JP4722103B2 - X線検出素子搭載用配線基板およびx線検出装置 - Google Patents
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Description
本発明は、X線検出素子搭載用配線基板およびそれを用いたX線検出装置に関するものである。
近年の半導体技術の進歩に伴い、X線機器のデジタル化が進んでいる。また、X線画像の表示,記録や保存については、従来はフィルム等にX線画像を記録し保存していたのに対して、リアルタイムの画像表示や画像データの保存や転送が容易になっている。このようなX線機器として、例えば歯科用のX線カメラには、外部から照射されたX線を画像情報に変換するためのX線検出素子が搭載されている。
X線検出素子は、その上面に配列形成された多数のフォトダイオードとその上に形成されたシンチレータとで主に構成されており、X線検出素子に照射されたX線がシンチレータで蛍光に変換され、この光により各フォトダイオードの電圧電流特性が変化し、この変化をX線画像情報として取り出すものである。
このようなX線検出素子は、これを搭載するための酸化アルミニウム質焼結体等のセラミック基体とタングステン(W)等のメタライズ配線導体とからなるX線検出素子搭載用配線基板に搭載されてX線機器に組み込まれている。しかしながら、セラミック基体を構成する酸化アルミニウム質焼結体は、X線を透過させやすい性質を有していることから、X線検出素子を搭載してX線カメラの撮像部として用いた場合に、X線検出素子の上面に被写体を透してX線を照射すると、撮像部の後方に位置する他の部材等で反射したX線がセラミック基体を透ってX線検出素子に裏面側から侵入し、これがX線検出素子に被写体と異なる不要な映像を重畳させてしまい、そのため、この不要な映像までもがX線画像情報として変換されてしまい、その結果、正確かつ鮮明な被写体の画像が得られにくいという問題点を有していた。
このため、従来のX線検出素子搭載用配線基板は、例えば図9に断面図で示すように、その上面中央部にX線検出素子105を搭載するための実装領域105aを有する基体101と、この基体101の実装領域105a周辺から下面にかけて導出する複数の内部配線104と、下面からの反射したX線を遮蔽するための遮蔽用メタライズ層106から構成されていた。このX線検出素子搭載用配線基板にX線検出素子105を搭載してX線検出素子105の端子電極と接続パッド102とをボンディングワイヤ107を介して電気的に接続し、端子電極103と外部の電気回路に接続される外部接続用ケーブル109とを接続するとともに、これらを密閉容器内に密閉することにより、X線カメラの撮像部としていた。これによれば、遮蔽用メタライズ層106により反射したX線がX線検出素子105の下面から侵入するのを遮蔽することができるので明瞭なX線画像を得ることができるというものであった(例えば、特許文献1を参照)。
特開2001−94139号公報
近年のX線機器に求められる高解像度化に対応するために、X線検出素子は端子数が増加してフリップチップ実装されるようになり、これに対応するX線検出素子搭載用配線基板は、増加する外部の電気回路に接続するための接続端子の数を増やすために基板の下面全体に縦横の並びにアレイ状に接続端子を形成することが必要となっている。また、従来の静止画像のみならず、動画の撮影を行なうことでより情報量を増やし、診断の精度を上げることも要求されている。
しかしながら、従来のX線検出素子搭載用配線基板は、基体101の実装領域105aの下にX線を遮蔽するためだけの遮蔽用メタライズ層106を形成しているため、この遮蔽用メタライズ層106を避けて内部配線102を展開して形成しなければならなくなり、設計が複雑になり層数を増やす必要が出るので小型化・薄型化が困難になるとともに、内部配線104の配線長が長くなることにより高解像度のX線での動画撮影に要求される高速動作も困難となってしまうという問題点があった。
また、遮蔽用メタライズ層106を避けずに内部配線104を展開するには、内部配線104の貫通導体が遮蔽用メタライズ層106と絶縁されて遮蔽用メタライズ層106を貫通するように、貫通導体と遮蔽用メタライズ層106との間に絶縁領域(隙間)を設ければよい。しかしながら、絶縁層101を垂直に(絶縁層101の積層方向に平行に)貫通する通常の貫通導体を形成して絶縁領域を設けると、上下に位置する複数の絶縁領域が上面視で重なるので、この部分ではX線検出素子搭載用配線基板の下面から上面にかけて遮蔽用メタライズ層106が存在しなくなってしまい、反射したX線がここを通過してX線検出素子に侵入してしまうという問題点があった。
