JP4812974B2 - 硬化性樹脂、硬化性樹脂組成物及びその硬化物 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント基板の回路保護やビルドアップ基板、チップ実装基板等の絶縁層に使用することができる硬化性樹脂、硬化性樹脂組成物及びこれを硬化して得られる硬化物に関する。
【0002】
【従来の技術】
ソルダーレジストインキはプリント配線板の露出した導体回路の絶縁保護被膜用及び回路のはんだ不要部分へのはんだ付着防止用に用いられる観点より、塗膜形成法としては通常スクリーン印刷法により塗布され、硬化被膜にはハンダ耐熱性、耐湿性、密着性、耐薬品性、耐メッキ性、耐電解腐蝕性が要求される。このタイプのソルダーレジストには熱硬化型と紫外線硬化型の二種があるが、前者は主にエポキシ樹脂、後者はエポキシアクリレート樹脂が多用されてきた。しかし、近年、各種プリント配線板における導体回路パターンの微細化と位置精度向上と、更に実装部品の小型化により、ソルダーレジストによる絶縁被膜形成はスクリーン印刷法に変わり、フォト法による画像形成が主流になりつつある。また、フォト法によるレジストの現像は、従来は有機溶剤が用いられてきたが、大気汚染や安全性の観点から希アルカリ水溶液を使用することが望まれている。このような背景により、ソルダーレジストには従来のスクリーン印刷対応のエポキシ樹脂やエポキシアクリレート樹脂では満足できないという問題が生じている。
【0003】
フォト法及び希アルカリ水溶液現像への対応として、例えば、フェノールノボラック型エポキシアクリレート樹脂又はビスフェノールAエポキシアクリレート樹脂、あるいはこれらエポキシアクリレート樹脂と酸二無水物の反応によるハーフエステル化物等が知られている(例えば、特開昭61−243869、特公昭56−40329)。しかし、これらの公知のエポキシアクリレート樹脂又はその酸無水物変成物をソルダーレジスト用樹脂組成物として用いた場合、希アルカリ水溶液の現像性は満足するものの、物性を安定させるために硬化温度が少なくとも180℃以上必要であり、加熱設備にコストがかかるだけでなく、例えば、コア基板にガラスエポキシ基板を用いた場合、硬化温度が高すぎて基板の変色や反りをきたす恐れがある。更に、これら公知のエポキシアクリレート樹脂又はその酸無水物変成物から得られる硬化被膜は、ハンダ耐熱性、耐湿性、密着性、耐薬品性、耐メッキ性、耐電解腐蝕性等が十分でないという問題がある。
【0004】
近年、プリント配線板の高密度化に伴い、MCM(マルチチップモジュール)用ビルドアップ基板やCSP(チップサイズパッケージ)等のチップ実装基板用の絶縁層には信頼性と耐プレッシャークッカー性や耐サーマルサイクル性が要求されており、前記公知のエポキシアクリレート樹脂やその酸無水物変成物をソルダーレジスト用樹脂組成物とした場合、十分な信頼性を発揮できないという問題もある。
【0005】
このように、基板材料の耐熱性の制約や製造設備等の観点から低温硬化が可能でフォト法による希アルカリ水による現像が可能で、かつプリント配線板のソルダーレジストに必要なハンダ耐熱性、耐湿性、密着性、耐薬品性、耐メッキ性、耐電解腐蝕性、並びにMCM等の高密度実装基板等の絶縁層硬化膜に要求される信頼性を十分に満足するものはなかった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は160℃以下の低温硬化とフォト法による希アルカリ水による現像が可能な硬化性樹脂及びそれを主たる樹脂成分とする硬化性樹脂組成物を提供することにある。また、本発明の目的は、プリント配線板のソルダーレジストに必要なハンダ耐熱性、耐湿性、密着性、耐薬品性、耐メッキ性、耐電解腐蝕性及びビルドアップ基板の絶縁層等に要求される信頼性に優れた硬化性樹脂組成物及びその硬化物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、下記一般式(1)で表される化合物又は該化合物とそのオリゴマーからなる硬化性樹脂、多官能アクリレート及び光重合開始剤を必須成分とすることを特徴とする硬化性樹脂組成物である。
【化2】
(但し、R1〜R8は水素、ハロゲン又は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、Rは水素又はメチル基、Xは水素、炭素数1〜6の炭化水素基又は-OC-A(COOH)nで表される多塩基酸基を示す。Aは多塩基酸の残基であり、nは1、2又は3を示す。ここで、Xの10〜100モル%は酸一無水物と酸二無水物から生じる多塩基酸基であり、酸一無水物と酸二無水物から生じる多塩基酸基の割合は10/90〜90/10である。)
【0008】
また、本発明は、一般式(1)中のXが多塩基酸基である化合物を5モル%以上含有する前記の硬化性樹脂である。更に、本発明は、一般式(1)においてX中の多塩基酸基の割合が10〜100モル%の範囲である前記の硬化性樹脂である。
【0009】
