JP4724893B2 - 固体撮像素子およびその画素信号処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、CMOS型撮像素子や増幅型撮像素子に代表されるX−Yアドレス型の固体撮像素子およびその画素信号処理方法に関し、特に画素信号を電流で出力する電流出力方式の固体撮像素子およびその画素信号を処理するための処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
画素信号を電流で出力する構成の固体撮像素子、例えばCMOS型撮像素子の従来例の構成を図8に示す。
【0003】
図8において、単位画素101は、フォトダイオード102、増幅用トランジスタ103、垂直選択用トランジスタ104およびリセット用トランジスタ105によって構成されている。この単位画素101がX方向(列方向)およびY方向(行方向)に配列されている。なお、ここでは、図面の簡略化のために、m行n列の画素のみを示している。
【0004】
この単位画素101において、垂直選択用トランジスタ104のゲート電極には垂直走査回路106から垂直選択線107を通して垂直走査パルスφVmが与えられ、リセット用トランジスタ105のゲート電極には垂直走査回路106から垂直リセット線108を通して垂直リセットパルスφVR mが与えられる。また、フォトダイオード102で光電変換された信号電荷は増幅用トランジスタ103で信号電流に変換され、垂直選択用トランジスタ104を通して垂直信号線109に出力される。
【0005】
垂直信号線109と水平信号線110との間には、水平選択用トランジスタ111が接続されている。この水平選択用トランジスタ111のゲート電極には、水平走査回路112から水平走査パルスφHnが与えられる。これにより、画素101から垂直信号線109に出力された信号電流は、水平選択用トランジスタ111を通して水平信号線110に流れる。
【0006】
水平信号線110の端部には、電流電圧変換回路113が設けられている。この電流電圧変換回路113は、反転(−)入力端が水平信号線110に接続された差動アンプ114と、この差動アンプ114の反転入力端と出力端との間に接続された帰還抵抗115とからなり、差動アンプ114の非反転(+)入力端にバイアス電圧VBiasが与えられた構成となっており、水平信号線110を通して入力される信号電流を信号電圧に変換して出力する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の従来のMOS型撮像素子において、電流電圧変換回路113を画素部と同一の半導体基板上に作製してオンチップ化する場合は、その電流電圧変換回路113の電源電圧VDDが通常5Vとか3Vのような単一電源電圧になる。そのため、電流電圧変換回路113として、上述したような差動アンプ114および帰還抵抗115で構成された回路構成のものを使用すると、その回路が十分な出力電圧レンジを確保するには、バイアス電圧VBiasを電源電圧VDDの約半分に設定しなければならない。
【0008】
このように、電流電圧変換回路113のバイアス電圧VBiasを電源電圧VDDの約1/2に設定すると、画素101から信号電流が出力されている状態の垂直信号線109および水平信号線110の各電位が、バイアス電圧VBiasとほぼ同じ電圧、即ち電源電圧VDDの約1/2になるため、画素101中の増幅用トランジスタ103のドレイン‐ソース間には、やはり電源VDDと信号線109,110の電位差分の電圧(電源電圧VDDの約1/2)しかかからなくなる。なお、ここでは、垂直選択用トランジスタ104と水平選択用トランジスタ111の電圧降下分を無視して論議している。
【0009】
すると、電源電圧VDDが例えば3.0Vであるとすると、増幅用トランジスタ103のドレイン‐ソース間には1.5Vしかかからなくなるため、増幅用トランジスタ103がその相互コンダクタンスgm の低いところで動作することになり、フォトダイオード102の信号電圧を十分な増幅率で信号電流に変換できず、結果として撮像素子の感度が低下することになってしまう。
【0010】
また、同じ従来例でも、感度を向上するために、単位画素101中の増幅用トランジスタ103のドレイン‐ソース間に、より高い電圧がかかるように垂直信号線109および水平信号線110の各電位を下げるという方法がある。そのためには、電流電圧変換回路113のバイアス電圧VBiasを下げることになり、差動アンプ114の入出力特性の良好でない部分を使うことになる。
