JP4786372B2 - 倣いレーザビーム振動装置及びビーム振動レーザ加工装置 - Google Patents
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(1) 被加工材面上の曲線状または直線状の加工線に沿ってレーザ加工ノズルを相対的に移動させる際に,レーザビームを振動させながら照射する倣いレーザビーム振動装置であって,レーザ加工ヘッドと移動速度検出手段とミラー駆動制御手段とを具備し,前記レーザ加工ヘッドは,レーザビームを前記被加工材面上で振動させる可動ミラーを有するミラー駆動部とレーザ加工ノズルで構成され,前記移動速度検出手段は,前記レーザ加工ノズルが前記加工線に沿って移動する際に,前記加工線上の前記レーザ加工ノズルの移動量を検出する移動量検出部,及び前記移動量を基に前記レーザ加工ノズルの移動方向と速さとからなる移動速度を得る移動速度演算部で構成され,前記ミラー駆動制御手段は,前記移動方向と速さとからなる移動速度の検出値に基づいて,前記加工線に対して所定の角度,所定の周波数,及び所定の振幅でレーザビームを2次元振動させる振動信号を生成する振動信号生成部と,該振動信号に基づいて前記可動ミラーを2次元振動させてレーザビームを振動照射するミラー駆動制御部とで構成されることを特徴とする倣いレーザビーム振動装置である。
本願第1の発明である倣いレーザビーム振動装置の一例について,レーザ切断装置における実施の形態を図1に示すブロック図を用いて説明する。なお,切断のほか溶接,焼き入れ,表面処理,または表層除去等を行うレーザ加工装置においても,同様に倣いレーザビーム装置を構成することができることは明らかである。
本実施の形態例の倣いレーザビーム振動装置は,レーザビームLBを被切断材(ワーク)W上に集光・照射してレーザスポットを形成して,切断線に直交する方法に当該レーザスポットを振動させながら切断加工するものである。本装置は,レーザビームLBとアシストガスの出射するレーザ加工ノズル7と,レーザ加工ノズル7の被切断材Wに対する移動量を検出するための移動量検出部1,及び移動量検出部1からの情報を基にレーザ加工ノズル7の移動方向と速さを算出する移動速度演算部2で構成される移動速度検出手段と,移動速度演算部2で算出された移動速度情報に基づいてレーザビームLBの振動制御信号を作成する振動信号生成部3と,さらに,振動信号生成部3からの振動制御信号を基にミラー駆動部5を制御し電力を供給するミラー駆動制御部4を備えている。
図2に切断用(加工用)の倣いレーザビーム振動装置のレーザ加工ヘッドの概略を側面図で示す。レーザ加工ヘッドは,上記のミラー駆動部5,レーザビームLBとアシストガスの出射口であるレーザ加工ノズル7,レーザビーム集光光学系8を備え,ミラー駆動部5には移動量検出部1が取付けられている。
移動速度検出手段について説明する。レーザ加工ノズル7の被切断材Wに対する平面的な移動速度を検出する移動速度検出手段は,光学式や電磁式の移動量検出部1と移動速度演算部2からなる。
振動信号生成部3は,上記で得た移動速度信号から,ミラー駆動部5内の2枚組のミラー52,53の振動周波数と振幅を制御する振動信号を設定する。具体的には,速度の情報からミラー52,53の振動周波数と振幅を,予め設定した関係式に基づいて決める。
振動信号生成部3において,2枚のミラー52,53の振動周波数,振幅,および位相を時々刻々と決定し,切断線が曲線である場合にもレーザスポットの振動方向が切断線に対して常に所定の角度,例として直交するようにする方法について詳細に述べる。具体的にはミラー52,53の振動を下記の式のように与える。すなわち,
X=A×cosθ×sin(ωt+φ) (式1)
に従って第1のミラー52を振動させ,
Y=A×sinθ×sin(ωt+φ) (式2)
に従って第2のミラー53を振動させる。ただし,Aは最大の振動振幅,ωは周波数,φは位相角である。対称性のため第1のミラー52と第2のミラー53の最大振幅Aは同じとしている。また,同期振動のため位相角φは同じとしている。つまり,位相角φ=0としても意味は変わらないので,次のように書いても良い。
X=A×cosθ×sin(ωt) (式3)
Y=A×sinθ×sin(ωt) (式4)
本願第2の発明であるビーム振動レーザビーム加工装置の一例として,ビーム振動レーザ切断装置の一例の概略を図3に示す。