また、本発明は、前記の硬化性樹脂と光又は熱重合開始剤を必須成分とする硬化性樹脂組成物、及びこの組成物に更に多官能アクリレートを含有する硬化性樹脂組成物である。更に、本発明は、120〜160℃の全範囲で、硬化時間を1時間とした場合の硬化率が80〜95%である前記の硬化性樹脂組成物である。また、本発明は、前記の硬化性樹脂組成物を光又は熱により硬化して得られる樹脂硬化物である。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の硬化性樹脂は、上記一般式(1)で表される化合物又はそのオリゴマーからなり、平均の繰返し数は1〜10、好ましくは1〜5である。一般式(1)において、Rは水素又はメチル基であり、一分子中のRは同じでも異なっていてもよい。また、一般式(1)中、R1〜R8は独立に水素、ハロゲン又は炭素数1〜6までの炭化水素基を表す。炭化水素基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、2−エチルヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基が挙げられる。R1〜R8は水素原子又はメチル基であることが好ましく、メチル基等の炭化水素基である場合、R1とR5、R2とR6のように対象の位置が同じ炭化水素基であることが好ましい。好ましい例としては、全部が水素又はメチル基である場合と、R1とR5、R2とR6、R3とR8からなる3つの組合せの1つ、2つ又は3つの組合せがメチル基である場合がある。
【0011】
上記一般式(1)において、Xは水素、炭素数1〜6の炭化水素基又は-OC-A(COOH)nで表される多塩基酸基を示す。ここで、Aは多塩基酸の残基であり、nは1、2又は3を示す。一般式(1)において、Xは全部が同一である必要はなく、一分子中に、水素と炭化水素基又は多塩基酸基を有していても、多塩基酸基と水素又は炭化水素基を有していても差し支えない。更に、本発明の硬化性樹脂は、一分子中に水素、炭素数1〜6の炭化水素基又は-OC-A(COOH)nで表される多塩基酸基のみを有する化合物、一分子中に水素と炭化水素基若しくは多塩基酸基を有している化合物、又は多塩基酸基と水素若しくは炭化水素基を有している化合物単独からなる樹脂であっても、上記化合物のいくつかを含む混合物からなる樹脂であることもできる。Xの一部が多塩基酸基である場合は、上記化合物のいくつかを含む混合物からなる樹脂であることが多く、好ましい硬化性樹脂を与える。
【0012】
上記一般式(1)において、Xが水素である化合物は、下記一般式(2)で表されるビスフェノールF型のエポキシ化合物又はそのオリゴマーからなるエポキシ樹脂、好ましくは平均の繰返し数が1〜5、より好ましくは1〜2のエポキシ樹脂と、(メタ)アクリル酸(アクリル酸、メタクリル酸又はその両者を意味する)を反応させて製造することができる。
【化3】
(但し、 R1〜R8は水素原子、ハロゲン原子、又は炭素数1〜6までの炭化水素基を表す)
ここで、アクリル酸、メタクリル酸の中でも、好ましくは、アクリル酸である。反応は通常、50℃〜150℃の範囲で1時間から20時間の範囲で行われる。
【0013】
前記一般式(1)で、Xが炭素数1〜6の炭化水素基である化合物の場合は、前記エポキシ樹脂と、CH2CRCOOX(RはH又はメチル基を示す)で表される(メタ)クリル酸エステルを反応させて製造することができる。
【0014】
(メタ)クリル酸エステルとしては、例えばアクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、アクリル酸プロピルエステル、メタクリル酸メチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、メタクリル酸プロピルエステル等の低級アルキルエステルが好ましく挙げられる。反応は通常、50℃〜150℃の範囲で1時間から20時間の範囲で行われる。
【0015】
前記一般式(1)で、Xが多塩基酸基である化合物の場合は、一般式(1)でXがHの化合物と、多塩基酸化合物、代表的には下記一般式(3)で表される酸二無水物又は下記一般式(4)で表される酸一無水物と反応させて製造することができる。また、多塩基酸としては無水トリメリット酸等であることもできる。
【化4】
(但し、Aは芳香族又は脂肪族の多塩基酸の残基を示し、置換基を有し得る)
【0016】
酸二無水物としてはジフェニルエーテルテトラカルボン酸無水物、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物、ナフタレンテトラカルボン酸無水物、アントラセンテトラカルボン酸無水物、フェナントレンテトラカルボン酸無水物、ヘキサフルオロイソプロピリデンビス(フタル酸無水物)、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメート)、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸無水物、テトラメチルジシロキサンテトラカルボン酸無水物などが挙げられる。好ましくは、ビフェニルテトラカルボン酸無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸無水物、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物が挙げられる。
