JPH05283023A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
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- JPH05283023A JPH05283023A JP7711792A JP7711792A JPH05283023A JP H05283023 A JPH05283023 A JP H05283023A JP 7711792 A JP7711792 A JP 7711792A JP 7711792 A JP7711792 A JP 7711792A JP H05283023 A JPH05283023 A JP H05283023A
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- voltage
- acceleration voltage
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 経験と熟練がなくても、常にエミッション電
流が最適な値となるように調整を行うことができる電子
顕微鏡を得ることを目的とする。 【構成】 電子顕微鏡を、フィラメントに印加する加速
電圧を設定する加速電圧設定部と、エミッション電流を
検出するエミッション電流検出部と、前記加速電圧に基
づき最大許容エミッション電流値及び最小許容エミッシ
ョン電流値を算出する許容値算出部と、前記エミッショ
ン電流検出部で検出されたエミッション電流が、前記最
大許容エミッション電流値と前記最小許容エミッション
電流値との関係から適正な値であるか否かを判別するエ
ミッション電流判別部と、該エミッション電流判別部の
判別結果を表示する判別結果表示部とから構成する。
流が最適な値となるように調整を行うことができる電子
顕微鏡を得ることを目的とする。 【構成】 電子顕微鏡を、フィラメントに印加する加速
電圧を設定する加速電圧設定部と、エミッション電流を
検出するエミッション電流検出部と、前記加速電圧に基
づき最大許容エミッション電流値及び最小許容エミッシ
ョン電流値を算出する許容値算出部と、前記エミッショ
ン電流検出部で検出されたエミッション電流が、前記最
大許容エミッション電流値と前記最小許容エミッション
電流値との関係から適正な値であるか否かを判別するエ
ミッション電流判別部と、該エミッション電流判別部の
判別結果を表示する判別結果表示部とから構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、エミッション電流を
常に自動的に許容値内の値とすることができるようにし
た電子顕微鏡に関する。
常に自動的に許容値内の値とすることができるようにし
た電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子顕微鏡のエミッション電流を
許容値内に保持するには、例えば図５に示すように、電
子顕微鏡１の電子銃２には、フィラメント３にフィラメ
ント電源４から電流を流して電子を放出させ、電子放出
口５から放出する電子をウェーネルト電極６で成形し
て、アノード７に向かって射出せしめ、試料８に電子を
当てて観察を行うようにしている。そしてフィラメント
２とアノード７との間に、電子を加速する加速電圧ＶH
を発生させるには、高電圧発生源１０で高圧ＥH を発生
させ、バイアス抵抗（可変抵抗）１７によってフィラメ
ント３とウェーネルト電極６との間にバイアス電圧ＥB
を発生させるようにしている。
許容値内に保持するには、例えば図５に示すように、電
子顕微鏡１の電子銃２には、フィラメント３にフィラメ
ント電源４から電流を流して電子を放出させ、電子放出
口５から放出する電子をウェーネルト電極６で成形し
て、アノード７に向かって射出せしめ、試料８に電子を
当てて観察を行うようにしている。そしてフィラメント
２とアノード７との間に、電子を加速する加速電圧ＶH
を発生させるには、高電圧発生源１０で高圧ＥH を発生
させ、バイアス抵抗（可変抵抗）１７によってフィラメ
ント３とウェーネルト電極６との間にバイアス電圧ＥB
を発生させるようにしている。
【０００３】高電圧発生源１０で発生する高圧ＥH は、
