JP4713966B2

JP4713966B2 - 倣い装置

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Publication number: JP4713966B2
Application number: JP2005209126A
Authority: JP
Inventors: 秀和伊藤
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2005-07-19
Filing date: 2005-07-19
Publication date: 2011-06-29
Anticipated expiration: 2025-07-19
Also published as: JP2007027516A

Description

本発明は、凹状半球面と凸状半球面を有する固定部材と可動部材を有し、当該可動部材を対象物（例えば、基板）に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置に関する。

例えば、ダイシングされた半導体チップをダイ・ボンディング装置のリードフレーム上に搬送するチップマウンタなどに用いられる倣い装置がある。この倣い装置は、凹状半球面を有する基台に、凸状半球面を有する揺動体が回動可能に支持されている。そして、半導体チップの特定面に、凸状及び凹状半球面の曲率中心にある揺動体のワーク倣い面を当接させると、揺動体が同一平面において互いに直交するＸ軸及びＹ軸を中心に回動する。この回動により、揺動体のワーク倣い面が半導体チップの特定面に合わせて傾動する。これにより、揺動体のワーク倣い面が半導体チップの特定面に対し平行になる。

ところで、このような倣い装置においては、基台と揺動体との摩擦抵抗が極めて低いため、揺動体はＸ軸及びＹ軸周りのみならず、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交するＺ軸周りにも回動してしまう。この結果、位置決め精度（例えば、半導体チップを実装する際には、その実装に伴う精度）を低下させてしまう虞があった。そこで、本出願人は、倣い装置において揺動体のＺ軸周りの回動を規制する装置（回り止め装置）を提案した（特許文献１参照）。

特許文献１の倣い装置は、揺動体の切欠き部分に設けられたリング状部材（球面ベース）に第１溝部と第２溝部を形成し、その第１溝部と第２溝部に支持部材を係合させることにより、揺動体がＺ軸周りに回動することを規制している。
特開２００２−７６０３０号公報（段落番号［００４８］〜［００６５］、図５〜図１０）

ところで、近時においては、位置決め精度のさらなる高精度化が要求されており、この高精度化の要求に応えるためには、回り止めの精度を上げる必要がある（例えば、±０．１°以下）。しかしながら、回り止め精度を上げるためには、例えば、特許文献１の回り止め装置では、第１，第２溝部と支持部材との間の摺動隙間を小さく（例えば、１０μｍ）設定する必要がある。このため、倣い装置を構成する部材の製造時の精度は勿論のこと、当該部材の組立作業にも高い精度が要求され、製造コスト増に繋がる。

この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、製造コスト増を抑制しつつ、位置決め精度の高精度化を図ることができる倣い装置を提供することにある。

本発明の倣い装置は、凹状半球面及び凸状半球面のうちいずれか一方を備える固定部材に他方を備える可動部材を揺動可能に設け、前記両部材との間に加圧流体を噴出することによって前記両部材同士を非接触にし、その状態で前記可動部材を対象物に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置において、前記対象物と平行に倣う前記可動部材の面に直交する第１軸周りにおける前記可動部材の回動を規制する回り止め装置を備え、前記回り止め装置は、前記第１軸に直交する第２軸方向に配置され、一方が前記可動部材に設けられるとともに他方が前記可動部材に装着される回り止め部材に設けられて摺動可能に係合される第１溝部及び第１突部と、前記第１軸及び前記第２軸に直交する第３軸方向に配置され、一方が前記回り止め部材に設けられるとともに他方が前記固定部材に装着される支持部材に設けられて摺動可能に係合される第２溝部と第２突部とを有し、前記第１溝部の内周面と前記第１突部の外周面との間には第１の隙間が設けられ、前記第１の隙間は、前記第１軸方向の間隔が前記第３軸方向の間隔より大きく形成されており、前記第２溝部の内周面と前記第２突部の外周面との間には第２の隙間が設けられ、前記第２の隙間は、前記第１軸方向の隙間が前記第２軸方向の隙間より大きく形成されており、係合し合う溝部と突部のいずれか一方には、接触回避部が設けられ、前記溝部に設けられた接触回避部は、前記溝部の内方に突出して円筒形状の前記突部に係合される突条部から構成されており、前記突部に設けられた接触回避部は、前記溝部に係合される係合部位の全部又は一部を曲面で形成することにより構成されている。