【0017】
酸一無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、ドデシニル無水コハク酸、無水クロレンディック酸、無水トリメリット酸がある。好ましくは、テトラヒドロフタル酸無水物が挙げられる。
【0018】
一般式(1)において、Xが単一の化合物又はオリゴマーを得るには、代表的には、(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸エステルから選ばれる1種類の化合物を、一般式(2)で表されるエポキシ化合物又はオリゴマーと理論量反応させるか、1種類の多塩基酸化合物を一般式(1)で表される化合物又はオリゴマーのXがHの化合物と理論量反応させることにより得られる。Xが異なる化合物又はオリゴマーを得るには、(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸エステルから選ばれる2種類以上の化合物を併用するか、一般式(1)のXの少なくとも一部がHの化合物又はオリゴマーと2種類以上の多塩基酸化合物を反応させるか、Hに対して理論量以下の多塩基酸を反応させることにより得られる。例えば、多塩基酸として、酸一無水物と酸二無水物を併用することも可能であり、好ましくはXの5モル%以上、より好ましくは10〜100モル%、更に好ましくは20〜80モル%を多塩基酸基とすることが有利であり、酸一無水物と酸二無水物から生じる多塩基酸基の割合は、10/90〜90/10程度とすることがよい。
なお、酸二無水物を使用した場合は、一般式(1)中の2つのXと酸二無水物が反応してオリゴマーを形成することがあるが、これも本発明の熱硬化性樹脂である。
【0019】
本発明の熱硬化性樹脂に光重合開始剤やラジカル重合開始剤を配合することにより、本発明の硬化性樹脂組成物が得られる。その他、多官能アクリレートを配合することも有利である。本発明の硬化性樹脂組成物中の樹脂成分(樹脂及び硬化後樹脂となる成分)の30wt%以上、好ましくは50wt%以上、より好ましくは70wt%以上が、本発明の熱硬化性樹脂であることがよい。
【0020】
光重合開始剤としては、公知の種々の光重合開始剤を使用することができる。好ましい光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノールプロパン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、アセトフェノンジメチルケタール、ベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等が挙げられる。これらは単独でも、又は2種以上混合しても使用することができる。
【0021】
光重合開始剤の使用量は、一般式(1)で表わされる化合物100重量部に対して、0〜100重量部、好ましくは0.5〜40重量部、より好ましくは1〜10重量部である。また、硬化性樹脂組成物100重量部に対して、通常0〜50重量部であり、好ましくは1〜20重量部である。熱重合開始剤を使用する場合は、光重合開始剤は使用しなくともよいが、本発明の硬化性樹脂組成物を露光、現像性に優れるので、光重合開始剤を使用して光硬化性樹脂組成物として使用することが有利である。
【0022】
更に、これらの光重合開始剤と公知の光増感剤の1種又は2種以上を同時に使用することができる。光増感剤としては、例えば、ミヒラーズケトン、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、トリエタノールアミン、トリエチルアミン等を挙げることができる。光増感剤の使用量は、一般式(1)で表わされる化合物100重量部に対して、0〜20重量部、好ましくは0.02〜10重量部、より好ましくは0.05〜2重量部である。また、硬化性樹脂組成物100重量部に対して、通常0〜10重量部であり、好ましくは0.01〜5重量部である。
【0023】
熱重合を行わせるためには、ラジカル重合開始剤を配合することが好ましいが、光硬化のみを行わせる場合は配合しなくてもよい。好ましいラジカル重合開始剤としては、例えば、公知のベンゾイルパーオキサイド、p−クロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシカーボネート、tert−ブチルパーオキシピパレート等の過酸化物、及び1,1’−アゾビスシクロヘキサン−1−カルボニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(メチルイソブチレート)、α,α−アゾビス−(イソブチロニトリル)、4,4’−アゾビス−(4−シアノバレイン酸)等のアゾ化合物等を例示することができる。熱重合開始剤の使用量は、一般式(1)で表わされる化合物100重量部に対して、0〜100重量部、好ましくは0.02〜60重量部、より好ましくは0.05〜2重量部である。また、本発明の硬化性樹脂組成物100重量部に対して0〜50重量部、好ましくは0.01〜30重量部である。
