JP2007005777A - 液浸式露光装置のラストレンズ - Google Patents
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【解決手段】本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、式BaLiF3で表される結晶
からなることを特徴としており、前記結晶は、好適には、式BaLiF3で表される単結
晶であり、また、前記液浸式露光装置は、波長200nm以下の光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ArFエキシマレーザー発振器またはF2エキシマレーザー
発振器を備えていることが好ましい。
【効果】本発明の液浸式露光装置のラストレンズによれば、光源に使用する光の波長、好適には波長200nm以下において、高屈折率、高透過率、低SBRを達成することができ、露光装置の解像度を容易に向上させることができる。
【選択図】なし
からなることを特徴としており、前記結晶は、好適には、式BaLiF3で表される単結
晶であり、また、前記液浸式露光装置は、波長200nm以下の光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ArFエキシマレーザー発振器またはF2エキシマレーザー
発振器を備えていることが好ましい。
【効果】本発明の液浸式露光装置のラストレンズによれば、光源に使用する光の波長、好適には波長200nm以下において、高屈折率、高透過率、低SBRを達成することができ、露光装置の解像度を容易に向上させることができる。
【選択図】なし
Description
本発明は液浸式露光装置のラストレンズに関する。より詳しくは、式BaLiF3で表
される結晶からなる液浸式露光装置のラストレンズに関する。
される結晶からなる液浸式露光装置のラストレンズに関する。
半導体集積回路などの電子材料の製造分野で実施されるリソグラフィー工程では、露光基板に対する転写パターンの微細化の要求が高まっており、この要求を実現すべく露光装置の解像度の向上が検討されている。
一般に露光装置では、露光波長が小さくレンズの開口数が大きいほど、解像線幅を小さくして解像度を向上できることが知られている。このため、波長200nm以下の真空紫外領域の光(たとえば、ArFエキシマレーザー;発振波長193nm、F2エキシマレ
ーザー;発振波長157nmなど)を光源として使用する試みと共に、このような短波長の光に対応可能な光学系の設計や、レンズ材料の開発などが進められている。
ーザー;発振波長157nmなど)を光源として使用する試みと共に、このような短波長の光に対応可能な光学系の設計や、レンズ材料の開発などが進められている。
また、これらの試みと並行して、露光基板と露光装置のラストレンズとの間に液体を充填することにより、露光基板面における光の波長を実質的に短くして解像度を向上させようとする液浸式露光装置の研究も進められている。
液浸式露光装置は、少なくとも、光源と、照明光学系と、マスク(レチクル)と、投影光学系と、液体の供給回収装置とを備えた装置であり、投影光学系の露光基板側の先端に設けられたレンズ(ラストレンズ)と、レジスト膜を有する露光基板との間に、液体を充填した状態で露光を行なう装置である。このような液浸式露光装置のラストレンズには、光源の光の波長における屈折率および透過率が高いこと、真性複屈折(IBR;intrinsic birefringence)や応力複屈折(SBR;stress birefringence)が低いかあるいは存
在しないこと、光源の光に対する耐久性があること、使用する液体に対する耐久性があることなどの種々の性能が要求される。
在しないこと、光源の光に対する耐久性があること、使用する液体に対する耐久性があることなどの種々の性能が要求される。
近年、波長193nmまたは157nmの光を光源とする液浸式露光装置のラストレンズの材料として、MgO結晶、スピネル(MgAl2O4)結晶、セラミックスピネルなどの酸化物系材料や、フッ化バリウム(BaF2)結晶などのフッ化物系材料の検討結果が
報告されている(非特許文献1参照)。
John H. Burnett et al., "High-Index Materials for 193nm and 157nm Immersion Lithography" (US), SPIE Microlithography 30, San Jose, 2005年3月3日
