JP4831058B2 - 電気光学表示装置および電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、電気光学表示装置および電子機器に関するものである。

電気光学表示装置としては、例えば、アクティブマトリクス駆動方式を採用するＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネルが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
ＬＣＤパネルでは、例えば、特許文献１に開示されているように、印加される電界によって液晶の光学特性が変化することを利用して光シャッタが構成されている。例えば、このような光シャッタを画素ごとに設けることで、文字や画像を表示することができる。

しかしながら、液晶は、光により劣化するという問題がある。この問題は、用いる光の強度が大きいほど顕著である。そのため、長期に亘って高品位な画像を表示することが難しい。
また、このような電気光学表示装置では、用いる光の利用効率を高めることが望ましい。

特開２００４−６７８２号公報

本発明の目的は、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて高品位な画像を表示することができる電気光学表示装置および電子機器を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電気光学表示装置は、基板の一方の面側に設けられた複数のスイッチング素子を備えるアクティブマトリクス装置と、
前記各スイッチング素子に対応して設けられた窓部と、前記窓部に隣接して設けられた遮光部とを有する基体と、前記基板を平面視したときに前記窓部と略同一形状をなし、前記窓部を開閉するように前記基板の板面に沿った方向に前記基体に対し変位可能に設けられた可動板と、前記可動板を変位させて前記遮光部上に位置した開状態と前記窓部上に位置した閉状態とに切り換え可能な駆動手段と、前記可動板を支持する弾性変形可能な弾性部材であって前記開状態または前記閉状態に保持するように前記可動板を付勢する付勢部材とを備えたシャッタ装置と、
前記シャッタ装置を介して１対設けられ、前記各窓部に対応して設けられたマイクロレンズを備えたマイクロレンズアレイとを有し、
１つの前記スイッチング素子に対して複数の前記窓部が対応して設けられ、
１つの前記窓部に対して１つの前記可動板が対応して設けられ、
１つの前記可動板に対して少なくとも１つの前記弾性部材が対応して設けられ、かつ、複数の前記可動板が互いに連結されておらず、
前記スイッチング素子は、固定電極と、前記固定電極に対し接触／離反するように変位可能に設けられた可動電極と、前記可動電極に静電ギャップを介して設けられた駆動電極とを備え、前記可動電極と前記駆動電極との間に電圧を印加することにより、前記可動電極と前記駆動電極との間に静電引力を生じさせ、これにより、前記可動電極を変位させて、前記可動電極と前記固定電極とを接触させ、これらを導通状態とするように構成され、
前記各可動板には、櫛歯状をなす電極が設けられ、
前記駆動手段は、前記基体に設けられ、前記各可動板の電極に噛み合う櫛歯状をなす電極を有し、前記スイッチング素子を前記導通状態とすることにより、該スイッチング素子に対応する前記複数の窓部を開閉するように、前記可動板に設けられた電極と前記基体に設けられた電極とからなる１対の電極間に電圧が印加され、これにより、前記１対の電極間に静電引力を生じさせ、前記可動板を前記開状態から前記閉状態へまたは前記閉状態から前記開状態へ変位させ、
前記駆動手段は、前記開状態での前記可動板による前記窓部の開閉度を調整可能に構成されていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて高品位な画像を表示することができる。

本発明の電子機器は、本発明の電気光学表示装置を備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有するとともに、高品位な画像を表示することができる。

以下、本発明の電気光学表示装置および電子機器の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態を説明する。
図１は、本発明の第１実施形態にかかる電気光学表示装置の構成を示す縦断面図、図２は、図１に示す電気光学表示装置に備えられたアクティブマトリクス装置を示す平面図、図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図、図４は、図３に示すスイッチング素子を説明するための斜視図、図５は、図３に示すスイッチング素子の作動を説明するための図、図６は、図１に示す電気光学表示装置に備えられたシャッタ装置の平面図、図７は、図６に示すシャッタ装置の部分拡大平面図、図８は、図７中のＢ−Ｂ線断面図、図９は、図７に示すシャッタ装置の動作を説明するための図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１、図３および図５中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２、図６、図７および図９中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。

（電気光学表示装置）
図１に示すように、電気光学表示装置１００は、アクティブマトリクス装置１０と、このアクティブマトリクス装置１０からの通電により駆動するシャッタ装置３０と、入射光を集光するためのマイクロレンズアレイ２０と、出射光を集光するマイクロレンズアレイ４０とを有している。

このような電気光学表示装置１００では、マイクロレンズアレイ２０、アクティブマトリクス装置１０、シャッタ装置３０、およびマイクロレンズアレイ４０がこの順に積層されている。
このような電気光学表示装置１００にあっては、図１にて下方から入射した光Ｌは、マイクロレンズアレイ２０を通過する際に集光されつつ、アクティブマトリクス装置１０、シャッタ装置３０、およびマイクロレンズアレイ４０を透過する。このとき、シャッタ装置３０のシャッタ機構の開閉がアクティブマトリクス装置１０のスイッチングにより制御されており、当該シャッタ機構の開閉度に応じて、出射する光Ｌの輝度が制御される。

このような電気光学表示装置１００は、光Ｌの入射側にマイクロレンズアレイ２０が設けられているため、光Ｌをシャッタ装置３０の所望部に集光することができ、光Ｌの減衰を防止し、光Ｌの利用効率を高めることができ、一方、光Ｌの出射側には、マイクロレンズアレイ４０が設けられているため、出射する光Ｌの必要以上の広がりを防止することができる。

以下、電気光学表示装置１００を構成する各部を順次詳細に説明する。
（アクティブマトリクス装置）
図２に示すアクティブマトリクス装置１０は、複数の第１の配線１１と、この複数の第１の配線１１に交差するように設けられた複数の第２の配線１２と、各第１の配線１１と各第２の配線１２との交点付近に設けられた複数のスイッチング素子１とを有し、これらが基板５０上に設けられている。

基板５０は、アクティブマトリクス装置１０を構成する各部（各層）を支持するもの（支持体）である。
基板５０には、例えば、ガラス基板、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）等で構成されるプラスチック基板（樹脂基板）、石英基板、シリコン基板、ガリウム砒素基板等を用いることができる。

また、基板５０の平均厚さは、その構成材料等によって若干異なり、特に限定されないが、１０〜２０００μｍ程度であるのが好ましく、３０〜３００μｍ程度であるのがより好ましい。基板５０の厚さが薄すぎると、基板５０の強度が低下し、支持体としての機能が損なわれるおそれがあり、一方、基板５０の厚さが厚過ぎると、軽量化の観点から好ましくない。