【0024】
本発明の樹脂硬化物の密着性、硬度、耐アルカリ性、平坦性などの特性を向上させるため、上記一般式(1)を有する樹脂組成物中に必要に応じて、エポキシ樹脂(フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールメタン系エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等)や、これらエポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレートや、このエポキシ(メタ)アクリレートと前記酸無水物とを反応させて得られる反応生成物等の高分子不飽和基含有樹脂や、重合可能な単官能並びに多官能(メタ)アクリル酸エステル類を配合することができる。
【0025】
多官能(メタ)アクリル酸エステル類としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールアクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、カプロラクタン変成ジシクロペンテニルジアクリレート、EO変性リン酸ジアクリレート、アリル化シクロヘキシルジアクリレート、イソジアヌレートジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールトリメチロールプロパントリアクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、カプロラクタン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、1,3−ビス(3−アクリロキシプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3−ビス(3−アクリロキシプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン等を挙げることができる。
【0026】
その他、無機充填剤(例えば、タルク、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、酸化マグネシウム等)や、チキソトロピー剤(例えば、アエロジル等)や、熱可塑性エラストマーや、ゴム成分(アクリルニトリルゴム、ニトリルブタジエンゴム等)や、メラミン樹脂(例えば、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブトキシメラミン等)や、レベリング剤(例えば、シリコーン、弗素系ポリマー、アクリル共重合体等)や、シランカップリング剤(例えば、エポキシ基含有トリメトキシシラン、メルカプト基含有トリメトキシシラン等)や、着色顔料(例えば、シアニングリーン、シアニンブルー等)や、消泡剤や、紫外線吸収剤や、酸化防止剤や、重合禁止剤や、レベリング剤等を添加することが可能である。
【0027】
本発明の樹脂組成物で使用する多官能(メタ)アクリレートとしては、上記の多官能(メタ)アクリレートが使用できる。好ましくは、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコール(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクタン変成ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、EO変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソジアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクタン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,3−ビス(3−アクリロキシプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3−ビス(3−アクリロキシプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンなどが挙げられる。これらの多官能(メタ)アクリレートは上記光硬化もしくは熱硬化を更に十分なものとし、硬化物の耐薬品性、耐酸性、耐熱性、機械特性、誘電率、誘電正接等を向上させるために用いるものであり、単独で用いてもよいし、2種以上組合せて用いてもよい.