本発明はかかる従来の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、X線検出素子の上面に被写体を透してX線を照射した際に、X線検出素子搭載用配線基板の下方に位置する他の部材等でX線が反射したとしても、反射したX線がX線検出素子に裏面側から侵入することがなく、小型かつ薄型であり、高解像度で高速な動作が可能なX線検出素子搭載用配線基板、およびこれを用いたX線検出装置を提供することにある。
本発明のX線検出素子搭載用配線基板は、複数の絶縁層が積層されてなる基体と、該基体の上面のX線検出素子の実装領域に形成された前記X線検出素子をフリップチップ実装するための複数の接続パッドと、前記基体の外面に形成された複数の端子電極と、前記基体の内部に形成され、前記実装領域の下方に配置された複数の貫通導体を含む、前記複数の接続パッドと前記複数の端子電極とを接続する複数の内部配線とを有するX線検出素子搭載用配線基板であって、前記複数の貫通導体に対応する開口を有する複数層の層間導体層が、前記基体の前記上面への投影領域に前記実装領域が含まれるように前記絶縁層間に形成され、前記複数の貫通導体は、前記開口内で前記層間導体層との間に絶縁領域を設けて前記層間導体層を貫通するとともに、前記層間導体層に接する前記絶縁層のうち少なくとも1層において、その絶縁層とその上下の絶縁層との層間よりも上または下に位置する層間の前記層間導体層の前記開口より横断面が大きいことを特徴とするものである。
また、本発明のX線検出素子搭載用配線基板は、上記構成において、前記貫通導体は、前記貫通導体の横断面より大きい層間接続導体を間に介して接続されていることを特徴とするものである。
また、本発明のX線検出素子搭載用配線基板は、上記構成において、前記開口より横断面が大きい前記貫通導体は、その上下で横断面の大きさが異なることを特徴とするものである。
また、本発明のX線検出素子搭載用配線基板は、上記構成において、前記開口より横断面が大きい前記貫通導体の上下に位置する前記層間接続導体は、上下で横断面の大きさが異なることを特徴とするものである。
また、本発明のX線検出装置は、上記いずれかのX線検出素子搭載用配線基板にX線検出素子がフリップチップ実装されていることを特徴とするものである。
本発明のX線検出素子搭載用配線基板によれば、複数の貫通導体に対応する開口を有する複数層の層間導体層が、基体の上面への投影領域に実装領域が含まれるように絶縁層間に形成され、複数の貫通導体は、開口内で層間導体層との間に絶縁領域を設けて層間導体層を貫通するとともに、層間導体層に接する絶縁層のうち少なくとも1層において、その絶縁層とその上下の絶縁層との層間よりも上または下に位置する層間の層間導体層の開口より横断面が大きいことから、上下に位置する複数の絶縁領域のうち少なくとも1つの絶縁領域は上面視で他の絶縁領域と重なることがないので配線基板の裏面から侵入してくるX線のほとんどを遮蔽することができるとともに、X線を遮蔽するための層間導体層を避けて内部配線を形成しないので、X線画像の高解像度化に対応するためにX線検出素子の端子数が増えたとしても内部配線の展開が容易となり、配線長を長くする必要がないので、小型かつ薄型であり、高解像度でX線検出素子をより高速で動作させることが可能なX線検出素子搭載用配線基板となる。
また、本発明のX線検出素子搭載用配線基板によれば、上記構成において、貫通導体が貫通導体の横断面より大きい層間接続導体を間に介して接続されている場合には、層間の位置ずれが発生したとしても上下の貫通導体の接続が容易となるとともに、小さい絶縁領域をより容易に形成することができるので、よりX線の遮蔽効果の高いものとなる。
また、本発明のX線検出素子搭載用配線基板によれば、上記構成において、開口より横断面が大きい貫通導体がその上下で横断面の大きさが異なる場合には、開口より横断面が大きい貫通導体が形成された絶縁層の上下に位置する層間に形成された層間導体層の開口内の絶縁領域が、上面視で互いに完全に重なることがないので、よりX線の遮蔽効果の高いものとなる。
また、本発明のX線検出素子搭載用配線基板によれば、上記構成において、開口より横断面が大きい貫通導体の上下に位置する層間接続導体が上下で横断面の大きさが異なる場合には、横断面が上下で同じで、開口より大きい貫通導体が絶縁層に対して略垂直に形成されていても、層間導体層を取り囲むように外側に設けられている絶縁領域は上面視で互いに完全に重なることがないので、よりX線の遮蔽効果の高いものとなる。
本発明のX線検出装置によれば、X線検出素子搭載用配線基板にX線検出素子がフリップチップ実装されていることから、小型薄型のX線検出素子搭載用配線基板であっても、反射した不要なX線を十分に遮蔽できるので、小型化かつ薄型化が可能で高画質のX線検出装置となる。