また、前記突部に設けられた接触回避部は、前記係合部位が樽形に形成されていても良い。

また、前記突部は、圧入固定又は接着固定されていても良い。

本発明によれば、製造コスト増を抑制しつつ、位置決め精度の高精度化を図ることができる。

以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図５にしたがって説明する。
なお、以下の説明では、倣い装置１０の上下（鉛直）方向をＺ軸（第１軸）方向とし、このＺ軸方向に対して直交し、かつ同一水平面上において互いに直交する方向をＸ軸（第２軸）方向及びＹ軸（第３軸）方向とする。

図１〜図３に示すように、本実施形態の倣い装置１０は、その主要構成部材として、基台（固定部材）１１と、球面ベース（可動部材）１２と、一対のサイドプレート（支持部材）１３と、回り止めリング（回り止め部材）１４と、押さえ部材１５とを備えている。そして、基台１１には、球面ベース１２と、回り止めリング１４と、押さえ部材１５とが順に積まれて装着され、基台１１の対向する側面に一対のサイドプレート１３が装着されている。

基台１１は、平面視（Ｚ軸方向から見た場合）正方形をなすブロック状に形成されている。基台１１の一面には、凹状半球面１６が形成されている。凹状半球面１６の中央には、磁石（永久磁石）Ｍが設けられている。また、基台１１の対向する側面には、サイドプレート１３を装着するための複数（本実施形態では各２つ）のねじ孔１７が形成されている。また、基台１１には、図示しないエアポートが形成されている。エアポートは、図示しない圧力供給源に接続され、その圧力供給源から加圧流体としての加圧エアが基台１１に形成された図示しないエア通路を介して凹状半球面１６に供給されるようになっている。

球面ベース１２は、球面部１８とベース部１９とから構成される。球面部１８には、凸状半球面２０が形成されている。凸状半球面２０は、基台１１の凹状半球面１６と同一の曲率半径で形成されている。このため、球面ベース１２は、基台１１に対して装着されると、凸状半球面２０が凹状半球面１６に係合される。

また、球面ベース１２には、凸状半球面２０の反対面にベース部１９が形成されている。ベース部１９は、球面部１８の基端側よりも小さい直径を有する円柱状に形成されている。そして、ベース部１９の外周には、平坦状に切り欠かれた平坦面２１が形成されている。平坦面２１は、対向する２ヶ所に形成されている。

各平坦面２１には、ピン挿入孔２２が形成されている。そして、ベース部１９の各ピン挿入孔２２には、各１本の回動規制ピン（第１突部（突部））２３が装着されている。本実施形態において回動規制ピン２３は、ピン挿入孔２２に接着固定されている。また、回動規制ピン２３は、その先端がベース部１９の外方に突出するように装着されている。一対の回動規制ピン２３は、ベース部１９の径方向に沿って、同一軸線上に配置される。本実施形態において一対の回動規制ピン（第２突部（突部））２３は、Ｘ軸方向に沿って直線的に配置される。また、ベース部１９には、押さえ部材１５を装着するための複数（本実施形態では４つ）のねじ孔２４が形成されている。

サイドプレート１３は、平面視（Ｙ軸方向から見た場合）長方形の平板状に形成されている。サイドプレート１３には、複数（本実施形態では２つ）のねじ孔２５が形成されている。サイドプレート１３は、基台１１に対して図示しないボルトなどの締結具により締結固定されている。

また、各サイドプレート１３には、ピン挿入孔２６が形成されている。そして、各サイドプレート１３のピン挿入孔２６には、各１本の回動規制ピン２７が装着されている。本実施形態において回動規制ピン２７は、ピン挿入孔２６に圧入固定されている。また、回動規制ピン２７は、その先端がサイドプレート１３の外方に突出するように装着されている。一対の回動規制ピン２７は、サイドプレート１３が基台１１に装着されると、その先端が対向し、同一軸線上に配置される。本実施形態において一対の回動規制ピン２７は、Ｙ軸方向に沿って直線的に配置される。

本実施形態の倣い装置１０では、基台１１に対して球面ベース１２と一対のサイドプレート１３が装着されると、各回動規制ピン２３，２７は、図１に示すように、Ｚ軸方向に同一高さ位置で配置される。すなわち、各回動規制ピン２３，２７の中心軸線は、同一高さ位置に配置される。また、球面ベース１２の回動規制ピン２３とサイドプレート１３の回動規制ピン２７は、図２に示すように、直交配置される。本実施形態では、Ｘ軸とＹ軸によって形成されるＸＹ平面において直交配置される。そして、回動規制ピン２３と回動規制ピン２７は、Ｚ軸周りに９０度間隔で、かつ交互に配置される。

