JP4816845B2 - ガラス母材の支持方法と支持ピン - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス母材、例えば、光ファイバ用のガラス母材、半導体デバイス用のシリコン基板の製造、集積回路のフォトマスク基板の製造、液晶ディスプレイ用のガラス基板の製造に用いられるガラス母材を搬送するための、搬送装置にガラス母材を支持させる方法とそのための支持ピンに関する。
【0002】
【従来の技術】
ガラス光ファイバは、VAD法等により多孔質ガラス母材を石英種棒に堆積して形成するすす付け工程、すす付け工程で形成された多孔質ガラス母材を加熱透明化する焼結工程、焼結されたガラス母材を延伸する延伸工程の一連の工程からなる。これらの各工程は、一つの工場内にあっても、それぞれ独立して行なわれ、設備も別々の所に配置されている。したがって、前工程の製造処理が終了したガラス母材は、次工程の製造設備まで搬送する必要がある。
【0003】
近年、光ファイバの生産効率向上と低価格を図るために、光ファイバ用のガラス母材は大型化、大重量化されているため、作業者が人力により、ガラス母材を製造装置から取外したりまたは取付ける作業、さらに工程間の搬送を行なうことが困難になってきている。
【0004】
このため、ハンドクレーンや搬送台車を使用して、光ファイバガラス母材の取付けや取外しを行なう技術が開発されている(例えば、特開2000−44268公報参照)。光ファイバガラス母材は、通常、一方の端部に多孔質ガラスを堆積させる石英種棒を有しており、この石英種棒が光ファイバガラス母材の支持体として使用されている。この石英種棒は、光ファイバガラス母材を焼結し、線引された後、切り取って再使用することが可能なものである。
【0005】
図5および図6は、上述の特開2000−44268公報に示されている、光ファイバガラス母材を支持ピンにより吊下げ支持する例を示す図である。図5は光ファイバガラス母材に支持ピンを取付けた状態を示す図、図6は支持ピンで光ファイバガラス母材を吊下げ支持する状態を示す図である。図中、1は石英種棒、2はガラス母材、3は支持ピン、4はピン挿通孔、5は搬送アーム、6は支持アーム、7は係合溝を示す。
【0006】
ガラス母材2は、図5に示すように、上端の石英種棒1に連結一体とされ、石英種棒1には、ガラス母材の軸方向と直交してピン挿通孔4が設けられている。ピン挿通孔4には、支持ピン3が石英種棒1の両側に突き出るようにして挿通される。石英種棒1の両側から突き出た支持ピン3は、図4に示すように、搬送アーム5に設けた一対の支持アーム6に横架され、支持アーム6で支持ピン3の両側を支持し、支持ピン3の中央部で石英種棒1とガラス母材2を吊下げ支持する。支持アーム6には、支持ピン3を所定の位置で受けるように溝7が設けられている。搬送アーム5は、ハンドクレーンまたは搬送台車に取付けられて、支持ピン3により吊下げられた形のガラス母材2を搬送する。
【0007】
支持ピン3は、ステンレス等の金属で形成されていて、石英種棒1のピン挿通孔4と接触する部分に搬送時の衝撃や振動で、ピン挿通孔4の周囲にクラックCや破損を生じることがある。石英種棒1にクラックや破損が生じると、後工程のための搬送が不可能となり、また、製造設備への取付けに支障を生じる。また、石英種棒1は、使用後に切り取って再使用されるが、クラック等が生じると再使用ができなくなる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、種棒にクラックや破損が生じないガラス母材の支持方法とそのための支持ピンを提供することを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のガラス母材の支持方法は、ガラス母材上端の種棒に設けたピン挿通孔に支持ピンを挿入し、支持ピンによりガラス母材を支持する方法であって、支持ピンの軸部を合成樹脂で被覆することを特徴とする。
【0010】