次に、本発明のX線検出素子搭載用配線基板を添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1(a)は、本発明のX線検出素子搭載用基板の実施の形態の一例を示す断面図であり、図1(b)は図1(a)のA部を拡大して上面視した断面図である。
図1において、1a〜1fは絶縁層、1は複数の絶縁層1a〜1fが積層されてなる基体、2は接続パッド、3は端子電極、4は内部配線、4a,4b,4cは貫通導体、4dは内部配線層、5はX線検出素子、5aはX線検出素子の実装領域、6は層間導体層、6a〜6dは貫通導体4a,4bと層間導体層6との間に設けられた絶縁領域、7は接合材である。
図1に示す例では、基体1の上面のX線検出素子5の実装領域5aに形成された複数の接続パッド2に、X線検出素子5が接合材7を介してフリップチップ実装されており、これによりX線検出装置が構成されている。層間導体層6に接する絶縁層1a〜1eに設けられた貫通導体4a,4bと、内部配線層4dと、内部配線層4dと端子電極3とを接続する貫通導体4cとから内部配線4は構成されている。層間導体層6は、内部配線4とは絶縁されており、X線を遮蔽する機能を有する。絶縁層1aの上にさらに絶縁層を設けてその絶縁層と絶縁層1aとの層間および絶縁層内に内部配線層4dおよびこの内部配線層4dと接続パッド2とを接続する貫通導体4cを設けてもよい。
本発明のX線検出素子搭載用配線基板は、複数の絶縁層1a〜1fが積層されてなる基体1と、基体1の上面のX線検出素子5の実装領域5aに形成されたX線検出素子5をフリップチップ実装するための複数の接続パッド2と、基体1の外面に形成された複数の端子電極3と、基体1の内部に形成され、実装領域5aの下方に配置された複数の貫通導体4a,4b,4cを含む、複数の接続パッド2と複数の端子電極3とを接続する複数の内部配線4とを有するX線検出素子搭載用配線基板であって、複数の貫通導体1a,1bに対応する開口を有する複数層の層間導体層6が、基体1の上面への投影領域に実装領域5aが含まれるように絶縁層1a・1b,1b・1c,1c・1d,1d・1e間に形成され、複数の貫通導体4a,4bは、開口内で層間導体層6との間に絶縁領域6a〜6dを設けて層間導体層6を貫通するとともに、層間導体層6,6,6,6に接する絶縁層1b〜1dのうち少なくとも1層1dにおいて、その絶縁層1dとその上下の絶縁層1c,1eとの層間よりも上または下に位置する層間の層間導体層6,6の開口より横断面が大きいことを特徴とするものである。
このことから、上下に位置する複数の絶縁領域6a〜6dのうち少なくとも1つの絶縁領域6a,6cは上面視で他の絶縁領域6d,6eと完全に重なることがないので配線基板の裏面から侵入してくるX線のほとんどを遮蔽することができるとともに、X線を遮蔽するための層間導体層6を避けて内部配線4を形成しないので、X線画像の高解像度化に対応するためにX線検出素子5の端子数が増えたとしても、内部配線4の展開が容易となり、配線長を長くする必要がないので、小型かつ薄型であり、X線検出素子5をより高速で動作させることが可能なX線検出素子搭載用配線基板となる。
ここで実装領域5aとは、X線検出素子5をX線検出素子搭載用配線基板にフリップチップ実装した状態での、X線検出素子5の基体1の上面への投影領域のことである。図1(b)においては、実装領域5aはX線検出素子5の外形と同じ形状および寸法で1点鎖線で示してある。X線検出素子5の受光部がX線検出素子5の外形に対して小さい場合は、X線検出素子5の受光部の基体1の上面への投影領域であればよいが、不要なX線を確実に遮蔽するためにはX線検出素子5の基体1の上面への投影領域とするのがよい。
図1に示す例では、4層の層間導体層6,6,6,6が形成され、上下に接続された貫通導体4a・4bが層間導体層6,6,6,6を貫通している。層間導体層6・6・6・6は貫通導体4a・4b(の平面方向の配置)に対応した開口を有しており、貫通導体4a・4bは開口内で層間導体層6,6,6,6との間に絶縁領域6a〜6dを設けて層間導体層6,6,6,6を貫通している。貫通導体4bの径は、層間導体層6・6の間に位置する絶縁層1b,1c,1dのうち最下層の絶縁層1dにおいて、この絶縁層1dより上の絶縁層間1a・1b,1b・1c,1c・1d間の層間導体層6,6の開口(絶縁領域6a,6b)の径より大きい。この例の場合は、上2層の層間導体層6,6に設けられた絶縁領域6a,6bの大きさが同じで、層間導体層6・6に設けられた絶縁領域6c,6dの大きさが同じなので、上面視で下2層の絶縁領域6c,6dは上2層の層間導体層6a,6bと完全に重なり、上2層の絶縁領域6a,6bは最下層の絶縁層1dの貫通導体4bと完全に重なる。これにより配線基板の下面で反射したX線は、平面視した貫通導体4a,4bの周辺では、最下層の絶縁層1dの貫通導体4bまたは上2層の層間導体層6,6により遮蔽されることとなる。貫通導体4bの厚みは層間導体層6に比べて通常5倍以上の厚みであるので、1層であってもX線を十分に遮蔽することができる。