報告されている(非特許文献1参照)。
John H. Burnett et al., "High-Index Materials for 193nm and 157nm Immersion Lithography" (US), SPIE Microlithography 30, San Jose, 2005年3月3日
しかし、MgOは、融点が2800℃と高温であることから、結晶の融液成長が困難で、得られた結晶は不純物を含んでおり、波長193nmの光に対して、屈折率は高いものの、透過率が低い上、アニールによる除歪が困難であるためSBRが大きいと考えられる。
また、スピネル結晶は、波長193nmの光に対して、屈折率は高く、透過率も75%程度あるが、融点が2000℃と高温であるため、大型の結晶を得ることは困難であり、得られた結晶もアニールによる除歪が困難であるためSBRが大きいと考えられる。
また、セラミックスピネルは、波長193nmにおいて、屈折率は高いものの、粒界の影響があり、未だ透過率が低いものしか得られておらず、しかも厚みを有するものや大型のものを得ることは困難であると考えられる。
また、BaF2結晶は透過率が高く、結晶の融液成長が容易であるが、波長193nm
の光に対する屈折率は1.58と低く、合成石英の屈折率1.57とくらべて優位性がない。
の光に対する屈折率は1.58と低く、合成石英の屈折率1.57とくらべて優位性がない。
これに対して、本発明者らは、式BaLiF3で表される結晶によれば、液浸式露光装
置のラストレンズに求められる諸性能を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
置のラストレンズに求められる諸性能を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、式BaLiF3で表される結晶からなる液浸式露光装置のラスト
レンズを提供することを課題としている。
レンズを提供することを課題としている。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、以下の事項に関する。
本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、式BaLiF3で表される結晶からなるこ
とを特徴としている。前記結晶は、式BaLiF3で表される単結晶であることが望まし
い。
本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、式BaLiF3で表される結晶からなるこ
とを特徴としている。前記結晶は、式BaLiF3で表される単結晶であることが望まし
い。
また、前記液浸式露光装置は、波長200nm以下の光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ArFエキシマレーザー発振器またはF2エキシマレーザー発振器を
備えていることが好ましい。
備えていることが好ましい。
本発明の液浸式露光装置のラストレンズによれば、光源に使用する光の波長、好適には波長200nm以下において、高屈折率、高透過率、低SBRを達成することができ、露光装置の解像度を容易に向上させることができる。
また、本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、液浸に用いる液体に対する耐久性、光源に用いる光に対する耐久性についても実用上問題のないレベルにある。
以下、本発明について具体的に説明する。
図1に液浸式露光装置の概略原理図の一例を示す。
図1中、液浸式露光装置1は、マスク(レチクル)4を境にした照明光学系3と投影光学系5と、さらに液体の供給回収装置7,8と、露光基板を移動させ得るステージ15と、レーザー光源16とを備えており、投影光学系5の露光基板側の先端に設けられたラストレンズ9と、レジスト膜を有する露光基板11との間に、液体13を充填した状態で露光を行ない、マスク(レチクル)4のパターンを縮小して、露光基板11上に転写することができる。なお、図示した例では、ラストレンズ9と露光基板11との間のみに液体13が保持されているが、これに限定されるものではなく、露光基板11全体を液体13に浸す態様であってもよい。液体13としては、フッ素系溶剤など種々研究が進められているところであるが、現状では、半導体などの被露光体に対する汚染がなく、低粘度で、屈折率も高いことから、純水が広く用いられている(波長193nmの光に対する純水の屈折率(20℃)は1.44である)。