また、本発明のガラス母材の支持ピンは、ガラス母材上端の種棒に設けたピン挿通孔に挿入して、ガラス母材を吊下げ支持する支持ピンであって、フランジ部と第1軸部と第2軸部と雄ねじ部とを有するピン本体と、フランジ部と軸部と雌ねじ部を有するピン補助体を結合してなり、ピン本体の第1軸部と第2軸部およびピン補助体の軸部には、合成樹脂で弾性を有する被覆体が設けられ、ピン本体の被覆体が設けられた第2軸部が種棒に設けたピン挿通孔に挿通される径で形成されていることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1により本発明の実施の形態を説明する。図1(A)は支持ピンの軸方向断面を示す図であり、図1(B)は支持ピンの分解断面を示す図である。図中、11はピン本体、12はピン補助体、13、14は被覆体、15はワッシャ、Pは支持ピンを示す。支持ピンPは、図1(A)に示すように、ステンレス等の金属で形成されたピン本体11とピン補助体12とからなり、互いにねじ手段により螺合結合し、軸部分の表面に被覆体13,14をコーティング等で形成して構成される。
【0012】
図1(B)に示すように、ピン本体11は、フランジ部11a、第1軸部11b、第1軸部11bより径の小さい第2軸部11cおよび雄ねじ部11dを機械加工により加工して形成される。第1軸部11bは、石英種棒のピン挿通孔よりは太い径で形成され、第2軸部11cは、被覆体14が設けられた状態で石英種棒のピン挿通孔に挿通し得る小さい径で形成される。第1軸部11bと第2軸部11cの外面には、フッ素樹脂等の合成樹脂をコーティングして、弾性を有する被覆体13を設ける。
【0013】
ピン補助体12は、フランジ部12a、軸部12bおよび雌ねじ部12cを機械加工により加工して形成される。軸部12bは、ピン本体11の第1軸部11bと同じ径と長さで形成される。軸部12bの外面には、ピン本体11と同様に、フッ素樹脂等の合成樹脂をコーティングして、被覆体14を設ける。ワッシャ15は、被覆体13,14と同種の合成樹脂で形成され、ピン本体11の雄ねじ部11dの段部とピン補助体12の軸部12bの端面との間に配される。
【0014】
被覆体13,14は、0.5mm以上の厚さで形成することが好ましく、ピン本体11およびピン補助体にコーティングで直接形成することができるが、熱収縮性チューブの形で形成するようにしてもよい。また、被覆体13,14を形成する合成樹脂材は、光ファイバガラス母材が、すす付けした直後の熱い状態で搬送する場合は、フッ素樹脂等(例えば、テフロン(商標名)のような耐熱性のよい樹脂を用いる。光ファイバガラス母材が、冷えた状態で搬送する場合は、特に耐熱性は必要でなく、ガラスより軟質で、ある程度の弾性を有する各種の合成樹脂を用いることができる。
【0015】
図2は、以上のように構成された支持ピンPで、光ファイバガラス母材を支持する状態を示す図である。光ファイバガラス母材(図5参照)の上端の石英種棒1に形成したピン挿通孔4に被覆体13が施されたピン本体11を一方の側から挿入し、他方の側から雄ねじ部11dにワッシャ15を嵌合し、被覆体14が施されたピン補助体12を螺合結合させる。ワッシャ15は、ピン本体11の第2軸部11cの端面とピン補助体12の軸部12cの端面を覆い、支持ピンPの軸部分全体を被覆した形態とし、石英種棒1がピン補助体12の金属部分に直接当たるのを防止する。
【0016】
支持ピンPは、被覆体13が設けられたピン本体11の第2軸部11cの部分のみが石英種棒1のピン挿通孔4に挿通可能である。第1軸部11bの部分およびピン補助体12の軸部12bは、石英種棒1の両側に突き出て、その軸部長さが確保されるので、支持ピンPの位置調整を行なう必要がない。石英種棒1の両側から突き出る第1軸部11bの部分および軸部12bの下方から支持アーム6が当てられ、支持アーム6を上方に持ち上げることにより、石英種棒1とともに光ファイバガラス母材を吊上げ支持して搬送することができる。
【0017】
従来の被覆体を有しない金属ピンを用いて光ファイバガラス母材を搬送した場合(図6参照)、石英種棒に5%程度のクラックが生じていた。しかし、上述した本発明による被覆体13で被覆された支持ピンPを用いることにより、石英種棒1が硬い金属との直接接触がなくなり、また、弾性を有する被覆体13が衝撃を緩和し、光ファイバガラス母材の搬送時におけるクラックや破損の発生を防止することができる。なお、被覆体の厚さが0.2mmの場合で、クラック発生を1%に減ずることができ、被覆体の厚さを0.7mmとすることにより、クラック等の発生を完全になくすことができた。したがって、被覆体の厚さは、おおよそ0.5mm以上とするのが好ましい。
【0018】