図2は本発明のX線検出素子搭載用基板の実施の形態の一例を示す断面図であり、図2において8は層間接続導体を示す。
図2に示す例のように、上記構成において、上下に位置する貫通導体4a,4b,4cは、貫通導体4a,4b,4cの横断面より大きい層間接続導体8を間に介して互いに接続されていることが好ましい。これにより、X線検出素子搭載用配線基板を作製する際に絶縁層1a・1b,1b・1c,1c・1d,1d・1e間の位置ずれが発生したとしても上下の貫通導体4a,4b,4cの接続が容易となるとともに、小さい絶縁領域6a,6b,6c,6dをより容易に形成することができるので、よりX線の遮蔽効果の高いものとなる。層間接続導体8を形成しない場合は、貫通導体4aと層間導体層6との間の絶縁領域6a,6b,6c,6dの大きさは、絶縁性を確保するのに必要な寸法に貫通導体4aと層間導体層6との位置ずれ量を加えた大きさとしなければならないのに対して、間に層間接続導体8を形成する場合は、層間導体層6と層間接続導体8とを導体ペーストの印刷により同時に形成することで絶縁性を確保するのに必要な寸法だけにすることができる。また、貫通導体4a,4b,4cの上に層間接続導体8があることで、貫通導体4a,4b,4cの上面とその周囲に形成された層間導体層6の上面との高さの差がなくなるので、セラミックグリーンシートを積層して作製する際に上下層の貫通導体4a・4a,4a・4b,4b・4c同士の接続が容易となるとともに、複数の絶縁層1a〜1fを積層した際にこの高さの差が累積されて配線基板の上面の平坦性が低下することがないので、X線検出素子の実装信頼性も向上する。
また、図3に図1(a)と同様の断面図で示すように、上記構成において、開口より横断面が大きい貫通導体4bは、その上下で横断面の大きさが異なることが好ましい。これにより、開口より横断面が大きい貫通導体4bが形成された絶縁層1dの上下に位置する層間に形成された層間導体層6,6の開口内の絶縁領域6c,6dが、上面視で互いに完全に重なることがないので、よりX線の遮蔽効果の高いものとなる。
図3に示す例では、開口より横断面が大きい貫通導体4bの下側の横断面は、上側の横断面より大きく、また、貫通導体4bが形成された絶縁層1dとその上の絶縁層1cとの層間に形成された層間導体層6の開口よりも大きい。これにより配線基板の下面で反射したX線は、平面視した貫通導体4a,4bの周辺では、最下層の絶縁層1dの貫通導体4bにより、または上2層の層間導体層6,6と最下層の絶縁層1dの貫通導体4bとにより、あるいは上3層の層間導体層6,6,6により遮蔽されることとなる。図1や図2に示す例と比較すると、少なくとも3層の層間導体層6,6,6かそれ以上の厚みの最下層の絶縁層1dの貫通導体4bによりX線を遮蔽するので、より遮蔽効果の高いものとなる。上下で横断面の大きさが異なる貫通導体4bは、図3に示す例とは逆に、上側の横断面を下側の横断面より大きくしてもよい。また、図3に示す例では貫通導体4bの上側の横断面の大きさはその上の貫通導体4aの横断面の大きさより大きいが、この貫通導体4bの上側の横断面の大きさを上の貫通導体4aの横断面の大きさ以下にしてもよい。このようにすると、貫通導体4bの下側の横断面の大きさがそれより上の開口より大きければ同様の効果が得られるとともに、層間導体層6を形成する際に用いるマスクの、開口径の違いによる種類を少なくすることができる。
また、図4に図1(a)と同様の断面図で示すように、上記構成において、開口より横断面が大きい貫通導体4bの上下に位置する層間接続導体8・8は、上下で横断面の大きさが異なることが好ましい。これにより、横断面の大きさが上下で同じで、開口より大きい貫通導体4bが絶縁層1dに対して略垂直に形成されていても、層間導体層6を取り囲むように外側に設けられている絶縁領域6a,6b,6c,6dは、上面視で互いに完全に重なることがないので、よりX線の遮蔽効果の高いものとなる。
図4に示す例では、開口より横断面が大きい貫通導体4bの下側に接続された層間接続導体8の横断面は、上側の層間接続導体8の横断面、および上側の層間接続導体8の周囲の開口(貫通導体4bが形成された絶縁層1dとその上の絶縁層1cとの層間に形成された層間導体層6の開口)よりも大きい。これにより配線基板の下面で反射したX線は、平面視した貫通導体4a,4bの周辺では、最下層の絶縁層1dの貫通導体4bとその上下の層間接続導体8・8により、または上2層の層間導体層6,6,最下層の絶縁層1dの貫通導体4bおよびその上下の層間接続導体8・8により、または上2層の層間導体層6a,6bおよび最下層の絶縁層1dの貫通導体4bの上下の層間接続導体8・8により、あるいは上3層の層間導体層6,6,6により、遮蔽されることとなる。図1や図2に示す例と比較すると、少なくとも3層の層間導体層6,6,6によりX線を遮蔽するので、より遮蔽効果の高いものとなる。
