CN107764185A - 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 - Google Patents
非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107764185A CN107764185A CN201711226344.4A CN201711226344A CN107764185A CN 107764185 A CN107764185 A CN 107764185A CN 201711226344 A CN201711226344 A CN 201711226344A CN 107764185 A CN107764185 A CN 107764185A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- semi
- light
- lens
- reference plane
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 58
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 41
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000035772 mutation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
本发明涉及非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法，包括机架、基准面、传感器组件以及位移传感器；传感器组件包括沿光线入射方向依次于第一光轴上的点光源、半透半反镜、凸透镜一以及设置于第二光轴上的图像传感器；第一光轴与基准面垂直，第一光轴和第二光轴呈设定的夹角设置；点光源位于凸透镜一的焦点上，图像传感器与第二光轴的交点和点光源与第一光轴的交点以半透半反镜为对称面对称设置，半透半反镜位于第一光轴和第二光轴的角平分线上。本发明克服了色散共焦位移传感技术中要求反射面严格垂直于光轴、量程范围受色散镜头色散范围限制的缺点，而且制造成本低，测量速度快。
Description
技术领域
本发明涉及光电一体化领域，特别涉及一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法。
背景技术
目前反射面位置的常用测量方法为色散共焦位移传感技术，该技术的原理是：位于色散镜头光轴上的具有连续光谱的白光点光源发出的光，经过色散镜头后在光轴上不同波长的光聚焦于不同的点。被测反射面位于不同波长聚焦点的位置范围之内时，只有一种波长的光在反射面形成最小的光斑，其它波长的光斑大小随波长与该波长差异变大而变大。光斑反射光线经过原色散镜头以及镜头和点光源之间的半透半反镜聚焦到一个小孔，光谱传感器位于小孔的后方，用于探测反射光的中心波长，该中心波长与被测反射面之间对应关系由色散镜头特性决定，从而测得反射面的位置。
但色散共焦位移传感技术的缺点是光谱传感器价格高，镜面反射时要求反射面垂直于光轴、反射光才能聚焦于小孔，量程范围受色散镜头的色散限制而一般小于几百微米。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法，该装置及方法不仅克服了色散共焦位移传感技术中要求反射面严格垂直于光轴、量程范围受色散镜头色散范围限制的缺点，而且制造成本低，测量速度快。
本发明是这样实现的：
方案(一)：
一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：包括机架、设置于机架上的用于放置被测物体的基准面、滑动连接于机架上且可在靠近或远离基准面的方向上移动的传感器组件以及设置于机架上且位于基准面和传感器组件之间的用于获取传感器组件相对基准面位置信息的位移传感器；所述传感器组件包括沿光线入射方向依次设置于第一光轴上的点光源、半透半反镜、凸透镜一以及设置于第二光轴上的用于获取经被测物体的被测反射面和半透半反镜反射后光线的图像传感器；所述第一光轴与基准面垂直，第一光轴和第二光轴呈设定的夹角设置；所述点光源位于凸透镜一的焦点上，所述图像传感器与第二光轴的交点和点光源与第一光轴的交点以半透半反镜为对称面对称设置，所述半透半反镜位于第一光轴和第二光轴的角平分线上使得经被测反射面反射后的光线能经半透半反镜偏折到第二光轴。
优选的，所述图像传感器采用面阵图像传感器，所述点光源采用单色点光源。
优选的，所述位移传感器为设置于机架上且位于基准面和传感器组件之间的光栅尺。当然还可以采用其它传感器，比如：拉绳式位移传感器、LVDT电感式位移传感器、电涡流式位移传感器等等。
优选的，所述半透半反镜与第一光轴和第二光轴均呈45°夹角。
方案(二)：
一种非接触式点光源成像测反射面位置的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
①将一与被测物体同一规格的标准块放置于基准面上，打开点光源，使光线透过半透半反镜和凸透镜一后汇聚在标准块的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一和半透半反镜，半透半反镜将光线偏折到第二光轴后在图像传感器上形成光斑，然后调整传感器组件相对基准面的距离，当图像传感器检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器获取传感器组件到基准面的距离，用该距离减去标准块的标准距离值，获得一个固定偏移量值；
②将被测物体放置于基准面上，打开点光源，使光线透过半透半反镜和凸透镜一后汇聚在被测物体的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一和半透半反镜，半透半反镜将光线偏折到第二光轴后在图像传感器上形成光斑，然后调整传感器组件相对基准面的距离，当图像传感器检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器获取传感器组件到基准面的距离，将此距离减去步骤①中的固定偏移量值即获得被测反射面与基准面的距离。