【0011】
電流電圧変換回路113のバイアス電圧VBiasを下げることは、図4に示す差動アンプの入出力特性図において、IN+=1/2*VDDからIN+=1/4*VDDの方に変化させることに相当する。この入出力特性に重ねて書き込まれているIN−=OUTの点線は、電流電圧変換回路113において信号電流がゼロのときの動作点を示すための線であり、IN+=1/4*VDDの条件では、丸印で囲まれた太い実線が画素信号電流ゼロから飽和までの入出力特性(Rout)になる。
【0012】
ここで、丸印で囲まれた入出力特性の部分に注目すると、入出力特性が直線でないことから、リニアリティーが損なわれている上に利得が低い様子がわかる。すなわち、画素の感度を向上しようとして電流電圧変換回路113のバイアス電圧VBiasを無理に調整した結果、電流電圧変換回路113のリニアリティーと利得が悪化してしまうことを示している。
【0013】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電流電圧変換回路のリニアリティーを維持したまま、画素の増幅率(感度)を向上することが可能な固体撮像素子およびその画素信号処理方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、画素が行列状に配置され、各画素の画素信号を電流として信号線に出力し、この信号線に出力された信号電流を信号電圧に変換して出力する構成の固体撮像素子であり、カレントミラー回路は、画素トランジスタと同極性(N型またはP型)でかつ両特性が同じトランジスタ対からなり、前記トランジスタ対がN型である第1導電型トランジスタのときに前記信号電流の範囲内で入力電圧が低い状態になるようにトランジスタ対の閾値電圧が設定され、トランジスタ対がP型である第2導電型トランジスタのときに信号電流の範囲内で入力電圧が高い状態になるようにトランジスタ対の閾値電圧が設定されることを特徴としている。
【0015】
このように、信号線と電流電圧変換手段との間に設けられたカレントミラー回路のトランジスタ対が第1導電型(N型)トランジスタのときに信号電流の範囲内で入力電圧が低い状態になるようにトランジスタ対の閾値電圧を設定し、カレントミラー回路のトランジスタ対が第2導電型(P型)トランジスタのときに信号電流の範囲内で入力電圧が高い状態になるようにトランジスタ対の閾値電圧を設定すると、カレントミラー回路の出力電圧を入力電圧より高くしても、カレントミラー回路の入出力電圧は同じになる。
これにより、電流電圧変換手段では、信号電流を信号電圧に変換する際に、リニアリティの良好な入出力特性を使うことができるとともに、同時に画素のトランジスタに大きな電圧をかけることも可能となる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る電流出力方式の例えばCMOS型撮像素子を示す構成図である。
【0017】
図1において、単位画素11は、フォトダイオード12、増幅用トランジスタ13、垂直選択用トランジスタ14およびリセット用トランジスタ15によって構成されている。これら画素トランジスタ13〜15として、本例では、NchMOSトランジスタが用いられている。この単位画素11がX方向(列方向)およびY方向(行方向)に配列されて画素部を構成している。なお、ここでは、図面の簡略化のために、m行n列の画素のみを示している。
【0018】
この単位画素11において、垂直選択用トランジスタ14のゲート電極には垂直走査回路16から垂直選択線17を通して垂直走査パルスφVmが与えられ、リセット用トランジスタ15のゲート電極には垂直走査回路16から垂直リセット線18を通して垂直リセットパルスφVR mが与えられる。また、フォトダイオード12で光電変換された信号電荷は増幅用トランジスタ13で信号電流に変換され、垂直選択用トランジスタ14を通して垂直信号線19に出力される。
【0019】
垂直信号線19と水平信号線20との間には、水平選択用トランジスタ21が接続されている。この水平選択用トランジスタ21のゲート電極には、水平走査回路22から水平走査パルスφHnが与えられる。これにより、画素11から垂直信号線19に出力された信号電流は、水平選択用トランジスタ21を通して水平信号線20に流れる。水平信号線20の一方の端部には、カレントミラー回路23を介して電流電圧変換回路24が接続されている。