層間接続導体8は、絶縁層1c・1d,1d・1e間の位置ずれによる接続不良という観点からは横断面の大きい貫通導体4bの上下では必要でない場合がある。この場合でも、図5に図4と同様の断面図で示す例ように、横断面の大きい貫通導体4bの下側だけに層間接続導体8を設け、その横断面の大きさを横断面の大きい貫通導体4bの上の層間に形成された層間導体層6の開口(絶縁領域6c)よりも大きくすると、上2層の層間導体層6,6と層間接続導体8または上3層の層間導体層6,6,6の少なくとも3層によりX線を遮蔽することができるので好ましい。この場合は、横断面の大きい貫通導体4bの上側だけに層間接続導体8を設け、その横断面の大きさを横断面の大きい貫通導体4bの下の層間に形成された層間導体層6の開口(絶縁領域6c)よりも大きくしてもよい。上述したように小さい絶縁領域をより容易に形成するという観点からは、図2に示す例のように、また図6に図3と同様に示す例のように、横断面の大きい貫通導体4bの上下にも層間接続導体8を設けるのが好ましい。
また、横断面の大きい貫通導体4bは、図1〜図6に示す例のように1つの絶縁層1dに形成する必要はなく、図7に図1と同様の断面図で示す例のように、2つの絶縁層1b,1dあるいはそれ以上の複数の絶縁層1a〜1eに分けて配置してもよい。1層の絶縁層1a,1b,1c,1d,1e内に横断面の大きい貫通導体4bを平面視で縦横に高密度に配置した場合には、X線検出素子搭載用配線基板を作製する際に、セラミックグリーンシートに貫通導体4b用の貫通孔を形成すると、貫通孔間のセラミックグリーンシートの幅が小さく、セラミックグリーンシートの面積に対する貫通孔の面積の割合が大きくなるので、セラミックグリーンシートが変形し易く、また貫通孔間にクラックが発生しやすくなり、その後の取り扱いが困難となり、また貫通導体4b・4b間の絶縁性が低下する場合がある。図7に示す例のように、横断面の大きい貫通導体4bを、複数の絶縁層1a〜1eに分けて1層の絶縁層1b,1d内で縦横に隣り合わないように配置すると、このようなことを防止することができる。この場合は、図7に示す例のように、1層の絶縁層1b、1d内での横断面の大きい貫通導体4bの配置が平面視で偏りがないようにするのが好ましい。
また、1つの絶縁層1a,1b,1c,1d,1e内で横断面の大きい貫通導体4b・4b同士が隣り合わないように配置すると、貫通導体を小さい間隔で高密度に配置することができ、X線検出素子搭載用配線基板を小型のものにすることができる。図7に示す例のように、横断面の大きい貫通導体4bを配置した2つの絶縁層1b・1dの間に1層以上の絶縁層1cを設けるようにすると、貫通導体4a・4b間の間隔を小さくしても横断面の大きい貫通導体4b・4b同士が接続されることがないので、より高密度に配置することができる。さらに、図8に図1と同様の断面図で示す例のように、横断面の大きい貫通導体4bを配置した2つの絶縁層1a・1dの間に2層以上の絶縁層1b・1cを設けるようにすると、隣り合う貫通導体4a・4b間の間隔を近付けることにより、上下に位置する横断面の大きい貫通導体4b・4bの周囲の絶縁領域6a・6d同士が重なっても、間に設けた2つの絶縁層1b・1cの層間に形成された層間導体層6によりX線を遮蔽することができるのでより好ましい。
また、横断面が大きく厚みの厚い貫通導体4bが、上下に積層された複数の絶縁層1a〜1fのうちの上方あるいは下方の1層だけに偏って存在すると、セラミックグリーンシートと貫通導体となる導体ペーストとでは焼成収縮率が異なるので、焼成後にX線検出素子搭載用配線基板が反って変形してしまう場合がある。このようなことから、1つの絶縁層内だけに横断面の大きい貫通導体4bを配置する場合は、基体1の厚み方向の中心に近い絶縁層1c・1dに形成するのが好ましい。そして、横断面の大きい貫通導体4b・4bを2つの絶縁層1a〜1eに分けて配置する場合は、図8に示す例のように、基体1の厚み方向の中心から上下に同程度の位置にそれぞれ配置するのがよい。
基体1は、複数のセラミックスから成る絶縁層1を積層して形成してなる、略四角平板状のものである。セラミックスは、例えば酸化アルミニウム質焼結体,窒化アルミニウム焼結体,窒化珪素質焼結体,ムライト質焼結体,ガラスセラミック質焼結体というような、従来よりセラミック配線基板に用いられている絶縁性のものを用いればよい。X線検出素子5を高速で動作させるために、内部配線として電気抵抗の小さい銅(Cu)や銀(Ag)等を用いる場合は、これらの金属と同時焼成可能なガラスセラミック質焼結体のような低温焼成セラミックスを用いるのが好ましい。
