JP2546362B2 - 硬化性組成物 - Google Patents

硬化性組成物

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JP2546362B2 JP63306968A JP30696888A JP2546362B2 JP 2546362 B2 JP2546362 B2 JP 2546362B2 JP 63306968 A JP63306968 A JP 63306968A JP 30696888 A JP30696888 A JP 30696888A JP 2546362 B2 JP2546362 B2 JP 2546362B2
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0076Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the composition of the mask

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  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は紫外線等の照射により容易に硬化する組成物
であり、例えばプリント配線板などの製造に際して使用
されるフォトレジスト、特にソルダーレジスト用組成物
として好適な硬化性組成物に関するものである。
〔従来の技術〕
プリント配線板にレジストを設けるには、スクリーン
印刷法により塗布する方法及び写真法を用いる方法があ
るが、スクリーン印刷法により塗布すると、多くの場
合、印刷時のにじみ或いはエッヂ切れ(配線回路間にき
ちんとインキが埋設されないという一種の塗布欠陥現
象)が発生し、これがために最近のプリント配線板の高
密度化に対応しきれなくなっている。
一方、写真法によればこうした問題点を解決すること
ができ、ドライフィルム型のフォトレジストや液状フォ
トレジスト等の技術が開発されている。感光層を基板に
設けるには、ドライフィルム型のフォトレジストにおい
ては、シート状の感光性フォトレジストを基板に熱圧着
するのに対し、液晶フォトレジストにおいては、硬化性
樹脂を基板に塗布するという工程上の相違から、感光層
と基板との密着性においてドライフィルムより液状フォ
トレジストの方が優れており、ソルダーレジストについ
ては液状フォトレジストの方が、、ドライフィルム型の
フォトレジストより活発に開発が行われている。
しかし、従来の液状フォトレジストにおいては、現像
液として主に有機溶剤が使用されており、現像作業性、
作業環境の安全衛生性、経済性、大気汚染等の公害防止
などにおいて問題が多い。また、有機溶剤を使用した現
像液は、水性現像液にくらべ高価であるため水性現像液
で現像可能な組成物の開発が望まれている。
〔本発明が解決しようとする課題〕
水性現像液で現像可能なソルダーレジストとしては以
下の特性が要求される。
ハンダ耐熱性:硬化塗膜をハンダ浴中へ浸漬したときの
耐熱性。
硬化性:光の照射により速やかに硬化する特性。
密着性:基板と感光層との密着性。
耐熱性:100℃以下の温度で長時間硬化塗膜を保持したき
の耐熱性。
耐メッキ性:メッキ処理浴へ硬化塗膜を浸漬したときの
耐性。
電気特性:主に、絶縁性。
硬度:硬化塗膜の硬度。
解像度:狭い線幅を有するハンダパターンを形成できる
度合い。
しかし、上記の特性を全て満足するソルダーレジスト
組成物は、未だ開発されていない。
上記の現状に鑑み、本発明は水性現像液の使用が可能
で上記特性を全て満足し、ソルダーレジストを始め、プ
リント配線板用の種々のフォトレジストとして有用な硬
化性組成物を提供しようとするものである。
(ロ)発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 本発明者らは上述されたごとき従来技術における種々
の問題点について鋭意研究した結果、特定の硬化性成分
からなる液状レジスト組成物に、さらにベンゾトリアゾ
ールカルボン酸その他の限定された種類の化合物を配合
することにより、水性現像液で現像可能なソルダーレジ
ストとして要求される種々の特性を、著しく改善できる
ことを新たに見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明は下記(a)、(b)、(c)及び
(d)を含有することを特徴とする硬化性組成物であ
る。
(a)エポキシ(メタ)アクリレートと無水多塩基酸と
の反応生成物。
(b)一分子中に(メタ)アクリロイル基を少なくとも
2個有するリン酸エステル。
(c)光重合開始剤。