回り止めリング１４は、球面ベース１２の球面部１８と同一径をなす外周面及びベース部１９よりも大きい径をなす内周面を有するリング状に形成されている。回り止めリング１４は、その内周面で球面ベース１２のベース部１９を包囲するように球面ベース１２に対して装着されている。回り止めリング１４の外周には、平坦状に切り欠かれた平坦面２８が形成されている。平坦面２８は、４ヶ所に形成されている。各平坦面２８には、ピン挿入溝２９が形成されている。ピン挿入溝２９は、断面凹状（矩形溝）に形成されているとともに回り止めリング１４の外周面と内周面とを貫通して形成されている。また、ピン挿入溝２９は、回り止めリング１４の径方向に沿って同一深さで、かつ、直線的に形成されている。

各ピン挿入溝２９には、回り止めリング１４が球面ベース１２に装着されると、図１及び図２に示すように、球面ベース１２の回動規制ピン２３とサイドプレート１３の回動規制ピン２７が摺動可能に係合される。各ピン挿入溝２９は、回動規制ピン２３，２７の直径よりも若干大きい溝幅と溝深で形成されている。すなわち、各ピン挿入溝２９は、回動規制ピン２３，２７が挿入された際、ピン挿入溝２９と回動規制ピン２３，２７の外周面との間に若干の隙間（１０μｍ）が設けられるように形成されている。

押さえ部材１５は、平面視（Ｚ軸方向から見た場合）円形の平板状に形成されている。押さえ部材１５の外径は、回り止めリング１４の外径と同一径で形成されている。押さえ部材１５には、複数（本実施形態では４つ）のねじ孔３０が形成されている。押さえ部材１５は、球面ベース１２に対して図示しないボルトなどの締結具により締結固定されている。また、押さえ部材１５において球面ベース１２に装着される装着面と反対の面には、例えば、基板などの対象物の上面（特定面）に半導体チップを圧着するための図示しないツールが装着される。本実施形態の倣い装置１０では、その曲率中心がツールの先端面（基板などの対象物の表面）にある。したがって、本実施形態の倣い装置１０では、ツールの先端面がワークに当接する面、すなわち、倣い面となる。そして、本実施形態では、球面ベース１２においてベース部１９側の面が前記対象物と平行に倣う面となる。

次に、本実施形態の倣い装置１０で用いられる回動規制ピン２３，２７についてその構成を詳しく説明する。
本実施形態の回動規制ピン２３，２７は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、先端部（係合部位）３１と挿入部３２とからなる。本実施形態において、球面ベース１２に装着される回動規制ピン２３とサイドプレート１３に装着される回動規制ピン２７は、同一構成（形状、大きさ）とされている。挿入部３２は、球面ベース１２のピン挿入孔２２及びサイドプレート１３のピン挿入孔２６に挿入される部位である。一方、先端部３１は、球面ベース１２及びサイドプレート１３のそれぞれの外方に突出される部位である。回動規制ピン２３，２７は、その径方向断面が円形となる軸状に形成されている。そして、回動規制ピン２３，２７の先端部３１は、軸方向中央が膨出し、その中央両側が縮径され、その全体が樽形となるように形成されている。すなわち、先端部３１は、その全体が曲面をなすように形成されている。一方、挿入部３２は、軸方向全体に亘って同一径をなす円柱状に形成されている。回動規制ピン２３，２７は、径方向断面が円形をなす平行ピンの先端が樽形となるように旋削などにより削り出すことで作製される。

このように構成された本実施形態の倣い装置１０では、基台１１に対して球面ベース１２と一対のサイドプレート１３が装着される。そして、この状態で回り止めリング１４が球面ベース１２に装着されると、図１及び図２に示すように、各ピン挿入溝２９に各回動規制ピン２３，２７が挿入され、係合される。これにより、球面ベース１２は、基台１１に対してＸ軸周り及びＹ軸周りへの回動（揺動）が許容される。一方で、球面ベース１２は、各回動規制ピン２３，２７が回り止めリング１４の各ピン挿入溝２９に係合されることにより、Ｚ軸周りへの回動が規制される。本実施形態では、回り止めリング１４、ピン挿入溝２９、及び回動規制ピン２３，２７によって回り止め装置が構成される。