図1に液浸式露光装置の概略原理図の一例を示す。
図1中、液浸式露光装置1は、マスク(レチクル)4を境にした照明光学系3と投影光学系5と、さらに液体の供給回収装置7,8と、露光基板を移動させ得るステージ15と、レーザー光源16とを備えており、投影光学系5の露光基板側の先端に設けられたラストレンズ9と、レジスト膜を有する露光基板11との間に、液体13を充填した状態で露光を行ない、マスク(レチクル)4のパターンを縮小して、露光基板11上に転写することができる。なお、図示した例では、ラストレンズ9と露光基板11との間のみに液体13が保持されているが、これに限定されるものではなく、露光基板11全体を液体13に浸す態様であってもよい。液体13としては、フッ素系溶剤など種々研究が進められているところであるが、現状では、半導体などの被露光体に対する汚染がなく、低粘度で、屈折率も高いことから、純水が広く用いられている(波長193nmの光に対する純水の屈折率(20℃)は1.44である)。
本発明では、液浸式露光装置は、光源として、波長200nm以下のレーザー光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ArFエキシマレーザー発振器(発振波長1
93nm)またはF2エキシマレーザー発振器(発振波長157nm)を備えていること
が好ましい。このような短波長の光を光源として用いることにより、露光装置の解像度を向上させることが期待される。
93nm)またはF2エキシマレーザー発振器(発振波長157nm)を備えていること
が好ましい。このような短波長の光を光源として用いることにより、露光装置の解像度を向上させることが期待される。
上述したように、液浸式露光装置のラストレンズには、光源の光の波長における屈折率および透過率が高いこと、IBRやSBRが低いかあるいは存在しないこと、光源の光に対する耐久性があること、使用する液体に対する耐久性があることなどの種々の性能が要求される。
屈折率に関しては、高ければ高いほど、ラストレンズの口径を大きくしなくても開口数を大きくすることができるため望ましいが、少なくとも、ラストレンズと露光基板との間に充填する液体よりもラストレンズの屈折率が高い方が、ラストレンズから露光基板上に投影される光束の角度を大きくすることが容易であり、その結果、開口数を容易に大きくできるため好ましい。
また、複屈折(birefringence)に関して言えば、ラストレンズ材料には異方性がない
ことが望まれ、立方晶系の単結晶やアモルファスなどの材料が好ましい。さらにSBRの面からは、アニールによる徐歪を可能とするために融点の低い材料であることが望ましい。
ことが望まれ、立方晶系の単結晶やアモルファスなどの材料が好ましい。さらにSBRの面からは、アニールによる徐歪を可能とするために融点の低い材料であることが望ましい。
また、透過率に関して言えば、光源の光の波長において高ければ高いほど望ましい。
本発明のラストレンズの構成材料であるBaLiF3は、融点約850℃の立方晶系の
結晶であり、特開2002−228802号公報には、石英ガラスに代わる硝材、とくに、潮解性、へき開性が低く、高エネルギー光に対する高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材として開示されており、波長200nm以下の領域でもCaF2と遜色のない透
過率を示しており、特に、波長193nmの光に対する内部透過率に限って言えばCaF2とほぼ同じ値であることが示されている。なお、波長193nmの光に対するCaF2の内部透過率はほぼ100%であることが知られており、該公報の開示内容からして、BaLiF3も波長193nmの光に対しては、同等、おそらくは99.9%以上の内部透過
率を示すものと予測される。
本発明のラストレンズの構成材料であるBaLiF3は、融点約850℃の立方晶系の
結晶であり、特開2002−228802号公報には、石英ガラスに代わる硝材、とくに、潮解性、へき開性が低く、高エネルギー光に対する高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材として開示されており、波長200nm以下の領域でもCaF2と遜色のない透