(d)下記〔I〕式で表される化合物。
(式中R1は水素、アルカリ金属、炭素数が1ないし6で
あるアルキル基または四級アンモニウム塩である。) なお本明細書においてはアクリレート及び/又はメタ
クリレートを(メタ)アクリレートと、またアクリロイ
ル基及び/又はメタクリロイル基を(メタ)アクリロイ
ル基と称する。
以下に、本発明の組成物を構成する各成分について説
明する。
成分(a)は、エポキシ(メタ)アクリレートと無水
多塩基酸の反応生成物であり、その中でも室温で固体の
ものが、本発明組成物の塗膜表面をタックフリーにでき
る点に適している。
かかる室温で固体の成分(a)の中でも、軟化点が好
ましくは20〜120℃、より好ましくは40〜100℃の範囲内
にあるものが適している。
成分(a)の一原料でありエポキシ(メタ)アクリレ
ートについては種々知られており(例えば特開昭60−20
8377号公報など)それらのいずれも使用できる。
エポキシ(メタ)アクリレートは一般に、一分子中に
エポキシ基を少なくとも一個有するエポキシ化合物と、
一分子中に(メタ)アクリロイル基およびカルボキシル
基を有する化合物とを反応させることにより製造され、
(メタ)アクリロイル基とヒドロキシル基を分子内に有
する化合物であり、本発明における成分(a)として
は、実質的に未反応エポキシ基を含まず、かつ(メタ)
アクリロイル基を2個以上含むエポキシ(メタ)アクリ
レートを合成原料としたものが好適である。未反応エポ
キシ基を含むエポキシ(メタ)アクリレートを原料とし
た場合は、そのヒドロキシル基を無水多塩基酸と反応さ
せるときに、エポキシ基との反応を併発してゲル化する
可能性が高くなり、また、保存中においてもゲル化する
可能性が高くなる。(メタ)アクリロイル基を1個だけ
しか含まないものは露光により得られる塗膜の機械的強
度が弱く、現像時に硬化物が剥離或いは蛇行することが
ある。
エポキシ(メタ)アクリレートの一原料であるエポキ
シ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、
ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型
エポキシ樹脂、フェノールノボラッキ型エポキシ樹脂、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、テトラグリシジ
ルアミノジフェニルメタンなどのグリシジルアミン型エ
ポキシ樹脂または脂環式エポキシ樹脂等を使用できる。
これと反応させるべき(メタ)アクリロイル基およびカ
ルボキシル基を有する化合物としては、アクリル酸、メ
タクリル酸の他、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタ
ル酸又は無水コハク酸などの酸無水物とヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート又はペンタエリスリトール(メ
タ)アクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリレート
との反応生成物及びアクリル酸ダイマー等がある。露光
時の硬化性、最終塗膜の耐熱性等の点から、エポキシ化
合物としてフェノールノボラック型エポキシ樹脂あるい
はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂を用い、(メ
タ)アクリロイル型およびカルボキシル基を有する化合
物としてアクリル酸あるいはメタクリル酸を使用するこ
とが好ましい。エポキシ(メタ)アクリレートの製造条
件などは、上記特許公報などに記載されている従来法に
従えばよい。現在これらエポキシ(メタ)アクリレート
には市販されているものもあり、これを使用することも
できる。
エポキシ(メタ)アクリレートと無水多塩基酸との反
応には、水酸基を有する化合分と無水多塩基酸との反応
に関して既に知られている条件を適用でき、エポキシ
(メタ)アクリレートのヒドオロキシル基1モルに対
し、無水多塩基酸を好ましくは0.1モル以上1.0モル以下
さらに好ましくは0.2モル以上0.9モル以下の割合で反応
させる。無水多塩基酸0.1モル未満の場合には、本発明
組成物のアルカリ性の水性液による現像性が低下する。
一方、1.0モルを越える量の無水多塩基酸を反応させる
と、成分(a)中に未反応の無水多塩基酸が残ることに
なり、未反応の無水多塩基酸の結晶化或いは多くの場合
成分(a)中に残留する水酸基と未反応の無水多塩酸の
反応が保存中に起こるため、本発明組成物の保存安定性
が低下する。
成分(a)の製造に用いられる無水多塩基酸としては
