JP4755374B2

JP4755374B2 - ダイヤフラム真空ポンプ

Info

Publication number: JP4755374B2
Application number: JP2001518590A
Authority: JP
Inventors: ハウザーエルヴィン; ベッカーエーリッヒ
Original assignee: KNF Neuberger GmbH
Current assignee: KNF Neuberger GmbH
Priority date: 1999-08-26
Filing date: 2000-07-14
Publication date: 2011-08-24
Anticipated expiration: 2020-07-14
Also published as: JP2003507658A; EP1206641A1; DE19940498A1; US6796215B1; DE50010984D1; TW482873B; WO2001014744A1; EP1206641B1

Description

【０００１】
本発明は、ダイヤフラム真空ポンプであって、圧送室を仕切る作業ダイヤフラムと、該作業ダイヤフラムの、圧送室とは反対の側に配置された付加ダイヤフラムと、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとの間に設けられたダイヤフラム中間室と、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとを同じ形式で振動運動させるためのポンプ駆動装置とが設けられており、ダイヤフラム中間室が、該ダイヤフラム中間室を放圧するために、少なくとも１つの吸出し通路に接続されている形式のものに関する。
【０００２】
ダイヤフラムポンプのダイヤフラムの構成では、剛性と弾性との間に最適な状態を達成することが目標とされている。ダイヤフラムの高い弾性は、ダイヤフラム応力を可能な限り低く保持するために必要となるのに対して、ダイヤフラムが、ダイヤフラム上面とダイヤフラム下面との間に生ぜしめられる差圧負荷下で膨出せず、したがって、吸込み室容積が減少しないかまたは逆にすきま容積が増大しないように同時に高い剛性も目標とされ得る。
【０００３】
ダイヤフラム真空ポンプにおける吸込み室容積の前述した減少は特に比較的低い真空範囲で生ぜしめられる。この範囲では、ダイヤフラム上面とダイヤフラム下面との間に大きな圧力差が生ぜしめられる。ダイヤフラム下面を一般的に大気圧が負荷している間、ダイヤフラム上面にはその都度の排気圧が作用している。この場合、最大の圧力差は、大気圧とダイヤフラムポンプの最終圧との差から得られる。
【０００４】
慣用のダイヤフラムポンプの通常のダイヤフラムの場合、特にダイヤフラムポンプが最終圧の範囲で作業しかつダイヤフラムを大きな圧力差が負荷している場合には、フレキシブルなダイヤフラムの側方の弾性的な領域が大気圧によって圧送室の方向に膨出されることを確認することができる。ダイヤフラムのこの「膨出」によって、吸込み室容積は著しく減少させられる。このことは、ダイヤフラムポンプの吸込み能にネガティブな影響を与える。
【０００５】
２段式のかつ多段式のダイヤフラムポンプにおけるこの形状変化は低い最終圧によって特に明白である。このポンプでは、比較的低い真空段が最も強く該当している。なぜならば、ここでは、最大の圧力差が生ぜしめられるからである。
【０００６】
ダイヤフラムの所望の弾性と所要の剛性との間に最適な状態を達成するために、過去には相変わらず多かれ少なかれ良好な妥協解決手段が提供されていた。この場合、良好な吸込み能は、高いダイヤフラム応力の甘受下でしか達成することができなかった。
【０００７】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第４０２６６７０号明細書に基づき、すでにダイヤフラムポンプが公知である。このダイヤフラムポンプは接続管路を介してダイヤフラムポンプのクランク室に接続されている。圧力差を作業ダイヤフラムの両側で少なくとも減少させることができるかまたは全く助成することができないようにするためにかつ作業ダイヤフラムを差圧に基づく付加的な負荷にさらさないために、この公知のダイヤフラムポンプのクランク室はダイヤフラムポンプの吸込み側に接続されている。
【０００８】