高電圧発生源電圧調整装置１１において、加速電圧ＶH
を抵抗１２で分圧して増幅器１３に入力させ、基準電圧
調整装置１４を変化させて高電圧発生源１０の電圧調整
器１５を駆動して所要の値に調整できるようになってい
る。また電子銃２から放出するエミッション電流を測定
するため、高電圧発生源１０に連接してエミッション電
流測定器１６が設けられており、電子顕微鏡１の観察中
はエミッション電流の値が表示されるようになってい
る。
高電圧発生源電圧調整装置１１において、加速電圧ＶH
を抵抗１２で分圧して増幅器１３に入力させ、基準電圧
調整装置１４を変化させて高電圧発生源１０の電圧調整
器１５を駆動して所要の値に調整できるようになってい
る。また電子銃２から放出するエミッション電流を測定
するため、高電圧発生源１０に連接してエミッション電
流測定器１６が設けられており、電子顕微鏡１の観察中
はエミッション電流の値が表示されるようになってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来の電子顕微鏡にあっては、エミッション電流はフィラ
メント電極やウェーネルト電極の組立不良で位置が正常
でなかったり、前記電極に汚れが発生するなどして、エ
ミッション電流が所定の値にならなくなるという問題が
あった。そこでエミッション電流を正常な値に保持する
ため、電流測定器１６の値を見ることにより、経験によ
ってどのパラメータを調整すればよいかを判断し、手動
で高電圧発生源１０の電圧調整器１５やバイアス抵抗１
７を加減して、エミッション電流値の調整を行うように
していたが、それには経験と熟練を必要とし、それでも
最適な調整を行うことは難しいという問題があった。こ
の発明はこのような従来の課題に着目してなされたもの
で、経験と熟練がなくても、常に最適な調整を行うこと
ができる電子顕微鏡を提供することを目的とする。
来の電子顕微鏡にあっては、エミッション電流はフィラ
メント電極やウェーネルト電極の組立不良で位置が正常
でなかったり、前記電極に汚れが発生するなどして、エ
ミッション電流が所定の値にならなくなるという問題が
あった。そこでエミッション電流を正常な値に保持する
ため、電流測定器１６の値を見ることにより、経験によ
ってどのパラメータを調整すればよいかを判断し、手動
で高電圧発生源１０の電圧調整器１５やバイアス抵抗１
７を加減して、エミッション電流値の調整を行うように
していたが、それには経験と熟練を必要とし、それでも
最適な調整を行うことは難しいという問題があった。こ
の発明はこのような従来の課題に着目してなされたもの
で、経験と熟練がなくても、常に最適な調整を行うこと
ができる電子顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するための手段として、電子顕微鏡を、フィラメント
に印加する加速電圧を設定する加速電圧設定部と、エミ
ッション電流を検出するエミッション電流検出部と、前
記加速電圧に基づき最大許容エミッション電流値及び最
小許容エミッション電流値を算出する許容値算出部と、
前記エミッション電流検出部で検出されたエミッション
電流が、前記最大許容エミッション電流値と前記最小許
容エミッション電流値との関係から適正な値であるか否
かを判別するエミッション電流判別部と、該エミッショ
ン電流判別部の判別結果を表示する判別結果表示部とか
ら構成されることとした。
決するための手段として、電子顕微鏡を、フィラメント
に印加する加速電圧を設定する加速電圧設定部と、エミ
ッション電流を検出するエミッション電流検出部と、前
記加速電圧に基づき最大許容エミッション電流値及び最
小許容エミッション電流値を算出する許容値算出部と、
前記エミッション電流検出部で検出されたエミッション
電流が、前記最大許容エミッション電流値と前記最小許
容エミッション電流値との関係から適正な値であるか否
かを判別するエミッション電流判別部と、該エミッショ
ン電流判別部の判別結果を表示する判別結果表示部とか
ら構成されることとした。
【０００６】またフィラメントに印加する加速電圧を設
定する加速電圧設定部と、エミッション電流を検出する
エミッション電流検出部と、前記加速電圧に対応してエ
