JP4801451B2 - 走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法 - Google Patents
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Description
本発明の走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法の第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態における電子銃及びその制御装置の構成を概略的に示す図である。図1において、電子銃は、フィラメント1、ウェネルト電極2、アノード3、フィラメント加熱電源4、抵抗値が異なる複数の抵抗5、加速電圧発生用高圧電源6、高圧電源に含まれるエミッション電流検出手段7、リレーなどから構成される抵抗切り替え手段8を含んでいる。この電子銃のフィラメント加熱電源4、加速電圧発生用高圧電源6、エミッション電流検出手段7、抵抗切り替え手段8は、マイクロコンピュータなどから構成される電子銃制御手段9によって制御される。電子銃制御手段9には、ユーザインタフェースとしてオペレーションコンソール10が接続されている。操作者は、オペレーションコンソール10により、加速電圧値やフィラメント加熱量などを任意に設定することができる。
本発明の走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法の第2実施形態について説明する。本実施形態の電子銃及びその制御装置は、図1に示す第1実施形態のものとほぼ同様の構成となっているが、バイアス電圧の制御方法に関して第1実施形態とは異なる特徴を有している。
本発明の走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法の第3実施形態について説明する。図5は、本実施形態における電子銃及びその制御装置の構成を概略的に示す図である。図5において、本実施形態の電子銃及びその制御装置は、図1に示す第1実施形態のものとほぼ同様の構成となっているが、複数の抵抗5とウェネルト電極2との間に可変電圧源11を備えていることを特徴としている。
2 ウェネルト電極
3 アノード
4 フィラメント加熱電源
5 バイアス電圧切り替え用の抵抗(Rb)
6 加速電圧発生用高圧電源
7 エミッション電流検出手段
8 抵抗切り替え手段
9 電子銃制御手段
10 オペレーションコンソール
11 可変電圧源
Claims (2)
- 電子銃においてフィラメントからのエミッション電流を制御するための装置であって、
フィラメントとウェネルト電極との間に配置された複数の抵抗値が異なる抵抗を切り替える手段と、
前記複数の抵抗とウェネルト電極との間に配置され、エミッション電流を抑制するよう作動する可変電圧源と、
エミッション電流値を検出する手段と、
エミッション電流の最大値の設定を受け付ける手段とを備えており、
エミッション電流が前記設定最大値を超えない範囲で最大となるように、抵抗の切り替え及び前記可変電圧源の作動を行うことを特徴とする電子銃制御装置。 - フィラメントとウェネルト電極との間に配置された複数の抵抗値が異なる抵抗と、エミッション電流値を検出する手段と、前記複数の抵抗とウェネルト電極との間に配置され、エミッション電流を抑制するよう作動する可変電圧源とを備えた電子銃においてフィラメントからのエミッション電流を制御する方法であって、
エミッション電流の最大値の設定を受け付け、
エミッション電流が前記設定された最大値を超えない範囲で最大となるように、抵抗の切り替え及び前記可変電圧源の作動を行うことを特徴とする電子銃制御方法。
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