上記の第1の実施の形態及び第2の実施の形態においては,移動量検出部1,101をレーザ加工ヘッドに配設して移動検出する,言わば光学マウスに類似する方式を示した。
θ=arctan(ΔY/ΔX) (式5)
により割り出す。そして,速さvを
v=(ΔX2+ΔY2)1/2/Δt (式6)
により速さを割り出す。他は上記と同様である。
vX2=aX・Δt+vX1,vY2=aY・Δt+vY1 (式7)
のように求める。ここでvX1,vY1は時間Δtだけ前の速度成分である。初期値は0である。これらより移動の方向を角度θを
θ=arctan(vY2/vX2) (式8)
また,速さvを
v=(vX22+vY22)1/2 (式9)
より割り出す。後の処理の流れは上記と同様である。
上記の第1,第2,及び第3の実施の形態においては,移動量検出部1でレーザ加工ヘッドの動きを直接的にモニタする移動検出方式を示した。
2 移動速度演算部
3 振動信号生成部
4 ミラー駆動制御部
5 ミラー駆動部
6 レーザトーチ
7 レーザ加工ノズル
8 集光レンズ
9 レーザ装置
10 レーザ加工機本体のNC装置
11 幅方向伸縮機構
12 長手方向移動台車
13 レール
51 ミラーボックス
52,53 ミラー
54 ガルバノモータ
55 ミラー台
71 アシストガス供給口
101 光学マウスセンサを用いた移動量検出部
102 レーザ距離計を用いた移動量検出部
103 加速度センサーを用いた移動量検出部
104 回転検出用ギア
105 ラック
106 ロータリーエンコーダ
LB レーザビーム
W ワーク(被切断材)
Claims (7)
- 被加工材面上の曲線状または直線状の加工線に沿ってレーザ加工ノズルを相対的に移動させる際に,レーザビームを振動させながら照射する倣いレーザビーム振動装置であって,
レーザ加工ヘッドと移動速度検出手段とミラー駆動制御手段とを具備し,
前記レーザ加工ヘッドは,レーザビームを前記被加工材面上で振動させる可動ミラーを有するミラー駆動部とレーザ加工ノズルで構成され,
前記移動速度検出手段は,前記レーザ加工ノズルが前記加工線に沿って移動する際に,前記加工線上の前記レーザ加工ノズルの移動量を検出する移動量検出部,及び前記移動量を基に前記レーザ加工ノズルの移動方向と速さとからなる移動速度を得る移動速度演算部で構成され,
前記ミラー駆動制御手段は,前記移動方向と速さとからなる移動速度の検出値に基づいて,前記加工線に対して所定の角度,所定の周波数,及び所定の振幅でレーザビームを2次元振動させる振動信号を生成する振動信号生成部と,該振動信号に基づいて前記可動ミラーを2次元振動させてレーザビームを振動照射するミラー駆動制御部とで構成されることを特徴とする倣いレーザビーム振動装置。 - 前記移動量検出部は,光源,被加工材表面の画像を得る撮像素子,及び前記画像から移動量を演算する画像処理部で構成されることを特徴とする請求項1に記載の倣いレーザビーム振動装置。
- 前記移動量検出部は,レーザ光源とPSDの組み合わせ,レーザ距離計,またはCCD距離計のうちの一つまたは複数の組み合わせで構成されることを特徴とする請求項1に記載の倣いレーザビーム振動装置。
- 前記移動速度検出手段は,加速度センサとジャイロスコープの両方またはいずれか一方を具備することを特徴とする請求項1に記載の倣いレーザビーム振動装置。
- 前記移動速度検出手段は,ロータリーエンコーダを具備することを特徴とする請求項1に記載の倣いレーザビーム振動装置。
- 被加工材面上の加工線に沿ってレーザビームを振動させながら照射するレーザビーム加工装置であって,
請求項1〜請求項5のうちの一項に記載の倣いレーザビーム振動装置に加えて,レーザビームを被加工材上に集光照射するレーザ加工ヘッドが,予め設定した加工線に沿って倣いながらレーザ加工するレーザビーム倣い手段を具備することを特徴とするビーム振動レーザビーム加工装置。 - 被加工材面上をレーザビームを振動させながら照射するレーザビーム加工装置であって,
請求項1〜請求項5のうちの一項に記載の倣いレーザビーム振動装置に加えて,レーザビームを被加工材上に集光照射するレーザ加工ヘッドが,手動またはリアルタイムに指示される被加工材上の加工線に沿って相対移動する手段を具備することを特徴とするビーム振動レーザビーム加工装置。
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