以下、本実施形態の倣い装置１０の作用を説明する。
倣い装置１０は、エアポートから加圧エアが供給されると、凹状半球面１６に加圧エアが噴出される。これにより、基台１１（凹状半球面１６）と球面ベース１２（凸状半球面２０）との界面に静圧がもたらされ、球面ベース１２は基台１１から離間する。それと同時に、球面ベース１２は、磁石Ｍの磁力によって基台１１に引き寄せられる。したがって、球面ベース１２は、基台１１から離れる力と基台１１に引き寄せられる力とが釣り合うことにより、凹状半球面１６と凸状半球面２０とが非接触な状態で回動可能に支持される。

この状態において、倣い装置１０が対象物（基板など）に押し付けられる。このとき、対象物がＹ軸方向に沿って傾斜していれば、その傾斜角度に追従するように球面ベース１２はＸ軸周りに回動する。これにより、対象物がＹ軸方向に傾斜してもいても、ツールの先端面（倣い面）は対象物に対して平行に倣う。一方、対象物がＸ軸方向に沿って傾斜していれば、その傾斜角度に追従するように球面ベース１２はＹ軸周りに回動する。これにより、対象物がＸ軸方向に傾斜していても、ツールの先端面（倣い面）は対象物に対して平行に倣う。

また、倣い装置１０では、球面ベース１２のＸ軸周り及びＹ軸周りの回動（揺動）を許容するために、回動規制ピン２３，２７の外周とピン挿入溝２９の内周との間に寸法差（本実施形態では１０μｍ）が設けられている。この寸法差は、球面ベース１２のＺ軸周りの回動量、すなわち、回り止め精度に影響するため、その量は僅かな値に設定される。そして、本実施形態の倣い装置１０では、回動規制ピン２３，２７が曲面を有するように形成されているので、組み付け時には回動規制ピン２３，２７とピン挿入溝２９との相対的な位置関係（位置、角度）の調整が不要となる。すなわち、角部を有するピンの場合（例えば、矩形ピン）には、前記ピンを挿入するピン挿入溝に対する前記ピンの位置や角度を考慮して組み付けないと、球面ベース１２の回動（揺動）により前記ピンがピン挿入溝にこじれることとなる。このように前記ピンがピン挿入溝にこじれると、球面ベース１２のＸ軸周り及びＹ軸周りへの回動（揺動）が規制される。

これに対して、本実施形態の回動規制ピン２３，２７は、曲面を有しているので、ピン挿入溝２９に対してこじれず、当該曲面が逃げの役割を担う。このため、組み付け精度を厳しく設定することなく（ピン挿入溝２９に対する回動規制ピン２３，２７の位置や角度を高精度に調整することなく）、組み付けられる。したがって、組み付け工数の削減を図りつつ、球面ベース１２のＸ軸周り及びＹ軸周りの回動量（揺動量）も確保され、位置決め精度を向上し得る。図５（ａ）は、回り止めリング１４のピン挿入溝２９に回動規制ピン２３，２７が真っ直ぐに挿入された状態を示し、図５（ｂ）は、ピン挿入溝２９に回動規制ピン２３，２７が傾いて挿入された状態を示す。図５（ｂ）に示すように回動規制ピン２３，２７が挿入されても、回動規制ピン２３，２７の先端部３１が曲面を有することでピン挿入溝２９に対してこじれない。本実施形態では、先端部３１が曲面を有することにより、当該先端部３１の先端がピン挿入溝２９の内面に当接せず逃がされ、接触を回避する接触回避部となる。

したがって、本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（１）球面ベース１２の回り止めとなる回動規制ピン２３，２７を、その係合部３１が曲面を有するように形成した。倣い装置１０では、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９に挿入されることにより、球面ベース１２のＺ軸周りの回動が規制される。そして、倣い装置１０では、球面ベース１２がＸ軸周り又はＹ軸周りに回動した際、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９の内面にてこじれない。このため、倣い装置１０の高精度化（位置決め精度の高精度化）を図ることができる。また、回動規制ピン２３，２７が曲面を有することにより、ピン挿入溝２９の内面でこじないので、倣い装置１０の組み付け時には回動規制ピン２３，２７とピン挿入溝２９との相対的な位置関係（位置や角度）を精度良く調整する必要がない。したがって、製造コスト増を抑制できる。

（２）回動規制ピン２３，２７は、球面ベース１２及びサイドプレート１３に対して圧入固定又は接着固定した。このため、回動規制ピン２３，２７の組み付けを簡素化することができる。すなわち、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９の内面でこじないので、回動規制ピン２３，２７の組み付け精度を厳しく設定する必要がなく、圧入固定や接着固定で対応することができる。したがって、倣い装置１０の製造工程を簡素化でき、製造コスト増を抑制できる。

