JP4819846B2 - 複合セラミック体の製造方法 - Google Patents
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Description
かかるガスセンサ素子は、その外表面に排ガスが接触するように構成されているが、エンジン始動時等には、排ガスと共に水滴がガスセンサ素子に向かって飛来することがある。
一方、ガスセンサ素子は、例えば600℃以上という高温に加熱して、活性状態にして用いる。
それゆえ、上記の水滴がガスセンサ素子の表面に付着すると、付着部分が局所的に急激に冷却されるため、熱衝撃を受け、場合によってはガスセンサ素子に割れが生じるおそれがある。
また、強度や破壊靱性を向上させることができるセラミック材料として、マトリクスにナノ粒子を分散させたナノコンポジット材料が開発されている(特許文献2)。
未焼成形体を焼成する際に、少なくともナノジルコニアが焼結を開始する温度以上においては、焼成雰囲気は窒素と酸素とからなり、かつ焼成雰囲気中の酸素濃度は0.01〜1%とすることを特徴とする複合セラミック体の製造方法にある(請求項1)。
そのため、酸素が十分存在する雰囲気では、雰囲気から酸素を取り入れることでナノジルコニア及びアルミナの焼結が進行し、粒成長が起こる。
これに対し、酸素が不十分な雰囲気では、ナノジルコニア及びアルミナの焼結、粒成長に必要な酸素の移動は、ほとんど結晶内の酸素の移動だけとなるため、焼結速度は遅くなる。それにより、アルミナ及びナノジルコニアの焼結、及びアルミナ粒子、及びナノジルコニア粒子の粒成長が抑制される。
そのため、上述の低酸素濃度雰囲気(焼成雰囲気は窒素と酸素とからなり、酸素濃度が0.01〜1%)における、焼成によるアルミナ及びナノジルコニアの粒成長の抑制効果のみならず、さらにナノジルコニアの立体障害によるアルミナの粒成長の抑制効果も得られる。
このように、本発明によれば、強度の高い複合セラミック体を製造することができる。
また、上記アルミナ粉末と上記ナノジルコニア粉末は、99:1〜70:30の重量割合とすることが好ましい。
上記焼成雰囲気の酸素濃度が1%を超える場合には、焼結速度が速くなり、アルミナやナノジルコニアの粒成長を抑制し難く、十分な強度を得ることが困難になるという問題がある。
また、上記焼成は、1500℃〜1600℃の温度範囲で行うことが好ましい。
上記製造方法により得られる複合セラミック体は高強度である。そのため、ガスセンサ素子の表面を構成するセラミック材料として適用した場合に、熱衝撃に耐えることができ、上述の被水割れを防ぐことができる。
本例は、本発明の実施例にかかる複合セラミック体の製造方法について説明する。
本例では、実施例として、表1に示す4種類の複合セラミック体(試料E1〜試料E4)を作製した。
以下、これを詳説する。
そして、上記アルミナ粉末と上記ナノジルコニア粉末とを、重量割合9:1で配合し、エタノールを主成分とする有機溶剤に、バインダ、可塑剤、分散剤、消泡剤と一緒にボールミルを用いて混合した。
その後、異物除去のためのろ過を行い、脱泡、粘度調整を行って、スラリーを作製した。
本例は、上記実施例1における焼成の条件を、酸素濃度0.01%雰囲気での焼成に変更し、後述する表2に示す12種類の複合セラミック体(試料E5〜試料E16)を作製した例である。その他は、上述の実施例1と同様にして行った。上記焼成は、具体的には、真空引き可能な真空焼成炉を用い、初めに真空度が0.1Pa以下になるまで真空引きした後、窒素を大気圧まで導入した。このとき、真空焼成炉の酸素濃度を測定し、0.01%であることを確認した。約1時間で表2に示す設定温度まで昇温し、設定温度で1時間保持した後、室温で炉冷で冷却する焼成パターンで焼成した。これにより複合セラミック体(試料E5〜試料E16)を得た。本例においては、上記設定温度(焼成温度)を、1500℃、1550℃、1600℃の3種類とした。
本例は、本発明の比較例として、上記実施例1の焼成条件を、大気(酸素濃度21%)雰囲気での焼成に変更し、後述する表3に示す12種類の複合セラミック体(試料C1〜試料C12)を作製した例である。その他は上述の実施例1と同様にして行った。上記焼成は、具体的には、電気炉(ガス導入なし)で、設定温度まで150℃/時間で昇温し、設定温度で1時間保持した後、室温まで炉冷で冷却する焼成パターンで焼成した。これにより、複合セラミック体(試料C1〜試料C12)を得た。本例においても、上記設定温度(焼成温度)を、1500℃、1550℃、1600℃の3種類とした。