過率を示しており、特に、波長193nmの光に対する内部透過率に限って言えばCaF2とほぼ同じ値であることが示されている。なお、波長193nmの光に対するCaF2の内部透過率はほぼ100%であることが知られており、該公報の開示内容からして、BaLiF3も波長193nmの光に対しては、同等、おそらくは99.9%以上の内部透過
率を示すものと予測される。
また、WO03/044570号公報および米国特許明細書2003/0094128号には、BaLiF3を、色収差を調整する光学部材として使用することが開示されてい
る。
る。
しかし、これらの文献には、BaLiF3からなる液浸式露光装置のラストレンズにつ
いては何ら記載されていない。これは、フッ化金属結晶においては、構成元素である金属の原子量が大きいほど屈折率が大きくなるとの経験則があったことから、Liのような軽元素を含むBaLiF3は高屈折率材料としては、看過されてきたためと推測される。
いては何ら記載されていない。これは、フッ化金属結晶においては、構成元素である金属の原子量が大きいほど屈折率が大きくなるとの経験則があったことから、Liのような軽元素を含むBaLiF3は高屈折率材料としては、看過されてきたためと推測される。
しかし、本発明者らの鋭意検討により、実際にはBaLiF3の193nm波長の光に
対する屈折率は約1.64と大きく、また立方晶系に属するため、その単結晶は屈折率、IBRをはじめとするラストレンズに求められる上記諸性能を達成しうる、優れた材料であることが判明した。
対する屈折率は約1.64と大きく、また立方晶系に属するため、その単結晶は屈折率、IBRをはじめとするラストレンズに求められる上記諸性能を達成しうる、優れた材料であることが判明した。
本発明に用いられるBaLiF3は、公知の結晶成長法で得ることができ、その方法は
とくに限定されない。具体的には、たとえば、得られる結晶の応力歪の残存に由来するSBRを低減することができる点、大型の単結晶を得るのが容易である点からチョクラルスキー法(CZ法)を使用することが好ましい。
とくに限定されない。具体的には、たとえば、得られる結晶の応力歪の残存に由来するSBRを低減することができる点、大型の単結晶を得るのが容易である点からチョクラルスキー法(CZ法)を使用することが好ましい。
以下、CZ法によるBaLiF3単結晶の育成方法について説明する。
具体的には、たとえば、特開2002−228802号に開示されているように、原料として、粉末状のフッ化リチウム(LiF)およびフッ化バリウム(BaF2)を用い、
わずかに分解溶融することを考慮して、LiF:BaF2=x:(1−x)において0.
55<x<0.65のモル比で混合し、白金製の坩堝に収容する。その後、該坩堝をCZ結晶育成炉内にて850℃以上に加熱、昇温させて、上記混合物を融解させ、坩堝内の原料融液に、BaLiF3の種結晶を接触させ、この種結晶を回転させながら徐々に引き上
げることにより、BaLiF3単結晶を成長させて得ることができる。
具体的には、たとえば、特開2002−228802号に開示されているように、原料として、粉末状のフッ化リチウム(LiF)およびフッ化バリウム(BaF2)を用い、
わずかに分解溶融することを考慮して、LiF:BaF2=x:(1−x)において0.
55<x<0.65のモル比で混合し、白金製の坩堝に収容する。その後、該坩堝をCZ結晶育成炉内にて850℃以上に加熱、昇温させて、上記混合物を融解させ、坩堝内の原料融液に、BaLiF3の種結晶を接触させ、この種結晶を回転させながら徐々に引き上
げることにより、BaLiF3単結晶を成長させて得ることができる。
坩堝としては、カーボン製のものを用いることも好ましい。なお、上記xが0.55以下の場合には、BaLiF3ではなく、BaF2が析出する傾向が強い。一方、上記xが0.65以上の場合には、製造したBaLiF3単結晶中にLiFが析出しやすく、得られ
た結晶体が白濁する場合が多いため、歩留まりの点で不利である。しかしながら、本発明者らの検討によれば、上記xを0.55以下としても、BaLiF3単結晶に代えて、必
ずしもBaF2結晶が析出するとは限らず、このような条件下でもBaF2結晶が析出しなかった場合には、より透過率の優れた単結晶体が得られうることがわかった。そのため、透過率を重視する場合には、上記xを0.52<x≦0.55の範囲、とくに0.53≦x≦0.55の範囲に調整することが好ましい。