しかし、実際には、前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第４０２６６７０号明細書に基づき公知のダイヤフラムポンプは達成することができなかった。なぜならば、クランク室内に位置するクランクシャフトへの駆動力の伝達と、クランク室とポンプの吸込み側との接続とに、付加的な軸封部が必要となるからである。しかし、このような軸封部は、十分な摩擦損失と、より高い摩耗と、付加的な出力要求とに関連している。さらに、クランク室内の真空はコネクティングロッド軸受けにおける軸受けグリースのガス発生も生ぜしめ得るので、玉軸受けは場合によっては空運転している。さらに、クランク室内の軸受けグリースが接続管路を介して真空側で圧送流内に到達し得るので、圧送媒体が汚染される危険がある。
【０００９】
ドイツ連邦共和国特許第４３２０９６３号明細書に基づき、ハイブリッドポンプとして形成された二重容積形ポンプに流路内で後置されているターボ分子ポンプを備えた多段式の圧送装置がすでに公知である。ハイブリッドポンプは媒体流入側に行程ピストンポンプを有している。この行程ピストンポンプには、圧送媒体を吐き出すダイヤフラムポンプが後置されている。行程ピストンポンプのシリンダ室はクランク室に対してシールダイヤフラムによって閉鎖されている。この場合、行程ピストンポンプとシールダイヤフラムとの間に設けられた中間室は吸出し管路に接続されている。この吸出し管路は圧送流方向で見て行程ピストンポンプの吸込み弁の手前で開口している。
【００１０】
この公知の行程ピストンポンプは行程ピストンを有しているので、この公知のポンプは、弾性的なダイヤフラムによって圧力差負荷時に生ぜしめられる問題をはらんでいない。むしろ、この公知の行程ピストンポンプでは、行程ピストンもしくは行程ピストンに所属のシールスリーブとシールダイヤフラムとの間の中間室が、特にこの公知のポンプ装置の始動時に、行程ピストンポンプの行程室から中間室内への望ましくない溢流が排除されるかまたは十分に回避されるように即座に排気されるようになっており、したがって、ポンプ装置全体は始動時により迅速に運転準備されている。
【００１１】
ドイツ連邦共和国特許第４３２８５５９号明細書に基づき、冒頭で述べた形式のダイヤフラムポンプがすでに公知である。このダイヤフラムポンプは、作業ダイヤフラムと、付加ダイヤフラムと、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとの間に設けられたダイヤフラム中間室とを有している。このダイヤフラム中間室には吸出し通路が開口している。この吸出し通路によって、この吸出し通路が再び閉鎖される前にダイヤフラム中間室をより低い圧力にもたらすことが可能となる。
さらに、フランス国特許出願公開第１２９２２５４号明細書に基づき、ダイヤフラム圧縮機が公知である。このダイヤフラム圧縮機は作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとを有している。この作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとはダイヤフラム中間室を仕切っている。公知のダイヤフラム圧縮機は、圧力下にある流入通路を有している。この流入通路はダイヤフラム中間室に接続されている。流入通路によってダイヤフラム中間室内に圧力が形成される。この圧力は作業ダイヤフラムを支持するようになっていて、大気圧と吐出し圧との間に位置している。ダイヤフラム中間室内で目標とされる圧力を調整しかつ圧縮機の吐出側に加えられる圧力を相応に減少させることができるようにするために、流入通路内にノズルが介在されている。前記フランス国特許出願公開第１２９２２５４号明細書に基づき公知の圧縮機では単に放圧さえも目標とされていない。
【００１２】
したがって、特に本発明の課題は、冒頭で述べた形式のダイヤフラムポンプを改良して、作業ダイヤフラムの弾性が高い場合でも高い吸込み容積によって特徴付けられていて、しかも、圧送媒体の望ましくない不純物が可能な限り回避されるような、僅かな手間で製作可能なダイヤフラムポンプを提供することである。
【００１３】
この課題の本発明による解決手段は、冒頭で述べた形式のダイヤフラム真空ポンプにおいて、現行の請求項１の特徴部に記載されている。
【００１４】
本発明によるダイヤフラムポンプでは、ダイヤフラム中間室が、少なくとも１つの吸出し通路を介して当該ダイヤフラムポンプの吸込み側にニューマチック的に接続されている。したがって、ダイヤフラム中間室は、吸込み段階の間に作業ダイヤフラムの上面と作業ダイヤフラムの下面とを常に同じ圧力が支配しているように連続的に排気される。したがって、この段階では、作業ダイヤフラムのダイヤフラム上面とダイヤフラム下面との間に圧力差は作用していないので、作業ダイヤフラムは圧送室の方向に膨出し得ず、吸込み室容積の望ましくない減少は回避される。より大きな吸込み室容積によって、吸込み段階での吸込み能を向上させることができる。このことは、最終圧付近に位置する圧力範囲もしくは吸込み能範囲に特にポジティブな影響を与える。圧力差は、ダイヤフラムポンプの吸込み能にネガティブな影響を与え得ない付加ダイヤフラムにしか作用しない。