【0028】
多官能(メタ)アクリレートを配合する場合の使用量は、本発明の硬化性樹脂100重量部に対して、通常5〜100重量部、更に誘電率、誘電正接の向上のためには好ましくは、10〜50重量部の範囲で選ばれる。この量が5重量部未満では光硬化性が不十分であって、硬化物の耐薬品性、耐酸性、耐熱性、機械特性、誘電性等の向上効果が十分に発揮されないし、100重量部を超えると表面硬化が良すぎるために表面層に亀裂が生じたり、内部までの硬化されにくくなる。また、この使用量は、硬化性樹脂組成物100重量部に対して、通常2.5〜50重量部であり、好ましくは5〜25重量部である。
【0029】
本発明の樹脂硬化物とするための硬化性樹脂組成物は、前記したように一般式(1)で表わされる化合物又はオリゴマーからなる硬化性樹脂を必須とし、光重合開始剤等の添加剤を配合したものであるが、好ましい組成物としては次のようなものがある。
本発明の硬化性樹脂100重量部に対し、光重合開始剤:1〜20重量部、好ましくは1〜5重量部、光増感剤:0.01〜5重量部、好ましくは0.5〜2重量部、ラジカル重合開始剤:0.01〜30重量部、好ましくは0.05〜2重量部、3官能以上の多官能(メタ)アクリレート:5〜50重量部、好ましくは10〜50重量部、エポキシ樹脂:5〜30重量部、好ましくは10〜20重量部、溶媒:所望の粘度とする量、その他の固形分:0〜50重量部、好ましくは0〜20重量部。
【0030】
ここで、本発明の硬化性樹脂としては、Xが多塩基酸の残基である割合が10〜100%の化合物が好ましく、本発明の硬化性樹脂が、固形分中に占める割合は50重量%以上であることが好ましい。
なお、樹脂組成物にエポキシアクリレート、多官能アクリレート等が配合される場合で、これが一般式(1)で表わされる化合物でもある場合は、一般式(1)で表わされる化合物として計算する。
【0031】
本発明の硬化性樹脂組成物のうち、好ましいものとしては、120〜160℃の全範囲において、硬化時間を1時間とした場合に80〜95%の硬化率を示すものが挙げられる。
この場合には、光又は熱重合開始剤を必須成分として含有させることがよい。ここで用いられる光又は熱重合開始剤の種類とその添加量は特に限定されるものではないが、光重合開始剤と光増感剤を併用して用いることがよい。そしてその含有量は、本発明の硬化性樹脂100重量部に対して、光重合開始剤を0.5〜7重量部、光増感剤を0.01〜2の範囲で含有させることが好ましい。
硬化性樹脂組成物を硬化させた場合、硬化率が80%に満たないとハンダ耐熱性や耐湿信頼性等の実装時の信頼性が低下するので好ましくなく、また、95%を超えると現像の際の解像度が低下するので好ましくない。
【0032】
本発明の硬化性樹脂硬化物は、公知の方法により得ることができる。例えば、プリント基板にスクリーン印刷法、スプレー法、ロールコート法、静電塗装法、スピンコート法、カーテンコート法により、樹脂組成物を5〜100μmの膜厚で塗布し、塗膜を室温〜140℃で加熱時間1分〜120分間、好ましくは60℃〜120℃で加熱時間5分〜60分間乾燥させ、更に紫外線照射又は加熱により硬化物が得られる。熱硬化条件は通常100℃〜270℃、好ましくは160〜250℃で、加熱時間は30分〜2時間である。
【0033】
樹脂組成物がアルカリ現像性樹脂の場合は前記の方法にて塗布乾燥後、フォトマスクを塗膜に直接接触させ、次いで紫外線を照射し、更に0.1〜2重量%炭酸ソーダ水溶液、0.1〜2重量%ジエタノールアミン、0.1〜2重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド水溶液等のアルカリ水溶液で塗膜の未照射部分を溶解除去する。更にこれを100℃〜270℃、好ましくは160〜250℃で、加熱時間は30分〜2時間で熱硬化することにより硬化物が得られる。