複数の第１の配線１１は、基板５０に沿って互いに平行に設けられ、複数の第２の配線１２は、各第１の配線１１に交差するとともに、基板５０に沿って互いに平行に設けられている。
本実施形態では、複数の第１の配線１１と複数の第２の配線１２は、互いに直交するように配列されている。そして、複数の第１の配線１１は、行選択のためのものであり、複数の第２の配線１２は、列選択のためのものである。すなわち、第１の配線１１および第２の配線１２のうち、一方がデータ線であり、他方が走査線である。このような複数の第１の配線１１と複数の第２の配線１２を用いて行選択および列選択を行うことにより、選択的に所望のスイッチング素子１を作動（可動電極５と駆動電極２との間に電圧を印加）させることができる。
このように配列された各第１の配線１１と各第２の配線１２との交点付近に各スイッチング素子１を設けることで、マトリクス状に複数のスイッチング素子１を配列するとともに、各スイッチング素子１に通電することができる。

このような各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料は、それぞれ、導電性を有するものであれば、特に限定されず、例えば、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｃｕまたはこれらを含む合金等の導電性材料、ＩＴＯ、ＦＴＯ、ＡＴＯ、ＳｎＯ_２等の導電性酸化物、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン等の炭素系材料、ポリアセチレン、ポリピロール、ＰＥＤＯＴ（ｐｏｌｙ−ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）のようなポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（ｐ−フェニレン）、ポリフルオレン、ポリカルバゾール、ポリシランまたはこれらの誘導体等の導電性高分子材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、前述した導電性高分子材料は、通常、酸化鉄、ヨウ素、無機酸、有機酸、ポリスチレンサルフォニック酸などの高分子でドープされ導電性を付与された状態で用いられる。これらの中でも、各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料としては、それぞれ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｔまたはこれらを含む合金を主とするものが好適に用いられる。これらの金属材料を用いると、電解あるいは無電解メッキ法を用いて、容易かつ安価に各第１の配線１１および各第２の配線１２を形成することができる。また、アクティブマトリクス装置１０の特性を向上することができる。

本実施形態では、基板５０の一方の面（上面）上には、複数の第１の配線１１が設けられていとともに、前述した複数の第１の配線１１を覆うように第１の絶縁層４が設けられている。そして、第１の絶縁層４の基板５０とは反対側の面（上面）上には、前述した複数の第２の配線１２および導電層６が設けられているとともに、複数の第２の配線１２および導電層６を覆うように第２の絶縁層７が設けられている。

この第１の絶縁層４および第２の絶縁層７は、それぞれ、一部が除去されていて、後述するスイッチング素子１の駆動部分を収納する収納部（除去部）１３が形成されている。
また、第１の絶縁層４には、後述する導電層６との接続のための貫通孔（コンタクトホール）４１が形成されている。また、第２の絶縁層７には、後述する画素電極８との接続のための貫通孔（コンタクトホール）７１が形成されている。

このような第１の絶縁層４および第２の絶縁層７の構成材料としては、それぞれ、絶縁性を有するものであれば、特に限定されず、各種有機材料（特に有機高分子材料）や、各種無機材料を用いることができる。
絶縁性を有する有機材料としては、例えば、ポリスチレン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリビニルフェニレン、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のようなアクリル系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のようなフッ素系樹脂、ポリビニルフェノールあるいはノボラック樹脂のようなフェノール系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテンなどのオレフィン系樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
一方、絶縁性を有する無機材料としては、例えば、シリカ（ＳｉＯ_２）、窒化珪素、酸化アルミ、酸化タンタル等の金属酸化物、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウムチタン酸鉛等の金属複合酸化物が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

導電層６は、前述した固定電極３と画素電極８とを電気的に接続するためのものである。
このような導電層６は、前述した第１の絶縁層４の貫通孔４１に挿通される貫通電極部６１を有している。これにより、導電層６と後述する固定電極３とが電気的に接続されている。
この導電層６の構成材料としては、導電性を有していれば、特に限定されず、例えば、前述した各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料と同様のものを用いることができる。

各画素電極８は、前述した基板５０の一方の面側に設けられ、電気光学表示装置１００の各画素を駆動させるための電圧を印加する一方の電極を構成するものである。
このような各画素電極８は、図示しない配線を介して、後述するシャッタ装置３０の対応する固定電極に電気的に接続されている。
画素電極８の構成材料としては、例えば、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂ等の金属、これらを含むＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＳｎＯ₂、Ｓｂ含有ＳｎＯ₂、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。特に、アクティブマトリクス装置１０を後述するような透過型の電気光学表示装置１００に組み込む場合には、画素電極８の構成材料としては、前述したものの中でも、透明材料が選択される。

また、各画素電極８は、前述した第２の絶縁層７の貫通孔７１に挿通される貫通電極部８１を有している。これにより、画素電極８と導電層６とが電気的に接続されている。
また、各画素電極８の下面（基板５０側の面）の一部は、前述した収納部１３の壁面の一部を構成しており、各画素電極８には、後述する製造工程において収納部１３を形成するに際しエッチング液を供給するための貫通孔８２が形成されている。この貫通孔８２は、封止層９によって封止されている。

なお、この封止層９の上面上には、後述する基体３１が設けられているが、この封止層９を省略し、基体３１で貫通孔８２を封止してもよい。すなわち、基体３１が、後述するようなブラックマトリクスとしての機能の他に、貫通孔８２を封止する機能を併せもっていてもよい。
封止層９の構成材料は、貫通孔８２を封止する機能を有するものであれば、特に限定されず、各種有機材料、各種無機材料を用いることができるが、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリビニルアルコール、ポリテトラフルオロエチレン等の高分子材料が好適に用いられる。

このような各画素電極８には、各画素電極８に対応して設けられたスイッチング素子１が前述した導電層６を介して接続されている。このスイッチング素子１の作動を制御することにより、電気光学表示装置１００において各画素の駆動が制御される。
各スイッチング素子１は、図３および図４に示すように、対応する第２の配線１２に電気的に接続された駆動電極２と、対応する画素電極８に電気的に接続された固定電極３と、対応する第１の配線１１に電気的に接続された可動電極（スイッチ片）５とを有している。

以下、スイッチング素子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
駆動電極２は、前述した各第２の配線１２からその側方に突出するように形成されており、前述した基板５０の一方の面（上面）上に設けられている。そして、駆動電極２は、可動電極５に静電ギャップを介して対向して設けられている。
この駆動電極２は、可動電極５との間に電圧を印加する（電位差を生じさせる）ことにより、可動電極５との間（静電ギャップ）に静電引力を生じさせるものである。