無水マレイン酸、無水フタル酸、無水コハク酸、無水イ
タコン酸、無水シトラコン酸、無水テトラヒドロフタル
酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水2,6−エンドメチ
レンテトラヒドロフタル酸、無水ドデシルコハク酸、無
水ノニールコハク酸及び無水トリメット酸などがある。
エポキシ(メタ)アクリレートと無水多塩基酸は好ま
しくは50〜150℃、さらに好ましくは80〜120℃の温度に
おいて、通常0.1〜10時間、好ましくは0.5〜5時間反応
させれば良い。また、この反応には好ましくは三級アミ
ン類、四級アンモニウム塩、その他トリエチルアミン、
テトラブチルアンモニウムブロマイド等の公知の触媒を
用いることもできる。
本発明組成物における成分(b)は、一分子中に(メ
タ)アクリロイル基を2個以上有するリン酸エステルで
あり、紫外線等の照射により前記成分(a)とラジカル
共重合し、強固な塗膜を与える成分である。(メタ)ア
クリロイル基を1個有したリン酸エステルでは、紫外線
等の照射による架橋が充分でなく、アルカリ現像時にお
ける塗膜強度、耐溶剤性、ハンダ耐熱性が低下する。
成分(b)の具体例としては、例えば、ビス−アクリ
ロイルオキシエチルフォスフェート(例えば、大八化学
(株)製市販品AR−200)、トリス−アクリロイルオキ
シエチルフォスフェート(例えば、大阪有機(株)製市
販品ビスコート#3PA)、ビス−メタクリロイルオキシ
エチルフォスフェート(例えば、大八化学(株)製市販
品MR−200)等があり、これらを1種又は2種以上の混
合物を用いることができる。
成分(b)の好ましい配合量は、成分(a)100重量
部(以下部と記す)に対して1〜50部、より好ましくは
5〜20部である。成分(b)が1部より少ないと紫外線
等の照射による架橋が充分でなく、耐溶剤性及びハンダ
耐熱性が低下し、50部を超えると組成物の粘度が下がり
過ぎ、印刷適性が低下したり、予備乾燥時の乾燥性を低
下させることがある。
本発明組成物における成分(c)光重合開始剤は、紫
外線等の照射によりラジカル重合を開始させることが知
られているものであり、具体例としては、ベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインイソプロピルエーテルのごときエンゾイ
ンとベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノル、
2,2−ジメトキシ−2−アセトフェノン、2,2−ジエトキ
シ−2−アストフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノ
ンのごときアセトフェノン類;2−メチルアントラキノ
ン、2−エチルアントラキノン、2−ターシャリーブチ
ルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−ア
ミルアントラキノンのごときアントラキノン類;2,4−ジ
メチルチオキサン、2,4−ジエチルチオキサントン、1
−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキ
サントンのごときチオキサントン類;アセトフェノンジ
メチルケタール、ベンジルジメチルケタールのごときケ
タール類;ベンゾフェノンのごときベンゾフェノン類ま
たはキサントン、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フ
ェニル〕−2−モリフォリノ−1−プロパノン等のカル
ボニル化合物がある。成分(c)の好ましい配合量は、
前記成分(a)及び成分(b)を合算した樹脂分100部
に対して0.2〜50部、さらに好ましくは2〜20部であ
る。0.2部未満であると露光により得られる塗膜の機械
的強度が弱く、現像時に硬化物が剥離或いは蛇行する恐
れがあり、一方、50部を越えると露光時に使われなかっ
た光重合開始剤が多量に塗膜に残り、塗膜の耐熱性等ほ
物性を低下させることがある。上記成分(c)は、安息
香酸系または第三級アミン系などの公知の光重合促進剤
の1種または2種以上と組み合わせて用いることもでき
る。
本発明組成物における成分(d)は、前記〔I〕式で
表される化合物である。式〔I〕においてRを構成する
アルカリ金属としては、リチウム、ナトリウム又はカリ
ウム等の金属が、アルキル基としては、メチル、エチ
ル、プロピル、ブチル、ペンチル又はヘキシル基等の1
〜6個の炭素数を有する直鎖状又は分岐状のアルキル基
が、また第4級アンモニウム基としては、テトラメチル
アンモニウム基、テトラエチルアンモニウム基、トリメ