た結晶体が白濁する場合が多いため、歩留まりの点で不利である。しかしながら、本発明者らの検討によれば、上記xを0.55以下としても、BaLiF3単結晶に代えて、必
ずしもBaF2結晶が析出するとは限らず、このような条件下でもBaF2結晶が析出しなかった場合には、より透過率の優れた単結晶体が得られうることがわかった。そのため、透過率を重視する場合には、上記xを0.52<x≦0.55の範囲、とくに0.53≦x≦0.55の範囲に調整することが好ましい。
着色や内部歪等の少ない単結晶を得るためには、原料のフッ化リチウムおよびフッ化バリウムはできるだけ純度の高いものを用いることが望ましい。例えばアルカリ土類金属以外の陽イオン不純物総含有量が1ppm未満の原料を用いることが好ましい。
原料のフッ化リチウムおよびフッ化バリウムは吸水性が高いため、溶融前に育成炉内にて脱水処理することにより、透過率などの物性を向上させることができる。脱水処理は原料の昇華と脱水効率を勘案して、200〜650℃の温度、かつ10-5〜10-2Paの減圧下で3時間以上かけて行なうのが好ましい。また、育成用の原料として、フッ化リチウムとフッ化バリウムの粉原料をLiF:BaF2=x:(1−x)において0.55<x
<0.65のモル比、あるいは得られる単結晶の透過率を重視する場合には、0.52<x≦0.55、好ましくは0.53≦x≦0.55のモル比で混合し、事前に焼結、あるいは溶融固化により減容させたものを用いることもできる。
<0.65のモル比、あるいは得られる単結晶の透過率を重視する場合には、0.52<x≦0.55、好ましくは0.53≦x≦0.55のモル比で混合し、事前に焼結、あるいは溶融固化により減容させたものを用いることもできる。
また、原料の溶融や結晶の育成の際の雰囲気としてはAr、He、Ne、N2などの不
活性ガスを用いることができるが、CF4、HFなどのフッ素含有ガスを用いることによ
り透過率などの物性を向上させることができる。フッ素含有ガスは上記不活性ガスと任意の割合で混合して用いることもできるし、フッ素含有ガス単体、あるいは複数の異なるフッ素含有ガスを混合して用いることもできる。育成雰囲気圧力は、原料の昇華や蒸発が結晶育成の安定性に影響を及ぼさない範囲で任意に選ぶことができる。
活性ガスを用いることができるが、CF4、HFなどのフッ素含有ガスを用いることによ
り透過率などの物性を向上させることができる。フッ素含有ガスは上記不活性ガスと任意の割合で混合して用いることもできるし、フッ素含有ガス単体、あるいは複数の異なるフッ素含有ガスを混合して用いることもできる。育成雰囲気圧力は、原料の昇華や蒸発が結晶育成の安定性に影響を及ぼさない範囲で任意に選ぶことができる。
また、単結晶の育成方位は種結晶の方位により任意に選ぶことができる。本発明のラストレンズとしては、育成方位が<100>もしくは<111>であることが好ましい。
このようにして得られた単結晶を、必要に応じて600〜800℃でアニールした後、公知の方法でレンズ形状に加工してラストレンズを得ることができる。ラストレンズとしての機能を満足するため、SBRの自乗平均値は1.0nm/cm以下まで低減させることが好ましい。
このようにして得られた単結晶を、必要に応じて600〜800℃でアニールした後、公知の方法でレンズ形状に加工してラストレンズを得ることができる。ラストレンズとしての機能を満足するため、SBRの自乗平均値は1.0nm/cm以下まで低減させることが好ましい。
上述したようにBaLiF3は、MgOやスピネルと異なり、その融点が約850℃と
低いため、大口径の単結晶の育成が容易であり、また結晶育成の際に歪が生じにくい。さらにアニールにより徐歪することにより、たとえ単結晶育成時にSBRが生じたとしても、SBRを後処理によって確実に低減することができる。このBaLiF3の性状は、ラ
ストレンズを量産する場合に極めて有利である。
低いため、大口径の単結晶の育成が容易であり、また結晶育成の際に歪が生じにくい。さらにアニールにより徐歪することにより、たとえ単結晶育成時にSBRが生じたとしても、SBRを後処理によって確実に低減することができる。このBaLiF3の性状は、ラ
ストレンズを量産する場合に極めて有利である。
また、BaLiF3単結晶は、焼結体であるセラミックスピネルと異なり、粒界の影響