このような駆動電極２は、前述した第２の配線１２に電気的に接続されている。本実施形態では、第２の配線１２も基板５０の上面上（すなわち駆動電極２と同一面上）に形成されており、駆動電極２と第２の配線１２とが一体的に形成されている。
このような駆動電極２の構成材料は、導電性を有するものであれば、特に限定されず、例えば、前述した各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料と同様のものを用いることができる。
また、駆動電極２の厚さは、それぞれ、特に限定されないが、１０〜１０００ｎｍ程度とするのが好ましく、５０〜５００ｎｍ程度とするのがより好ましい。

固定電極３は、前述した駆動電極２に間隔を隔てて、前述した基板５０の一方の面（上面）上に設けられている。
この固定電極３は、可動電極５と接触することにより、第１の配線１２と電気的に接続されるものである。
このような固定電極３は、前述した導電層６を介して画素電極８に電気的に接続されている。

このような固定電極３の構成材料は、導電性を有するものであれば、特に限定されず、例えば、前述した各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料と同様のものを用いることができる。
また、固定電極３の厚さは、特に限定されないが、１０〜１０００ｎｍ程度とするのが好ましく、５０〜５００ｎｍ程度とするのがより好ましい。

可動電極５は、前述した各第１の配線１１からその側方に突出するように形成され、前述した駆動電極２および固定電極３に対向するように設けられている。
この可動電極５は、帯状をなし、その長手方向での第１の絶縁層４側の端（図３にて左側の端）５１が固定され、片持ち支持されている。これにより、可動電極５は、その自由端５２側が駆動電極２および固定電極３側（下側）へ変位可能となっている。
このようにして、可動電極５は、固定電極３に対して接触／離反するように変位可能に設けられている。

このような可動電極５の構成材料は、導電性を有するとともに、弾性変形可能なものであれば、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、シリコンカーバイトのようなシリコン材料、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムのような金属材料、またはこれらの各材料の１種または２種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。
本実施形態では、前述したような駆動電極２、固定電極３、および可動電極５は、画素電極８と基板５０との間に形成された収納部１３内に収納されている。
収納部１３内は、減圧状態としてもよいし、非酸化性のガスを充填してもよし、絶縁性の液体を充填してもよい。

このような各スイッチング素子１では、可動電極５と駆動電極２との間に電圧が印加されていないときには、図３および図４に示すように、可動電極５と固定電極３とが離間していて第１の配線１１から画素電極８への通電が遮断状態となっている。
そして、可動電極５と駆動電極２との間に電圧が印加されることにより、可動電極５と駆動電極２との間に静電引力を生じさせ、図５に示すように、可動電極５と固定電極３とを接触させて第１の配線１１から画素電極８への通電を導通状態とする。
このようなメカニカルなスイッチング素子１は、ＴＦＴに比し優れた耐光性を有する。その結果、後述するシャッタ装置３０による効果との相乗効果により、電気光学表示装置１００全体の耐光性を向上させることができる。

また、かかるスイッチング素子１は、ＴＦＴのような光リークを生じない。そのため、スイッチング素子１を遮光するためのブラックマトリクスのような遮光層を設ける必要がなく、アクティブマトリクス装置１０における開口率を大きくすることができる。また、かかるスイッチング素子１は、温度による特性変動がないため、アクティブマトリクス装置１０の冷却機構を簡易化することができる。さらに、かかるスイッチング素子１は、ＴＦＴに比し高速にスイッチング動作させることができる。

ここで、前述したように、可動電極５は、片持ち支持され、その自由端５２側が変位するように構成され、固定電極２は、可動電極５の自由端５２側の端部に対向するように設置され、駆動電極３は、固定電極２よりも可動電極５の固定端５１側の部分に対向するように設置されている。そして、固定電極２と駆動電極３と可動電極５とは、図５に示すように、可動電極５と駆動電極２とが離間した状態のまま、可動電極５が固定電極３に接触するようになっている。これにより、可動電極５と駆動電極５との固着を防止することができる。すなわち、固定電極２と駆動電極３と可動電極５とは、駆動電極２と可動電極５とが固着するのを防止する固着防止手段を構成している。

このようにメカニカルな各スイッチング素子１が可動電極５と駆動電極２との固着を防止する固着防止手段を備えているため、アクティブマトリクス装置１０は、優れた信頼性を有するとともに、開口率を向上させることができる。
特に、前述したように可動電極５を片持ち支持した構造とすることにより、スイッチング素子１の構造を簡単なものとすることができる。また、駆動電極２が可動電極５の固定端側に対向するため、可動電極５が駆動電極２側に変位（曲げ変形）したときに、可動電極５が元の状態に復帰しようとする反力が大きい。そのため、駆動電極２と可動電極５との固着を確実に防止することができる。

以上説明したようなアクティブマトリクス装置１０の封止層９の上面（基板５０と反対側の面）には、シャッタ装置３０が接合されている。
（シャッタ装置）
シャッタ装置３０は、図１に示すように、基体（ブラックマトリクス）３１と、第１の中間層３２と、電極層３３と、第２の中間層３４と、保護層３５とがこの順で積層されている。
そして、平面視したときに、図６に示すように、基体３１には、複数の窓部３１ａが形成されているとともに、この各窓部３１ａに対応して、電極層３３には、可動板（シャッタ部材）３３ａが設けられており、各可動板３３ａがこれに対応する窓部３１ａを開閉する。

以下、シャッタ装置３０を構成する各部を順次詳細に説明する。
基体３１は、図６に示すように、第１の配線１１に沿って延在する複数の窓部３１ａが設けられている。本実施形態では、各窓部３１ａは、平面視にて、帯状をなしている。
また、本実施形態では、基体３１には、平面視したときに、互いに隣接する２つの第１の配線１１と、互いに隣接する２つの第２の配線１２との囲まれた領域（以下、「画素領域」とも言う）に、４つの窓部３１ａが設けられている。すなわち、各スイッチング素子１に対応して、４つの窓部３１ａが設けられている。

各窓部３１ａは、基体３１の一部を除去することにより構成された開口部であり、光Ｌが透過可能に構成されている。なお、各窓部３１ａは、光Ｌを透過可能なものであれば、これに限定されず、例えば、樹脂材料やガラス材料などの透明材料で構成されていてもよい（言い換えると、各窓部３１ａを構成する開口部に当該透明材料が充填されていてもよい）。
また、基体３１の窓部３１ａ以外の部分は、遮光性を有し、遮光部を構成する。すなわち、基体３１は、窓部３１ａに隣接して遮光部が設けられている。このような基体３１は、ブラックマトリクスとして機能するものである。

