TWI633608B - 調芯裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種調芯裝置，具備具有既簡單且合理之設計構造的旋轉限制機構。

旋轉限制機構，是具有：接合框架，其係包圍調芯構件之周圍；及一對第1嵌合部，其係形成於該接合框架之X軸方向之相對的位置；及一對第2嵌合部，其係形成於該接合框架之Y軸方向之相對的位置；及一對X軸銷，其係沿著X軸方向而形成於裝置本體，且個別地嵌合於前述一對第1嵌合部；以及一對Y軸銷，其係沿著Y軸方向而形成於前述調芯構件，且個別地嵌合於前述一對第2嵌合部，前述銷為圓柱狀之銷，前述嵌合部之內壁，係具有傾斜面，該傾斜面是使其橫寬朝向前述銷之前端部側逐漸地擴大，並且在該傾斜面之端部具有前述銷所抵接的抵接部。

Description

調芯裝置

本發明係關於一種使半導體晶片等之工件平行地仿形並配置於安裝對象部位的調芯裝置。

用以使半導體晶片等之工件平行地仿形並配置於印刷電路基板等之安裝對象部位的調芯裝置(仿形裝置)，例如已公知如專利文獻1所揭示。該專利文獻1所揭示的調芯裝置，係具有：固定構件，其係具備凹狀半球面；以及可動構件，其係具備與前述凹狀半球面嵌合成擺動自如的凸狀半球面，該可動構件，係藉由設置於彼此正交之X軸方向及Y軸方向的銷，以X軸及Y軸為中心支撐成轉動自如。然後，藉由在前述凹狀半球面與凸狀半球面之間供應空氣來使前述固定構件和可動構件呈非接觸狀態，且在該狀態下使前述可動構件以前述X軸及Y軸為中心擺動，藉此以該可動構件使工件平行地仿形並按壓於對象部位。

前述調芯裝置，係為了防止因前述可動構件 繞著與前述X軸及Y軸正交之Z軸而旋轉所引起的定位精度之降低，而具有用以限制該可動構件之旋轉的止轉裝置。該止轉裝置，係藉由前述銷、和供該銷嵌合的銷插入槽所形成，並藉由該銷插入槽來限制前述銷之繞著Z軸的位移，藉此限制前述可動構件之繞著Z軸的旋轉。

在此情況下，只要將前述銷之外面與前述銷 插入槽之內面之間的間隙，在前述銷之能夠轉動的範圍內儘量地減小，就可以將前述可動構件之繞著Z軸的位移設為最小限並提高定位精度。但是，在將前述銷朝向X軸方向及Y軸方向安裝於前述固定構件或可動構件時的安裝精度之維持上有所界限，且必然會因加工公差或組裝公差等而發生銷與銷插入槽之位置關係的誤差等。因此，當減小前述銷與銷插入槽之間隙時，就會在仿形動作時於兩者之間發生扭轉，且發生可動構件之擺動無法順利進行等的問題。

於是，在前述專利文獻1所揭示的前述調芯 裝置中，係將前述銷形成為桶形，或是前述銷形成為固定直徑的圓筒形，並對前述銷插入槽之側壁的中間位置，施予形成用以使槽寬局部變窄之較細且具有固定厚度的肋條狀之突條部等的工夫，藉此即便是在因加工公差或組裝公差等而存在銷與銷插入槽之位置關係的誤差等之情況下，仍能防止在仿形動作時使前述銷之前端部接觸於銷插入孔之孔壁，且消除扭轉的問題。

但是，前述習知調芯裝置所採用之消除扭轉 用的構成，因銷或銷插入槽具有特殊且複雜的形狀或構造，故而上述的加工很麻煩且加工及製造成本也會變高。因此，被要求提供一種構成更簡單且低成本的止轉裝置。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特許第4713966號公報

本發明之目的係在於提供一種具有比習知裝置更簡單且合理之設計構造之止轉裝置的調芯裝置。

為了達成前述目的，依據本發明，則可提供一種調芯裝置，其係具備：裝置本體，其係具有凹球面；以及調芯構件，其係具有與前述凹球面嵌合的凸球面，且藉由在前述凹球面與凸球面之間供應空氣而使該凹球面和凸球面呈非接觸狀態，在該狀態下使前述調芯構件擺動以將工件平行地按壓於對象部位的調芯裝置。