【0020】
このように、水平信号線20と電流電圧変換回路24との間にカレントミラー回路23を介在せしめた点が、本発明の特徴とするところである。カレントミラー23は、ドレインおよびゲートが水平信号線20に共通に接続され、かつソースがグランドに接続されたNchMOSトランジスタ25と、このMOSトランジスタ25とゲートが共通に接続され、かつソースがグラントに接続されたNchMOSトランジスタ26とから構成されている。両MOSトランジスタ25,26としては同じ特性のものが用いられる。
【0021】
電流電圧変換回路24は、反転(−)入力端がカレントミラー回路23のMOSトランジスタ26のドレインに接続された差動アンプ27と、この差動アンプ27の反転入力端と出力端との間に接続された帰還抵抗28とからなり、差動アンプ27の非反転(+)入力端にバイアス電圧VBiasが与えられた構成となっており、水平信号線20からカレントミラー回路26を通して入力される信号電流を信号電圧に変換して出力する。
【0022】
図2に、電流電圧変換回路24における差動アンプ27の具体的な回路構成の一例を示す。本例に係る差動アンプ27は、ソースが共通に接続されたNchMOSトランジスタからなる差動対トランジスタQ11,Q12と、そのソース共通接続点とグランドの間に接続されたNchMOSトランジスタからなる電流源トランジスタQ13と、差動対トランジスタQ11,Q12の各ドレインと電源VDDの間に接続されてカレントミラー回路を構成するPchMOSトランジスタQ14,Q15とから構成されている。
【0023】
上記構成の差動アンプ27において、差動対トランジスタQ11,Q12の各ゲートに入力IN−,IN+が与えられ、その一方のトランジスタQ11のドレインから出力OUTが導出される。また、電流源トランジスタQ13のゲートには、ゲートバイアス電圧VGが印加されている。
【0024】
次に、上記構成の第1実施形態に係るCMOS型撮像素子の基本動作について説明する。
【0025】
先ず、光電変換された信号電荷(ここでは、電子)は、フォトダイオード12に蓄積される。この蓄積された信号電荷は、増幅用トランジスタ13においてその信号電荷に応じた電圧が増幅されて信号電流として出力される。この信号電流は、垂直走査回路16から出力される垂直走査パルスφVmによって制御される垂直選択用トランジスタ14を通して垂直信号線19に画素信号として出力される。
【0026】
垂直信号線19に出力された画素信号は、水平走査に同期して水平走査回路22から出力される水平走査パルスφHnによって制御される水平選択用トランジスタ21を通して水平信号線20に出力される。この画素信号電流は、カレントミラー回路23を通して電流電圧変換回路24に供給され、この電流電圧変換回路24で信号電圧に変換されて出力端子29から出力電圧Voutとして出力される。
【0027】
出力の終わった画素について、出力の終わったすぐ次の水平ブランキング期間中に、垂直走査回路16から出力される垂直リセットパルスφVR mによって制御されるリセット用トランジスタ15が導通状態になることでリセットされ、また新たに信号電荷の蓄積が開始される。
【0028】
上述した一連の動作において、その駆動タイミングとしては、図3のタイミングチャートに示すように、ある水平走査期間中において、垂直走査回路16からm番目の垂直選択線17に垂直走査パルスφVmが与えられることでm行目の画素行が選択され、このm行目の各画素の画素信号が増幅用トランジスタ14を通して垂直信号線19に電流として出力される。
【0029】
その水平映像期間中において、水平走査回路20から順に出力される水平走査パルス(……,φHn−1,φHn,φHn+1,……)に応答して水平選択用トランジスタ21が導通状態となることにより、m行目の各画素信号電流が順次水平信号線20に出力される。その画素信号電流は、カレントミラー回路23を通して電流電圧変換回路24で信号電圧に変換され、出力端子29から撮像素子の外に出力される。
【0030】
信号が出力されていない期間、即ち図3のタイミングチャートにおける水平ブランキング期間では、垂直走査パルスφVmが立ち下がる一方、垂直リセットパルスφVR mが立ち下がり、信号の出力が完了したm行目の各画素のフォトダイオード12を、リセット用トランジスタ15を介して電源に短絡することによってリセット動作を行い、新たな映像の蓄積を開始する。