チルフェニルアンモニウム基及びN,N−ジメチルピペリ
ジニウム塩等があり、本発明の成分(d)として使用で
きる化合物の具体例としては、4−ベンゾトリアゾール
カルボン酸、4−ベンゾトリアゾールカルボン酸ナトリ
ウム、4−ベンゾトリアゾールカルボン酸メチルエステ
ル、5−ベンゾトリアゾールカルボン酸エチルエステル
等がある。
上記〔I〕式に該当する化合物は市販されている。例
えば、〔I〕式におけるRが水素原子で官能基の置換位
置が異なる4−エンゾトリアゾールカルボン酸と5−ベ
ンゾトリアゾールカルボン酸の混合物が、ピーエムシー
スペシャリティズ グループ(株)(PMC Specialtie
s Group,Inc.)から商品名「コブラテック(COBRATEC)
CBT」として市販されており、これをそのまま本発明
の成分(d)として使用できる。
成分(d)の好ましい配合量は、前記成分(a)及び
成分(b)を合算した樹脂分100部に対して0.2〜50部、
さらに好ましくは2〜20部である。0.2部未満であると
添加による効果が不十分であり、ハンダ耐熱性が低下す
ることがあり、一方、50部を越えると塗膜の耐熱性等の
物性を低下させることがある。
本発明の組成物中に含まれる成分(d)は、本発明の
組成中の成分(b)との相乗作用により、銅製の基板面
上に形成されたレジストパターンとの密着性及びハンダ
耐熱性を著しく向上させ、かつアルカリ性の水性液によ
る現像性を損なわず、むしろこれを向上させ得ることに
大きな特長がある。本発明組成物においては、成分
(d)のこのような特異な作用により、耐熱性、電気特
性、硬度等に優れた塗膜になるものと考えられる。
以上の成分によって構成される本発明組成物には、組
成物の粘度を調整するため、又は紫外線の照射による硬
化性を増加させるために、(メタ)アクリロイルを1個
以上有する化合物を加えてもよい。
(メタ)アクリロイルを1個以上有する化合物の具体
例としては、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、β−ヒドロキシプロピル(メタ)アルリレート、グ
リシジル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル
(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)
アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレング
リコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、トリス−2−アクリロイルオキシエ
チルイソシアヌレート又は多塩基酸とヒドロキシルアク
リル(メタ)アクリレートからなり、縮合度が1以上の
ポリエステル、あるいは分子内に(メタ)アクリロイル
基を1個以上有するエポキシ(メタ)アクリレート及び
ウレタン(メタ)アクリレート等がある。
又本発明組成物を印刷に適した粘度にするため、本発
明組成物に一般的な有機溶剤を添加してもよい。
有機溶剤の具体例としては、メチルエチルケトン、シ
クロヘキサノンのごときケトン類;トルエン、キシレン
のごとき芳香族炭化水素類;セロソルブ、ブチルセロソ
ルブのごときセロソルブ類;カルビトール、ブチルカル
ビトールのごときカルビトール類;酢酸エチル、酢酸ブ
チル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテ
ート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールア
セテートのごとき酢酸エステル類があり、これらの溶剤
を1種または2種以上の混合物として用いることができ
る。
本発明組成物にはさらに必要に応じて、この種の組成
物に従来広く使用されている種々の添加剤、即ち硫酸バ
リウム、酸化珪素、タルク、炭酸カルシウムのごとき充
填剤;フタロシアニン・グリーン、フタロシアニン・ブ
ルー、酸化チタン、カーボンブラックのごとき着色顔
料;染料;消泡剤;密着性付与剤またはレベリング剤な
どの各種添加剤;及びハイドロキノン、ハイドロキノン
モノメチルエーテル、ピロガロール、ターシャリーブチ
ルカテコール、フェノチアジンのごとき重合禁止剤を加
えてもよい。
本発明の硬化性組成物をソルダーレジストとして用い
る場合、プリント配線板の全面にスクリーン印刷法、ロ
ールコーター法またはカーテンコーター法などにより塗
布し、塗膜表面をフォトマスクで覆い、紫外線を照射し
てラジカル重合により塗膜を硬化させる。
なお、本発明組成物に希釈剤として有機溶剤を使用し