前述調芯裝置，係具有用以限制前述調芯構件繞著通過前述凹球面之中心之Z軸而旋轉的旋轉限制機構，前述旋轉限制機構，係具有：接合框架，其係包圍前述調芯構件之周圍；及一對第1嵌合部，其係構成孔狀或槽狀，且 以夾隔著前述Z軸而佔據與該Z軸正交的X軸方向之相對的位置之方式形成於該接合框架；及一對第2嵌合部，其係構成孔狀或槽狀，且以夾隔著前述Z軸而佔據與該Z軸及前述X軸正交的Y軸方向之相對的位置之方式形成於前述接合框架；及一對X軸銷，其係沿著前述X軸方向形成於夾隔著前述裝置本體之前述Z軸而相對的位置，且個別地嵌合於前述一對第1嵌合部；以及一對Y軸銷，其係沿著前述Y軸方向形成於夾隔著前述調芯構件之前述Z軸而相對的位置，且個別地嵌合於前述一對第2嵌合部，前述X軸銷及Y軸銷，為具有均一直徑的圓柱狀之銷，前述第1嵌合部及第2嵌合部之內壁，係具有傾斜面，該傾斜面是傾斜於：其橫寬朝向前述X軸銷及Y軸銷之前端部側逐漸地擴大的方向，並且在該傾斜面之端部，具有前述X軸銷及Y軸銷所抵接的抵接部。

在本發明中較佳為：前述X軸銷，係從前述 接合框架之外側嵌合於前述第1嵌合部，前述Y軸銷，係從前述接合框架之內側嵌合於前述第2嵌合部，前述第1嵌合部之前述傾斜面，係傾斜於：從前述接合框架之外側朝向內側使該第1嵌合部之橫寬逐漸地擴大的方向，前述第2嵌合部之前述傾斜面，係傾斜於：從前述接合框架之內側朝向外側使該第2嵌合部之橫寬逐漸地擴大的方向。

在本發明中，也可為：前述X軸銷，係藉由 接觸於前述第1嵌合部之Z軸方向的端部來支撐前述接合框架，前述Y軸銷，係與前述第2嵌合部之Z軸方向的 端部處於非接觸狀態。

又，在本發明中，較佳為：前述第1嵌合部及第2嵌合部之前述傾斜面，係直線狀地傾斜於前述橫寬所擴大的方向。

依據本發明之較佳具體的構成態樣，則前述第1嵌合部及第2嵌合部為朝向Z軸方向延伸的槽，前述第2嵌合部，係開口於前述接合框架之面向前述裝置本體側的後端面，前述第1嵌合部，係開口於與前述接合框架之前述後端面為相反側的前端面。

依據本發明，則由於將旋轉限制機構中的X軸銷及Y軸銷形成為具有均一直徑的圓柱狀，並且將前述第1嵌合部及第2嵌合部之內壁，形成為傾斜面，該傾斜面是傾斜於：其橫寬朝向前述X軸銷及Y軸銷之前端部側逐漸地擴大的方向，並在該傾斜面之端部形成供前述X軸銷及Y軸銷抵接的抵接部，所以與習知裝置之旋轉限制機構比較，前述X軸銷及Y軸銷和前述第1嵌合部及第2嵌合部之構成變得非常簡單且合理，結果，前述X軸銷及Y軸銷和前述第1嵌合部及第2嵌合部之加工及製造變得容易而可以謀求低成本化。