ミッション電流がどの程度流れるかの推測値を算出し、
該推測値をもとにエミッション電流の最大許容値及び最
小許容値を求めるエミッション電流許容値算出部と、前
記エミッション電流検出部で検出されたエミッション電
流が、前記許容値算出部で算出された適正な値であるか
否かを判別するエミッション電流判別部と、該エミッシ
ョン電流判別部の判別結果を表示する判別結果表示部と
から構成されることとした。
定する加速電圧設定部と、エミッション電流を検出する
エミッション電流検出部と、前記加速電圧に対応してエ
ミッション電流がどの程度流れるかの推測値を算出し、
該推測値をもとにエミッション電流の最大許容値及び最
小許容値を求めるエミッション電流許容値算出部と、前
記エミッション電流検出部で検出されたエミッション電
流が、前記許容値算出部で算出された適正な値であるか
否かを判別するエミッション電流判別部と、該エミッシ
ョン電流判別部の判別結果を表示する判別結果表示部と
から構成されることとした。
【０００７】
【作用】次に本発明の作用を説明する。加速電圧設定部
ではフィラメントに印加する加速電圧を設定され、エミ
ッション電流検出部ではエミッション電流を検出する。
許容値算出部では前記加速電圧に基づき最大許容エミッ
ション電流値及び最小許容エミッション電流値を算出
し、エミッション電流判別部では前記エミッション電流
検出部で検出されたエミッション電流が、前記最大許容
エミッション電流値と前記最小許容エミッション電流値
との関係から適正な値であるか否かを判別する。そして
判断結果表示部ではエミッション電流判別部の判別結果
を表示する。またエミッション電流許容値算出部におい
て、加速電圧に対応してエミッション電流がどの程度流
れるかの推測値を算出し、該推測値をもとにエミッショ
ン電流の最大許容値及び最小許容値を求めるものもあ
る。
ではフィラメントに印加する加速電圧を設定され、エミ
ッション電流検出部ではエミッション電流を検出する。
許容値算出部では前記加速電圧に基づき最大許容エミッ
ション電流値及び最小許容エミッション電流値を算出
し、エミッション電流判別部では前記エミッション電流
検出部で検出されたエミッション電流が、前記最大許容
エミッション電流値と前記最小許容エミッション電流値
との関係から適正な値であるか否かを判別する。そして
判断結果表示部ではエミッション電流判別部の判別結果
を表示する。またエミッション電流許容値算出部におい
て、加速電圧に対応してエミッション電流がどの程度流
れるかの推測値を算出し、該推測値をもとにエミッショ
ン電流の最大許容値及び最小許容値を求めるものもあ
る。
【０００８】
【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の構成図で、電子顕微鏡１の電子銃２に
は、フィラメント３にフィラメント電源４から電流を流
して電子を放出させ、電子放出口５から放出する電子を
ウェーネルト電極６で成形して、アノード７に向かって
射出せしめ、試料８に電子を当てて観察を行うようにし
ている。そしてフィラメント２とアノード７との間に、
電子を加速する加速電圧ＶH を発生させるには、高電圧
発生源１０で高圧ＥH を発生させ、バイアス抵抗（可変
抵抗）１７によってフィラメント３とウェーネルト電極
６との間にバイアス電圧ＥB を発生させ、この和として
加速電圧ＶH を発生させるようにしている。
図１は本発明の構成図で、電子顕微鏡１の電子銃２に
は、フィラメント３にフィラメント電源４から電流を流
して電子を放出させ、電子放出口５から放出する電子を
ウェーネルト電極６で成形して、アノード７に向かって
射出せしめ、試料８に電子を当てて観察を行うようにし
ている。そしてフィラメント２とアノード７との間に、
電子を加速する加速電圧ＶH を発生させるには、高電圧
発生源１０で高圧ＥH を発生させ、バイアス抵抗（可変
抵抗）１７によってフィラメント３とウェーネルト電極
６との間にバイアス電圧ＥB を発生させ、この和として
加速電圧ＶH を発生させるようにしている。
【０００９】高電圧発生源１０で発生する高圧ＥH は、
高電圧発生源電圧調整装置１１において、加速電圧ＶH
を抵抗１２で分圧して増幅器１３に入力させ、基準電圧