た場合、紫外線を照射する前に予備乾燥を行って溶剤を
除去することが望ましい。予備乾燥により、塗膜表面が
タックフリーになった場合は、フォトマスクを塗膜表面
に密着させて紫外線を照射する。一方、塗膜表面がタッ
クフリーにならない場合または有機溶剤を使用しない場
合には、フォトマスクを塗膜表面に密着させずに透明な
支持体に保持して、紫外線を照射する。
紫外線の照射光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀
灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノランプまたはメ
タルハライドランプが適当であり、照射条件は常法に従
えば良い。
上記の様にして紫外線を照射した後、現像液として炭
酸ナトリウム、水酸化ナトリウムなどのアルカル水溶液
を用いることにより、紫外線で露光されずに未硬化の状
態にある組成物は容易に溶解除去することができる。
その後、必要に応じ加熱により組成物中の硬化反応を
完全なものとして、レジストパターンを形成せしめる。
かかる加熱硬化の好ましい条件としては、温度は100℃
ないし200℃、更に好ましくは120℃ないし180℃で、加
熱時間は10分ないし2時間である。
〔実施例等〕
次に本発明を参考例及び実施例によりさらに具体的に
説明する。
参考例1:成分(a−1)の製造 温度計、攪拌機および冷却器を具備した四口フラスコ
に、東都化成(株)製フェノールノボラック型エポキシ
樹脂YDPN−704を859g(4.08エポキシ当量)と溶剤であ
るブチルセロソルブアセテート624gを入れ、110℃に加
熱して、均一な溶液を得た。この溶液に重合禁止剤とし
てフェノチアジン0.52g、触媒としてテトラブチルアン
モニウムブロマイト10.4gおよびアクリル酸294g(4.08
カルボキシ当量)をそれぞれ加え、空気を吹き込みなが
ら110℃で反応させ、エポキシアクリレートを製造し
た。反応液の酸価を測定することによりアクリル酸の消
費率を測定したところ、約9時間で酸価の減少がなくな
り、また、酸価から計算されたアクリル酸の消費率がほ
ぼ100%となった。上記で得たエポキシアクリレートの
溶液に、さらに無水フタル酸302g(2.04モル)を加え11
0℃で反応を行った。反応液ひ無水フタル酸が完全に溶
解した後さらに3時間反応させた。この溶液にブチルセ
ロソルブアセテート159gを加え、エポキシアクリレート
と無水多塩基酸との反応生成物の固形分65%の溶液とし
て成分(a−1)を得た。
参考例2:成分(a−2)の製造 温度計、攪拌機および冷却器を具備した四口フラスコ
に、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(大日本イン
キ化学工業(株)製エピクロンN−770)を595g(3.20
エポキシ当量)とブチルセロソルブアセテート496gとを
入れ、110℃に加熱して、均一な溶液を得た。この溶液
に重合禁止剤としてフェノチアジン0.41g、触媒として
テトラブチルアンモニウムブロマイド8.3gおよびアクリ
ル酸230g(3.20カルボキシル当量)をそれぞれ加え、空
気を吹き込みながら110℃で反応させ、エポキシアクリ
レートを製造した。反応液の酸価を測定することにより
アクリル酸の消費率を測定したところ、約9時間で酸価
の減少が少なくなり、また、酸価から計算されるアクリ
ル酸の消費率がほぼ100%となった。上記で得たエポキ
シアクリレートの溶液に、さらに無水フタル酸332g(2.
24酸無水基当量)を加え110℃で反応を行った。反応液
に無水フタル酸が完全に溶解した後さらに3時間反応さ
せた。この溶液にブチルセロソルブアセテート127gを加
え、エポキシアクリレートと無水多塩基酸との反応生成
物の固形分60%の溶液として成分(a−2)を得た。
実施例1〜3 成分(a)〜成分(d)及びその他の成分として以下
のものをそれぞれ第1表に示す配合比率に従って使用
し、これら三本ロールで練ることにより、固形分66%の
硬化性組成物を調整した。
成分(a):各参考例で得た成分(a−1)又は成分
(a−2) 成分(b):トリス−アクリロイルオキシエチルフォス
フェート〔大阪有機(株)製商品名「ビスコート#3P
A」〕、ビス−アクリロイルオキシエチルフォスフェー
ト〔大八化学(株)製商品名AR−200)〕 成分(c):(光重合開始剤):2−メチル−〔4−(メ
チルチオ)フェニル〕−2−モリフォリノ−1−プロパ
ノン〔チバガイギー社製商品名「イルガキュア(Irgacu
re)907」〕5部及び2,4−ジエチルチオキサントン〔日
本化薬(株)製商品名「カヤキュア(KAYACURE)DET
