JP7054633B2 - 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 - Google Patents
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Description
エミッタと、
前記エミッタから電子を引き出す引き出し電極と、
前記引き出し電極の後段に配置され、前記エミッタから引き出された電子線を加速させる第1加速電極と、
前記第1加速電極の後段に配置され、複数の第2加速電極を備える加速管と、
加速電圧を発生させる加速電圧電源と、
前記第1加速電極に電圧を印加する加速電極用電源と、
補助電圧を発生させる補助電圧電源と、
前記加速電圧と前記補助電圧とが重畳された入力電圧を分圧して、前記複数の第2加速電極の各々に印加する複数の分圧用抵抗と、
を含み、
前記加速電極用電源で前記第1加速電極の電位を制御し、前記補助電圧電源で前記複数の第2加速電極のうちの1つの第2加速電極の電位を制御することによって、前記第1加速電極と前記1つの第2加速電極との間のレンズ作用を制御する。
することなく、第1加速電極と初段の第2加速電極との間に形成されるレンズの作用が低下することを抑制できる。
エミッタと、
前記エミッタから電子を引き出す引き出し電極と、
前記引き出し電極の後段に配置され、前記エミッタから引き出された電子線を加速させる第1加速電極と、
前記第1加速電極の後段に配置され、複数の第2加速電極を備える加速管と、
加速電圧を発生させる加速電圧電源と、
前記引き出し電極に電圧を印加する引き出し電極用電源と、
前記第1加速電極に電圧を印加する加速電極用電源と、
補助電圧を発生させる補助電圧電源と、
前記加速電圧と前記補助電圧とが重畳された入力電圧を分圧して前記複数の第2加速電極の各々に印加する複数の分圧用抵抗と、を含む電子顕微鏡の制御方法であって、
前記引き出し電極用電源で前記引き出し電極の電位を制御し、前記加速電極用電源で前記第1加速電極の電位を制御することによって、前記引き出し電極と前記第1加速電極の間のレンズ作用を制御する工程と、
前記加速電圧を変更する工程と、
前記加速電圧の変更に応じて前記補助電圧電源を制御することによって前記複数の第2加速電極のうちの1つの第2加速電極の電位を制御して、前記第1加速電極と前記1つの第2加速電極との間のレンズ作用を制御する工程と、
を含む。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡1の構成を示す図である。
抵抗素子221,222,223,224,225,226,227で分圧して、複数の加速電極201,202,203,204,205,206の各々に印加する。
次に、電子顕微鏡1の動作について説明する。まず、電子顕微鏡1の電子銃10および加速管20の基本的な動作について説明する。
次に、制御部32の処理について説明する。
電子顕微鏡1は、例えば、以下の特徴を有する。
加速電極104と初段の加速電極201との間に形成される収束レンズの作用を制御できる。したがって、電子顕微鏡1では、例えば、加速電圧HTが変更された場合であっても、加速電圧HTの印加を停止することなく、加速電極104と初段の加速電極201との間に形成される収束レンズの作用が低下することを抑制できる。
Claims (5)
- エミッタと、
前記エミッタから電子を引き出す引き出し電極と、
前記引き出し電極の後段に配置され、前記エミッタから引き出された電子線を加速させる第1加速電極と、
前記第1加速電極の後段に配置され、複数の第2加速電極を備える加速管と、
加速電圧を発生させる加速電圧電源と、
前記第1加速電極に電圧を印加する加速電極用電源と、
補助電圧を発生させる補助電圧電源と、
前記加速電圧と前記補助電圧とが重畳された入力電圧を分圧して、前記複数の第2加速電極の各々に印加する複数の分圧用抵抗と、
を含み、
前記加速電極用電源で前記第1加速電極の電位を制御し、前記補助電圧電源で前記複数の第2加速電極のうちの1つの第2加速電極の電位を制御することによって、前記第1加速電極と前記1つの第2加速電極との間のレンズ作用を制御する、電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記引き出し電極に電圧を印加する引き出し電極用電源を含み、
前記引き出し電極用電源で前記引き出し電極の電位を制御し、前記加速電極用電源で前記第1加速電極の電位を制御することによって、前記引き出し電極と前記第1加速電極との間のレンズ作用を制御する、電子顕微鏡。 - 請求項1または2において、
前記加速電圧は、可変である、電子顕微鏡。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記補助電圧電源を制御する制御部を含み、
前記制御部は、前記加速電圧の変更に応じて前記補助電圧を設定し、前記加速電圧に前記補助電圧を重畳して前記入力電圧とする処理を行う、電子顕微鏡。 - エミッタと、
前記エミッタから電子を引き出す引き出し電極と、
前記引き出し電極の後段に配置され、前記エミッタから引き出された電子線を加速させる第1加速電極と、
前記第1加速電極の後段に配置され、複数の第2加速電極を備える加速管と、
加速電圧を発生させる加速電圧電源と、
前記引き出し電極に電圧を印加する引き出し電極用電源と、
前記第1加速電極に電圧を印加する加速電極用電源と、
補助電圧を発生させる補助電圧電源と、
前記加速電圧と前記補助電圧とが重畳された入力電圧を分圧して前記複数の第2加速電極の各々に印加する複数の分圧用抵抗と、を含む電子顕微鏡の制御方法であって、
前記引き出し電極用電源で前記引き出し電極の電位を制御し、前記加速電極用電源で前記第1加速電極の電位を制御することによって、前記引き出し電極と前記第1加速電極の間のレンズ作用を制御する工程と、
前記加速電圧を変更する工程と、
前記加速電圧の変更に応じて前記補助電圧電源を制御することによって前記複数の第2加速電極のうちの1つの第2加速電極の電位を制御して、前記第1加速電極と前記1つの第2加速電極との間のレンズ作用を制御する工程と、
を含む、電子顕微鏡の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018022129A JP7054633B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018022129A JP7054633B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019139964A JP2019139964A (ja) | 2019-08-22 |
JP7054633B2 true JP7054633B2 (ja) | 2022-04-14 |
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ID=67694252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018022129A Active JP7054633B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP7054633B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024018568A1 (ja) * | 2022-07-20 | 2024-01-25 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001243908A (ja) | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線加速装置 |
US20090085504A1 (en) | 2007-10-01 | 2009-04-02 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for controlling a charged particle beam |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6381743A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-12 | Jeol Ltd | 電界放射型電子銃 |
JP3088550B2 (ja) * | 1992-04-03 | 2000-09-18 | 日本電子株式会社 | 電界放射型電子銃 |
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2018
- 2018-02-09 JP JP2018022129A patent/JP7054633B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001243908A (ja) | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線加速装置 |
US20090085504A1 (en) | 2007-10-01 | 2009-04-02 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for controlling a charged particle beam |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019139964A (ja) | 2019-08-22 |
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