調整装置１４の調整値ＥS を変化させて高電圧発生源１
０の電圧調整器１５を駆動して所要の値に調整できるよ
うになっている。こゝまでは従来技術と同様であり、同
一部材は同一符号を以て示す。
高電圧発生源電圧調整装置１１において、加速電圧ＶH
を抵抗１２で分圧して増幅器１３に入力させ、基準電圧
調整装置１４の調整値ＥS を変化させて高電圧発生源１
０の電圧調整器１５を駆動して所要の値に調整できるよ
うになっている。こゝまでは従来技術と同様であり、同
一部材は同一符号を以て示す。
【００１０】しかしてエミッション電流は必ずしも所定
の値にならないので、エミッション電流を正常な値に保
持するため、電流値を測定しながらエミッション電流値
を調整しなければならない。そこで従来のエミッション
電流測定器１６の代わりに、エミッション電流を検出す
るエミッション電流検出部２１を設け、その電流値をＡ
／Ｄ変換するＡＤ変換器２２を設ける。そしてＡＤ変換
器２２に接続させて、ＣＰＵ２０が設けられ、ＣＰＵ２
０に操作キーボード２３と表示部２４が接続して設けて
いる。
の値にならないので、エミッション電流を正常な値に保
持するため、電流値を測定しながらエミッション電流値
を調整しなければならない。そこで従来のエミッション
電流測定器１６の代わりに、エミッション電流を検出す
るエミッション電流検出部２１を設け、その電流値をＡ
／Ｄ変換するＡＤ変換器２２を設ける。そしてＡＤ変換
器２２に接続させて、ＣＰＵ２０が設けられ、ＣＰＵ２
０に操作キーボード２３と表示部２４が接続して設けて
いる。
【００１１】ＣＰＵ２０と操作キーボード２３の中に
は、フィラメント３に印加する加速電圧ＶH を設定する
加速電圧設定部２５がある。すなわち加速電圧設定部２
５は、操作キーボード２３からの指令により、ＣＰＵ２
０の中で処理され、基準電圧調整装置１４の調整値ＥS
を変化させて高電圧発生源１０の電圧を変化させ、バイ
アス抵抗（可変抵抗）１７によってバイアス電圧ＥB を
変化させて加速電圧ＶHを設定し、またフィラメント電
圧ＶF を調整することによって行う。
は、フィラメント３に印加する加速電圧ＶH を設定する
加速電圧設定部２５がある。すなわち加速電圧設定部２
５は、操作キーボード２３からの指令により、ＣＰＵ２
０の中で処理され、基準電圧調整装置１４の調整値ＥS
を変化させて高電圧発生源１０の電圧を変化させ、バイ
アス抵抗（可変抵抗）１７によってバイアス電圧ＥB を
変化させて加速電圧ＶHを設定し、またフィラメント電
圧ＶF を調整することによって行う。
【００１２】またＣＰＵ２０の中には、加速電圧ＶH に
基づいて最大許容エミッション電流値及び最小許容エミ
ッション電流値を算出する許容値算出部２６がある。図
２に示すように、エミッション電流ＩD の適正値は、加
速電圧ＶH に対応した値として設定され、暗電流Ｉf の
値に１０μＡを加えた値が、図２のＡＢに示すエミッシ
ョン電流最小許容値であり、暗電流Ｉf の値に１００μ
Ａを加えた値が、図２のＣＤに示すエミッション電流最
大許容値である。即ち図２のＡＢＤＣに囲まれた領域
が、許容値算出部２６によって算出されるエミッション
電流ＩD の適正値である。なお暗電流Ｉf は高電圧発生
源電圧調整装置１１で加速電圧ＶH を抵抗１２で分圧す
る際に発生するもので、加速電圧ＶH の増加とともに増
大する。
基づいて最大許容エミッション電流値及び最小許容エミ
ッション電流値を算出する許容値算出部２６がある。図
２に示すように、エミッション電流ＩD の適正値は、加
速電圧ＶH に対応した値として設定され、暗電流Ｉf の
値に１０μＡを加えた値が、図２のＡＢに示すエミッシ
ョン電流最小許容値であり、暗電流Ｉf の値に１００μ
Ａを加えた値が、図２のＣＤに示すエミッション電流最
大許容値である。即ち図２のＡＢＤＣに囲まれた領域
が、許容値算出部２６によって算出されるエミッション
電流ＩD の適正値である。なお暗電流Ｉf は高電圧発生
源電圧調整装置１１で加速電圧ＶH を抵抗１２で分圧す
る際に発生するもので、加速電圧ＶH の増加とともに増
大する。
【００１３】さらにＣＰＵ２０の中には、エミッション
電流検出部２１で検出されたエミッション電流ＩD が、
許容値算出部２６で算出された図２のＡＢＤＣに囲まれ