X」)2部 成分(d):前記のコブラテック(COBRATEC)CBT〔ピ
ーエムシースペシャリティズグループ(株)(PMC Spec
ialties Group,Inc.)製商品名〕 その他の成分 光重合促進剤:p−ジメチルアミノ安息香酸エチル〔日本
化薬(株)製商品名「カヤキュア(KAYACURE)EPA」〕
2部 レベリング剤:楠本化成(株)製商品名「ディスパロン
#1970」8部 消泡剤:楠本化成(株)製商品名「ディスパロンOX−72
0」8部 着色顔料:フタロシアニン・グリーン1.0部 充填剤:タルク15部 溶剤:ブチルセロソルブアセテート この硬化性組成物を銅スルーホールプリント配線板に
スクリーン印刷法によって、厚さ20〜30μmで塗布し、
塗膜を75℃で30分間乾燥した。このようにして作製した
塗膜にフォトマスクを当て、(株)ハイテック製のフォ
トソルダー両面焼付機「HTE−106SM」により500mJ/cm2
の光量で露光した。
ついで、(有)キムラ・エッチング研究所製PCB用DF
自動現像機により、液温が30℃で濃度1重量%の炭酸ナ
トリウム水溶液を、1.5Kg/cm2の圧力で60秒間スプレー
し、塗膜の未露光部を除去することにより、アルカリ現
像を行った。その後、熱風乾燥機により150℃で30分間
加熱して、充分に硬化させ、それぞれの供試体を作製し
た。
比較例 1 成分(a)の代わりにビスフェノールA型エポキシ樹
脂のアクリレート〔昭和高分子(株)製商品名「リポキ
シVR−80」〕を使用した以外は実施例3と全く同様にし
て供試体を作製した。
比較例 2 成分(a)として参考例1で得た(a−1)成分を用
い、成分(b)の代わりにアルロイルオキシエチルフォ
スフェート〔共栄社油脂化学工業(株)製商品名ライト
エステルPA〕を使用した以外は実施例3と全く同様にし
て供試体を作製した。
比較例 3 成分(b)を使用しないこと以外は実施例1と全く同
様にして供試体を作製した。
比較例 4 成分(a)として参考例1で得た(a−1)成分を用
い、成分(b)を使用しないこと以外は実施例3と全く
同様にして、供試体を作成した。
上記の様にして作成した供試体について各種の性能試
験を行った結果を第2表に示す。
なお、第2表中に示す各種の性能試験は、次の試験法
により行ったものである。
〔アルカリ現像性〕
上記の方法によるアルカル現像後に、未露光部の状態
について判定した。その判定基準は次の通りである。
○……現像残り無し ×……現像残り有り 〔ハンダ耐熱性〕 供試体をロジン系フラックスに浸漬した後、浴温が26
0℃で錫濃度60%の溶融ハンダ浴に20秒間浸漬し、トリ
クロルエチレンで急冷した後、硬化塗膜の状態について
判定した。浸漬試験は5回行った。第2表には、ふく
れ、溶融又は剥離等の異常を生じない浸漬回数を示し
た。
〔解像度〕
80μm,100μmおよび120μmのライン幅のパターンを
持つフォトマスクを用いて作成した供試体をそれぞれ顕
微鏡で観察し、塗膜の状態について判定した。その判定
基準は次の通りである。
○……異常なし ×……剥離、蛇行などの異常有り 〔鉛筆硬度〕 JIS D 0202に従い、種々の硬度の鉛筆を用い、塗膜が
傷つかない最も鉛筆の硬度を求めた。
〔密着性〕
JIS D 0202に従い、1mm角の刻みを碁盤目状に100個入
れた塗膜に、セロハンテープを密着後剥離して、後に残
った碁盤目の数を求めた。
(ハ)発明の効果 本発明組成物は、紫外線等の照射による硬化性に優
れ、かつその硬化物はアルカリ水溶液による現像性、ハ
ンダ耐熱性、密着性、耐熱性、耐メッキ性、電気特性、
硬度及び解像度等に優れ、プリント配線板などの製造に
用いられるフォトレジスト、特にソルダーレジストとし
ての用途において従来品の特性を大幅に改善したもので
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 7/027 501 7/027 501

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】下記(a)、(b)、(c)及び(d)を
    含有することを特徴とする硬化性組成物。 (a)エポキシ(メタ)アクリレートと無水多塩基酸と
    の反応生成物。 (b)一分子中に(メタ)アクリロイル基を少なくとも
    2個有するリン酸エステル。 (c)光重合開始剤。 (d)下記〔I〕式で表される化合物。 (式中R1は水素、アルカリ金属、炭素数が1ないし6で
    あるアルキル基または四級アンモニウム塩である。)
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