を受けない点でも好適である。
ラストレンズの形状および大きさは、これを組み込む液浸式露光装置の投影光学系の構成に合わせて、さらに照明光学系の構成をも勘案して、適宜設計することができ、とくに限定されない。例を挙げれば、CZ法で得られたBaLiF3単結晶の直胴部から、たと
えば、直径80〜300mm(より一般的には直径100〜300mm)、中心厚さ30〜200mm(より一般的には中心厚さ50〜200mm)のラストレンズを得ることが可能である。
を受けない点でも好適である。
ラストレンズの形状および大きさは、これを組み込む液浸式露光装置の投影光学系の構成に合わせて、さらに照明光学系の構成をも勘案して、適宜設計することができ、とくに限定されない。例を挙げれば、CZ法で得られたBaLiF3単結晶の直胴部から、たと
えば、直径80〜300mm(より一般的には直径100〜300mm)、中心厚さ30〜200mm(より一般的には中心厚さ50〜200mm)のラストレンズを得ることが可能である。
得られたラストレンズを他の部材、たとえば、各種レンズ、ミラーなどと組み合わせて投影光学系を構成し、該投影光学系と、パターンの原版であるマスク(レチクル)と、ArFエキシマレーザー発振器やF2エキシマレーザー発振器などのレーザー光源と、該光
源からの光でマスク(レチクル)を照明するように構成された照明光学系と、被露光体である露光基板を移動させ得るステージと、液体の供給回収装置などとを組み合わせて、液浸式露光装置を形成することができる。
源からの光でマスク(レチクル)を照明するように構成された照明光学系と、被露光体である露光基板を移動させ得るステージと、液体の供給回収装置などとを組み合わせて、液浸式露光装置を形成することができる。
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
粉末状のフッ化リチウム(LiF)およびフッ化バリウム(BaF2)を、LiF:B
aF2=0.60:0.40のモル比で混合し、白金製の坩堝(内径250mm、高さ1
00mm)に収容し、CZ結晶育成炉内に収容した。次に、炉内を1×10-3Pa以下の真空度に保ち坩堝を600℃まで24時間かけて加熱昇温させ、その後、純度99.999%のCF4ガスを炉内に導入し大気圧にした。その後、坩堝を900℃まで2時間かけ
て加熱昇温させて、上記混合物を融解させた。
aF2=0.60:0.40のモル比で混合し、白金製の坩堝(内径250mm、高さ1
00mm)に収容し、CZ結晶育成炉内に収容した。次に、炉内を1×10-3Pa以下の真空度に保ち坩堝を600℃まで24時間かけて加熱昇温させ、その後、純度99.999%のCF4ガスを炉内に導入し大気圧にした。その後、坩堝を900℃まで2時間かけ
て加熱昇温させて、上記混合物を融解させた。
次いで、坩堝内の原料融液に、BaLiF3の<100>方位を接触面とする種結晶を
接触させ、この種結晶を12rpmで回転させながら2.0mm/分の速度で引き上げることにより、BaLiF3単結晶を成長させた。得られた単結晶は全長180mm、直胴
部の長さが130mm、直胴部の直径が155mmであった。
接触させ、この種結晶を12rpmで回転させながら2.0mm/分の速度で引き上げることにより、BaLiF3単結晶を成長させた。得られた単結晶は全長180mm、直胴
部の長さが130mm、直胴部の直径が155mmであった。
得られた単結晶の直胴部から直径150mm、厚さ120mmの円盤状試料を作製し、これを最高温度750℃、CF4雰囲気でアニールした後、自動複屈折分布測定装置(Hinds instruments, Inc.製 EXICOR 450AT; 光源633nm)を用いてSBRを測定した。
その結果、上記BaLiF3単結晶試料のSBRは、測定面内の最小自乗平均で0.8
nm/cmであった。
また、上記アニール後のBaLiF3単結晶から、測定用サンプルとして、直径20m
m、厚さ1.0mmの円盤状の試料を作製し、VUV透過率測定装置(日本分光製 KV−201; 酸素含有量0.2ppm以下の窒素雰囲気中で測定)を用いて真空紫外光透過率を測定した。
nm/cmであった。
また、上記アニール後のBaLiF3単結晶から、測定用サンプルとして、直径20m
m、厚さ1.0mmの円盤状の試料を作製し、VUV透過率測定装置(日本分光製 KV−201; 酸素含有量0.2ppm以下の窒素雰囲気中で測定)を用いて真空紫外光透過率を測定した。