【００１５】
本発明によるダイヤフラムポンプの作業ダイヤフラムを差圧が負荷していないので、作業ダイヤフラムの前記「膨出」を恐れる必要なしに、作業ダイヤフラムを高弾性的に形成することができる。作業ダイヤフラムを弾性的に形成することによって、ダイヤフラム応力は著しく低下する。これによって、ダイヤフラム耐用年数も著しく増加する。さらに、揉み作業時に生ぜしめられる剪断応力を低下させることができるとと共にポンプの効率を改善することができ、ダイヤフラムの膨出に基づく排気遅れは回避される。
【００１６】
弾性的な作業ダイヤフラムによって、本発明によるダイヤフラムポンプのダイヤフラム行程も増大させることができる。これによって、再度の吸込み能向上自体をほぼ同じ寸法のまま達成することができる。作業ダイヤフラムのダイヤフラム下面に大気圧は作用しておらず、したがって、作業ダイヤフラムはもはやポンプヘッドにおいて騒々しく圧送室に当接しないので、本発明によるダイヤフラムポンプでは、騒音発生は著しく低減される。このことは、特にサクションポンプとして医学技術において使用したいダイヤフラムポンプで有効となる。
【００１７】
本発明によるダイヤフラムポンプでは、クランク室ではなく、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとの間に設けられたダイヤフラム中間室しかポンプの吸込み側に接続されておらず、さらに、本発明によるダイヤフラムポンプでは、クランク室が、たとえば大気圧下にあってもよいので、クランクシャフトの領域における特別な軸封部は不要となる。さらに、圧送流内への軸受けグリースの侵入は見込まれ得ないので、圧送媒体の望ましくない不純物は確実に回避される。
【００１８】
本発明による特に簡単な構成では、ダイヤフラム中間室が、少なくとも１つの吸出し通路を介して圧送室に対して平行にポンプ入口にニューマチック的に接続されている。この構成では、ポンプが、一方ではポンプ入口を介してかつ他方では吸出し通路を介してダイヤフラム中間室から媒体を吸い込む。
【００１９】
これに対して、本発明による改良形では、ポンプ入口が、ダイヤフラム中間室と吸出し通路とを介して圧送室にニューマチック的に接続されている。本発明による改良されたこの構成では、ポンプ内部に設けられた吸込み路が、ポンプ入口からダイヤフラム中間室と、少なくとも１つの吸出し通路と、入口弁とを介して圧送室にまで延びている。
【００２０】
この場合、本発明による別の構成は、ダイヤフラム中間室内に少なくとも１つの吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメントが設けられている点で、保護に値する固有の利点を提供している。吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメントがダイヤフラム中間室内に配置されているダイヤフラムポンプは特にコンパクトに形成され得る。
【００２１】
ダイヤフラムの望ましくないフラッタと騒音発生とに付加的に対抗するためには、吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメントが、弾性的な材料から製作されていて、一方では作業ダイヤフラムによって負荷されていて、他方では付加ダイヤフラムによって負荷されていると有利である。
【００２２】
この場合、本発明による特に有利な構成では、吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメントが、ダイヤフラム中間室をほぼ満たしている。
【００２３】
ダイヤフラム中間室内に設けられた吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメントが、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとの間に配置された開放気泡性のフォーム材料エレメントとして形成されていると、製作手間が特に僅かとなる。
【００２４】
ダイヤフラム上面に加えられる圧力が連続的に大気圧の方向に増加する場合の吐出し段階での弾性的な作業ダイヤフラムの膨出にも対抗するために、本発明による有利な構成では、作業ダイヤフラムに、形状安定性のあるダイヤフラム支持部が対応配置されており、該ダイヤフラム支持部が、ポンプ駆動装置のコネクティングロッドに保持されていて、作業ダイヤフラムをダイヤフラム裏面の少なくとも中央領域で形状適合されて支持している。
【００２５】
２段式のダイヤフラムポンプでは、第１段の引渡し圧が大気圧を著しく下回っている。すなわち、吐出し段階では、作業ダイヤフラムのダイヤフラム上面に加えられる圧力が僅かしか増加しない。したがって、本発明によるダイヤフラムポンプが、多段式、特に２段式のポンプまたはポンプ設備の第１段を形成していると特に有利である。