方案(三)：
一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：包括机架、设置于机架上的用于放置被测物体的基准面、滑动连接于机架上且可在靠近或远离基准面的方向上移动的传感器组件以及设置于机架上且位于基准面和传感器组件之间的用于获取传感器组件位置信息的位移传感器；所述传感器组件包括沿光线入射方向依次设置于第一光轴上的点光源、凸透镜二、半透半反镜、凸透镜一以及沿光线入射方向依次设置于第二光轴上的凸透镜三和图像传感器，所述第一光轴与基准面垂直，所述点光源位于凸透镜二的焦点上，所述图像传感器位于凸透镜三的焦平面上，所述第一光轴和第二光轴呈设定的夹角设置，所述半透半反镜位于第一光轴和第二光轴的角平分线上使得经被测反射面反射后的光线能经半透半反镜偏折到第二光轴。
优选的，所述图像传感器采用面阵图像传感器，所述点光源采用单色点光源。
优选的，所述位移传感器为设置于机架和传感器组件之间的光栅尺。当然还可以采用其它传感器，比如：拉绳式位移传感器、LVDT电感式位移传感器、电涡流式位移传感器等等。
优选的，所述半透半反镜与第一光轴和第二光轴均呈45°夹角。
方案(四)：
一种非接触式点光源成像测反射面位置的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
①将一与被测物体同一规格的标准块放置于基准面上，打开点光源，使光线依次透过凸透镜二、半透半反镜和凸透镜一后汇聚在标准块的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一和半透半反镜，半透半反镜将光线偏折到第二光轴后经过凸透镜三在图像传感器上形成光斑，然后调整传感器组件相对基准面的距离，当图像传感器检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器获取传感器组件到基准面的距离，用该距离减去标准块的标准距离值，获得一个固定偏移量值；
②将被测物体放置于基准面上，打开点光源，使光线依次透过凸透镜二、半透半反镜和凸透镜一后汇聚在被测物体的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一和半透半反镜，半透半反镜将光线偏折到第二光轴后经过凸透镜三在图像传感器上形成光斑，然后调整传感器组件相对基准面的距离，当图像传感器检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器获取传感器组件到基准面的距离，将此距离减去步骤①中的固定偏移量值即获得被测反射面与基准面的距离。
较之现有技术而言，本发明具有以下优点：
(1)本发明提供的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法，该装置及方法不仅克服了色散共焦位移传感技术中要求反射面严格垂直于光轴、量程范围受色散镜头色散范围限制的缺点，而且制造成本低，测量速度快；
(2)本发明提供的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法，使用便宜的面阵图像传感器在反射光聚焦点位置获取光斑图像，不仅大大降低了制造成本，而且接收光斑面积为几十平方毫米，对反射面与光轴的垂直度要求降低了数百倍，而现有的色散共焦位移传感器的反射光小孔直径大小为10um的量级，当它测量镜面反射面时，要求聚焦点仍然对准反射光小孔，则对反射面与光轴的垂直度要求非常严格；
(3)本发明提供的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法，量程范围相比现有技术，因不受色散镜头的色散范围限制而大大增加；
(4)本发明提供的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法，虽然增加了测量传感器与基准面相对位置的位置传感器和测量光斑的图像传感器，因位置传感器可以使用光栅尺之类的传感器，图像传感器使用普通的CMOS芯片，与高昂的光谱传感器相比成本大大降低。
附图说明
下面参照附图结合实施例对本发明作进一步说明：
图1是本发明非接触式点光源成像测量反射面位置的装置具体实施方式一的结构示意图；
图2是利用图1中的装置测量标准块的结构示意图；
图3是本发明非接触式点光源成像测量反射面位置的装置具体实施方式三的结构示意图；
图4是利用图3中的装置测量标准块的结构示意图。
图中符号说明：1、机架，2、被测物体，3、基准面，4、传感器组件，41、第一光轴，42、点光源，43、半透半反镜，44、凸透镜一，45、第二光轴，46、图像位移传感器，5、位移传感器，6、标准块；
1′、机架，2′、被测物体，3′、基准面，4′、传感器组件，41′、第一光轴，42′、点光源，43′、半透半反镜，44′、凸透镜一，45′、第二光轴，46′、图像位移传感器，47′、凸透镜二，48′、凸透镜三，5′、位移传感器，6′、标准块。
具体实施方式
下面结合说明书附图和具体实施例对本发明内容进行详细说明：
具体实施方式(一)：
一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：包括机架1、设置于机架1上的用于放置被测物体2的基准面3、滑动连接于机架1上且可在靠近或远离基准面3的方向上移动的传感器组件4以及设置于机架1上且位于基准面3和传感器组件4之间的用于获取传感器组件4相对基准面3位置信息的位移传感器5；所述传感器组件4包括沿光线入射方向依次设置于第一光轴41上的点光源42、半透半反镜43、凸透镜一44以及设置于第二光轴45上的用于获取经被测物体2的被测反射面21和半透半反镜43反射后光线的图像传感器46；所述第一光轴41与基准面3垂直，第一光轴41和第二光轴45呈设定的夹角设置；所述点光源42位于凸透镜一44的焦点上，所述图像传感器46与第二光轴45的交点和点光源42与第一光轴41的交点以半透半反镜43为对称面对称设置，所述半透半反镜43位于第一光轴41和第二光轴45的角平分线上使得经被测反射面21反射后的光线能经半透半反镜43偏折到第二光轴45。