その結果を図2に示す。この透過率測定結果は表面反射等の影響も含む値であるが、それでも193nmでは約90%と高い値を示した。したがって該表面反射等の影響を排除した内部透過率は極めて高いものになると推測される。
さらに、上記アニール後のBaLiF3単結晶から、一辺25mmの正三角形を断面と
する長さ30mmの三角柱プリズムを作製した。これを試料として最小偏角法(1013hPa、25℃)により波長656nm〜185nmまでの範囲の絶対屈折率を測定した(使用計測器; Moller-Wedel社製、ゴニオメータスペクトロメータ1型)。
する長さ30mmの三角柱プリズムを作製した。これを試料として最小偏角法(1013hPa、25℃)により波長656nm〜185nmまでの範囲の絶対屈折率を測定した(使用計測器; Moller-Wedel社製、ゴニオメータスペクトロメータ1型)。
その結果を図3に示す。測定結果から算出した波長193nmでの絶対屈折率は1.64となり、フッ化バリウムの1.58(文献値)よりも大幅に高く、液浸式露光装置のラストレンズとして極めて有利であることがわかった。また、上記アニール前のBaLiF3単結晶のIBRを、John H. Burnettらの論文 (John H. Burnett et al., "Intrinsic birefringence in calcium fluoride and barium fluoride", Physical Review B, Volume 64, 241102 (R)-1〜4, 2001年11月29日)に記載の方法により、波長193nmにおい
て測定したところ、25.4nm/cmであった。
て測定したところ、25.4nm/cmであった。
LiFおよびBaF2を、LiF:BaF2=0.53:0.47のモル比で混合し、グラファイト製の坩堝を使用したほかは実施例1と同様にして、BaLiF3単結晶を得た
。得られた単結晶は全長110mm、直胴部の長さが60mm、直胴部の直径が100mmであった。
。得られた単結晶は全長110mm、直胴部の長さが60mm、直胴部の直径が100mmであった。
得られたBaLiF3単結晶を実施例1と同様にアニールし、アニール後のBaLiF3単結晶から、測定用サンプルとして、直径20mm、厚さ10mmの円盤状の試料を作製し、VUV透過率測定装置(日本分光製 KV−201; 酸素含有量0.2ppm以下の窒素雰囲気中で測定)を用いて真空紫外光透過率を測定した。
その結果、193nmにおける透過率(表面反射等の影響も含む値)は約70%であった。したがって、該表面反射等の影響を排除した内部透過率は約80%と算出された。
1:液浸式露光装置
3:照明光学系
4:マスク(レチクル)
5:投影光学系
7,8:液体の供給回収装置
9:ラストレンズ
11:露光基板
13:液体
15:ステージ
16:レーザー光源
3:照明光学系
4:マスク(レチクル)
5:投影光学系
7,8:液体の供給回収装置
9:ラストレンズ
11:露光基板
13:液体
15:ステージ
16:レーザー光源
Claims (4)
- 式BaLiF3で表される結晶からなることを特徴とする液浸式露光装置のラストレン
ズ。 - 前記液浸式露光装置が、波長200nm以下の光源を備えていることを特徴とする請求項1に記載の液浸式露光装置のラストレンズ。
- 前記液浸式露光装置が、ArFエキシマレーザー発振器またはF2エキシマレーザー発
振器を備えていることを特徴とする請求項1に記載の液浸式露光装置のラストレンズ。 - 前記結晶が、式BaLiF3で表される単結晶であることを特徴とする請求項1に記載
の液浸式露光装置のラストレンズ。
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JP2006140667A JP2007005777A (ja) | 2005-05-25 | 2006-05-19 | 液浸式露光装置のラストレンズ |
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- 2006-05-19 JP JP2006140667A patent/JP2007005777A/ja active Pending
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