【００２６】
本発明による別の構成によれば、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとが、互いに一体に結合されていて、これによって、二重ダイヤフラムを形成していることが、保護に値する固有の利点となっている。この場合、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとが、中央の中間片を介して互いに一体に結合されており、該中間片が、圧送室とは反対の側に、ポンプ駆動装置のコネクティングロッドに結合された形状適合された固定部材を挿入するための固定開口を有していると有利である。
【００２７】
作業ダイヤフラムが、成形ダイヤフラムとして形成されていると特に有利である。この成形ダイヤフラムの圧送室側のダイヤフラム上面は、圧送室の、ポンプヘッドによって予め規定された輪郭にポンプの上死点で形状適合されている。
【００２８】
本発明のさらなる特徴は、特許請求の範囲および図面の簡単な説明に関連した本発明による以下の実施例の説明から得られる。個々の特徴は、それぞれ単独でまたはまとめられて本発明による構成において実現することができる。
【００２９】
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００３０】
これまで知られているダイヤフラムポンプでは、剛性と弾性との間に最適な状態を達成することが目標とされている。ダイヤフラムの高い弾性は、ダイヤフラム応力が可能な限り低く保持されるために必要である。高い真空範囲では特にダイヤフラム上面とダイヤフラム下面との間に大きな圧力差が生ぜしめられる。ダイヤフラム上面をその都度の排気プロセス圧が負荷している間、ダイヤフラム下面には一般的に大気圧が作用している。図６および図７に示したように、平形ダイヤフラムを備えた慣用のダイヤフラムポンプ（図６参照）および成形ダイヤフラムを備えた慣用のダイヤフラムポンプ（図７参照）では、作業ダイヤフラム１の特に弾性的な側方の環状領域が大気圧によって吸込み段階の間に圧送室２の方向に膨出される。この「膨出」によって吸込み室容積が減少し、これによって、ポンプ１０６，１０７の吸込み能が低下する。
【００３１】
これに対して、図１〜図５に示したダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５は、圧送室２を仕切る高弾性的な作業ダイヤフラム１の他に付加ダイヤフラム３も有している。この場合、作業ダイヤフラム１と付加ダイヤフラム３との間にはダイヤフラム中間室４が設けられている。外側の環状領域でポンプケーシング５内に不動に緊締された両ダイヤフラム１，３はその中央領域でポンプ駆動装置のコネクティングロッドに作用している。ポンプ駆動装置は、作業ダイヤフラム１と付加ダイヤフラム２とを上死点と下死点との間で同じ形式で振動往復運動させる。ポンプ駆動装置のコネクティングロッドのうち、ここでは、コネクティングロッドヘッド６しか図示されていない。
【００３２】
図１〜図５から分かるように、ポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５に設けられたダイヤフラム中間室４は、吸出し通路７を介してダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５の吸込み側に接続されている。このためには、図１、図３および図５に示したダイヤフラムポンプ１０１，１０３，１０５において、ダイヤフラム中間室４が、吸出し通路７を介して圧送室２に対して平行にポンプ入口８にニューマチック的に接続されている。
【００３３】
これに対して、図２および図４に示したダイヤフラムポンプ１０２，１０４では、ポンプ入口８がダイヤフラム中間室４と吸出し通路７とを介して圧送室２にニューマチック的に接続されている。
【００３４】
ここに図示したダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５では、ダイヤフラム中間室４が、少なくとも１つの吸出し通路７を介してダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５の吸込み側にニューマチック的に接続されているので、ダイヤフラム中間室４は、吸込み段階の間に作業ダイヤフラム１の上面と作業ダイヤフラム１の下面とを常に同じ圧力が支配しているように連続的に排気される。したがって、吸込み段階では、作業ダイヤフラム１のダイヤフラム上面とダイヤフラム下面との間に圧力差は作用していないので、作業ダイヤフラム１は圧送室２の方向に膨出し得ず、吸込み室容積の望ましくない減少は回避される。