优选的，所述图像传感器46采用面阵图像传感器，所述点光源42采用单色点光源。
优选的，所述位移传感器5为设置于机架1上且位于基准面3和传感器组件4之间的光栅尺。
优选的，所述半透半反镜43与第一光轴41和第二光轴45均呈45°夹角。
具体实施方式(二)：
一种非接触式点光源成像测反射面位置的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
①将一与被测物体2同一规格的标准块6放置于基准面3上，打开点光源42，使光线透过半透半反镜43和凸透镜一44后汇聚在标准块6的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一44和半透半反镜43，半透半反镜43将光线偏折到第二光轴45后在图像传感器46上形成光斑，然后调整传感器组件4相对基准面3的距离，当图像传感器46检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器5获取传感器组件4到基准面3的距离a，用该距离a减去标准块6的标准距离值c，获得一个固定偏移量值b；
②将被测物体2放置于基准面3上，打开点光源42，使光线透过半透半反镜43和凸透镜一44后汇聚在被测物体2的被测反射面21上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一44和半透半反镜43，半透半反镜43将光线偏折到第二光轴45后在图像传感器46上形成光斑，然后调整传感器组件4相对基准面3的距离，当图像传感器46检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器5获取传感器组件4到基准面3的距离d，将此距离d减去步骤①中的固定偏移量值b即获得被测反射面21与基准面3的距离e。
具体实施方式(三)：
一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：包括机架1′、设置于机架1′上的用于放置被测物体2′的基准面3′、滑动连接于机架1′上且可在靠近或远离基准面3′的方向上移动的传感器组件4′以及设置于机架1′上且位于基准面3′和传感器组件4′之间的用于获取传感器组件4′位置信息的位移传感器5′；所述传感器组件4′包括沿光线入射方向依次设置于第一光轴41′上的点光源42′、凸透镜二47′、半透半反镜43′、凸透镜一44′以及沿光线入射方向依次设置于第二光轴45′上的凸透镜三48′和图像传感器46′，所述第一光轴41′与基准面3′垂直，所述点光源42′位于凸透镜二47′的焦点上，所述图像传感器46′位于凸透镜三48′的焦平面上，所述第一光轴41′和第二光轴45′呈设定的夹角设置，所述半透半反镜43′位于第一光轴41′和第二光轴45′的角平分线上使得经被测反射面21′反射后的光线能经半透半反镜43′偏折到第二光轴45′。
优选的，所述图像传感器46′采用面阵图像传感器，所述点光源42′采用单色点光源。
优选的，所述位移传感器5′为设置于机架1′和传感器组件4′之间的光栅尺。
优选的，所述半透半反镜43′与第一光轴41′和第二光轴45′均呈45°夹角。
具体实施方式(四)：
一种非接触式点光源成像测反射面位置的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
①将一与被测物体2′同一规格的标准块6′放置于基准面3′上，打开点光源42′，使光线依次透过凸透镜二47′、半透半反镜43′和凸透镜一44′后汇聚在标准块6′的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一44′和半透半反镜43′，半透半反镜43′将光线偏折到第二光轴45′后经过凸透镜三48′在图像传感器46′上形成光斑，然后调整传感器组件4′相对基准面3′的距离，当图像传感器46′检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器5′获取传感器组件4′到基准面3′的距离a′，用该距离a′减去标准块6′的标准距离值c′，获得一个固定偏移量值b′；
②将被测物体2′放置于基准面3′上，打开点光源42′，使光线依次透过凸透镜二47′、半透半反镜43′和凸透镜一44′后汇聚在被测物体2的被测反射面21上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一44′和半透半反镜43′，半透半反镜43′将光线偏折到第二光轴45′后经过凸透镜三48′在图像传感器46′上形成光斑，然后调整传感器组件4′相对基准面3′的距离，当图像传感器46′检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器5′获取传感器组件4′到基准面3′的距离d′，将此距离d′减去步骤①中的固定偏移量值b′即获得被测反射面21′与基准面3′的距离e′。
上述具体实施方式只是对本发明的技术方案进行详细解释，本发明并不只仅仅局限于上述实施例，凡是依据本发明原理的任何改进或替换，均应在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：包括机架(1)、设置于机架(1)上的用于放置被测物体(2)的基准面(3)、滑动连接于机架(1)上且可在靠近或远离基准面(3)的方向上移动的传感器组件(4)以及设置于机架(1)上且位于基准面(3)和传感器组件(4)之间的用于获取传感器组件(4)相对基准面(3)位置信息的位移传感器(5)；所述传感器组件(4)包括沿光线入射方向依次设置于第一光轴(41)上的点光源(42)、半透半反镜(43)、凸透镜一(44)以及设置于第二光轴(45)上的用于获取经被测物体(2)的被测反射面(21)和半透半反镜(43)反射后光线的图像传感器(46)；所述第一光轴(41)与基准面(3)垂直，第一光轴(41)和第二光轴(45)呈设定的夹角设置；所述点光源(42)位于凸透镜一(44)的焦点上，所述图像传感器(46)与第二光轴(45)的交点和点光源(42)与第一光轴(41)的交点以半透半反镜(43)为对称面对称设置，所述半透半反镜(43)位于第一光轴(41)和第二光轴(45)的角平分线上使得经被测反射面(21)反射后的光线能经半透半反镜(43)偏折到第二光轴(45)。