【0034】
希薄アルカリ水溶液による現像が可能で、光によりパターニングされた硬化膜を得るには、一般式(1)中のXとして多塩基酸基を有する硬化性樹脂を含む樹脂組成物を用いる。一般式(1)においてX中の多塩基酸基の割合は10〜100%であり、好ましくは50〜100%の範囲である。多塩基酸基の割合が10未満であると未露光部がアルカリ水溶液に溶解しにくい。
【0035】
【実施例】
以下、本発明を実施例及び比較例により詳細に説明する。
実施例1
還流冷却器付き500ml四つ口フラスコ中にて、4,4'−ビス(2,3−エポキシプロピルオキシ)‐3,3',5,5'−テトラメチルジフェニルメタン(エポキシ樹脂A)68.36g(0.35当量、エポキシ当量195.30g/eq)にアクリル酸25.22g(0.35当量)2,6−tert−ブチル−p−クレゾール0.04g、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム0.16g、テトラエチルアンモニウムブロマイド0.35g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート23.53gを添加し、80〜90℃にて24時間加熱攪拌し、エポキシアクリレート溶液を得た。次に、このエポキシアクリレート溶液117.65g(固形分94.11g、0.352当量)にビフェニルテトラカルボン酸二無水物(略号BPDA)25.89g(0.176当量)、テトラヒドロ無水フタル酸(略号THPA)13.39g(0.088当量)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(略号PGMEA)79.18gを加え、まず123〜126℃に加熱下に2時間撹拌し、未溶解の固体がないことを確認した後、温度を下げて更に59〜62℃にて8時間の加熱撹拌を行った結果、淡黄色透明の粘調な樹脂溶液を得た。この溶液の樹脂固形分濃度は56.5%、溶液酸価は54.0mgKOH/gであった。この樹脂のNMRチャートを図1に示す。
【0036】
実施例2
実施例1と同様にして得られたエポキシメタクリレート溶液117.65g(固形分94.12g、0.352当量)にBPDA34.70g(0.236当量)、PGMEA75.86gを加え、まず123〜126℃に加熱下に2時間撹拌し、未溶解の固体がないことを確認した後、温度を下げて更に59〜62℃にて8時間の加熱撹拌を行った結果、淡黄色透明の粘調な樹脂溶液を得た。この溶液の樹脂固形分濃度は56.5%、溶液酸価は52.0mgKOH/gであった。
【0037】
比較例1
還留冷却器付き500ml四つ口フラスコ中にて、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート溶液(共栄社化学(株)製EX−5000)181.91g(固形分145.53g、0.5当量)に、THPA76.08g(0.5当量)、PGMEA134.57g、テトラエチルアンモニウムブロマイド0.44gを加え、90〜100℃に加熱下に2時間撹拌し、未溶解の固体がないことを確認した後、温度を下げて更に59〜62℃にて8時間の加熱撹拌を行った結果、淡黄色透明の粘調な樹脂溶液を得た。この溶液の樹脂固形分濃度は56.5%、溶液酸価は56.8mgKOH/gであった。
【0038】
実施例3