基体1は、絶縁層1が酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化マグネシウム・酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バインダ・溶剤を添加混合してスラリーを作製するとともに、これをドクターブレード法等のシート形成方法によりシート状となして複数枚のセラミックグリーンシートを得て、次に、これらのセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに上下に積層してセラミックグリーンシート積層体となし、最後にこのセラミックグリーンシート積層体を還元雰囲気中にて約1600℃の温度で焼成することによって製作される。
接続パッド2,端子電極3,内部配線4,層間導体層6,および層間接続導体8は、基体1と同時焼成により形成される、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、銅(Cu)、銀(Ag)等の金属粉末を主成分とするメタライズ導体層から成るものである。基体1との同時焼成により形成するために、各導体層は同種の金属粉末を主成分とするのが好ましい。これらが、例えばタングステンメタライズから成る場合であれば、平均粒径が1〜5μm程度のタングステン粉末に適当な有機バインダ・溶剤を、また必要に応じてセラミックスやガラスの粉末を添加混合して得た金属ペーストを絶縁層1となるセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等により印刷塗布しておき、セラミックグリーンシートと同時焼成することにより得られる。内部配線4の内、貫通導体4a,4b,4cは、スクリーン印刷法等により印刷塗布する前に、セラミックグリーンシートに金型やピンによる打ち抜き加工やレーザー加工により予め貫通孔を形成しておき、この貫通孔に金属ペーストを印刷法により充填しておけばよい。
開口より横断面が大きい貫通導体4bがその上下で横断面の大きさが異なる場合は、パンチの径とダイスの穴の径とのクリアランスを大きく設定した打ち抜き金型を用いてセラミックグリーンシートを打ち抜くことによって、貫通導体4bを形成する貫通孔を形成すればよい。このようにすることで、セラミックグリーンシートを一方の主面側から他方の主面側に向けて打ち抜く際に、セラミックグリーンシートはパンチとの接触面の縁からダイスの穴との接触面の縁に向けて剪断されて、貫通孔が一方の主面側から他方の主面側に広がるように形成される。グリーンシートの厚み等に応じてパンチの径とダイスの穴の径とのクリアランスを設定することで、グリーンシートに形成される貫通孔の広がり角度(貫通導体4bの上下の横断面の大きさの差)は調節される。また、通常のパンチの径とダイスの穴の径とのクリアランスの小さい打ち抜き金型による加工により上下の開口径が同程度の貫通導体用の貫通孔を形成した後に、貫通孔の内側面に型を押し当てることでも形成することはできるが、上述の方法は打ち抜き加工のみで形成できることから生産性が高く、型を押し当てた際のセラミックグリーンシートの変形等の影響が少ないので好ましい。レーザー加工によって貫通孔を形成する場合は、レーザーの出力や照射時間等の加工条件を調整することにより可能となる。上下の開口径が同程度の貫通導体4a,4c用の貫通孔を形成する条件よりレーザーの出力を大きくしたり、レーザーの照射時間を長くしたりすればよい。または、貫通導体4a,4c用の貫通孔を形成するレーザーよりスポット径の大きいレーザーを用いて、レーザーの出力を小さくしたり、レーザーの照射時間を長く短くしたりしてもよい。上下で開口径の異なる貫通孔に金属ペーストを充填する際は、開口径の大きいほうから充填する方が充填不足になりにくいので好ましい。
貫通孔を形成する際に1種類のピンや加工条件を用いて効率的に製造するためには、1つの絶縁層1a〜1fに形成される貫通導体4a〜4cの横断面は同じ形状で同じ大きさのものが好ましい。図7に示す例のように、1つの絶縁層1b、1dに横断面の大きさの異なる2つの貫通導体1a,1bを形成する場合は、金型で一括して貫通孔を形成するのが効率的でよい。
