JP4722452B2 - 磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置及び磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置及び磁気ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、本実施形態に係る薄膜磁気ヘッドを備えたハードディスク装置を示した概略斜視図である。ハードディスク装置10は、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA:Head Gimbals Assembly)12を作動させて、高速回転するハードディスク(記録媒体)14の記録面(図1の上面)に、薄膜磁気ヘッド16によって磁気情報を記録及び再生するものである。ヘッドジンバルアセンブリ12は、薄膜磁気ヘッド16が形成されたヘッドスライダ18を搭載したジンバル20と、これが接続されたサスペンションアーム(ロードビーム)22とを備え、支軸24周りに例えばボイスコイルモータによって回転可能となっている。ヘッドジンバルアセンブリ12を回転させると、ヘッドスライダ18は、ハードディスク14の半径方向、すなわちトラックラインを横切る方向に移動する。
(薄膜磁気ヘッド)
(薄膜磁気ヘッドの製造方法)
(変形例)
本発明の第2の実施形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法を、図30〜図32を参照しつつ説明する。
(その他の変形例)
Claims (11)
- 記録媒体に対向する媒体対向面側においてギャップ層を介して互いに対向する磁極部分を有する第1及び第2の磁極層と、
前記第1の磁極層と前記第2の磁極層とを磁気的に連結する連結部と、
前記第1及び第2の磁極層に対して絶縁された状態で、前記第1及び第2の磁極層の少なくとも一方の回りに螺旋状に巻回された薄膜コイルとを備え、
前記薄膜コイルは、
前記第1の磁極層と前記第2の磁極層との間であって前記連結部よりも前記媒体対向面側に位置すると共に、前記第1又は第2の磁極層と交差する方向に延在し、互いに隣り合うもの同士が絶縁膜を介して接触する絶縁接触構造を形成して一段で並列する複数の内側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1又は第2の磁極層における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置するとともに前記内側導体部の間隔よりも広い間隔を有する複数の第1の外側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1の外側導体部における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置する第2の外側導体部と、
対応する前記内側導体部と前記第1及び第2の外側導体部とを接続する複数の接続部とを有する、磁気ヘッド。 - 前記第1及び第2の外側導体部は、前記連結部よりも前記媒体対向面側に位置している、請求項1に記載の磁気ヘッド。
- 前記連結部の形状は、前記媒体対向面側に突出する断面形状を有する柱状であり、
前記内側導体部の幅は、前記連結部の突出部分の先端から前記媒体対向面の法線方向に沿って該媒体対向面の方向に延びる仮想線上において最小であり、且つ前記仮想線から離れるに従って増大する、請求項2に記載の磁気ヘッド。 - 前記複数の内側導体部のうちの隣り合う内側導体部の間隔は、前記絶縁膜の厚さと略同一である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気ヘッド。
- 前記複数の第1の外側導体部のうちの隣り合う外側導体部の間隔は、前記複数の内側導体部のうちの隣り合う内側導体部の間隔よりも広い、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気ヘッド。
- 前記第1の外側導体部の最小の幅は、前記内側導体部の最小の幅よりも大きい、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気ヘッド。
- 前記接続部の形状は四角形断面を有する柱状であり、前記複数の接続部のうちの隣り合う接続部は前記四角形断面の対角線方向に沿う方向に並んでいる、請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気ヘッド。
- 基台と、前記基台上に形成された磁気ヘッドと、前記基台を固定するジンバルと、前記ジンバルが接続されたロードビームとを備え、
前記磁気ヘッドは、媒体対向面側においてギャップ層を介して互いに対向する磁極部分を有する第1及び第2の磁極層と、前記第1の磁極層と前記第2の磁極層とを磁気的に連結する連結部と、前記第1及び第2の磁極層に対して絶縁された状態で、前記第1及び第2の磁極層の少なくとも一方の回りに螺旋状に巻回された薄膜コイルとを有し、
前記薄膜コイルは、
前記第1の磁極層と前記第2の磁極層との間であって前記連結部よりも前記媒体対向面側に位置すると共に、前記第1又は第2の磁極層と交差する方向に延在し、互いに隣り合うもの同士が絶縁膜を介して接触する絶縁接触構造を形成して一段で並列する複数の内側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1又は第2の磁極層における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置するとともに前記内側導体部の間隔よりも広い間隔を有する第1の外側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1の外側導体部における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置する第2の外側導体部と、
対応する前記内側導体部と前記第1及び第2の外側導体部とを接続する複数の接続部とを含む、ヘッドジンバルアセンブリ。 - 基台と、前記基台上に形成された磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドと対向する記録媒体とを備え、
前記磁気ヘッドは、媒体対向面側においてギャップ層を介して互いに対向する磁極部分を有する第1及び第2の磁極層と、前記第1の磁極層と前記第2の磁極層とを磁気的に連
結する連結部と、前記第1及び第2の磁極層に対して絶縁された状態で、前記第1及び第2の磁極層の少なくとも一方の回りに螺旋状に巻回された薄膜コイルとを有し、
前記薄膜コイルは、
前記第1の磁極層と前記第2の磁極層との間であって前記連結部よりも前記媒体対向面側に位置すると共に、前記第1又は第2の磁極層と交差する方向に延在し、互いに隣り合うもの同士が絶縁膜を介して接触する絶縁接触構造を形成して一段で並列する複数の内側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1又は第2の磁極層における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置するとともに前記内側導体部の間隔よりも広い間隔を有する第1の外側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1の外側導体部における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置する第2の外側導体部と、
対応する前記内側導体部と前記第1及び第2の外側導体部とを接続する複数の接続部とを含む、ハードディスク装置。 - 媒体対向面側においてギャップ層を介して互いに対向する磁極部分を有する第1及び第2の磁極層と、前記第1の磁極層と前記第2の磁極層とを磁気的に連結する連結部と、前記第1及び第2の磁極層に対して絶縁された状態で、前記第1及び第2の磁極層の少なくとも一方の回りに螺旋状に巻回された薄膜コイルとを備える磁気ヘッドの作製に適用され、
前記第1の磁極層を形成するステップと、
前記第1の磁極層上に前記ギャップ層を形成するステップと、
前記ギャップ層上に前記第2の磁極層を形成するステップと、
前記連結部を形成するステップと、
前記薄膜コイルを形成するステップとを備え、
前記薄膜コイルを形成するステップには、
前記薄膜コイルを構成する、前記第1の磁極層と前記第2の磁極層との間であって前記連結部よりも前記媒体対向面側に位置すると共に、前記第1又は第2の磁極層と交差する方向に延在し、互いに隣り合うもの同士が絶縁膜を介して接触する絶縁接触構造を形成して一段で並列する複数の内側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1又は第2の磁極層における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置するとともに前記内側導体部の間隔よりも広い間隔を有する第1の外側導体部と、
前記内側導体部の延在方向に沿って延在し、前記第1の外側導体部における前記内側導体部が位置する側と反対側に位置する第2の外側導体部と、
対応する前記内側導体部と前記第1及び第2の外側導体部とを接続する複数の接続部と、を形成する各ステップが含まれている、磁気ヘッドの製造方法。 - 前記第1及び第2の外側導体部が前記連結部よりも前記媒体対向面側に位置する、請求項10に記載の磁気ヘッドの製造方法。
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