2.根据权利要求1所述的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：所述图像传感器(46)采用面阵图像传感器，所述点光源(42)采用单色点光源。
3.根据权利要求1所述的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：所述位移传感器(5)为设置于机架(1)上且位于基准面(3)和传感器组件(4)之间的光栅尺。
4.根据权利要求1所述的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：所述半透半反镜(43)与第一光轴(41)和第二光轴(45)均呈45°夹角。
5.一种非接触式点光源成像测反射面位置的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
①将一与被测物体(2)同一规格的标准块(6)放置于基准面(3)上，打开点光源(42)，使光线透过半透半反镜(43)和凸透镜一(44)后汇聚在标准块(6)的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一(44)和半透半反镜(43)，半透半反镜(43)将光线偏折到第二光轴(45)后在图像传感器(46)上形成光斑，然后调整传感器组件(4)相对基准面(3)的距离，当图像传感器(46)检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器(5)获取传感器组件(4)到基准面(3)的距离(a)，用该距离(a)减去标准块(6)的标准距离值(c)，获得一个固定偏移量值(b)；
②将被测物体(2)放置于基准面(3)上，打开点光源(42)，使光线透过半透半反镜(43)和凸透镜一(44)后汇聚在被测物体(2)的被测反射面(21)上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一(44)和半透半反镜(43)，半透半反镜(43)将光线偏折到第二光轴(45)后在图像传感器(46)上形成光斑，然后调整传感器组件(4)相对基准面(3)的距离，当图像传感器(46)检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器(5)获取传感器组件(4)到基准面(3)的距离(d)，将此距离(d)减去步骤①中的固定偏移量值(b)即获得被测反射面(21)与基准面(3)的距离(e)。
6.一种非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：包括机架(1’)、设置于机架(1’)上的用于放置被测物体(2’)的基准面(3’)、滑动连接于机架(1’)上且可在靠近或远离基准面(3’)的方向上移动的传感器组件(4’)以及设置于机架(1’)上且位于基准面(3’)和传感器组件(4’)之间的用于获取传感器组件(4’)位置信息的位移传感器(5’)；所述传感器组件(4’)包括沿光线入射方向依次设置于第一光轴(41’)上的点光源(42’)、凸透镜二(47’)、半透半反镜(43’)、凸透镜一(44’)以及沿光线入射方向依次设置于第二光轴(45’)上的凸透镜三(48’)和图像传感器(46’)，所述第一光轴(41’)与基准面(3’)垂直，所述点光源(42’)位于凸透镜二(47’)的焦点上，所述图像传感器(46’)位于凸透镜三(48’)的焦平面上，所述第一光轴(41’)和第二光轴(45’)呈设定的夹角设置，所述半透半反镜(43’)位于第一光轴(41’)和第二光轴(45’)的角平分线上使得经被测反射面(21’)反射后的光线能经半透半反镜(43’)偏折到第二光轴(45’)。
7.根据权利要求6所述的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：所述图像传感器(46’)采用面阵图像传感器，所述点光源(42’)采用单色点光源。
8.根据权利要求6所述的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：所述位移传感器(5’)为设置于机架(1’)和传感器组件(4’)之间的光栅尺。
9.根据权利要求6所述的非接触式点光源成像测量反射面位置的装置，其特征在于：所述半透半反镜(43’)与第一光轴(41’)和第二光轴(45’)均呈45°夹角。
10.一种非接触式点光源成像测反射面位置的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
①将一与被测物体(2’)同一规格的标准块(6’)放置于基准面(3’)上，打开点光源(42’)，使光线依次透过凸透镜二(47’)、半透半反镜(43’)和凸透镜一(44’)后汇聚在标准块(6’)的被测反射面上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一(44’)和半透半反镜(43’)，半透半反镜(43’)将光线偏折到第二光轴(45’)后经过凸透镜三(48’)在图像传感器(46’)上形成光斑，然后调整传感器组件(4’)相对基准面(3’)的距离，当图像传感器(46’)检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器(5’)获取传感器组件(4’)到基准面(3’)的距离(a’)，用该距离(a’)减去标准块(6’)的标准距离值(c’)，获得一个固定偏移量值(b’)；
