JP4718961B2 - 半導体集積回路装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
この発明の第1実施形態を、図1〜図8を参照して説明する。
この発明の第2実施形態を、図11〜図16を参照して説明する。
(1) 第1の位置合わせマーク形成領域2-1、及び第2の位置合わせマーク形成領域2-2が設定されること
(2) 第1の溝6の周囲に、第1のウェル7に含まれる不純物と同じ不純物を含む拡散層10と、トランジスタのしきい値を制御するための不純物と同じ不純物を含む領域40とが形成されること
にある。他は、第1実施形態と同じである。
Claims (4)
- 半導体基板上に、第1開口と、第1のウェル形成領域に対応した第2開口とを含む第1の膜を形成する工程と、
前記半導体基板内に、前記第1開口、及び前記第2開口を介して第1のウェル用の不純物を導入する工程と、
前記第1開口を位置合わせマークに用いて、前記第1の膜に、第2のウェル形成領域に対応した第3開口を少なくとも形成する工程と、
前記半導体基板内に、少なくとも前記第3開口を介して第2のウェル用の不純物を導入する工程とを具備し、
前記第3開口を少なくとも形成する工程は、
前記第1開口を位置合わせマークに用いて、前記第1開口を拡幅しつつ、前記半導体基板内に、前記拡幅された第1開口を介して溝を形成する工程を含み、
前記少なくとも前記第3開口を介して第2のウェル用の不純物を導入する工程は、
前記拡幅された前記第1開口を介して前記第2のウェル用の不純物を導入する工程を含み、
該工程に続いて、
前記第1の膜を除去した後、前記半導体基板上に、第2の膜を形成する工程と、
前記溝を位置合わせマークに用いて、前記第2の膜に、第3のウェル形成領域に対応した第4開口を形成する工程と、
前記半導体基板内に、前記第4開口を介して第3のウェル用の不純物を導入する工程と、
前記溝を位置合わせマークに用いて、前記半導体基板に、素子分離領域を形成する工程とを具備することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 半導体基板上に、第1開口、第2開口、及びしきい値制御用不純物導入領域に対応した第3開口を含む第1の膜を形成する工程と、
前記半導体基板内に、前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口を介してしきい値制御用の不純物を導入する工程と、
前記第1の膜上、及び前記第1開口、前記第2開口、及び前記第3開口から露呈した前記半導体基板上に、第2の膜を形成する工程と、
前記第1開口を位置合わせマークに用いて、前記第2の膜に、第1のウェル形成領域に対応した第4開口を少なくとも形成する工程と、
前記半導体基板内に、少なくとも前記第4開口を介して第1のウェルを形成する不純物を導入する工程とを具備することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 前記第4開口を少なくとも形成する工程は、
前記第1開口を位置合わせマークに用いて、前記第2開口内の領域に対応した第5開口を形成し、前記半導体基板内に、前記第5開口を介して溝を形成する工程を含み、
前記少なくとも前記第4開口を介して第1のウェル用の不純物を導入する工程は、
前記第5開口を介して前記第1のウェル用の不純物を導入する工程を含み、
該工程に続いて、
前記第2の膜を除去した後、前記第1の膜上、及び前記第1開口、前記第2開口、前記第3開口、及び第5開口から露呈した前記半導体基板上に、第3の膜を形成する工程と、
前記第1開口、又は前記溝のいずれかを位置合わせマークに用いて、前記第3の膜に、第2のウェル形成領域に対応した第6開口を形成する工程と、
前記半導体基板内に、前記第6開口を介して第2のウェル用の不純物を導入する工程と、
前記第3の膜を除去した後、前記第1の膜上、及び前記第1開口、前記第2開口、前記第3開口、及び第5開口から露呈した前記半導体基板上に、第4の膜を形成する工程と、
前記第1開口、又は前記溝のいずれかを位置合わせマークに用いて、前記第4の膜に、第3のウェル形成領域に対応した第7開口を形成する工程と、
前記第1の膜を除去した後、前記溝を位置合わせマークに用いて、前記半導体基板に、素子分離領域を形成する工程とを具備することを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路装置の製造方法。 - 半導体基板と、
前記半導体基板内に形成された第1のウェルと、
前記半導体基板内に形成された第2のウェルと、
前記半導体基板、前記第1のウェル、及び前記第2のウェルの少なくともいずれか一つに形成された、しきい値制御用の不純物が導入された領域と、
前記半導体基板内に形成された位置合わせマークとしての溝と、
前記溝内に形成され、前記半導体基板表面より低い高さまで前記溝を埋め込む積層構造と、を具備し、
前記溝の周囲に、前記第1のウェルに含まれる不純物と同じ不純物を含む拡散層と、
前記第2のウェルに含まれる不純物と同じ不純物を含む拡散層、もしくは前記しきい値制御用の不純物と同じ不純物を含む領域のいずれかが形成されることを特徴とする半導体集積回路装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288567A JP4718961B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
US11/536,291 US7585742B2 (en) | 2005-09-30 | 2006-09-28 | Semiconductor device manufacturing method |
US12/541,457 US7943478B2 (en) | 2005-09-30 | 2009-08-14 | Semiconductor device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288567A JP4718961B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007103472A JP2007103472A (ja) | 2007-04-19 |
JP4718961B2 true JP4718961B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=37902426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005288567A Expired - Fee Related JP4718961B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7585742B2 (ja) |
JP (1) | JP4718961B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3213461B2 (ja) | 1993-11-25 | 2001-10-02 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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JP5038633B2 (ja) | 2006-02-14 | 2012-10-03 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005288567A patent/JP4718961B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-09-28 US US11/536,291 patent/US7585742B2/en not_active Expired - Fee Related
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2009
- 2009-08-14 US US12/541,457 patent/US7943478B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7943478B2 (en) | 2011-05-17 |
US7585742B2 (en) | 2009-09-08 |
US20090298254A1 (en) | 2009-12-03 |
JP2007103472A (ja) | 2007-04-19 |
US20070077719A1 (en) | 2007-04-05 |
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JP3876069B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
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