実施例1で得られた樹脂溶液58.31重量部に、トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート(東亜合成社製 M−360)14.12重量部、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノールプロパン(イルガキュア907)1.41重量部、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン(別名ミヒラーズケトン)0.05重量部、エポキシ樹脂A又はエポキシ樹脂B(ジャパンエポキシレジン製YX−4000H)10.72重量部、シランカップリング剤0.54重量部、レベリング剤0.277重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PEGMEA)14.67重量部を添加し、室温にて3時間攪拌し、溶解させて硬化性樹脂組成物を得た。
【0039】
〔熱紫外線樹脂硬化膜基板及び硬化フィルムの製造方法〕
実施例3にて調製した熱紫外線樹脂組成物をスピンコート法により、ガラスエポキシ基板(FR−4)上に、アルミニウム蒸着シリコンウエハ上に全面塗布し、110℃、10分間予備乾燥した。次にフォトマスクを介して塗膜を超高圧水銀灯にて365nmの波長の光を200mj/cm2露光し、1重量%ジエタノールアミン水溶液中で30秒間現像し、後露光として1800mj/cm2照射し、その後160℃で60分間熱硬化した。得られた硬化被膜は50μm膜厚で非常に均一であり、表面は平滑性に優れていた。アルミニウム蒸着シリコンウエハ上に塗布硬化させた被膜を塩酸に浸漬させることで、シリコンウエハより剥離させ、硬化フィルムを得た。
【0040】
〔硬化被膜の評価方法〕
上述の方法により製造された熱紫外線樹脂硬化膜基板及び硬化フィルムを用いて以下の方法によりその特性を測定した。
【0041】
塗膜の乾燥性:JIS−K5400に準じて評価した。評価のランクは次の通りである。
○:全くタックが認められないもの
△:わずかにタックが認められるもの
×:顕著にタックが認められるもの
【0042】
アルカリ水溶液に対する現像性:1重量%のジエタノールアミン水溶液に30秒間浸漬して現像を行った。現像後、40倍に拡大して残存する樹脂を目視で評価した。
○:完全に現像できたもの
△:薄く現像されない部分があるもの
×:現像されない部分がかなりあるもの
【0043】
ガラス転移温度:シリコンウエハから剥離した硬化フィルム (幅5mm、長さ15mm)を試験片とし、その粘弾性を粘弾性測定装置(DMA,UBM社製)にて測定し、tanδのピーク温度をガラス転移温度とした。
【0044】
硬化性:シリコンウエハ上にスピンコート法にて4〜6μmになるように塗布し、前記と同条件にて乾燥、硬化させた。FT−IRにて透過法にてスペクトルを測定した。硬化率は二重結合の面内変角振動の吸収スペクトル(1405cm-1)とベンゼン核の伸縮振動(1500cm-1)の面積比より硬化前を基準に変化率により求めた。
【0045】
耐湿性:ガラスエポキシ基板(FR−4)に塗布硬化したものを試験片とし、100℃の煮沸水中で2時間煮沸後の、硬化膜の外観変化を目視で観察した。
○:外観変化なし
△:硬化膜の一部分に膨潤が見られる
×:硬化膜のかなりの部分に膨潤及び変形が見られる
【0046】
半田耐熱性:ガラスエポキシ基板(FR−4)に塗布硬化したものを試験片とし、JISC6481に準じ、260℃の半田浴への試験片の10秒浸漬を10回行い、外観の変化を目視で観察した。評価のランクは次のとおりである。
○:外観変化無し
△:硬化膜の一部分に変色が認められる。
×:硬化膜のかなりの部分に浮き、剥がれ、半田潜りが認められる
【0047】
基板との密着性:銅張基板上に塗布硬化した被膜に、少なくとも100個の碁盤目を作るようにクロスカットを入れ、次いで、粘着テープ(セロテープ、積水化学製)を用いてピーリング試験を行い、碁盤目の剥離状態を目視で観察した。評価のランクは次のとおりである。
