JP2006126375A - 走査型レーザ顕微鏡及びその調整方法、並びにプログラム - Google Patents
走査型レーザ顕微鏡及びその調整方法、並びにプログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 検出部18は、レーザ光が照射されている試料からの光を検出して当該光の光量に応じた大きさのアナログ電気信号である検出信号を出力する。システム制御用計算機22は、検出部18から出力される検出信号の大きさの調整の条件の入力値の表示を表示部3に行わせ、入力部4に対する当該調整の条件の入力値の取得を行う。そして、取得された調整の条件に基づいて、検出信号の大きさを調整する増幅器19−2の調整量を制御する。
【選択図】 図1
Description
図5は走査型レーザ顕微鏡によって得られた試料の画像の一例である。また、図6Aは、図5に示した画像を構成する各画素の輝度の度数分布を表しているヒストグラムである。
例えば特許文献1には、観察面の形状が連続的に変化し、且つ観察面の反射率が形状に依存して大きく異なるような観察試料でも、形状が変化する境界部分を確実に検出し、常に正確な形状測定を行うための、検出信号の大きさの調整の手法が開示されている。
また、本発明の別の態様のひとつである走査型レーザ顕微鏡の調整方法は、レーザ光が照射されている試料からの光を検出部で検出して当該光の光量に応じた大きさのアナログ電気信号である検出信号を出力する走査型レーザ顕微鏡であって、当該走査型レーザ顕微鏡が有している当該検出部から出力される当該検出信号の大きさの調整の条件の入力値の表示を行い、当該検出信号の大きさを調整する調整部の調整量を、当該取得がされた入力値に係る調整の条件に基づいて制御する、というものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
まず図1について説明する。同図は本発明を実施する走査型レーザ顕微鏡(以下、「本装置」と称する。)の構成を示している。本装置は、顕微鏡部1、制御部2、表示部3、入力部4を備えて構成されている。
次に図2について説明する。同図は、表示部3に表示される調整条件設定画面の第一の例である。
また、この画面例においては、A/D変換部21のダイナミックレンジと試料の画像の生成の基礎とする検出信号の取り得る大きさの最大値との比率を示す値の入力を得るためのものであるが、この代わりに、当該検出信号の取り得る大きさの最大値そのものの入力を得るものとしてもよい。
まず、図2に例示した画面において、「最大最小値指定」が選択されている場合には、図3A(若しくは図3B)に例示した画面に対して入力された調整条件に対応する試料画像の範囲内の画素のうち、輝度が最大のものと最小のものとを抽出する。そして、これらの各々の輝度に対応する検出信号の大きさが、図2に例示した画面に対して指定された範囲内にどちらも含まれるか否かを判定する。
前述したように、本実施形態においてはフォトマルチプライヤを検出部18として用いているので、このS105の処理では、フォトマルチプライヤへの印加電圧を算出することとなる。
G=k×Ha
なお、上記の式において、k及びaは、フォトマルチプライヤ毎に決まる定数である。
I=G×r×t=k×Ha×r×t
なお、上記の式において、rは試料の反射率、tは本装置の光学系の効率である。
今、調整前の印加電圧H(0)がフォトマルチプライヤへ印加されている状態で取得された画像における所定の画像範囲内で最高輝度である画素の輝度値(すなわち検出信号の大きさ)をI(0)とし、その輝度値の90%の輝度値をI(90%)とし、更に、このI(0)の輝度であるものと同一の画素からI(90%)の輝度を得るためにフォトマルチプライヤへ印加すべき印加電圧H(90%)とすると、下記の式の関係が得られる。
つまり、定数aの値が予め得られていれば、H(90%)の値を算出することができるのである。ここで、定数aの値は、フォトマルチプライヤの製造者から提示された値を使用してもよいし、装置毎にフォトマルチプライヤの特性を測定して得るようにしてもよい。
S106では、S105の処理によって算出された調整値を検出部18へ指示して検出信号の大きさを調整する処理が行われる。
なお、S109では、指定された取得枚数だけ試料の画像を取得して画像を表示するとしたが、指示された取得枚数を繰り返して画像を取得し、連続表示するようにしてもよい。
また、本実施形態においては、オフセット増幅部19−1の調整は行っていないが、この調整を行うようにすることもできる。
2 制御部
3 表示部
4 入力部
11 光源
12 ビームスプリッタ
13 走査光学系
14 対物レンズ
15 ステージ
16 試料
17 ピンホール
18 検出部
19 信号調整部
19−1 オフセット演算部
19−2 増幅器
21 A/D変換部
22 システム制御用計算機
Claims (9)
- レーザ光が照射されている試料からの光を検出して当該光の光量に応じた大きさのアナログ電気信号である検出信号を出力する検出手段と、
前記検出信号に基づいて前記試料の画像を生成する画像生成手段と、
前記検出信号の大きさの調整を行う調整手段と、
前記調整手段による調整の条件の入力値の表示を行う表示手段と、
前記調整の条件の入力を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得された調整の条件に基づいて前記調整手段における調整量の制御を行う制御手段と、