た領域内の適正な値であるか否かを判別するエミッショ
ン電流判別部２７がある。そしてＣＰＵ２０に接続する
表示部２４は、エミッション電流判別部２７の判別結果
を表示するものである。
電流検出部２１で検出されたエミッション電流ＩD が、
許容値算出部２６で算出された図２のＡＢＤＣに囲まれ
た領域内の適正な値であるか否かを判別するエミッショ
ン電流判別部２７がある。そしてＣＰＵ２０に接続する
表示部２４は、エミッション電流判別部２７の判別結果
を表示するものである。
【００１４】次に本発明の作用を図３の流れ図に基づい
て説明する。制御が開始されると設定状態が検知され
（ブロック１）、暗電流Ｉf が算出されるが、この値は
加速電圧ＶH を抵抗１２で分圧する際に抵抗１２に流れ
る電流である（ブロック２）。そして図２のようにして
エミッション電流の最小値ＩDmin，最大値ＩDmaxが算出
され（ブロック３）、一方エミッション電流ＩD がエミ
ッション電流検出部２１によって検出される（ブロック
４）。
て説明する。制御が開始されると設定状態が検知され
（ブロック１）、暗電流Ｉf が算出されるが、この値は
加速電圧ＶH を抵抗１２で分圧する際に抵抗１２に流れ
る電流である（ブロック２）。そして図２のようにして
エミッション電流の最小値ＩDmin，最大値ＩDmaxが算出
され（ブロック３）、一方エミッション電流ＩD がエミ
ッション電流検出部２１によって検出される（ブロック
４）。
【００１５】次にエミッション電流ＩD がエミッション
電流の最大値ＩDmaxより小さいかどうかを判別し（ブロ
ック５）、そうでなければ過電流であるとしてウェーネ
ルト電極かフィラメントの汚れ、ギャップ小の表示を出
す（ブロック６）。次にエミッション電流ＩD がエミッ
ション電流の最小値ＩDminより大きいかどうかを判別し
（ブロック７）、そうでなければエミッション電流ＩD
が暗電流Ｉf に比べて著しく小さいかどうかを判別し
（ブロック８）、小さければ電流不足（高電圧発生源の
故障）と表示（ブロック９）、大きければ電流不足（断
線、ギャップ大）と表示（ブロック１０）してに行
く。又エミッション電流ＩD がエミッション電流の最小
値ＩDminより大きいかどうかのブロック７の判別がYes
ならば、その場合のエミッション電流ＩD は適正なもの
として観察を行い（ブロック１１）終了する（ブロック
１２）。
電流の最大値ＩDmaxより小さいかどうかを判別し（ブロ
ック５）、そうでなければ過電流であるとしてウェーネ
ルト電極かフィラメントの汚れ、ギャップ小の表示を出
す（ブロック６）。次にエミッション電流ＩD がエミッ
ション電流の最小値ＩDminより大きいかどうかを判別し
（ブロック７）、そうでなければエミッション電流ＩD
が暗電流Ｉf に比べて著しく小さいかどうかを判別し
（ブロック８）、小さければ電流不足（高電圧発生源の
故障）と表示（ブロック９）、大きければ電流不足（断
線、ギャップ大）と表示（ブロック１０）してに行
く。又エミッション電流ＩD がエミッション電流の最小
値ＩDminより大きいかどうかのブロック７の判別がYes
ならば、その場合のエミッション電流ＩD は適正なもの
として観察を行い（ブロック１１）終了する（ブロック
１２）。
【００１６】ブロック４のエミッション電流ＩD の検出
の結果、電流のふらつきが大であれば（ブロック１
３）、ふらつき（放電）として表示し（ブロック１
４）、ふらつきが小であれば（ブロック１５）ふらつき
（ウェーネルト汚れ）と表示する（ブロック１６）。そ
してブロック６，９，１０，１４，１６の場合はメンテ
ナンスをするかどうかを判断し（ブロック１７）、適正
なメンテナンスをして異常表示をクリアする（ブロック
１８，１９）。なお軽微なトラブルの場合は、ブロック
１７でメンテナンス不用と判断し、異常表示をクリアす
る。
の結果、電流のふらつきが大であれば（ブロック１
３）、ふらつき（放電）として表示し（ブロック１
４）、ふらつきが小であれば（ブロック１５）ふらつき
（ウェーネルト汚れ）と表示する（ブロック１６）。そ
してブロック６，９，１０，１４，１６の場合はメンテ
ナンスをするかどうかを判断し（ブロック１７）、適正
なメンテナンスをして異常表示をクリアする（ブロック