このような基体３１（窓部３１ａ部分を除く）の構成材料としては、用いる光Ｌの波長域において遮光性を有するものであれば特に限定されず、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、シリコンカーバイトのようなシリコン材料、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムのような金属材料、石英ガラス、ケイ酸ガラス（石英ガラス）、ケイ酸アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリ石灰ガラス、鉛（アルカリ）ガラス、バリウムガラス、ホウケイ酸ガラスのようなガラス材料、アルミナ、ジルコニア、フェライト、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化チタン、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化チタン、炭化タングステンのようなセラミックス材料、グラファイトのような炭素材料、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリオキシメチレン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリシクロヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、変性ポリフェニレンオキシド、変性ポリフェニレンエーテル樹脂（ＰＢＯ）、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、アラミド系樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等の樹脂材料、またはこれらの各材料の１種または２種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられ、また、透明材料を用いる場合には、遮光性を有する顔料や染料等の材料と組み合わせて（混合、塗布などして）用いることができる。
この中でも、基体３１の構成材料としては、用いる光Ｌの波長域にもよるが、カーボンブラック、黒色の染料や顔料等の黒色のものが好適に用いられる。

このような基体３１の上面（封止層９とは反対側の面）には、第１の中間層３２を介して、電極層３３が接合されている（図１および図８参照）。
第１の中間層３２は、後述する可動板３３ａと基体３１とを厚さ方向（上下方向）で離間させるスペーサとして機能するものである。また、第２の中間層３４は、後述する可動板３３ａと保護層３５とを厚さ方向（上下方向）で離間させるスペーサとして機能するものである。
このような第１の中間層３２および第２の中間層３４は、それぞれ、図８に示すように、画素領域において平面視したときに、後述する各支持部３３ｃ１、３３ｃ２に対応する部分と、後述する固定電極３３ｂの本体（櫛歯状電極３３ｂ１以外の部分）に対応する部分とを除くように形成されている。

これにより、可動板３３ａおよび固定電極３３ｂは、それぞれ、第１の中間層３２の厚さ分基体３１から離間するとともに、基体３１との間に空隙が形成される。また、可動板３３ａおよび固定電極３３ｂは、それぞれ、第２の中間層３４の厚さ分保護層３５から離間するとともに、保護層３５との間に空隙が形成される。これらにより、可動板３３ａの円滑な変位を可能とする。

また、保護層３５は、電極層３３を保護する機能を有する。なお、この保護層３５は、省略してもよい。
この保護層３５の構成材料としては、特に限定されず、例えば、前述した封止層９と同様の材料を用いることができる。
電極層３３は、前述した窓部３１ａを開閉するための可動板３３ａと、前述した基体３１に対し固定的に設けられた固定電極３３ｂおよび支持部３３ｃ１、３３ｃ２と、可動板３３ａと支持部３３ｃ１とを連結する１対の弾性部材３３ｄ１と、可動板３３ａと支持部３３ｃ２とを連結する１対の弾性部材３３ｄ２とを有する。

ここで、図７に示すように、電極層３３は、２つの窓部３１ａに対し１つの繰り返し単位構造を有し、この繰り返し単位構造は、左右対称である。より具体的には、平面視したときに、１対の可動板３３ａが固定電極３３ｂを介して対向している。
各可動板３３ａは、非駆動時に、対応する窓部３１ａを覆うように設けられている。また、各可動板３３ａは、対応する窓部３１ａの長手方向に沿って延在する長手形状をなしている。すなわち、平面視したときに、可動板３３ａ（本体部）は、窓部３１ａと略同一形状（相似形状）をなしている。これにより、可動板３３ａおよび窓部３１ａをそれぞれ効率的に配置することができる。ここで、平面視したときに、可動板３３ａは、対応する窓部３１ａよりも若干大きい面積となるように形成されている。
そして、各可動板３３ａには、その幅方向での一方側（固定電極３３ｂ側）に、櫛歯状をなす櫛歯状電極３３ａ１（可動板３３ａ側に設けられた電極）が設けられている。

このような可動板３３ａは、１対の弾性部材３３ｄ１を介して支持部３３ｃ１に支持されているとともに、１対の弾性部材３３ｄ２を介して支持部３３ｃ２に支持されている。これにより、可動板３３ａは、対応する窓部３１ａを開閉するように基体３１に対し変位可能に設けられている。
より具体的には、可動板３３ａは、その幅方向に変位可能であり、窓部３１ａ上に位置して閉状態とし、窓部３１ａに隣接する遮光部上に位置して開状態とする。このように基板５０の板面に沿った方向に可動板３３ａを変位可能に設けることで、比較的簡単な構成で、可動板３３ａが窓部３１ａを開閉することができる。

各支持部３３ｃ１、３３ｃ２は、前述した第１の中間層３２を介して基体３１に接合されている。これにより、各支持部３３ｃ１、３３ｃ２は、基体３１に対し離間するとともに固定的に設けられている。
また、各支持部３３ｃ１、３３ｃ２は、図示しないが、貫通電極部を介して接地されている（共通電極に電気的に接続されている）。これにより、可動板３３ａ（櫛歯状電極３３ａ１）が接地される。
各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、弾性変形可能に構成されている。特に、本実施形態では、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、略Ｚ字状をなすように屈曲した部分を有している。これにより、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２の弾性変形量を大きくすることができる。

固定電極３３ｂは、前述した１対の可動板３３ａの各櫛歯状電極３３ａ１に対し間隔を隔てて噛み合うように設けられた１対の櫛歯状電極３３ｂ１（基体３１側に設けられた電極）が設けられている。
この固定電極３３ｂは、図示しないが、対応するスイッチング素子１の画素電極８に電気的に接続されている。これにより、固定電極３３ｂと可動板３３ａとの間に電圧を印加して、可動板３３ａを変位させて窓部３１ａを開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手段する。すなわち、シャッタ装置３０は、静電駆動方式により可動板３３ａを窓部３１ａに対し開状態と閉状態とに切り換える。

このような電極層３３の構成材料は、前述したような可動板３３ａによる窓部３１ａの開閉が可能であれば特に限定されないが、導電性を有するとともに、弾性変形可能なものであれば、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、シリコンカーバイトのようなシリコン材料、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムのような金属材料、またはこれらの各材料の１種または２種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。中でも、シリコン材料を用いるのが好ましい。電極層３３の構成材料としてシリコン材料を用いる場合、例えば、Ａｌ−Ｓｉ（２％）材料をスパッタリングし、α−Ｓｉ（アモルファスシリコン）材料をスパッタリングした後に３００℃程度でアニールすることにより、前記Ａｌ−Ｓｉを通じてその下層にシリコン単結晶膜の結晶化をすすめ、その後上層に移動したＡｌ−Ｓｉをエッチング除去することでシリコン単結晶膜を形成し、このシリコン単結晶膜をエッチングすることにより電極層３３を形成することができる。