1‧‧‧裝置本體

1a‧‧‧第1構件

1b‧‧‧第2構件

1c‧‧‧螺栓

1d、14a、17a‧‧‧O環

1e‧‧‧塊體安裝部

2‧‧‧調芯構件

2a‧‧‧本體部

2b‧‧‧球面形成部

2c‧‧‧側邊

3‧‧‧凹球面

4‧‧‧凸球面

5‧‧‧旋轉限制機構

6‧‧‧X軸銷

6a、7a‧‧‧前端部

6b、7b‧‧‧基端部

7‧‧‧Y軸銷

8‧‧‧空氣軸承

8a‧‧‧軸承安裝槽

9‧‧‧永久磁鐵

9a‧‧‧磁鐵安裝槽

10a‧‧‧空氣供應路

10b、10c‧‧‧空氣通路

11‧‧‧空氣供應埠口

13‧‧‧鎖定機構

14‧‧‧桿

15‧‧‧桿插通孔

16、32a‧‧‧螺孔

17、32‧‧‧螺桿

19‧‧‧活塞室

20‧‧‧活塞

20a‧‧‧活塞填料

21‧‧‧鎖定用頭部

21a‧‧‧上端面

22‧‧‧擴大孔部

22a‧‧‧頂面

23a‧‧‧第1壓力室

23b‧‧‧第2壓力室

24a‧‧‧第1空氣埠口

24b‧‧‧第2空氣埠口

25a、25b‧‧‧空氣通孔

28‧‧‧接合框架

28a、28b‧‧‧框邊

28c‧‧‧前端面

28d‧‧‧後端面

29‧‧‧第1嵌合部

30‧‧‧第2嵌合部

31‧‧‧銷安裝用塊體

33‧‧‧內壁

33a‧‧‧傾斜面

33b‧‧‧抵接部

33c‧‧‧抵接面

33d‧‧‧第2傾斜面

H‧‧‧抵接面33c之寬度

T‧‧‧框邊28a、28b之厚度

第1圖係從斜下方觀察本發明之調芯裝置的立體圖。

第2圖係第1圖的分解立體圖。

第3圖係第1圖的仰視圖。

第4圖係第3圖之IV-IV線的剖視圖。

第5圖係第3圖之V-V線的主要部分剖視圖。

第6圖係第3圖的主要部分放大剖視圖。

第7圖係第3圖的主要部分放大剖視圖。

第8圖係顯示旋轉限制機構之變化例的主要部分剖視圖。

圖係顯示本發明的調芯裝置之一實施形態，該調芯裝置，如第1圖至第5圖所示，係具備：裝置本體1，其係具有凹球面3；以及調芯構件2，其係具有與前述凹球面3嵌合成擺動自如的凸球面4，且藉由在前述凹球面3與凸球面4之間供應空氣而使該凹球面3和凸球面4呈非接觸狀態，在該狀態下，透過安裝於前述調芯構件2之下面(前面)的未圖示之接合頭(bonder head)將半導體晶片等的工件，按壓於印刷電路基板等的安裝對象部位，藉此平行地仿形並配置於前述安裝對象部位。

前述凹球面3之曲率半徑和凸球面4之曲率半徑係彼此相等，而前述凸球面4之曲率中心，係設定在前述接合頭之工件按壓面的中心。

又，前述調芯構件2，係複合以旋轉限制機構 5之彼此正交的X軸銷6及Y軸銷7作為中心之繞著X軸及繞著Y軸的旋轉，藉此構成可以朝向任意的方向擺動，有關前述旋轉限制機構5之構成將於後面詳細說明。

前述裝置本體1，為用以安裝於機械手臂等之 作業機器的構件，且利用螺栓1c來連結第1構件1a和第2構件1b，藉此形成為矩形的塊形，該裝置本體1之上表面被形成為用以安裝於前述作業機器的安裝面，且在該裝置本體1之下表面，形成有以Z軸為中心軸線的前述凹球面3。該凹球面3，係形成於前述裝置本體1上所固定的多孔質之空氣軸承8之下表面，該空氣軸承8，係藉由不鏽鋼等的非磁性材料而形成環狀，且以包圍前述Z軸的方式固定於前述裝置本體1上所形成的環狀之軸承安裝槽8a內。

又，在前述裝置本體1之內部之靠近前述空 氣軸承8之背後的位置，係形成有環狀之磁鐵安裝槽9a，且在該磁鐵安裝槽9a內，安裝有呈環狀的永久磁鐵9。

在前述磁鐵安裝槽9a之內周與前述永久磁鐵9之外周之間、以及前述永久磁鐵9之前端面與前述空氣軸承8之後端面之間，係形成有彼此連通的空氣通路10b、10c，該空氣通路10b、10c，是通過空氣供應路10a而與被形成於前述裝置本體1之側面的空氣供應埠口11連通。

然後，構成為：從前述空氣供應埠口11使壓 縮空氣，通過前述空氣供應路10a及空氣通路10b、10c而供應至前述空氣軸承8，當壓縮空氣從前述凹球面3噴出時，就會使前述凸球面4離開該凹球面3，且藉由使依空氣壓力而使前述凸球面4從前述凹球面3離開之力、和依前述永久磁鐵9而使磁性材料製之前述調芯構件2被吸引至裝置本體1側之力平衡，前述凹球面3和前述凸球面4，就可透過微少的間隙而維持非接觸狀態。

在被供應至前述凹球面3與前述凸球面4之 間的空氣並未朝向調芯裝置之前方噴出的情況下，只要構成如下即可：在前述裝置本體1之側面設置空氣回收埠口，並使該空氣回收埠口，通過形成於前述裝置本體1與調芯構件2之間的間隙而與前述凹球面3與凸球面4之間的空隙部連通，且從前述間隙通過該空氣回收埠口而回收前述空氣。