１８，１９）。なお軽微なトラブルの場合は、ブロック
１７でメンテナンス不用と判断し、異常表示をクリアす
る。
【００１７】また第２の発明においては、全体の構成は
図１のものと同様であるが、許容値算出部２６の構成が
多少異なる。即ち電子顕微鏡で観察を行っている場合、
加速電圧値ＶH 等の設定状況から正常に装置が動作して
いると判断されるときには、その状態でエミッション電
流ＩD がどの程度流れるかの推測値を算出し、その推測
値からエミッション電流の最大許容値と最小許容値とを
求める方式も考えられる。即ち図２のようにして最大許
容エミッション電流値及び最小許容エミッション電流値
を算出する代わりに、図４に示すように、推定エミッシ
ョン電流ＩP は「ＩP ＝ＩB （ビーム電流）＋Ｉf （暗
電流）」で表されることから、ビーム電流ＩB をフィラ
メント電圧ＶF とバイアス電圧ＶB の関数として求め、
そうして推定エミッション電流ＩP が求められる。その
上下に一定巾の電流値を取った範囲を、エミッション電
流の最大許容値ＩPmax及び最小許容値ＩPminとする。
図１のものと同様であるが、許容値算出部２６の構成が
多少異なる。即ち電子顕微鏡で観察を行っている場合、
加速電圧値ＶH 等の設定状況から正常に装置が動作して
いると判断されるときには、その状態でエミッション電
流ＩD がどの程度流れるかの推測値を算出し、その推測
値からエミッション電流の最大許容値と最小許容値とを
求める方式も考えられる。即ち図２のようにして最大許
容エミッション電流値及び最小許容エミッション電流値
を算出する代わりに、図４に示すように、推定エミッシ
ョン電流ＩP は「ＩP ＝ＩB （ビーム電流）＋Ｉf （暗
電流）」で表されることから、ビーム電流ＩB をフィラ
メント電圧ＶF とバイアス電圧ＶB の関数として求め、
そうして推定エミッション電流ＩP が求められる。その
上下に一定巾の電流値を取った範囲を、エミッション電
流の最大許容値ＩPmax及び最小許容値ＩPminとする。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子顕微鏡を、フィラメントに印加する加速電圧を
設定する加速電圧設定部と、エミッション電流を検出す
るエミッション電流検出部と、前記加速電圧に基づき最
大許容エミッション電流値及び最小許容エミッション電
流値を算出する許容値算出部と、前記エミッション電流
検出部で検出されたエミッション電流が、前記最大許容
エミッション電流値と前記最小許容エミッション電流値
との関係から適正な値であるか否かを判別するエミッシ
ョン電流判別部と、該エミッション電流判別部の判別結
果を表示する判別結果表示部とから構成されることと
し、またエミッション電流許容値算出部を、前記加速電
圧に対応してエミッション電流がどの程度流れるかの推
測値を算出し、該推測値をもとにエミッション電流の最
大許容値及び最小許容値を求めるようにしたので、電子
顕微鏡において、経験と熟練がなくても、常にエミッシ
ョン電流が最適な値となるように調整することができる
ようになるという効果を有する。
ば、電子顕微鏡を、フィラメントに印加する加速電圧を
設定する加速電圧設定部と、エミッション電流を検出す
るエミッション電流検出部と、前記加速電圧に基づき最
大許容エミッション電流値及び最小許容エミッション電
流値を算出する許容値算出部と、前記エミッション電流
検出部で検出されたエミッション電流が、前記最大許容
エミッション電流値と前記最小許容エミッション電流値
との関係から適正な値であるか否かを判別するエミッシ
ョン電流判別部と、該エミッション電流判別部の判別結
果を表示する判別結果表示部とから構成されることと
し、またエミッション電流許容値算出部を、前記加速電
圧に対応してエミッション電流がどの程度流れるかの推
測値を算出し、該推測値をもとにエミッション電流の最
大許容値及び最小許容値を求めるようにしたので、電子
顕微鏡において、経験と熟練がなくても、常にエミッシ
ョン電流が最適な値となるように調整することができる
ようになるという効果を有する。
【図１】本発明の構成を示す電子顕微鏡のエミッション
電流調整部の構成図である。
電流調整部の構成図である。