貫通導体4a〜4cの横断面形状は、図1〜図8に示すような円形以外の多角形や楕円形でもよく、同一の絶縁層1内または異なる絶縁層1・1間で貫通導体4a〜4cの横断面の形状は同じでもよいし、異なっていてもよい。貫通孔を近接して多数形成すると、貫通孔間のセラミックグリーンシートにクラックが発生しやすくなるので、横断面形状が多角形の場合はクラックの発生しやすい角部の角度が大きい六角形以上の多角形が好ましく、角部を有さない円形や楕円形はクラックが発生しにくく、また金型の偏磨耗も発生しにくいのでより好ましい。
層間導体層6および層間接続導体8は、タングステン(W),モリブデン(Mo),銅(Cu),銀(Ag)などの金属材料が耐熱性や導電性等の点で好適に使用される。X線の遮蔽効果は、用いる金属材料の原子量に応じて異なり、原子量が大きいほど遮蔽効果が高い。タングステン,モリブデン,銅,銀の原子量は、それぞれ、約184,約96,約64,約108である。なお、裏面からのX線の反射に対しては、原子量が約184のタングステンでは裏面からのX線の反射を遮蔽するには0.05mm厚みがあれば十分であるが、原子量が約64である銅の場合は約3倍の厚みである0.15mmの厚みが必要となるので、1層当たりの層厚みを厚くしたり、層間導体層6の層数を増やす必要がある。基体1にガラスセラミックスを用いる場合は、層間導体層6等に銅よりX線の遮蔽効果の高い銀を用いるとX線検出素子搭載用配線基板を薄型にすることができるので好ましい。
層間導体層6および層間接続導体8の1層当たりの厚さは、厚くすればするほど層数を少なくすることができ、X線検出素子搭載用配線基板を薄型にすることができるので好ましいが、厚く形成するとセラミックグリーンシートとの段差が大きくなり、セラミックグリーンシートを積層した際に、層間導体層6や層間接続導体8の周囲に隙間ができて焼成時に剥がれたり、外部と連通した空隙となることで水分等が浸入して絶縁不良や内部配線4が腐食してしまったりすることがある。このため、1層の厚さは30μm程度とするのが好ましい。また、グリーンシート上に導体ペーストを印刷して乾燥した後に金型によるプレス加工を施して導体層をグリーンシートに埋没させたり、導体層の周辺にセラミックグリーンシートを作製するためのスラリーと同様のものを印刷することにより段差をなくしたりするとよい。あるいは、導体ペーストを印刷した樹脂フィルム等の基体上にスラリーを塗布することによりセラミックグリーンシートを成形して導体層が埋没したグリーンシートを作製してもよい。
層間導体層6は、X線を遮蔽するためのものであるので、その基体1の上面への投影領域が実装領域5aに対応するように形成されている。図1や図2に示す例のように、実装領域5aより一回り大きいベタパターンとすることで、X線検出素子搭載用配線基板の上面に対して斜めに侵入してくるX線を遮蔽することができるので好ましい。また、貫通導体4aとの間に絶縁領域6a〜6dを設けるために貫通導体4aや層間接続導体8より一回り大きい開口を有する。貫通導体4aや層間接続導体8と層間導体層6との間の絶縁領域の大きさは、X線を遮蔽するためにはできるだけ小さい方がよいので、開口は貫通導体4aや層間接続導体8の横断面形状と相似形とし、絶縁性を考慮すると貫通導体4aや層間接続導体8の外周から約50μm以上の間隔を有するものとするのが好ましい。
層間接続導体8の形状は特に制限はないが、貫通導体4a〜4dの横断面形状と相似形に形成すると、どの方向に位置ずれしても同程度にカバーできるので好ましい。セラミックグリーンシートを積層する際の位置合わせ精度にもよるが、位置ずれ量を考慮すると、例えば貫通導体4a,4bの径より50μm程度以上大きくすればよい。
層間接続導体8は、通常、導体ペーストを印刷することにより層間導体層6と同時に形成される。これにより、層間接続導体8と層間導体層6との間に位置ずれが発生することがないので、印刷精度に応じた非常に小さい絶縁領域6a〜6dを形成することができる。
貫通導体4a,4bや層間導体層6の開口(絶縁領域6a〜6d)の大きさは、具体的には例えば図1に示す例の場合は、絶縁層1a〜1c,1eの貫通導体4aを直径100μmで形成し、上2層の層間導体層6の開口径を200μmとして、絶縁層1dの貫通導体4bを位置ずれを考慮して250μmと、下2層の層間導体層6の開口径を350μmとすればよい。この場合、縦横に隣り合う貫通導体の中心間距離は、下2層の層間導体層6の絶縁領域6c,6dが互いに重なる距離までは小さくすることができるので、最小で300μmとなる。また、図2に示す例のように層間接続導体8を設ける場合は、絶縁層1a〜1c,1eの貫通導体4aを同じく直径100μmで形成して上2層の層間接続導体8を150μmとすると、上2層の層間導体層6の開口径、絶縁層1dの貫通導体4bの径、および下2層の層間導体層6の開口径をそれぞれ50μmずつ大きくすればよく、縦横に隣り合う貫通導体の中心間距離は、最小で400μmとなる。