【0031】
ここで、本発明の特徴とするところのカレントミラー回路23の回路動作について説明する。カレントミラー回路23は、良く知られている通り、MOSトランジスタ25,26が同じ特性のものであれば、出力側の電圧(トランジスタ26のドレイン電圧)に関わらず入力電流(トランジスタ25のドレイン電流)と出力電流(トランジスタ26のドレイン電流)が同じになる性質の回路動作を行う。
【0032】
この性質を利用して、カレントミラー回路23の入力側に入る画素信号電流の範囲内で、カレントミラー回路23の入力電圧(MOSトランジスタ25のドレイン電圧)が低い状態になるようにMOSトランジスタ25の閾値電圧を設定すれば、カレントミラー回路23の出力電圧(トランジスタ26のドレイン電圧)を入力側の電圧よりも高くして、電源電圧VDDの約1/2に上げたとしても、このカレントミラー回路23の入出力電流は同じになる。
【0033】
すると、差動アンプ27および帰還抵抗28で構成される電流電圧変換回路24では、信号電流を信号電圧に変換する際に、図4の入出力特性図において、IN+=1/2*VDDの良好な入出力特性を使うことができる。図4の入出力特性図において、各曲線はそれぞれ電流電圧変換回路24のバイアス電圧VBiasに相当するバイアス電圧IN+をパラメータにした入出力特性である。その結果、画素11の増幅用トランジスタ13に大きな電圧をかけることと、電流電圧変換回路24のリニアリティーの良好な範囲を使うことの両立が可能となる。
【0034】
言い換えれば、水平信号線20と電流電圧変換回路24の間にカレントミラー回路23を挿入することにより、水平信号線20の電位と電流電圧変換回路24の入力電圧に電位差をつけることができる。その結果、電流電圧変換回路24の入出力特性が最も良好になるように差動アンプ27のバイアスを設定し、なおかつ本撮像素子の感度を向上するために、増幅用トランジスタ13のドレイン‐ソース間に大きな電圧が与えられるように、垂直信号線19および水平信号線20の各電位を下げることができる。
【0035】
すなわち、水平信号線20と電流電圧変換回路24の間にカレントミラー回路23を介在せしめたことにより、垂直信号線19および水平信号線20の各電位と電流電圧変換回路24の入力電圧を独立に制御することができ、その結果、電流電圧変換回路24の入力動作点をグランド(接地)レベルに近づけることができるため、画素11の感度(増幅率)の向上と電流電圧変換回路24のリニアリティーの維持を両立できるのである。
【0036】
MOSトランジスタ25の閾値電圧の具体的な設定の仕方としては、MOSトランジスタ25のドレイン‐ソース間電圧が必要なだけかかるようにMOSトランジスタ25,26の閾値電圧を設定することになるが、この閾値電圧は例えば約0.5Vのような値であれば、垂直信号線19および水平信号線20の各電位もその閾値電圧0.5Vより少し高い電圧になり、結果として、MOSトランジスタ25,26で構成されたカレントミラー回路23が正常に動作するに足りる信号線の電位になる。
【0037】
なお、本実施形態では、画素トランジスタ13〜15としてNchMOSトランジスタを用いた場合を例にとって説明したが、PchMOSトランジスタを用いても良いことは勿論である。この場合には、カレントミラー回路23を構成する2つのトランジスタとしてもPchMOSトランジスタを用いるようにすれば良く、これにより、電流電圧変換回路24の入力動作点を電源(VDD)レベルに近づけることができ、結果として、画素の増幅用トランジスタに大きな電圧をかけることができることになる。
【0038】
図5は、本発明の第2実施形態に係る電流出力方式の例えばCMOS型撮像素子を示す構成図である。
【0039】
図5において、単位画素31は、フォトダイオード32、増幅用トランジスタ33、垂直選択用トランジスタ34およびリセット用トランジスタ35によって構成されている。これら画素トランジスタ33〜35として、本例では、NchMOSトランジスタが用いられている。この単位画素31がX方向およびY方向に配列されて画素部を構成している。なお、ここでは、図面の簡略化のために、m行n列の画素のみを示している。
【0040】