【図２】エミッション電流許容値算出部の許容値を示す
グラフである。
グラフである。
【図３】本発明の電子顕微鏡のエミッション電流の調整
方法を示す流れ図である。
方法を示す流れ図である。
【図４】他の発明の電子顕微鏡のエミッション電流許容
値算出部の許容値を示すグラフである。
値算出部の許容値を示すグラフである。
【図５】従来の電子顕微鏡のエミッション電流調整部の
構成図である。
構成図である。
３ フィラメント ２１ エミッション電流検出部 ２４ 表示部（判別結果表示部） ２５ 加速電圧設定部 ２６ 許容値算出部 ２７ エミッション電流判別部
Claims (2)
- 【請求項１】 フィラメントに印加する加速電圧を設定
する加速電圧設定部と、エミッション電流を検出するエ
ミッション電流検出部と、前記加速電圧に基づき最大許
容エミッション電流値及び最小許容エミッション電流値
を算出する許容値算出部と、前記エミッション電流検出
部で検出されたエミッション電流が、前記最大許容エミ
ッション電流値と前記最小許容エミッション電流値との
関係から適正な値であるか否かを判別するエミッション
電流判別部と、該エミッション電流判別部の判別結果を
表示する判別結果表示部とから構成されることを特徴と
する電子顕微鏡。 - 【請求項２】 フィラメントに印加する加速電圧を設定
する加速電圧設定部と、エミッション電流を検出するエ
ミッション電流検出部と、前記加速電圧に対応してエミ
ッション電流がどの程度流れるかの推測値を算出し、該
推測値をもとにエミッション電流の最大許容値及び最小
許容値を求めるエミッション電流許容値算出部と、前記
エミッション電流検出部で検出されたエミッション電流
が、前記許容値算出部で算出された適正な値であるか否
かを判別するエミッション電流判別部と、該エミッショ
ン電流判別部の判別結果を表示する判別結果表示部とか
ら構成されることを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7711792A JPH05283023A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7711792A JPH05283023A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05283023A true JPH05283023A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=13624850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7711792A Pending JPH05283023A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05283023A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194072A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法 |
| JP2014165075A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Nuflare Technology Inc | カソードの動作温度調整方法、及び描画装置 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP7711792A patent/JPH05283023A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194072A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法 |
| JP2014165075A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Nuflare Technology Inc | カソードの動作温度調整方法、及び描画装置 |
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