（３）回動規制ピン２３，２７を樽形に形成した。このため、回動規制ピン２３，２７を平行ピンなどの丸棒材から旋削などにより簡単に作製することができる。したがって、倣い装置１０の製造コスト増を抑制できる。

（４）サイドプレート１３を、基台１１に対してボルトなどにより締結固定した。このため、回動規制ピン２３，２７の組み付けを簡素化することができる。すなわち、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９の内面でこじないので、回動規制ピン２３，２７の組み付け精度を厳しく設定する必要がなく、締結固定で対応することができる。したがって、倣い装置１０の製造工程を簡素化でき、製造コスト増を抑制できる。

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 実施形態において、回動規制ピン２３，２７の係合部３１の形状を、図６に示すように変更しても良い。図６（ａ）は、係合部３１が球状に形成された回動規制ピン２３，２７である。図６（ｂ）は、係合部３１の両端部に曲面を形成し（Ｒ面取り）、その中央部を円柱状に形成した回動規制ピン２３，２７である。すなわち、回動規制ピン２３，２７は、角部を排除した形状であれば、球面のように全体が曲面となるように形成しても良いし、一部を曲面に形成しても良い。

○ 実施形態において、回動規制ピン２３，２７やピン挿入溝２９の形状を、図７に示すように変更しても良い。図７の別例では、回り止めリング４６の形状が前記実施形態の回り止めリング１４の形状と同一であり、回り止めリング４６に形成されたピン挿入溝４７の形状が前記実施形態と異なっている。また、図７の別例では、回動規制ピン４８が円筒型（径方向断面が円形）の平行ピンとされている。図７の別例において、ピン挿入溝４７は、断面凹状に形成され、その延設方向の中央であって両溝側面には溝内に突出する突条部（係合部位）４９が形成されている。突条部４９は、溝の深さ方向に向かって同一突出幅で延設されている。この別例において、突条部４９は、厚みＸ（ピンの軸方向（ピン挿入溝の延設方向）に沿う厚み）が、１ｍｍ又はそれ以下となるように形成されていることが好ましい。この構成により、回動規制ピン４８は、ピン挿入溝４７内でこじれず、倣い装置１０の組み付け時には回動規制ピン４８とピン挿入溝４７との相対的な位置関係（位置や角度）を精度良く調整する必要がない。図７の別例では、ピン挿入溝４７内に突出する突条部４９を形成することにより、回動規制ピン４８の角部（先端）がピン挿入溝４７の内面に当接せず逃がされ、突条部４９が接触を回避する接触回避部となる。

○ 実施形態において、回り止めリング１４に回動規制ピン２３を装着し、球面ベース１２にピン挿入溝２９を形成しても良い。また、回り止めリング１４に回動規制ピン２７を装着し、サイドプレート１３にピン挿入溝２９を形成しても良い。

○ 実施形態において、基台１１に凸状半球面２０を形成し、球面ベース１２に凹状半球面１６を形成しても良い。
○ 実施形態において、サイドプレート１３を基台１１に対して装着する方法は変更しても良い。例えば、溶接固定しても良い。

○ 実施形態において、回動規制ピン２３を球面ベース１２に圧入固定しても良いし、回動規制ピン２７をサイドプレート１３に接着固定しても良い。また、各回動規制ピン２３，２７を、球面ベース１２及びサイドプレート１３に圧入固定又は接着固定しても良い。

○ 実施形態において、基台１１を平面視長方形や円形をなすブロック状に形成しても良い。また、サイドプレート１３の形状を変更しても良い。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。

（イ）凹状半球面及び凸状半球面のうちいずれか一方を備える固定部材に他方を備える可動部材を揺動可能に設け、前記両部材との間に加圧流体を噴出することによって前記両部材同士を非接触にし、その状態で前記可動部材を対象物に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置において、前記対象物と平行に倣う前記可動部材の面に直交する第１軸周りにおける前記可動部材の回動を規制する回り止め装置を備え、前記回り止め装置は、前記第１軸に直交する第２軸方向に配置され、一方が前記可動部材に設けられるとともに他方が前記可動部材に装着される回り止め部材に設けられて摺動可能に係合される第１溝部及び第１突部と、前記第１軸及び前記第２軸に直交する第３軸方向に配置され、一方が前記回り止め部材に設けられるとともに他方が前記固定部材に装着される支持部材に設けられて摺動可能に係合される第２溝部と第２突部とを有し、前記第１突部及び前記第２突部は、前記第１溝部及び第２溝部に係合される係合部位の全部又は一部が曲面で形成されている。