この単位画素31において、垂直選択用トランジスタ34のゲート電極には垂直走査回路36から垂直選択線37を通して垂直走査パルスφVmが与えられ、リセット用トランジスタ35のゲート電極には垂直走査回路36から垂直リセット線38を通して垂直リセットパルスφVR mが与えられる。また、フォトダイオード32で光電変換された信号電荷は増幅用トランジスタ33で信号電流に変換され、垂直選択用トランジスタ34を通して垂直信号線39に出力される。
【0041】
垂直信号線39と水平信号線40との間には、水平選択用トランジスタ41が接続されている。この水平選択用トランジスタ41のゲート電極には、水平走査回路42から水平走査パルスφHnが与えられる。これにより、画素31から垂直信号線39に出力された信号電流は、水平選択用トランジスタ41を通して水平信号線40に流れる。
【0042】
水平信号線40の一方の端部には、電流電圧変換回路43が設けられている。この電流電圧変換回路43は、差動アンプ44と帰還抵抗45とから構成され、水平信号線40を通して入力される画素信号電流を信号電圧に変換し、出力電圧Voutとして出力端子46を通して外部へ出力する。
【0043】
差動アンプ44は、図6からも明らかなように、ソースが共通に接続されたPchMOSトランジスタからなる差動対トランジスタQ21,Q22と、そのソース共通接続点と電源VDDの間に接続されたPchMOSトランジスタからなる電流源トランジスタQ23と、差動対トランジスタQ21,Q22の各ドレインとグランドの間に接続されてカレントミラー回路を構成するNchMOSトランジスタからなるQ24,Q25とから構成されている。
【0044】
上記構成の差動アンプ44において、一方の差動対トランジスタQ21のゲートが水平信号線40に接続され、他方の差動対トランジスタQ22のゲートにバイアス電圧VBiasが印加され、差動対トランジスタQ21のドレインから出力電圧Voutが導出されるようになっている。電流源トランジスタQ23のゲートには、ゲートバイアス電圧VGが印加されている。また、帰還抵抗45は、差動対トランジスタQ21のゲート(差動アンプ44の非反転入力端)とそのドレイン(差動アンプ44の出力端)との間に接続されている。
【0045】
上記構成の第2実施形態に係るCMOS型撮像素子において、その特徴とするところは、画素31の増幅用トランジスタ33としてNchMOSトランジスタを用いているのに対して、電流電圧変換回路43の差動アンプ44において、差動対トランジスタQ21,Q22として、NchMOSトランジスタではなく、PchMOSトランジスタを用いている点にある。
【0046】
画素31の増幅用トランジスタ33にNchMOSトランジスタが使われている場合は、信号線(垂直信号線39および水平信号線40)の電位を下げれば、増幅用トランジスタ33に大きな電圧がかかるようになる。この場合は、差動対トランジスタQ21,Q22としてNchMOSトランジスタを用いた差動アンプ(図2を参照)の入出力特性(図4の入出力特性)に比べて、図7の入出力特性図に示すように、出力電圧レンジRoutが低い電圧に位置している差動アンプ、即ち差動対トランジスタQ21,Q22としてPchMOSトランジスタを用いた回路構成のものが適切である。
【0047】
信号線(垂直信号線39および水平信号線40)の電位を下げ、画素31の増幅用トランジスタ33に大きな電圧をかけるために、本実施形態に係るCMOS型撮像素子では、電流電圧変換回路43のバイアス電圧VBiasを低くする必要がある。バイアス電圧VBiasを低くすると、図6の差動アンプ44における入出力特性曲線(図7を参照)が、IN+=1/2*VDDからIN+=1/4*VDDの方向に変化する。
【0048】
このIN+=1/4*VDDの条件の入出力特性について、信号電流が太い実線が画素信号電流ゼロから飽和までの入出力特性(Rout)は良い直線性を示し、電流電圧変換回路43の出力電圧レンジ(Rout)も確保できるようになる。
【0049】
すなわち、画素トランジスタ35〜35としてNchMOSトランジスタを用いた構成の電流出力方式のCMOS型撮像素子において、差動アンプ44をPchMOSトランジスタの差動対トランジスタQ21,Q22を用いて構成することにより、電流電圧変換回路43の入力動作点をグランドレベルに近づけることができるため、信号線39,40の各電位を下げることができる。その結果、画素31の増幅用トランジスタ33に大きな電圧をかけることと、電流電圧変換回路43のリニアリティーの良好な範囲を使うことの双方を同時に満足できることになる。
【0050】