より大きな吸込み室容積によって、吸込み段階での吸込み能を向上させることができる。このことは、特に最終圧付近に位置する圧力範囲もしくは吸込み能範囲に影響を与える。圧力差は、ダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５の吸込み能にネガティブな影響を与え得ない付加ダイヤフラム３にしか作用しない。ダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５の作業ダイヤフラム１を差圧が負荷していないので、作業ダイヤフラム１の前記「膨出」を恐れる必要なしに、作業ダイヤフラム１を高弾性的に形成することができる。
【００３５】
図４に示したように、ダイヤフラムポンプ１０４のダイヤフラム中間室４内には吸込みフィルタ・騒音減衰エレメント９が設けられている。この吸込みフィルタ・騒音減衰エレメント９は弾性的な材料、たとえば開放気泡性のフォーム材料から製作されていて、一方では作業ダイヤフラム１によって負荷され、他方では付加ダイヤフラム３によって負荷される。ダイヤフラム中間室４をほぼ満たして吸込みフィルタ・騒音減衰エレメント９は環状に形成されている。この場合、この吸込みフィルタ・騒音減衰エレメント９の環状開口１０は、コネクティングロッドの、両ダイヤフラム１，３を互いに結合しているコネクティングロッドヘッド６によって貫通される。ダイヤフラム中間室４内に設けられた吸込みフィルタ・騒音減衰エレメント９によって、部材を省略することができると同時にスペースを節約することができ、ダイヤフラムポンプ１０４を特にコンパクトに形成することができる。
【００３６】
図５に示したように、ダイヤフラムポンプ１０５の作業ダイヤフラム１には、形状安定性のあるダイヤフラム支持部１１が対応配置されている。このダイヤフラム支持部１１はコネクティングロッドのコネクティングロッドヘッド６に保持されている。図１〜図５に示した１段式のダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５では、吸込み室容積を増加させるために、吸込み段階では、ダイヤフラム中間室４が適切に使用されるのに対して、ダイヤフラム上面に加えられる圧力が連続的に大気圧の方向に増加する場合の吐出し段階では、ダイヤフラム支持部１１が使用される。このダイヤフラム支持部１１は、ダイヤフラムポンプ１０５の作業ダイヤフラム１をダイヤフラム裏面の少なくとも中央領域で形状適合されて支持している。これによって、すきま容積が小さく保持される。
【００３７】
図１、図２、図４および図５に示したダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０４，１０５では、両ダイヤフラム１，２が中央の保持開口１２，１３の領域でコネクティングロッドのコネクティングロッドヘッド６に不動に緊締されている。ポンプ１０１，１０２，１０４，１０５の付加ダイヤフラム３だけでなく作業ダイヤフラム１も平形ダイヤフラムとして形成されている。
【００３８】
これに対して、図３に示したダイヤフラムポンプ１０３の作業ダイヤフラム１は成形ダイヤフラムとして形成されている。作業ダイヤフラム１はダイヤフラムポンプ１０３の付加ダイヤフラム３に中央の中間片１４を介して一体に結合されており、これによって、二重ダイヤフラム１５が形成されている。図３から分かるように、この二重ダイヤフラム１５の中間片１４は、圧送室２とは反対の側に、アンダカットされた固定開口を有している。この固定開口内には、ポンプ駆動装置のコネクティングロッドに結合された形状適合された固定部材１６が挿入されている。作業ダイヤフラム１の高い弾性にもかかわらず、ダイヤフラムポンプ１０１，１０２，１０３，１０４，１０５は、吸込み段階で比較的高弾性の作業ダイヤフラム１の膨出を恐れる必要なしに高い吸込み能によって特徴付けられている。
【図面の簡単な説明】
【図１】作業ダイヤフラムと、付加ダイヤフラムと、両ダイヤフラムの間に設けられたダイヤフラム中間室とを備えたダイヤフラムポンプを示す図であり、この場合、ダイヤフラム中間室が吸出し通路を介して圧送室に対して平行にポンプ入口に接続されている。
【図２】図１に示したダイヤフラムポンプに類似のダイヤフラムポンプを示す図であり、この場合、圧送室が吸出し通路とダイヤフラム中間室とを介してポンプ入口にニューマチック的に接続されている。
【図３】図１に示したダイヤフラムポンプに類似のダイヤフラムポンプを示す図であり、この場合、作業ダイヤフラムと付加ダイヤフラムとが一体に結合されていて、これによって、二重ダイヤフラムを形成している。