を有することを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。 - 前記画像生成手段は、前記検出手段からの前記検出信号をデジタルデータへ変換する変換手段を有しており、
前記調整の条件は、前記検出信号の大きさと前記変換手段の入力側に許容されている信号のダイナミックレンジとの関係を表すものである
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型レーザ顕微鏡。 - 前記取得手段によって取得される入力値は、前記画像の生成の基礎とする前記検出信号の取り得る大きさの最大値、若しくは前記ダイナミックレンジと当該最大値との比率を示す値であることを特徴とする請求項2に記載の走査型レーザ顕微鏡。
- 前記取得手段によって取得される入力値は、前記画像の生成の基礎とする前記検出信号の大きさの平均値を示す値、若しくは前記ダイナミックレンジと当該平均値との比率を示す値であることを特徴とする請求項2に記載の走査型レーザ顕微鏡。
- 前記取得手段が取得する調整の条件の入力値を、前記画像の生成の基礎とする前記検出信号の取り得る大きさの最大値に関するものとするか、あるいは当該検出信号の大きさの平均値に関するものとするかを選択可能としたことを特徴とする請求項1に記載の走査型レーザ顕微鏡。
- 前記取得手段が取得する調整の条件の入力値を、前記画像の1フレームの全体に関するものとするか、あるいは当該画像における一部分に関するものとするかを選択可能としたことを特徴とする請求項1に記載の走査型レーザ顕微鏡。
- 前記取得手段が取得する調整の条件の入力値を、複数枚分の前記画像に関するものとすることを特徴とする請求項1に記載の走査型レーザ顕微鏡。
- レーザ光が照射されている試料からの光を検出部で検出して当該光の光量に応じた大きさのアナログ電気信号である検出信号を出力する走査型レーザ顕微鏡であって、当該走査型レーザ顕微鏡が有している当該検出部から出力される当該検出信号の大きさの調整の条件の入力値の表示を行い、
前記検出信号の大きさを調整する調整部の調整量を、前記取得がされた入力値に係る調整の条件に基づいて制御する、
ことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡の調整方法。 - レーザ光が照射されている試料からの光を検出部で検出して当該光の光量に応じた大きさのアナログ電気信号である検出信号を出力する走査型レーザ顕微鏡であって、当該走査型レーザ顕微鏡が有している当該検出部から出力される当該検出信号の大きさの調整の条件の入力値の表示を行う処理と、
前記検出信号の大きさを調整する調整部の調整量を、前記取得がされた入力値に係る調整の条件に基づいて制御する処理と、
をコンピュータに行わせるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004312992A JP2006126375A (ja) | 2004-10-27 | 2004-10-27 | 走査型レーザ顕微鏡及びその調整方法、並びにプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006126375A true JP2006126375A (ja) | 2006-05-18 |
JP2006126375A5 JP2006126375A5 (ja) | 2007-11-01 |
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Family Applications (1)
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JP2004312992A Pending JP2006126375A (ja) | 2004-10-27 | 2004-10-27 | 走査型レーザ顕微鏡及びその調整方法、並びにプログラム |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008112059A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Olympus Corp | 走査型レーザ顕微鏡及びその調整方法、並びにプログラム |
JP2008129226A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡 |
DE102009060309A1 (de) | 2009-12-18 | 2011-06-22 | Carl Zeiss Microlmaging GmbH, 07745 | Betriebsschaltung und Steuerverfahren für einen Photovervielfacher |
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2004
- 2004-10-27 JP JP2004312992A patent/JP2006126375A/ja active Pending
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