本例は、本発明の比較例として、上記実施例1の焼成条件を、酸素濃度2%雰囲気での焼成に変更し、後述する表4に示す4種類の複合セラミック体を作製した例である。その他は上述の実施例1と同様にして行った。これにより、複合セラミック体(試料C13〜試料C16)を得た。
上記実施例1、実施例2、比較例1、及び比較例2において作製した複合セラミック体(試料E1〜試料E16、及び試料C1〜試料C16)について、曲げ強度の評価を行った。また、試料E4、試料E8、試料E12、試料E16、試料C4、試料C8、試料C12、試料C16について、分散状態の評価を行った。
JIS R 1601の曲げ強さ試験方法の3点曲げ試験方法に従って、焼成したサンプルを加工し、曲げ強度を評価した。結果を表1〜表4に示す。なお、表1〜表4には、試料E1〜試料E16、試料C1〜試料C16について、それぞれの焼成時における雰囲気酸素濃度(%)及び焼成の設定温度(℃)を併せて示す。
この様に、焼成時の酸素濃度を低くすることで曲げ強度が向上することがわかり、その効果を発揮する酸素濃度は1%以下であることも分かる。
試料E4、試料E8、試料E12、試料E16、試料C4、試料C8、試料C12、試料C16について、ナノジルコニアの分散状態とアルミナ粒径をSEM(走査型電子顕微鏡)で観察した。試料を切断し、その断面を研磨し、粒界が明確になるように熱エッチングを施した。
また、アルミナ粒子の粒径の結果を表5に示す。
また、焼成温度が1600℃の場合において、酸素濃度21%の場合と酸素濃度2%の場合ではアルミナ粒子の粒径に差は見られないが、酸素濃度1%ではアルミナ粒子2の粒径は小さくなり、さらに酸素濃度0.01%とすると、アルミナ粒子2の粒径はより小さくなる。
本例では、図4、5に示すガスセンサ素子5について説明する。本発明の複合セラミック体をガスセンサ素子5の一部に用いて作製した。
本例のガスセンサ素子5は、自動車エンジンの排気系に設置したガスセンサに内蔵して使用する。このガスセンサが排気ガス中の酸素濃度を測定し、測定値からエンジンの空燃比を検出し、エンジンの焼成制御に利用する。
基準ガス室形成板55は、断面がコ字状で基準ガスを導入する基準ガス室となる溝部550を備える。
固体電解質板51は、被測定ガス側電極521と基準電極531とを有する。
また、上記被測定ガス測定電極521を覆うように拡散層541が、該拡散層541を覆うように遮蔽層542が積層される。
セラミックヒータ59は、ヒータシート591と該ヒータシート591に設けた発熱体581、発熱体581を覆うように積層されるヒータ絶縁板597よりなる。
そして、上記基準ガス室形成板55、上記拡散層541、上位ヒータシート591、ヒータ絶縁板595、597、そして絶縁層563、接着層561、562、564、565、及び遮蔽層542が、本発明の複合セラミック体よりなる。
したがって、これらの層は、アルミナ粒子2のマトリクスにジルコニア粒子3が分散配置している(図3参照)。
上記絶縁層563、接着層564は、被測定ガス側電極521と対面する位置に窓528、529を有する。
また、図5に示すごとく絶縁層563と接着層564に設けた窓528、529は積層により被測定ガス側電極521を格納する小室527となる。
また、この小室は、拡散層541を通じて被測定ガスが導入される。
固体電解質板51用のグリーンシートをドクターブレード法、または押し出し成形法から作製する。次いで、このグリーンシートに被測定ガス側電極521用、基準電極用531等の印刷部を設ける。
また、ヒータシート591、遮蔽層542、拡散層541等用のグリーンシートはドクターブレード法、押し出し成形法により作製する。
また、ヒータシート591用のグリーンシートには発熱体581等用の印刷部を設ける。
その後、1500℃から室温まで冷却し、本例のガスセンサ素子5を得る。
3 ジルコニア粒子
Claims (2)
- アルミナ粉末と、粒径1μm未満のナノジルコニア粉末とを混合し、成形した未焼成形体を焼成することにより、アルミナ粒子のマトリクスにジルコニア粒子を分散させてなる複合セラミック体を製造するにあたり、
未焼成形体を焼成する際に、少なくともナノジルコニアが焼結を開始する温度以上においては、焼成雰囲気は窒素と酸素とからなり、かつ焼成雰囲気中の酸素濃度は0.01〜1%とすることを特徴とする複合セラミック体の製造方法。 - 請求項1において、上記複合セラミック体は、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するためのガスセンサ素子の一部を構成することを特徴とする複合セラミック体の製造方法。
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