なお、本実施形態では、画素トランジスタ35〜35としてNchMOSトランジスタを用いたCMOS型撮像素子に適用した場合を例にとって説明したが、PchMOSトランジスタを用いたCMOS型撮像素子にも同様にて適用可能である。この場合には、差動対トランジスタQ21,Q22としてNchMOSトランジスタを用いるようにすれば良く、これにより、電流電圧変換回路43の入力動作点を電源(VDD)レベルに近づけることができ、結果として、画素の増幅用トランジスタに大きな電圧をかけることができることになる。
【0051】
また、上記各実施形態においては、CMOS型撮像素子に適用した場合について説明したが、これに限られるものではなく、増幅型撮像素子などの他の電流出力方式のX−Yアドレス型の固体撮像素子全般に適用可能である。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、各画素からの画素信号を電流として出力する構成の固体撮像素子において、画素の増幅用トランジスタに大きな電圧をかけることと、電流電圧変換手段のリニアリティーの良好な範囲を使うことの両立が可能となるため、電流電圧変換手段のリニアリティーを維持したまま、画素の増幅率(感度)を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る電流出力方式のCMOS型撮像素子を示す構成図である。
【図2】第1実施形態に係るCMOS型撮像素子の電流電圧変換回路を構成する差動アンプの構成の一例を示す回路図である。
【図3】第1実施形態に係るCMOS型撮像素子の動作説明のためのタイミングチャートである。
【図4】第1実施形態に係るCMOS型撮像素子の電流電圧変換回路を構成する差動アンプの入出力特性図である。
【図5】本発明の第2実施形態に係る電流出力方式のCMOS型撮像素子を示す構成図である。
【図6】第2実施形態に係るCMOS型撮像素子の電流電圧変換回路を構成する差動アンプの構成の一例を示す回路図である。
【図7】第2実施形態に係るCMOS型撮像素子の電流電圧変換回路を構成する差動アンプの入出力特性図である。
【図8】CMOS型増幅素子の従来例を示す構成図である。
【符号の説明】
11,31…単位画素、12,32…フォトダイオード、13,33…増幅用トランジスタ、14,34…垂直選択用トランジスタ、15,35…リセット用トランジスタ、16,36…垂直走査回路、19,39…垂直信号線、20,40…水平信号線、21,41…水平選択用トランジスタ、22,42…水平走査回路、23…カレントミラー、24,43…電流電圧変換回路、27,44…差動アンプ、28,45…帰還抵抗
Claims (2)
- 画素トランジスタを含む画素が行列状に配置され、各画素の画素信号を電流として信号線に出力する画素部と、
前記画素部の各画素から前記信号線に出力された信号電流を信号電圧に変換して出力する電流電圧変換手段と、
前記信号線と前記電流電圧変換手段の入力との間に設けられたカレントミラー回路とを備え、
前記カレントミラー回路は、前記画素トランジスタと同極性でかつ両特性が同じトランジスタ対からなり、前記トランジスタ対がN型である第1導電型トランジスタのときに前記信号電流の範囲内で入力電圧が低い状態になるように前記トランジスタ対の閾値電圧が設定され、
前記トランジスタ対がP型である第2導電型トランジスタのときに前記信号電流の範囲内で入力電圧が高い状態になるように前記トランジスタ対の閾値電圧が設定される
固体撮像素子。 - 画素トランジスタを含む画素が行列状に配置され、各画素の画素信号を電流として信号線に出力し、この信号線に出力された信号電流をカレントミラー回路を介して電流電圧変換手段に入力し、当該電流電圧変換手段によって信号電圧に変換して出力する構成の固体撮像素子の画素信号の処理に当たって、
前記カレントミラー回路を、前記画素トランジスタと同極性でかつ両特性が同じトランジスタ対から構成し、
前記トランジスタ対がN型である第1導電型トランジスタのときに前記信号電流の範囲内で入力電圧が低い状態になるように前記トランジスタ対の閾値電圧を設定し、
前記トランジスタ対がP型である第2導電型トランジスタのときに前記信号電流の範囲内で入力電圧が高い状態になるように前記トランジスタ対の閾値電圧を設定する、
画素信号処理方法。
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