JP4790340B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図10Cは、図10BのX−X’における断面を模式的に示す図である。
また、前記半導体装置は、さらに、前記第一の電極に電気的に接続される第一のボンディングパッドと、前記第二の電極に電気的に接続される第二のボンディングパッドとを備え、前記複数の保護ダイオード部は、第一および第二のボンディングパッドと重ならない領域に設けられている。
また、前記複数の保護ダイオード部は、列状に配置される。
これにより、ボンディングパッド下等に効率よく、複数の保護ダイオード部を配置することができる。
図1Aは、実施の形態1における半導体装置が備える保護回路の平面図である。
図1Bは、図1Aに示す保護回路5のA−A’における断面を模式的に示す図である。
p型領域3bは、一定の幅でn型領域3aを囲むように形成される。同様に、n型領域3cはp型領域3bを、p型領域3dはn型領域3cを、n型領域3eはp型領域3dを一定の幅で囲むように形成される。すなわち、各領域は、上面から見ると、六角形の形状をとり、ダイオード部3は、n型領域3aを中心とし、順に外側に向かい、p型領域3b、n型領域3c、p型領域3dおよびn型領域3eとなるnpnpnの順で形成される。
同図の半導体装置は、図1Aに示した保護回路5と、トランジスタ9とを備える。
図2に示す半導体チップは、保護回路5と、トランジスタ9とを備える。保護回路5は16個の保護ダイオード部4を備え、ゲートパッド電極9bの下方に設けられる。16個の保護ダイオード部4の各電極1は、ゲートパッド電極9bと電気的に接続されている。トランジスタ9のゲートに電気的に接続されるゲート配線9aは、コンタクト電極19aを介してゲートパッド電極9bと電気的に接続される。また、16個の保護ダイオード部4の各電極2は、ソース配線20と電気的に接続され、ソース配線20は、ソース電極9cとコンタクト電極19bを介して電気的に接続される。また、トランジスタ9のゲートは、ソース電極9cの下方に、格子状に形成される。ソース電極9cはコンタクト電極19dを介して、トランジスタ9のソースと電気的に接続される。
n+半導体層11の上に形成されたn-半導体層10の上に絶縁層13が形成される。絶縁層13により、n-半導体層10と電気的に絶縁されたダイオード部3が形成される。ダイオード部3のn型領域3aの上にトランジスタ9のゲートと電気的に接続される電極1およびゲートパッド電極9bが形成される。ダイオード部3のn型領域3eの上にトランジスタ9のソースと電気的に接続される電極2が形成される。電極1と電極2との間には、絶縁層13が形成され、電極1と電極2とは、電気的に絶縁される。
図4は、実施の形態2の保護回路5を備えた半導体チップの平面図である。なお、図2と同一の要素には同一の符号が付されており、それらに関する詳しい説明はここでは省略する。
図5は、実施の形態3の保護回路5を備えた半導体チップの平面図である。なお、図4と同一の要素には同一の符号が付されており、それらに関する詳しい説明はここでは省略する。
実施の形態4における、保護回路を備える、半導体チップの平面図は図2と同様である。
実施の形態5における、保護回路を備える、半導体チップの平面図は図2と同様である。
(実施の形態6)
図8Aおよび図8Bは、実施の形態6における、保護ダイオード部4の平面図である。図8Cは、図8AのC−C’における断面を模式的に示した図である。図8Dは、図8BのD−D’における断面を模式的に示した図である。
図9Aは、実施の形態1における保護ダイオード部4を、六角形の形状から円形にした場合の、電極1および電極2の鳥瞰図である。電極1は円柱、電極2は円筒の形状をとり、電極1の一部分を電極2で囲んでいる。
3 ダイオード部
3a、3c、3e、3g、103a、103c、103e、 n型領域
3b、3d、3f、103b、103d p型領域
4 保護ダイオード部
5 保護回路
9、109 トランジスタ
9a ゲート配線
9b ゲートパッド電極
9c ソース電極
10、110 n-半導体層
11 n+半導体層
13、113 絶縁層
19a、19b、19c、19d コンタクト電極
20 ソース配線
21 配線
103 保護ダイオード
107 内部寄生抵抗
116 ゲート酸化膜
Claims (10)
- サージ電圧に対する保護回路を有する半導体装置であって、
同心状に交互に形成されたn型領域およびp型領域をそれぞれ有する複数の保護ダイオード部と、
各保護ダイオード部の内側のn型領域またはp型領域に電気的に接続される第一の電極と、
各保護ダイオード部の外側のn型領域またはp型領域に電気的に接続され、第一の電極を囲む第二の電極とを備え、
前記各第一の電極は互いに電気的に接続され、前記各第二の電極は互いに電気的に接続され、
交互に形成された前記n型領域およびp型領域は、正6角形、円形、及び楕円形のうちいずれかの同心状であり、
前記半導体装置は、さらに、
前記保護ダイオード部の上に絶縁膜を介して形成され、第一の電極に電気的に接続される第一の配線と、
前記保護ダイオード部の上に絶縁膜を介して形成され、第二の電極に電気的に接続される第二の配線とを備え、
前記第一の配線は、前記第二の電極の一部の上に絶縁膜を介して形成され、
前記第二の電極は、前記第一の電極を囲むように筒状に形成され、
前記第一の電極および前記第二の電極は、互いに絶縁膜を介して電気的に絶縁されており、
前記第一の配線および第二の配線は同一階層に形成され、
前記第一の配線は、前記第二の電極の一部に設けられた間隙を通るように形成され、
前記第二の電極は、保護ダイオード部に電気的に接続される下部電極部分と、下部電極部分の上の上部電極部分とからなり、
前記下部電極部分は、前記第一の電極を囲む筒状に形成され、
前記上部電極部分は、前記第一の電極を囲む筒状の一部に前記間隙を設けて形成される
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記各保護ダイオード部は、上、下、右斜め上、左斜め上、右斜め下、左斜め下に配置された6つの他の保護ダイオード部と隣接する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 交互に形成された前記n型領域およびp型領域は、正6角形の同心状であり、
前記複数の保護ダイオード部は、ハニカム状に配列されている
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記第一の電極は、交互に形成された前記n型領域およびp型領域の中から所望の降伏電圧に応じて選択された二つの領域のうち内側に位置する領域に電気的に接続され、
前記第二の電極は、前記二つの領域のうち外側に位置する領域に電気的に接続される
ことを特徴とする請求項1、2または3記載の半導体装置。 - 前記第一の配線および第二の配線は平坦な配線である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、さらに、
前記第一の電極に電気的に接続される第一のボンディングパッドと、
前記第二の電極に電気的に接続される第二のボンディングパッドとを備え、
前記複数の保護ダイオード部は、第一および第二のボンディングパッドと重ならない領域に設けられている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記複数の保護ダイオード部は、列状に配置される
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記半導体装置は、さらに、
前記第一の電極に電気的に接続される第一のボンディングパッドと、
前記第二の電極に電気的に接続される第二のボンディングパッドとを備え、
前記複数の保護ダイオード部は、第一または第二のボンディングパッドの下に形成される
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記複数の保護ダイオード部は、二次元状に配置される
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第一の配線または前記第二の配線のうち、少なくとも一つがボンディングパッドとして形成されている
ことを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
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