ここで、シャッタ装置３０の動作を説明する。
スイッチング素子１がオフ状態のときには、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３ｂ１との間（１対の電極間）に電圧が印加されず、図７に示すように、可動板３３ａは窓部３１ａ上を覆うように位置する。すなわち、可動板３３ａが窓部３１ａを閉状態とする。
一方、スイッチング素子１がオン状態となると、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３ｂ１との間に電圧が印加され（電位差が生じ）、これらの電極間に静電引力が生じる。すると、可動板３３ａは、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２の付勢力（弾性力）に抗して固定電極３３ｂ側へ変位し、図９に示すように、窓部３１ａ上から退避する。すなわち、可動板３３ａが窓部３１ａを開状態とする。

再度、スイッチング素子１がオフ状態となると、可動板３３ａは、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２の付勢力（弾性力）により元の状態（閉状態）に復帰する。
このような駆動に際しては、１対の電極間に印加する電圧を調整することにより、可動板３３ａによる窓部３１ａの開閉度を調整することができる。これにより、多階調またはアナログ駆動を実現することができる。

このようなシャッタ装置３０は、可動板３３ａを開状態または閉状態に保持するように付勢する付勢部材として各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２を備えているため、可動板３３ａが開状態または閉状態のいずれかの状態のときに、駆動手段が可動板３３ａに対し駆動力を与えなくて済むため、省電力化を図ることができる。
このような付勢部材としては、可動板３３ａと別体として形成されていてもよいが、前述したように可動板３３ａを支持する弾性変形可能な各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２を用いることで、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２が可動板３３ａを支持する機能と可動板３３ａを付勢する機能とを併せもつことができる。このような可動板３３ａおよび各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、一体的に形成することができ、機械的強度に優れている。そのため、電気光学表示装置１００の信頼性を向上させることができる。また、このような可動板３３ａおよび各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、同一基板または同一層から一括して形成することができる。

また、前述したように静電駆動方式により可動板３３ａを開状態と閉状態とに切り換えるように構成されているため、駆動手段の構成を簡単なものとすることができる。そのため、駆動手段の構成要素が少なく、故障も少ない。特に、櫛歯状電極を用いた構成とすることで、１対の電極間（櫛歯状電極３３ａ１、３３ｂ１間）の対向面の面積を大きくして、１対の電極間に生じる静電引力を大きくすることができる。

また、窓部３１ａとこれに対応する可動板３３ａは、各スイッチング素子１に対し複数（本実施形態では４つ）設けられているため、各スイッチング素子１に対応する４つの可動板３３ａのうち１つが仮に故障等により動作しなくなっても、残りの可動板３３ａの動作により、画像の抜け等の発生を防止することができる。すなわち、電気光学表示装置１００のリダンダンシー（冗長性）を向上させることができる。また、可動板３３ａの大きさ（質量）を小さくして、可動板３３ａの開状態と閉状態との切り換え速度（応答性）を向上させることができる。
以上説明したようなシャッタ装置３０にあっては、メカニカルに光Ｌを透過したり遮断したりするため、液晶を用いたシャッタに比し、格段に耐光性に優れたものとすることができる。すなわち、シャッタ装置３０は、光Ｌとして高強度なものを用いても、優れたシャッタ特性を長期に亘り発揮することができる。

（マイクロレンズアレイ）
マイクロレンズアレイ（マイクロレンズ基板）２０は、図１に示すように、アクティブマトリクス装置１０の基板５０の下面に接合され、マイクロレンズアレイ４０は、シャッタ装置３０の保護層３５の上面に接合されている。
マイクロレンズアレイ２０は、凹曲面を有する複数（多数）の凹部（マイクロレンズ用凹部）２０１ａが設けられたマイクロレンズ用凹部付き基板（第１の基板）２０１と、かかるマイクロレンズ用凹部付き基板２０１の凹部２０１ａが設けられた面に接合された樹脂層（接着剤層）２０２を有している。そして、樹脂層２０２には、凹部２０１ａ内に充填された樹脂によりマイクロレンズ２０２ａが形成されている。

この各マイクロレンズ２０２ａは、前述した窓部３１ａに対応して設けられている。すなわち、マイクロレンズ２０２ａは、その光軸Ｑが窓部３１ａのほぼ中央を通るように設置されている。
同様に、マイクロレンズアレイ４０は、凹曲面を有する複数（多数）の凹部（マイクロレンズ用凹部）４０１ａが設けられたマイクロレンズ用凹部付き基板（第１の基板）４０１と、かかるマイクロレンズ用凹部付き基板４０１の凹部４０１ａが設けられた面に接合された樹脂層（接着剤層）４０２を有している。そして、樹脂層４０２には、凹部４０１ａ内に充填された樹脂によりマイクロレンズ４０２ａが形成されている。
この各マイクロレンズ４０２ａも、前述した窓部３１ａに対応して設けられている。すなわち、マイクロレンズ４０２ａは、その光軸Ｑが窓部３１ａのほぼ中央を通るように設置されている。

このようなマイクロレンズ２０２ａは、入射する光Ｌを窓部３１ａ内に集光するためのものである。これにより、窓部３１ａ自体の光透過領域の面積（開口面積）が小さくても、光Ｌを損失することなくシャッタ装置３０を透過させることができる。すなわち、光Ｌの利用効率を高めることができる。
また、マイクロレンズ４０２ａは、出射する光Ｌを集光するためのものである。このようにマイクロレンズアレイ２０、４０がシャッタ装置３０を介して対向するように設けられているため、電気光学表示装置１００から出射される光Ｌを平行光とすることができる。なお、マイクロレンズアレイ４０は、省略することができる。

また、図１において、各マイクロレンズ２０２ａ、４０２ａの横断面形状は、略半球状をなしている。また、各マイクロレンズ２０２ａ、４０２ａの平面視形状は、窓部３１ａに沿って長手形状をなし、その長さは窓部３１ａの長さとほぼ等しくなっている。これにより、各マイクロレンズ２０２ａは、入射した光Ｌを所望の窓部３１ａ内に効果的に集光することができる。また、各マイクロレンズ４０２ａは、所望の窓部３１ａからの光Ｌを効果的に集光しつつ出射することができる。

なお、各マイクロレンズ２０２ａ、４０２ａの形状は、前述したような機能を有するものであれば、特に限定されない。例えば、各マイクロレンズ２０２ａ、４０２ａは、第１の配線１１に沿った方向において基板５０のほぼ全域にわたるような長手形状をなしていて、レンチキュラレンズのような形態をなしていてもよい。また、各マイクロレンズ２０２ａ、４０２ａの平面視形状が円形をなし、各窓部３１ａに複数のマイクロレンズが対応するように配列されていてもよい。