②将被测物体(2’)放置于基准面(3’)上，打开点光源(42’)，使光线依次透过凸透镜二(47’)、半透半反镜(43’)和凸透镜一(44’)后汇聚在被测物体(2)的被测反射面(21)上，光线经被测反射面反射后依次经过凸透镜一(44’)和半透半反镜(43’)，半透半反镜(43’)将光线偏折到第二光轴(45’)后经过凸透镜三(48’)在图像传感器(46’)上形成光斑，然后调整传感器组件(4’)相对基准面(3’)的距离，当图像传感器(46’)检测到位于其上的光斑最小时，位移传感器(5’)获取传感器组件(4’)到基准面(3’)的距离(d’)，将此距离(d’)减去步骤①中的固定偏移量值(b’)即获得被测反射面(21’)与基准面(3’)的距离(e’)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711226344.4A CN107764185A (zh) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711226344.4A CN107764185A (zh) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107764185A true CN107764185A (zh) | 2018-03-06 |
Family
ID=61276217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711226344.4A Withdrawn CN107764185A (zh) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107764185A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109506599A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-22 | 天活松林光学（广州）有限公司 | 一种非接触式平面度测量装置及测量方法 |
| CN110763155A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-02-07 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 表面形状的测量装置及应用于该装置的光学多点共焦反射方法 |
| CN112633389A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-09 | 西北工业大学 | 一种基于mdl和速度方向的飓风运动轨迹趋势计算方法 |
| CN114280774A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-05 | 深圳立仪科技有限公司 | 一种带光谱共焦测量功能的多功能装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002258160A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法 |
| JP2004085442A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Sunx Ltd | 変位測定装置 |
| CN1995908A (zh) * | 2006-12-28 | 2007-07-11 | 厦门大学 | 单光电探测器共焦激光三角测量装置 |
| KR100758198B1 (ko) * | 2006-10-25 | 2007-09-12 | 주식회사 힘스 | 오토포커싱 장치 |
| CN101322025A (zh) * | 2005-12-07 | 2008-12-10 | 株式会社拓普康 | 光图像测量装置 |
| JP2012002619A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Ito Co Ltd | レーザー干渉バンプ測定器 |
| CN107003118A (zh) * | 2014-12-02 | 2017-08-01 | 三菱电机株式会社 | 位移传感器、位移检测装置及位移检测方法 |
| CN207622690U (zh) * | 2017-11-29 | 2018-07-17 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置 |
-
2017
- 2017-11-29 CN CN201711226344.4A patent/CN107764185A/zh not_active Withdrawn
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002258160A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法 |
| JP2004085442A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Sunx Ltd | 変位測定装置 |
| CN101322025A (zh) * | 2005-12-07 | 2008-12-10 | 株式会社拓普康 | 光图像测量装置 |
| KR100758198B1 (ko) * | 2006-10-25 | 2007-09-12 | 주식회사 힘스 | 오토포커싱 장치 |
| CN1995908A (zh) * | 2006-12-28 | 2007-07-11 | 厦门大学 | 单光电探测器共焦激光三角测量装置 |
| JP2012002619A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Ito Co Ltd | レーザー干渉バンプ測定器 |
| CN107003118A (zh) * | 2014-12-02 | 2017-08-01 | 三菱电机株式会社 | 位移传感器、位移检测装置及位移检测方法 |