○:全ての測定点で全く剥離が認められないもの
△:100の測定点中1〜20の点で剥離が認められるもの
×:100の測定点中21以上の点で剥離が認められるもの
【0048】
耐アルカリ性:密着性試験と同じ試験片を5wt%の水酸化ナトリウム水溶液に25℃、24時間浸漬し、浸漬後の外観を目視で観察した。評価のランクは次のとおりである。
○:外観変化なし
△:硬化膜の一部分が剥がれる
×:硬化膜のかなりの部分に浮きが見られ、硬化膜が容易に剥がれる
【0049】
耐酸性:密着性試験と同じ試験片を5wt%の塩酸水溶液に25℃、24時間浸漬し、浸漬後の外観を目視で観察した。評価のランクは次のとおりである。
○:外観変化なし
△:硬化膜の一部分が剥がれる
×:硬化膜のかなりの部分に浮きが見られ、硬化膜が容易に剥がれる
【0050】
耐溶剤性:密着性試験と同じ試験片をN−メチル−2−ピロリドン中に40℃で10分間浸漬し、浸漬後の外観を目視で観察した。評価のランクは次のとおりである。
○:外観変化なし
△:硬化膜の一部分に膨潤が見られる
×:硬化膜のかなりの部分に膨潤及び溶剤の浸透が見られる
【0051】
耐金メッキ性:密着性試験と同じ試験片を10%硫酸水溶液に浸漬させた後、「オートロネックスCI」(セルレックス社製金メッキ液)を用い、液温40℃、電流密度1A/dm2の条件で10分間金メッキを行って、2.0μmの厚さの金メッキを析出させた後、塗膜の状態を耐酸性と同様に評価した。
【0052】
耐プレッシャークッカー性:銅パターンを施したガラスエポキシ基板をプレッシャークッカーテスト装置(タバイエスペック株式会社製)にて121℃、100%RH、2気圧の条件にて300時間試験した後、銅パターン上の硬化被膜の状態を顕微鏡にて観察した。評価のランクは次のとおりである。
○:外観変化なし
△:硬化膜の一部分に気泡や剥がれがみられる
×:硬化膜のかなりの部分に気泡や剥がれがみられる
【0053】
耐サーマルサイクル性:銅パターンを施したガラスエポキシ基板を気相冷熱衝撃試験機(タバイエスペック社製)にて−65℃と125℃間の温度サイクルを与え、硬化膜にクラックや剥がれが発生するまでのサイクル数を測定した。
【0054】
実施例4〜6
実施例1〜2で得られた樹脂溶液を用いて実施例3と同様にして表1に示した各種材料を用い、表1に示した配合組成(数値は重量部)で配合し、感光性樹脂組成物を作製し、実施例3と同様の方法により感光性樹脂硬化膜基板及び硬化フィルムを作製し、実施例3と同様の方法によりその特性を測定した。
【0055】
比較例2
比較例1で得られた樹脂溶液を用いて実施例3と同様にして表1に示した各種材料を用い、表1に示した配合組成(数値は重量部)で配合し、熱紫外線樹脂組成物を作製し、実施例3と同様の方法により熱紫外線樹脂硬化膜基板及び硬化フィルムを作製し、実施例3と同様の方法によりその特性を測定した。表1の数字の単位は重量部である。
【0056】
【表1】
【0057】
【表2】
【0058】
【発明の効果】
本発明によれば、160℃以下の低温硬化、及びフォト法による希アルカリ水による現像が可能で、かつハンダ耐熱性、耐湿性、硬度、耐薬品性、耐メッキ性、耐電解腐蝕性に優れるため、プリント配線板のソルダーレジストに好適であるだけでなく、更に信頼性にも優れるため、ビルドアップ基板やCSP等のチップ実装基板用の層間絶縁膜として好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 硬化性樹脂のNMRチャート
Claims (2)
- 請求項1に記載の硬化性樹脂組成物を光により硬化して得られる樹脂硬化物。
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