マイクロレンズ用凹部付き基板２０１およびマイクロレンズ用凹部付き基板４０１の構成材料は、それぞれ、光透過性を有していれば特に限定されないが、ガラス材料が好適に用いられる。
また、樹脂層２０２および樹脂層４０２の構成材料としては、それぞれ、マイクロレンズ用凹部付き基板２０１やマイクロレンズ用凹部付き基板４０１の構成材料と屈折率が異なり、かつ、光透過性を有しているのであれば特に限定されず、各種樹脂材料を用いることができる。
以上説明したような電気光学表示装置１００によれば、前述したような優れた耐光性を有するシャッタ装置３０と、マイクロレンズ２０２ａの集光作用とを組み合わせることで、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて表示を行うことができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の電気光学表示装置の第２実施形態を説明する。
図１０は、本発明の第２実施形態にかかる電気光学表示装置に備えられたシャッタ装置を説明するための平面図である。なお、図１０において、（ａ）は、シャッタ装置の可動板が閉状態にあるときを示す図、（ｂ）は、シャッタ装置の可動板が開状態にあるときを示す図である。また、以下では、説明の便宜上、図１０中の紙面手前側「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第２実施形態の電気光学表示装置について、前述した第１実施形態の電気光学表示装置との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本実施形態の電気光学表示装置は、主としてシャッタ装置の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態の電気光学表示装置と同様である。
図１０に示すように、本実施形態のシャッタ装置３０Ａでは、各窓部３１ａの平面視形状が略三角形（鋭角２等辺３角形）をなしている。また、本実施形態では、互いに隣接する２つの窓部３１ａ同士は、互いに頂角が反対側となるように配置されている。ここで、互いに隣接する２つの窓部３１ａは、例えば、前述した第１実施形態での互いに隣接する２つの窓部３１ａに対応するものである。
そして、シャッタ装置３０は、前述した窓部３１ａを開閉するための可動板３３ａと、前述した基体３１に対し固定的に設けられた固定電極３３ｂおよび支持部３３ｃと、可動板３３ａと支持部３３ｃとを連結する弾性部材３３ｄとを有する。

各可動板３３ａは、非駆動時に、対応する窓部３１ａから退避した位置となるように設けられている。また、各可動板３３ａの平面視形状は、対応する窓部３１ａに対応して鋭角２等辺３角形をなしている。すなわち、平面視したときに、可動板３３ａ（本体部）は、窓部３１ａと略同一形状をなしている。これにより、可動板３３ａおよび窓部３１ａをそれぞれ効率的に配置することができる。

そして、各可動板３３ａには、その底辺部（固定電極３３ｂ側）に、櫛歯状をなす櫛歯状電極３３ａ１（可動板３３ａ側に設けられた電極）が設けられている。
このような可動板３３ａは、弾性部材３３ｄを介して支持部３３ｃに支持されている。これにより、可動板３３ａは、対応する窓部３１ａを開閉するように基体３１に対し変位可能に設けられている。

より具体的には、平面視したときに、可動板３３ａは、その頂角部付近を回動中心軸とし、回動可能であり、窓部３１ａ上に位置して閉状態とし、窓部３１ａに隣接する遮光部上に位置して開状態とする。このように可動板３３ａを回動させることによっても、可動板３３ａを基板５０の板面に沿った方向に変位させることができる。これにより、比較的簡単な構成で、可動板３３ａが窓部３１ａを開閉することができる。

各支持部３３ｃは、前述した第１の中間層３２を介して基体３１に接合されている。これにより、各支持部３３ｃは、基体３１に対し離間するとともに固定的に設けられている。
また、各支持部３３ｃは、図示しないが、貫通電極部を介して接地されている（共通電極に電気的に接続されている）。これにより、可動板３３ａ（櫛歯状電極３３ａ１）が接地される。

各弾性部材３３ｄは、弾性変形可能に構成されている。特に、本実施形態では、各弾性部材３３ｄは、棒状をなしている。これにより、各弾性部材３３ｄを曲げ変形させて、可動板３３ａを回動させることができる。
固定電極３３ｂは、前述した窓部３１ａの底辺付近に、前述した１対の可動板３３ａの櫛歯状電極３３ａ１に対し間隔を隔てて噛み合うように設けられた櫛歯状電極３３ｂ１（基体３１側に設けられた電極）が設けられている。
この固定電極３３ｂは、図示しないが、対応するスイッチング素子１の画素電極８に電気的に接続されている。これにより、固定電極３３ｂと可動板３３ａとの間に電圧を印加して、可動板３３ａを変位させて窓部３１ａを開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手段を構成する。すなわち、シャッタ装置３０は、静電駆動方式により可動板３３ａを窓部３１ａに対し開状態と閉状態とに切り換える。

ここで、シャッタ装置３０Ａの動作を説明する。
スイッチング素子１がオフ状態のときには、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３ｂ１との間（１対の電極間）に電圧が印加されず、図１０（ａ）に示すように、可動板３３ａは窓部３１ａに隣接する遮光部上に位置する。すなわち、可動板３３ａが窓部３１ａを開状態とする。

一方、スイッチング素子１がオン状態となると、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３ｂ１との間に電圧が印加され（電位差が生じ）、これらの電極間に静電引力が生じる。すると、可動板３３ａは、弾性部材３３ｄの付勢力（弾性力）に抗して固定電極３３ｂ側へ変位し、図１０（ｂ）に示すように、窓部３１ａ上を覆うように位置する。すなわち、可動板３３ａが窓部３１ａを閉状態とする。
再度、スイッチング素子１がオフ状態となると、可動板３３ａは、弾性部材３３ｄの付勢力（弾性力）により元の状態（開状態）に復帰する。
以上説明したような第２実施形態の電気光学表示装置によっても、前述した第１実施形態の電気光学表示装置１００と同様の効果を発揮することができる。
なお、本実施形態においては、マイクロレンズの平面視形状は、窓部３１ａの平面視形状に対応した形状としてもよい。

（電子機器）
次に、本発明の電子機器の例として、前述した電気光学表示装置１００を備える電子機器を図１１ないし図１４に示す第１〜４の例に基づき説明する。
（第１の例）
図１１は、本発明の電子機器の第１の例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が、前述の電気光学表示装置１００と、図示しないバックライトとを備えている。バックライトからの光を電気光学表示装置１００に透過させることにより画像（情報）を表示し得るものである。

（第２の例）
図１２は、本発明の電子機器の第２の例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、前述の電気光学表示装置１００と、図示しないバックライトとを備えている。

（第３の例）
図１３は、本発明の電子機器の第３の例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、前述の電気光学表示装置１００と、図示しないバックライトとが設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、電気光学表示装置１００は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が電気光学表示装置１００に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。