（ロ）支持部材は、固定部材に対して締結具により締結固定されている。
（ハ）第１溝部及び第２溝部は断面凹状に形成されている一方で、第１突部及び第２突部は断面円形に形成されている。

倣い装置の正面図。倣い装置の平面図。倣い装置の分解斜視図。（ａ）は回り止めリングと回動規制ピンを示す斜視図、（ｂ）は回動規制ピンの側面図。（ａ），（ｂ）はピン挿入溝に回動規制ピンが挿入された状態を示す平面図。（ａ），（ｂ）は別例の回動規制ピンを示す側面図。別例の回動規制ピンと回り止めリングを示す平面図。

符号の説明

１０…倣い装置、１１…基台（固定部材）、１２…球面ベース（可動部材）、１３…サイドプレート（支持部材）、１４…回り止めリング（回り止め部材）、１６…凹状半球面、２０…凸状半球面、２３…回動規制ピン（第１突部）、２７…回動規制ピン（第２突部）、２９…ピン挿入溝（第１溝部、第２溝部）、３１…先端部（接触回避部）、４７…ピン挿入溝（第１溝部、第２溝部）、４８…回動規制ピン（第１突部、第２突部）、４９…突条部（接触回避部）。

Claims

凹状半球面及び凸状半球面のうちいずれか一方を備える固定部材に他方を備える可動部材を揺動可能に設け、前記両部材との間に加圧流体を噴出することによって前記両部材同士を非接触にし、その状態で前記可動部材を対象物に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置において、
前記対象物と平行に倣う前記可動部材の面に直交する第１軸周りにおける前記可動部材の回動を規制する回り止め装置を備え、
前記回り止め装置は、
前記第１軸に直交する第２軸方向に配置され、一方が前記可動部材に設けられるとともに他方が前記可動部材に装着される回り止め部材に設けられて摺動可能に係合される第１溝部及び第１突部と、
前記第１軸及び前記第２軸に直交する第３軸方向に配置され、一方が前記回り止め部材に設けられるとともに他方が前記固定部材に装着される支持部材に設けられて摺動可能に係合される第２溝部と第２突部とを有し、
前記第１溝部の内周面と前記第１突部の外周面との間には第１の隙間が設けられ、前記第１の隙間は、前記第１軸方向の間隔が前記第３軸方向の間隔より大きく形成されており、
前記第２溝部の内周面と前記第２突部の外周面との間には第２の隙間が設けられ、前記第２の隙間は、前記第１軸方向の隙間が前記第２軸方向の隙間より大きく形成されており、
前記第１突部及び第２突部には、接触回避部が設けられ、
前記接触回避部は、前記溝部に係合される係合部位の全部又は一部を曲面で形成することにより構成されていることを特徴とする倣い装置。
前記接触回避部は、前記係合部位が樽形に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の倣い装置。
凹状半球面及び凸状半球面のうちいずれか一方を備える固定部材に他方を備える可動部材を揺動可能に設け、前記両部材との間に加圧流体を噴出することによって前記両部材同士を非接触にし、その状態で前記可動部材を対象物に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置において、
前記対象物と平行に倣う前記可動部材の面に直交する第１軸周りにおける前記可動部材の回動を規制する回り止め装置を備え、
前記回り止め装置は、
前記第１軸に直交する第２軸方向に配置され、一方が前記可動部材に設けられるとともに他方が前記可動部材に装着される回り止め部材に設けられて摺動可能に係合される第１溝部及び第１突部と、
前記第１軸及び前記第２軸に直交する第３軸方向に配置され、一方が前記回り止め部材に設けられるとともに他方が前記固定部材に装着される支持部材に設けられて摺動可能に係合される第２溝部と第２突部とを有し、
前記第１溝部の内周面と前記第１突部の外周面との間には第１の隙間が設けられ、前記第１の隙間は、前記第１軸方向の間隔が前記第３軸方向の間隔より大きく形成されており、
前記第２溝部の内周面と前記第２突部の外周面との間には第２の隙間が設けられ、前記第２の隙間は、前記第１軸方向の隙間が前記第２軸方向の隙間より大きく形成されており、
前記第１溝部及び第２溝部には、接触回避部が設けられ、
前記接触回避部は、前記溝部の内方に突出して円筒形状の前記突部に係合される突条部から構成されていることを特徴とする倣い装置。
前記突部は、圧入固定又は接着固定されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の倣い装置。