また、図8に示す例の場合は、貫通導体4aおよび横断面の大きい貫通導体4bの径を上記と同様にそれぞれ100μmおよび250μmとして、それぞれに対応する開口径も同様に200μmおよび350μmとすると、縦横に隣り合う貫通導体4a・4bの中心間距離は、最小で225μmと小さいものとすることができる。上の絶縁層1bに形成された横断面の大きい貫通導体4bと下の絶縁層1eに形成された横断面の大きい貫通導体4bとは平面視で重なることになる。また、上の絶縁層1bの上下に位置する層間導体層6の絶縁領域6a・6bと下の絶縁層1eの上に位置する層間導体層6の絶縁領域6dとが一部重なることになるが、この絶縁領域6a,6b,6dの重なった部分と横断面の大きい貫通導体4bの形成されていない絶縁層1c・1d間に形成された層間導体層6とが平面視で重なるのでX線を遮蔽することができる。
なお、基体1の外面に形成された接続パッド2および端子電極3の表面には、酸化腐食を防止するとともに接続パッド2とX線検出素子5の電極との接合および端子電極3と外部回路との接合を容易で強固なものとするために、半田等の接合材7との濡れ性に優れた、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっきおよび厚みが0.1μm〜3μm程度の金めっきを電解めっき法や無電解めっき法により順次施すとよい。
本発明のX線検出装置は、上記のようなX線検出素子搭載用配線基板にX線検出素子5がフリップチップ実装されていることを特徴とするものである。このことから、小型薄型のX線検出素子搭載用配線基板であっても、反射した不要なX線を十分に遮蔽できるので、小型化かつ薄型化できる高画質のX線検出装置となる。
X線検出素子5を実装領域5aにフリップチップ実装するには、電極パッド2への接合を周知の方法、例えば半田や導電性樹脂等の接合材7を用いた接合や、X線検出素子5に形成した金バンプ電極を用いた超音波接合により行なえばよい。
また、X線検出素子搭載用配線基板と、X線検出素子5とを同じ大きさに形成すると、X線検出装置を縦横に隙間なく配列することで、X線検出素子5が二次元的に隙間無く配列されることとなるので、1個のX線検出素子5の解像度の制限を受けずに高解像度の検出ができるものとすることができる。
1:基体
1a〜1f:絶縁層
2:接続パッド
3:端子電極
4:内部配線
4a,4b,4c:貫通導体
5:X線検出素子
5a:実装領域
6:層間導体層
6a〜6d:絶縁領域
7:接合材
8:層間接続導体
1a〜1f:絶縁層
2:接続パッド
3:端子電極
4:内部配線
4a,4b,4c:貫通導体
5:X線検出素子
5a:実装領域
6:層間導体層
6a〜6d:絶縁領域
7:接合材
8:層間接続導体
Claims (5)
- 複数の絶縁層が積層されてなる基体と、該基体の上面のX線検出素子の実装領域に形成された前記X線検出素子をフリップチップ実装するための複数の接続パッドと、前記基体の外面に形成された複数の端子電極と、前記基体の内部に形成され、前記実装領域の下方に配置された複数の貫通導体を含む、前記複数の接続パッドと前記複数の端子電極とを接続する複数の内部配線とを有するX線検出素子搭載用配線基板であって、前記複数の貫通導体に対応する開口を有する複数層の層間導体層が、前記基体の前記上面への投影領域に前記実装領域が含まれるように前記絶縁層間に形成され、前記複数の貫通導体は、前記開口内で前記層間導体層との間に絶縁領域を設けて前記層間導体層を貫通するとともに、前記層間導体層に接する前記絶縁層のうち少なくとも1層において、その絶縁層とその上下の絶縁層との層間よりも上または下に位置する層間の前記層間導体層の前記開口より横断面が大きいことを特徴とするX線検出素子搭載用配線基板。
- 前記貫通導体は、前記貫通導体の横断面より大きい層間接続導体を間に介して接続されていることを特徴とする請求項1記載のX線検出素子搭載用配線基板。
- 前記開口より横断面が大きい前記貫通導体は、その上下で横断面の大きさが異なることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検出素子搭載用配線基板。
- 前記開口より横断面が大きい前記貫通導体の上下に位置する前記層間接続導体は、上下で横断面の大きさが異なることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のX線検出素子搭載用配線基板。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のX線検出素子搭載用配線基板にX線検出素子がフリップチップ実装されていることを特徴とするX線検出装置。
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