| CN207622690U (zh) * | 2017-11-29 | 2018-07-17 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109506599A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-22 | 天活松林光学（广州）有限公司 | 一种非接触式平面度测量装置及测量方法 |
| CN110763155A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-02-07 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 表面形状的测量装置及应用于该装置的光学多点共焦反射方法 |
| CN110763155B (zh) * | 2019-12-11 | 2024-05-24 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 表面形状的测量装置及应用于该装置的光学多点共焦反射方法 |
| CN112633389A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-09 | 西北工业大学 | 一种基于mdl和速度方向的飓风运动轨迹趋势计算方法 |
| CN112633389B (zh) * | 2020-12-28 | 2024-01-23 | 西北工业大学 | 一种基于mdl和速度方向的飓风运动轨迹趋势计算方法 |
| CN114280774A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-05 | 深圳立仪科技有限公司 | 一种带光谱共焦测量功能的多功能装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107764185A (zh) | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 | |
| US8427644B2 (en) | Optical displacement meter | |
| CN103727880B (zh) | 位移传感器、光谱特性测量设备及方法、颜色测量设备及方法、平面测量对象质量监控设备、和位移测量方法 | |
| CN102679894B (zh) | 反射式差动共焦透镜中心厚度测量方法 | |
| US10739191B2 (en) | Determining a beam profile of a laser beam | |
| CN101526341A (zh) | 差动共焦曲率半径测量方法与装置 | |
| WO1986007444A1 (en) | An instrument for measuring the topography of a surface | |
| CN102589854B (zh) | 反射式差动共焦透镜焦距测量方法 | |
| CN102679895B (zh) | 反射式共焦透镜中心厚度测量方法 | |
| CN103471524B (zh) | 共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 | |
| CN102589852B (zh) | 自准直式共焦透镜焦距测量方法 | |
| US20080137061A1 (en) | Displacement Measurement Sensor Using the Confocal Principle | |
| CN104596428B (zh) | 基于光谱共焦及三角法原理的白光测头 | |
| WO2010064022A1 (en) | Wavefront sensing method & apparatus | |
| CN107504897A (zh) | 基于光谱波长的非接触式位移测量方法及其测量装置 | |
| CN103123251B (zh) | 差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法 | |
| CN106501266B (zh) | 基于微分干涉的光学薄膜缺陷检测方法 | |
| CN103471525B (zh) | 差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 | |
| CN207622690U (zh) | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置 | |
| JP2010145468A (ja) | 高さ検出装置、及びそれを用いたトナー高さ検出装置 | |
| TW201009287A (en) | Optical multi-axis linear displacement measurement system and a method thereof | |
| CN101208579B (zh) | 光学测厚器及使用它的装置与方法 | |
| US20200264284A1 (en) | Optoelectronic sensor and method for detecting an object | |
| CN109974603A (zh) | 双边错位差动共焦透镜中心厚度测量方法 | |
| CN109211130A (zh) | 透镜中心厚度及透镜间隔的测量装置及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WW01 | Invention patent application withdrawn after publication | ||
| WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |
Application publication date: 20180306 |