【図４】図２に示したダイヤフラムポンプを示す図であり、この場合、ダイヤフラム中間室をほぼ満たしかつ両側で両ダイヤフラムによって負荷される開放気泡性のフォーム材料から成る吸込みフィルタ・騒音減衰エレメントが設けられている。
【図５】図１に示したダイヤフラムポンプに類似のダイヤフラムポンプを示す図であり、この場合、作業ダイヤフラムを吐出し段階で支持している形状安定性のあるダイヤフラム支持部が作業ダイヤフラムに対応配置されている。
【図６】吸込み段階の間に作用する差圧負荷下で膨出する平形ダイヤフラムを備えた、公知先行技術に所属するダイヤフラムポンプを示す図である。
【図７】図６と同様に膨出する成形ダイヤフラムを備えた、同じく公知先行技術に所属するダイヤフラムポンプを示す図である。
【符号の説明】
１作業ダイヤフラム、２圧送室、３付加ダイヤフラム、４ダイヤフラム中間室、５ポンプケーシング、６コネクティングロッドヘッド、７吸出し通路、８ポンプ入口、９吸込みフィルタ・騒音減衰エレメント、１０環状開口、１１ダイヤフラム支持部、１２保持開口、１３保持開口、１４中間片、１５二重ダイヤフラム、１６固定部材、１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７ダイヤフラムポンプ

Claims

ダイヤフラム真空ポンプ（１０１，１０２，１０３，１０４，１０５）において、圧送室（２）を仕切る作業ダイヤフラム（１）と、該作業ダイヤフラム（１）の、圧送室（２）とは反対の側に配置された付加ダイヤフラム（３）と、作業ダイヤフラム（１）と付加ダイヤフラム（３）との間に設けられたダイヤフラム中間室（４）と、作業ダイヤフラム（１）と付加ダイヤフラム（３）とを同じ形式で振動運動させるためのポンプ駆動装置とが設けられており、前記ダイヤフラム真空ポンプが、多段式のポンプまたはポンプ設備の第１段を形成しており、ダイヤフラム中間室（４）が、排気のためにかつ吸込み段階の間に作業ダイヤフラム（４）の上面および下面に同じ圧力を常に形成するために、少なくとも１つの吸出し通路（７）を介して当該ダイヤフラム真空ポンプの吸込み側に接続されており、作業ダイヤフラム（１）が、振動運動の上死点と下死点とで伸ばされるようになっており、作業ダイヤフラム（１）と付加ダイヤフラム（３）とが、互いに一体に結合されていて、これによって、二重ダイヤフラム（１５）を形成しており、作業ダイヤフラム（１）と付加ダイヤフラム（３）とが、中央の中間片（１４）を介して互いに一体に結合されており、該中間片（１４）が、圧送室（２）とは反対の側に、前記ポンプ駆動装置のコネクティングロッドに結合された形状適合された固定部材（１６）を挿入するための固定開口を有していることを特徴とする、ダイヤフラム真空ポンプ。
ダイヤフラム中間室（４）が、少なくとも１つの吸出し通路（７）を介して圧送室（２）に対して平行にポンプ入口（８）に接続されている、請求項１記載のダイヤフラム真空ポンプ。
ポンプ入口（８）が、ダイヤフラム中間室（４）と吸出し通路（７）とを介して圧送室（２）に接続されている、請求項１記載のダイヤフラム真空ポンプ。
ダイヤフラム中間室（４）内に少なくとも１つの吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメント（９）が設けられている、請求項３記載のダイヤフラム真空ポンプ。
吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメント（９）が、弾性的な材料から製作されていて、作業ダイヤフラム（１）および付加ダイヤフラム（３）のフラッタと騒音発生とを阻止するために、一方では作業ダイヤフラム（１）によって負荷されていて、他方では付加ダイヤフラム（３）によって負荷されている、請求項４記載のダイヤフラム真空ポンプ。
吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメント（９）が、ダイヤフラム中間室（４）をほぼ満たしている、請求項４または５記載のダイヤフラム真空ポンプ。
吸込みフィルタエレメントおよび／または騒音減衰エレメント（９）が、作業ダイヤフラム（１）と付加ダイヤフラム（３）との間に配置された開放気泡性のフォーム材料エレメントとして形成されている、請求項４から６までのいずれか１項記載のダイヤフラム真空ポンプ。
作業ダイヤフラム（１）に、形状安定性のあるダイヤフラム支持部（１１）が対応配置されており、該ダイヤフラム支持部（１１）が、ポンプ駆動装置のコネクティングロッドに保持されていて、作業ダイヤフラム（１）をダイヤフラム裏面の少なくとも中央領域で形状適合されて支持している、請求項１から７までのいずれか１項記載のダイヤフラム真空ポンプ。
作業ダイヤフラム（１）が、成形ダイヤフラムとして形成されている、請求項１から８までのいずれか１項記載のダイヤフラム真空ポンプ。