０ 半導体レーザー（発光素子） １１１ レーザー光 １２０ 対物レンズ １２５ コリメータレンズ １２７ ハーフミラー １３０ 検出器 １４０ 測定対象物（試料とも言う）） １５０ （対物レンズのＺ軸方向移動用）駆動部 １６０ 位置センサ １７０ メモリー（データ部） １８１、１８２ データ処理部
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA02 AA06 DD04 DD10 FF01 FF10 FF42 FF61 GG05 GG06 GG12 HH04 HH13 JJ03 JJ09 LL00 LL04 LL30 LL57 PP24 QQ13 QQ23 QQ25 QQ29 QQ47 RR06 SS13 UU05 UU06 2F112 BA01 CA07 FA03 FA09 FA21 FA27 FA45 2H051 AA11 CC03 DB01 FA48 2H052 AA08 AC27 AC34 AD05 AD06 AF02
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕
微鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、ま
たは透明である測定対象物の表面の合焦点位置を判定す
る、合焦点位置判定方法であって、予め、オートフオー
カス等により基準面表面に焦点を合わせることにより、
共焦点型レーザー顕微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向
所定位置であるＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸
位置Ｚａｆを基準に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ
軸方向へスキヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光
を検出器で取り込み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度
データを第１の反射強度データとして得た後、第１の反
射強度データから、前記Ｚ軸位置Ｚａｆからの所定の高
さ幅だけ高いＺ軸位置Ｚａをしきい値として、しきい値
Ｚａ以下のデータを、カットし、新たに第２の反射強度
データを得て、第２の強度データのしきい値Ｚａ以上の
領域で、変極点が得られれば、前記変極点位置を共焦点
型レーザー顕微鏡の合焦点位置として判定することを特
徴とする共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判
定方法。 - 【請求項２】 レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕
微鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、ま
たは透明である測定対象物の表面の合焦点位置を判定す
る、合焦点位置判定方法であって、予め、共焦点型レー
ザー顕微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であ
るＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚａｆを
基準に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ軸方向へスキ
ヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出器で取
り込み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度データを反射
強度データとして得るもので、且つ、前記Ｚ軸位置Ｚａ
ｆからの所定の高さ幅だけ高いＺ軸位置Ｚａをしきい値
とし、Ｚ軸位置ＺａｆからＺ軸位置Ｚａまでの区間は、
検出感度を０もしくは０に近い値にし、Ｚ軸位置Ｚａ以
上の領域では所定の感度で反射光を検出器で取り込むも
ので、得られた反射強度データのしきい値Ｚａ以上の領
域で、反射光強度の山の変極点が得られれば、前記変極
点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点位置として判
定することを特徴とする共焦点型レーザー顕微鏡におけ
る合焦点位置判定方法。 - 【請求項３】 請求項１ないし２において、共焦点型レ
ーザー顕微鏡が走査型であることを特徴とする共焦点型
レーザー顕微鏡における合焦点位置決定方法。 - 【請求項４】 レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕
微鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、ま
たは透明である測定対象物の表面の高さを測定する際
の、高さ測定方法であって、予め、オートフオーカス等
により基準面表面に焦点を合わせることにより、共焦点
型レーザー顕微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位
置であるＺ軸位置Ｚａｆに合わせた後、そのＺ軸位置Ｚ
ａｆを基準に、共焦点光学系を高さ方向であるＺ軸方向
へスキヤンし、Ｚ軸方向の各位置における反射光を検出
器で取り込み、Ｚ軸位置に対応した反射光の強度データ
を反射強度データとして得た後、前記反射強度データを
元に、データ処理により、得られた測定データのしきい
値Ｚａ以上の領域で、反射光強度の山の変極点が得られ
れば、前記変極点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦
点位置として判定し、測定対象物の表面の高さを、前記
合焦点位置のＺ軸位置に対応させて、得ることを特徴と
する測定対象物の表面の高さ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001060210A JP2002258160A (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001060210A JP2002258160A (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002258160A true JP2002258160A (ja) | 2002-09-11 |
Family
ID=18919661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001060210A Withdrawn JP2002258160A (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002258160A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008527363A (ja) * | 2005-01-14 | 2008-07-24 | エシロール アンテルナショナル コムパニー ジェネラル ドプテイク | 光学プローブ並びにその製造装置及び方法 |
| JP2009522604A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 自動顕微鏡の自動焦点調節法及びシステム |
| CN104039283A (zh) * | 2011-12-29 | 2014-09-10 | 威孚莱有限公司 | 用于确定折射激光器的聚焦深度的图像处理方法 |
| CN107764185A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-06 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 |
| CN115930829A (zh) * | 2022-12-27 | 2023-04-07 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 共聚焦显微镜的重建方法 |
-
2001
- 2001-03-05 JP JP2001060210A patent/JP2002258160A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008527363A (ja) * | 2005-01-14 | 2008-07-24 | エシロール アンテルナショナル コムパニー ジェネラル ドプテイク | 光学プローブ並びにその製造装置及び方法 |
| JP4794573B2 (ja) * | 2005-01-14 | 2011-10-19 | エシロール アンテルナショナル コムパニー ジェネラル ドプテイク | 光学プローブ並びにその製造装置及び方法 |
| JP2009522604A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 自動顕微鏡の自動焦点調節法及びシステム |
| CN104039283A (zh) * | 2011-12-29 | 2014-09-10 | 威孚莱有限公司 | 用于确定折射激光器的聚焦深度的图像处理方法 |
| CN107764185A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-06 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 |
| CN115930829A (zh) * | 2022-12-27 | 2023-04-07 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 共聚焦显微镜的重建方法 |
| CN115930829B (zh) * | 2022-12-27 | 2023-06-23 | 深圳市中图仪器股份有限公司 | 共聚焦显微镜的重建方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080513 |