JP4836905B2 - BaLiF3単結晶体の製造方法 - Google Patents
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また液浸式露光装置のラストレンズ以外の用途としては、露光装置等の真空紫外光用装置の光学部材としてBaLiF3単結晶体を用いることが既に提案されている(例えば、特許文献2、3参照)。
LiF粉末とBaF2粉末をそれぞれ溶融、固化させることにより得られた塊状のLiF原料およびBaF2原料を、LiF:BaF2が0.57:0.43のモル比であり、かつ、原料の合計量が3kgになるように混合して、特開2006−199577号公報等に開示されている内坩堝と外坩堝からなる二重構造坩堝に収容し、チョクラルスキー結晶育成炉(CZ炉)内に収容した。上記の二重坩堝を構成する外坩堝の内径は120mm、内坩堝の内径は84mmであった。次に、炉内を1×10−3Pa以下の真空度に保ち坩堝を600℃まで24時間かけて加熱昇温させ、純度99.999%のCF4ガスを炉内に導入して炉内の圧力80kPaにした。その後、坩堝を900℃まで2時間かけて加熱昇温させて、上記混合物を融解させた。
種結晶の鉛直方向が<100>方向であるBaLiF3単結晶体を用いた以外は実施例1と同様の方法で、チョクラルスキー法によりBaLiF3単結晶体のインゴットを成長させた。得られたインゴットは全長130mm、直胴部の長さが100mm、直胴部の直径が50mmであった。
種結晶の鉛直方向が<110>方向であるBaLiF3単結晶体を用いた以外は実施例1と同様の方法で、チョクラルスキー法によりBaLiF3単結晶体のインゴットを成長させた。得られたインゴットは全長130mm、直胴部の長さが100mm、直胴部の直径が50mmであった。
種結晶の鉛直方向が<146>方向であるBaLiF3単結晶体を用いた以外は実施例1と同様の方法で、チョクラルスキー法によりBaLiF3単結晶体のインゴットを成長させた。得られたインゴットは全長130mm、直胴部の長さが100mm、直胴部の直径が50mmであった。
種結晶の鉛直方向が<111>方向であるBaLiF3単結晶体を用いた以外は実施例1と同様の方法で、チョクラルスキー法によりBaLiF3単結晶体のインゴットを成長させた。得られたインゴットは全長130mm、直胴部の長さが100mm、直胴部の直径が50mmであった。
Claims (4)
- 原料溶融液に種結晶を接触させた後に引き上げることによりインゴットを成長させて単結晶体を得るチョクラルスキー法によりBaLiF3単結晶体を製造する方法であって、該種結晶体として軸方向が<123>方向の種結晶体を用い、インゴットの成長方向を<123>方向として単結晶体を得ることを特徴とするBaLiF3単結晶体の製造方法。
- 請求項1記載の方法でBaLiF3単結晶体のインゴットを得る工程、及び得られたインゴットを加工して{100}面からなる平行2面を有する板状体を得る工程を含む、BaLiF3単結晶体からなる光学部材の製造方法。
- 光学部材がレンズブランクである請求項2記載の製造方法。
- 請求項3記載の方法でレンズブランクを製造し、ついで該レンズブランクを加工してレンズとする、露光装置用レンズの製造方法。
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