JP4823851B2 - 高周波電源装置 - Google Patents
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Description
2 エキシマランプ
11 直流電源部
12 スイッチ部
13 電流検出部
14 位相差検出部
15 信号発生部
16 周波数制御部
17 FET駆動部
20 遅延時間補正部
21 第1乗算器
22 第2乗算器
23 第1ローパスフィルタ
24 第2ローパスフィルタ
25 ベクトル/位相変換部
26 演算器
Claims (3)
- 高周波電流を放電負荷に供給する高周波電源装置であって、
指令値として入力される指令周波数と同一の周波数を有する基本波としての2つのディジタル信号を生成する基本波生成手段と、
前記基本波生成手段によって生成されるディジタル信号の1つに基づいて、指令周波数と同一の周波数でスイッチングを行い、直流電圧を交流電圧に変換して出力することによって、前記放電負荷に供給される高周波電流の発生源となるスイッチ手段と、
前記放電負荷に供給される高周波電流あるいは前記放電負荷に供給される高周波電流に相当する高周波電流を検出し、検出された高周波電流をディジタル信号に変換して出力する電流検出手段と、
前記基本波生成手段によって生成されるディジタル信号又はこの信号に遅延時間補正を行ったディジタル信号と、前記電流検出手段から出力されるディジタル信号との位相差を算出し、算出された位相差と予め定める目標位相差設定値との差分を算出する差分算出手段と、
前記差分算出手段によって算出された、前記位相差と前記目標位相差設定値との差分に基づいて指令周波数を算出し、算出した指令周波数を前記基本波生成手段の指令値として出力する周波数制御手段と、
を備えることを特徴とする、高周波電源装置。 - 前記基本波生成手段は、
前記指令周波数と同一の周波数を有する基本波としての正弦波ディジタル信号を生成する正弦波生成部と、
前記指令周波数と同一の周波数を有する基本波としての余弦波ディジタル信号を生成する余弦波生成部と、によって構成され、
前記差分算出手段は、
前記正弦波生成部によって生成された正弦波ディジタル信号又はこの信号に遅延時間補正を行ったディジタル信号と、前記電流検出手段から出力されるディジタル信号とを乗算する第1乗算部と、
前記余弦波生成部によって生成された余弦波ディジタル信号又はこの信号に遅延時間補正を行ったディジタル信号と、前記電流検出手段から出力されるディジタル信号とを乗算する第2乗算部と、
前記第1乗算部の出力のうち所定の成分のみを通過させる第1フィルタ部と、
前記第2乗算部の出力のうち所定の成分のみを通過させる第2フィルタ部と、
前記第1フィルタ部の出力と前記第2フィルタ部の出力とに基づいて、前記基本波生成手段によって生成された正弦波ディジタル信号又はこの信号に遅延時間補正を行ったディジタル信号と、前記電流検出手段から出力されるディジタル信号との位相差を算出する位相差算出部と、
前記位相算出部の出力と予め定める目標位相差設定値との差分を算出する差分算出部と、によって構成されている、請求項1に記載の高周波電源装置。 - 前記正弦波生成部と前記第1乗算部との間、及び前記余弦波生成部と前記第2乗算部との間には、前記電流検出手段における遅延時間を補正可能にするための遅延時間補正手段が介装されている、請求項2に記載の高周波電源装置。
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JP2006291989A JP4823851B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 高周波電源装置 |
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