（第４の例）
図１４は、本発明の電子機器の第４の例である投射型表示装置（プロジェクター）の光学系を模式的に示す図である。
同図に示すように、投射型表示装置３００は、光源３０１と、複数のインテグレータレンズを備えた照明光学系と、複数のダイクロイックミラー等を備えた色分離光学系（導光光学系）と、赤色に対応した（赤色用の）ライトバルブ（光シャッターアレイ）２４０と、緑色に対応した（緑色用の）ライトバルブ（光シャッターアレイ）２５０と、青色に対応した（青色用の）ライトバルブ（光シャッターアレイ）２６０と、赤色光のみを反射するダイクロイックミラー面２１１および青色光のみを反射するダイクロイックミラー面２１２が形成されたダイクロイックプリズム（色合成光学系）２１０と、投射レンズ（投射光学系）２２０とを有している。

また、照明光学系は、インテグレータレンズ３０２および３０３を有している。色分離光学系は、ミラー３０４、３０６、３０９、青色光および緑色光を反射する（赤色光のみを透過する）ダイクロイックミラー３０５、緑色光のみを反射するダイクロイックミラー３０７、青色光のみを反射するダイクロイックミラー（または青色光を反射するミラー）３０８、集光レンズ３１０、３１１、３１２、３１３および３１４とを有している。

ライトバルブ２５０は、前述した電気光学表示装置１００を備えている。ライトバルブ２４０および２６０も、ライトバルブ２５０と同様の構成となっている。これらライトバルブ２４０、２５０および２６０が備えている電気光学表示装置１００は、図示しない駆動回路にそれぞれ接続されている。
なお、投射型表示装置３００では、ダイクロイックプリズム２１０と投射レンズ２２０とで、光学ブロック２００が構成されている。また、この光学ブロック２００と、ダイクロイックプリズム２１０に対して固定的に設置されたライトバルブ２４０、２５０および２６０とで、表示ユニット２３０が構成されている。

以下、投射型表示装置３００の作用を説明する。
光源３０１から出射された白色光（白色光束）は、インテグレータレンズ３０２および３０３を透過する。この白色光の光強度（輝度分布）は、インテグレータレンズ３０２および３０３により均一にされる。光源３０１から出射される白色光は、その光強度が比較的大きいものであるのが好ましい。これにより、スクリーン３２０上に形成される画像をより鮮明なものとすることができる。また、投射型表示装置３００では、耐光性に優れた電気光学表示装置１００を用いているため、光源３０１から出射される光の強度が大きい場合であっても、優れた長期安定性が得られる。

インテグレータレンズ３０２および３０３を透過した白色光は、ミラー３０４で図１４中左側に反射し、その反射光のうちの青色光（Ｂ）および緑色光（Ｇ）は、それぞれダイクロイックミラー３０５で図１４中下側に反射し、赤色光（Ｒ）は、ダイクロイックミラー３０５を透過する。
ダイクロイックミラー３０５を透過した赤色光は、ミラー３０６で図１４中下側に反射し、その反射光は、集光レンズ３１０により整形され、赤色用のライトバルブ２４０に入射する。

ダイクロイックミラー３０５で反射した青色光および緑色光のうちの緑色光は、ダイクロイックミラー３０７で図１４中左側に反射し、青色光は、ダイクロイックミラー３０７を透過する。
ダイクロイックミラー３０７で反射した緑色光は、集光レンズ３１１により整形され、緑色用のライトバルブ２５０に入射する。
また、ダイクロイックミラー３０７を透過した青色光は、ダイクロイックミラー（またはミラー）３０８で図１４中左側に反射し、その反射光は、ミラー３０９で図１４中上側に反射する。前記青色光は、集光レンズ３１２、３１３および３１４により整形され、青色用のライトバルブ２６０に入射する。
このように、光源３０１から出射された白色光は、色分離光学系により、赤色、緑色および青色の三原色に色分離され、それぞれ、対応するライトバルブに導かれ、入射する。

この際、ライトバルブ２４０が有する電気光学表示装置１００の各画素（スイッチング素子１とこれに接続された画素電極８）は、赤色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路（駆動手段）により、スイッチング制御（オン／オフ）、すなわち変調される。
同様に、緑色光および青色光は、それぞれ、ライトバルブ２５０および２６０に入射し、それぞれの電気光学表示装置１００で変調され、これにより緑色用の画像および青色用の画像が形成される。この際、ライトバルブ２５０が有する電気光学表示装置１００の各画素は、緑色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路によりスイッチング制御され、ライトバルブ２６０が有する電気光学表示装置１００の各画素は、青色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路によりスイッチング制御される。
これにより赤色光、緑色光および青色光は、それぞれ、ライトバルブ２４０、２５０および２６０で変調され、赤色用の画像、緑色用の画像および青色用の画像がそれぞれ形成される。

前記ライトバルブ２４０により形成された赤色用の画像、すなわちライトバルブ２４０からの赤色光は、面２１３からダイクロイックプリズム２１０に入射し、ダイクロイックミラー面２１１で図１４中左側に反射し、ダイクロイックミラー面２１２を透過して、出射面２１６から出射する。
また、前記ライトバルブ２５０により形成された緑色用の画像、すなわちライトバルブ２５０からの緑色光は、面２１４からダイクロイックプリズム２１０に入射し、ダイクロイックミラー面２１１および２１２をそれぞれ透過して、出射面２１６から出射する。
また、前記ライトバルブ２６０により形成された青色用の画像、すなわちライトバルブ２６０からの青色光は、面２１５からダイクロイックプリズム２１０に入射し、ダイクロイックミラー面２１２で図１４中左側に反射し、ダイクロイックミラー面２１１を透過して、出射面２１６から出射する。

このように、前記ライトバルブ２４０、２５０および２６０からの各色の光、すなわちライトバルブ２４０、２５０および２６０により形成された各画像は、ダイクロイックプリズム２１０により合成され、これによりカラーの画像が形成される。この画像は、投射レンズ２２０により、所定の位置に設置されているスクリーン３２０上に投影（拡大投射）される。

以上説明したような電気光学表示装置１００を備える電子機器によれば、優れた信頼性を有するとともに、高品位な画像を表示することができる。
なお、本発明の電子機器は、図１１のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図１２の携帯電話機、図１３のディジタルスチルカメラ、図１４の投射型表示装置の他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータなどが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部、モニタ部として、前述した本発明の電気光学表示装置が適用可能なことは言うまでもない。
以上のように電気光学表示装置１００を備えた電子デバイスや電子機器は、優れた信頼性を有する。

以上、本発明の電気光学表示装置および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、本発明の電気光学表示装置および電子機器では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
例えば、前述した実施形態では、櫛歯状をなす１対の電極を用いた静電駆動方式により可動板３３ａを変位させたが、各電極の形状はこれに限定されず、例えば、１対の電極が平行平板をなしていてもよい。