図3は、他の実施の形態を示す図で、図3(A)は支持ピンの軸方向断面を示す図であり、図3(B)は支持ピンの分解断面を示す図である。図中、21はピン本体、22はピン補助体、23は被覆体、P’は支持ピンを示す。支持ピンP’は、図3(A)に示すように、ステンレス等の金属で形成されたピン本体21の一方の端部にピン補助体22をねじ手段を用いて螺合結合し、軸部分の表面に被覆体23をコーティング等で形成して構成される。
【0019】
図3(B)に示すように、ピン本体21は、フランジ部21a、軸部21b、および雌ねじ部21cを機械加工により加工して形成される。軸部21bは、石英種棒のピン挿通孔よりは小さい径で形成され、軸部21bの外面には、フッ素樹脂等の合成樹脂をコーティングして、弾性を有する被覆体23を設ける。ピン補助体22は、フランジ部22aにピン本体21の雌ねじ部21cに螺合する雄ねじ部22bを機械加工により一体に形成したものである。
【0020】
図4は、以上のように構成された支持ピンP’で、光ファイバガラス母材を支持する状態を示す図である。光ファイバガラス母材上端の石英種棒1に形成したピン挿通孔4に被覆体13が施されたピン本体21を一方の側から挿入し、他方の側にピン補助体22を螺合させて取付ける。支持ピンP’の中央部に石英種棒1を位置させ、石英種棒1の両側から突き出る長さをほぼ等しくする。石英種棒1の両側から突き出る軸部分に、下方から支持アーム6を当てて上方に持ち上げることにより、石英種棒1とともに光ファイバガラス母材を吊上げて搬送することができる。
【0021】
図3,図4で示す例は、従来の支持ピンの軸部を弾性を有する被覆体23で覆っただけであるが、石英種棒と金属ピンが直接接触しないため、また、弾性を有する被覆体23が衝撃を緩和するので、図2の場合と同様に光ファイバガラス母材の搬送時におけるクラックや破損の発生を防止することができる。
【0022】
以上、光ファイバ用のガラス母材の例を用いて説明したが、本発明は、半導体デバイス用のシリコン基板の製造、集積回路のフォトマスク基板の製造、液晶ディスプレイ用のガラス基板の製造に用いられるガラス母材についても、適用可能である。
【0023】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ガラス母材上端の種棒に支持ピンを挿通させて搬送する場合に、種棒にクラックや破損が発生せず、安全性の確保と歩留まりが向上し、種棒の再利用ができ、さらに大型のガラス母材の製造を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による支持ピンを示す図である。
【図2】本発明によるガラス母材の支持方法を示す図である。
【図3】本発明の他の実施の形態による支持ピンを示す図である。
【図4】本発明によるガラス母材の他の支持方法を示す図である。
【図5】従来の支持ピンを示す図である。
【図6】従来のガラス母材の支持方法を示す図である。
【符号の説明】
11,21…ピン本体、12,22…ピン補助体、13、14、23…被覆体、15…ワッシャ、P、P’…支持ピン。
Claims (5)
- ガラス母材上端の種棒に設けたピン挿通孔に支持ピンを挿入し、前記支持ピンにより前記ガラス母材を支持する方法であって、前記支持ピンの軸部を合成樹脂で被覆することを特徴とするガラス母材の支持方法。
- 前記支持ピンの軸部をフッ素樹脂で被覆することを特徴とする請求項1に記載のガラス母材の支持方法。
- 前記支持ピンの軸部を被覆する合成樹脂の厚さを0.5mm以上とすることを特徴とする請求項1に記載のガラス母材の支持方法。
- ガラス母材上端の種棒に設けたピン挿通孔に挿入して、前記ガラス母材を吊下げ支持する支持ピンであって、フランジ部と第1軸部と第2軸部と雄ねじ部とを有するピン本体と、フランジ部と軸部と雌ねじ部を有するピン補助体を結合してなり、前記ピン本体の第1軸部と第2軸部および前記ピン補助体の軸部には、合成樹脂材による弾性を有する被覆体が設けられ、前記ピン本体の被覆体の設けられた第2軸部が前記種棒に設けたピン挿通孔に挿通される径で形成されていることを特徴とするガラス母材の支持ピン。
- 前記ピン本体と前記ピン補助体の間に、前記被覆体と同種の合成樹脂で形成されたワッシャが配されていることを特徴とする請求項4に記載のガラス母材の支持ピン。
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