また、前述した実施形態では、可動板３３ａの変位のための駆動方式として、静電駆動方式を用いたが、これに限定されず、例えば、圧電駆動方式、電磁駆動方式など他の駆動方式を用いてもよい。
また、窓部および可動板の数、形状、配置、大きさ等の形態は、前述した実施形態のものに限定されないのは言うまでもない。例えば、各スイッチング素子に対応する窓部および可動板の数は、１〜３つであってもよいし、５つ以上であってもよい。
また、弾性部材の数、形状、配置、大きさ等の形態に関しても、前述した実施形態のものに限定させないのは言うまでもない。

また、前述した実施形態では、投射型表示装置（電子機器）は、３個の電気光学表示装置を有するものであり、これらの全てに本発明の電気光学表示装置を適用したものについて説明したが、少なくともこれらのうち１個が、本発明にかかる電気光学表示装置であればよい。この場合、少なくとも、青色用のライトバルブに用いられる電気光学表示装置に本発明を適用するのが好ましい。

本発明の第１実施形態にかかる電気光学表示装置の構成を示す縦断面図である。 図１に示す電気光学表示装置に備えられたアクティブマトリクス装置を示す平面図である。 図２中のＡ−Ａ線断面図である。 図３に示すスイッチング素子を説明するための斜視図である。 図３に示すスイッチング素子の作動を説明するための図である。 図１に示す電気光学表示装置に備えられたシャッタ装置の平面図である。 図６に示すシャッタ装置の部分拡大平面図である。 図７中のＢ−Ｂ線断面図である。 図７に示すシャッタ装置の動作を説明するための図である。 本発明の第２実施形態にかかるシャッタ装置の構成を示す部分拡大平面図である。 本発明の電子機器の第１の例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器の第２の例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器の第３の例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器の第４の例である投射型表示装置の光学系を模式的に示す図である。

符号の説明

１‥‥スイッチング素子 ２‥‥駆動電極 ２０、４０……マイクロレンズアレイ ３‥‥固定電極 ３０、３０Ａ……シャッタ装置 ３１……基体 ３１ａ……窓部 ３２……第１の中間層 ３３……電極層 ３３ａ……可動板 ３３ｂ……固定電極 ３３ａ１、３３ｂ１……櫛歯状電極 ３３ｄ１、３３ｄ２……弾性部材 ３４……第２の中間層 ３５……保護層 ４‥‥第１の絶縁層 ４１‥‥貫通孔 ５‥‥可動電極 ５０……基板 ５１‥‥固定端 ５２‥‥自由端 ６‥‥導電層 ６１‥‥貫通電極部 ７‥‥第２の絶縁層 ７１‥‥貫通孔 ８‥‥画素電極 ８１‥‥貫通電極部 ８２‥‥貫通孔 ９‥‥封止層 １０‥‥アクティブマトリクス装置 １１‥‥第１の配線 １２‥‥第２の配線 １３‥‥収納部 １００……電気光学表示装置 １１００‥‥パーソナルコンピュータ １１０２‥‥キーボード １１０４‥‥本体部 １１０６‥‥表示ユニット １２００‥‥携帯電話機 １２０２‥‥操作ボタン １２０４‥‥受話口 １２０６‥‥送話口 １３００‥‥ディジタルスチルカメラ １３０２‥‥ケース（ボディー） １３０４‥‥受光ユニット １３０６‥‥シャッタボタン １３０８‥‥回路基板 １３１２‥‥ビデオ信号出力端子 １３１４‥‥データ通信用の入出力端子 １４３０‥‥テレビモニタ １４４０‥‥パーソナルコンピュータ ２０１ａ、４０１ａ……凹部 ２０２ａ、４０２ａ……マイクロレンズ ３００……投射型表示装置 ３０１……光源 ３０２、３０３……インテグレータレンズ ３０４、３０６、３０９……ミラー ３０５、３０７、３０８……ダイクロイックミラー ３１０〜３１４……集光レンズ ３２０……スクリーン ４０１……マイクロレンズ用凹部付き基板 ２００……光学ブロック ２０２、４０２……樹脂層 ２１０……ダイクロイックプリズム ２１１、２１２……ダイクロイックミラー面 ２１３〜２１５……面 ２１６……出射面 ２２０……投射レンズ ２３０……表示ユニット ２４０〜２６０……ライトバルブ Ｌ‥‥光

Claims (2)

1. 基板の一方の面側に設けられた複数のスイッチング素子を備えるアクティブマトリクス装置と、
   前記各スイッチング素子に対応して設けられた窓部と、前記窓部に隣接して設けられた遮光部とを有する基体と、前記基板を平面視したときに前記窓部と略同一形状をなし、前記窓部を開閉するように前記基板の板面に沿った方向に前記基体に対し変位可能に設けられた可動板と、前記可動板を変位させて前記遮光部上に位置した開状態と前記窓部上に位置した閉状態とに切り換え可能な駆動手段と、前記可動板を支持する弾性変形可能な弾性部材であって前記開状態または前記閉状態に保持するように前記可動板を付勢する付勢部材とを備えたシャッタ装置と、
   前記シャッタ装置を介して１対設けられ、前記各窓部に対応して設けられたマイクロレンズを備えたマイクロレンズアレイとを有し、
   １つの前記スイッチング素子に対して複数の前記窓部が対応して設けられ、
   １つの前記窓部に対して１つの前記可動板が対応して設けられ、
   １つの前記可動板に対して少なくとも１つの前記弾性部材が対応して設けられ、かつ、複数の前記可動板が互いに連結されておらず、
   前記スイッチング素子は、固定電極と、前記固定電極に対し接触／離反するように変位可能に設けられた可動電極と、前記可動電極に静電ギャップを介して設けられた駆動電極とを備え、前記可動電極と前記駆動電極との間に電圧を印加することにより、前記可動電極と前記駆動電極との間に静電引力を生じさせ、これにより、前記可動電極を変位させて、前記可動電極と前記固定電極とを接触させ、これらを導通状態とするように構成され、
   前記各可動板には、櫛歯状をなす電極が設けられ、
   前記駆動手段は、前記基体に設けられ、前記各可動板の電極に噛み合う櫛歯状をなす電極を有し、前記スイッチング素子を前記導通状態とすることにより、該スイッチング素子に対応する前記複数の窓部を開閉するように、前記可動板に設けられた電極と前記基体に設けられた電極とからなる１対の電極間に電圧が印加され、これにより、前記１対の電極間に静電引力を生じさせ、前記可動板を前記開状態から前記閉状態へまたは前記閉状態から前記開状態へ変位させ、
   前記駆動手段は、前記開状態での前記可動板による前記窓部の開閉度を調整可能に構成されていることを特徴とする電気光学表示装置。
2. 請求項１に記載の電気光学表示装置を備えることを特徴とする電子機器。

Images