前述調芯構件2，係由本體部2a及球面形成 部2b所構成，該本體部2a係由鐵等的磁性材料所形成，用以安裝前述接合頭，該球面形成部2b係具有前述凸球面4。

前述本體部2a，為俯視外形狀構成大致正方形的構件，而外周面之四個角隅部係倒角成圓弧狀，且在該本體部2a之中心，形成有供後述的鎖定機構13之桿14插通的桿插通孔15，在該本體部2a之上表面連結有前述球面形成部2b，在該本體部2a之下表面即前面，形成有用以安裝前述接合頭的螺孔16。

另一方面，前述球面形成部2b，為俯視形狀為圓形的構件，且在與被連結於前述本體部2a的面為相反側之面即上表面，形成有前述凸球面4。該球面形成部2b之直徑係比前述本體部2a之對角方向的尺寸還大。

又，在前述裝置本體1之內部，係設置有用 以將前述調芯構件2鎖定於調芯位置的前述鎖定機構13。根據第4圖可明白，該鎖定機構13，係具有：活塞室19，其係形成於前述裝置本體1之第1構件1a與第2構件1b之間；及活塞20，其係透過活塞填料(piston packing)20a以氣密狀態朝向Z軸方向位移自如地容納於該活塞室19內；以及前述桿14，其係用螺桿17將基端部連結於該活塞20並沿著前述Z軸而延伸。

圖中的符號1d，為用以密封前述裝置本體1 之第1構件1a與第2構件1b之間的O環，符號14a，為用以密封前述桿14之外周與裝置本體1之內周之間的O環，符號17a，為用以密封前述螺桿17的頭部之外周的O環。

前述桿14之前端部分，係具有：鎖定用頭部 21，其係以游動狀態插通至被形成於前述調芯構件2之中心的前述桿插通孔15，並在其前端被大徑化，該鎖定用頭部21，是以不會從該擴大孔部22朝向外部突出的方式，嵌合於前述桿插通孔15之端部被大徑化的擴大孔部22內。

前述擴大孔部22之頂面22a係形成凹球面狀，而該 凹球面之曲率中心，係位在與前述凸球面4之曲率中心相同的位置。相對於此，雖然前述桿14的前述鎖定用頭部21之上端面21a，係形成為平面狀，但是也可配合前述擴大孔部22之頂面22a而形成為凸球面狀。

又，在前述活塞20之兩側，係形成有第1壓 力室23a和第2壓力室23b，該第1壓力室23a和第2壓力室23b，是通過空氣通孔25a、25b而個別地與形成於前述裝置本體1之側面的第1空氣埠口24a及第2空氣埠口24b連通。

然後，因在調芯動作時，當以從前述空氣供應埠口11將空氣供應至前述凹球面3與凸球面4之間的狀態，從前述第1空氣埠口24a將壓力空氣供應至前述第1壓力室23a，並且將前述第2壓力室23b內之空氣從第2空氣埠口24b排出時，前述桿14就會在第4圖中下降，故而可解除前述調芯構件2之鎖定，且能夠藉由該調芯構件2而進行工件的調芯動作。此時，也可不用將壓力空氣供應至前述第1壓力室23a內，而是呈將該第1壓力室23a和前述第2壓力室23b一起開放至大氣中的狀態。

在藉由前述調芯構件2進行工件之調芯之 後，當將前述第1壓力室23a內的空氣從第1空氣埠口24a排出，並且從前述第2空氣埠口24b將壓力空氣供應至前述第2壓力室23b內時，前述桿14就會上升，由於該桿14之鎖定用頭部21會抵接於前述調芯構件2的擴大孔部22之頂面22a並使該調芯構件2上升，且使該調芯 構件2之凸球面4壓接於裝置本體1之凹球面3而使該調芯構件2和裝置本體1一體化，所以該調芯構件2被鎖定於調芯位置。

前述調芯裝置，係具有用以限制前述調芯構 件2繞著Z軸而旋轉的前述旋轉限制機構5。該旋轉限制機構5，特別是從第1圖至第3圖可明確得知，係具有：接合框架28，其係包圍前述調芯構件2之周圍；及一對第1嵌合部29，其係以夾隔著前述Z軸而佔據與該Z軸正交的X軸方向之相對的位置之方式形成於該接合框架28；及一對第2嵌合部30，其係以夾隔著前述Z軸而佔據與該Z軸及前述X軸正交的Y軸方向之相對的位置之方式形成於前述接合框架28；及一對前述X軸銷6，其係沿著前述X軸方向形成於夾隔著前述裝置本體1之前述Z軸而相對的位置，且個別地嵌合於前述一對第1嵌合部29；以及一對前述Y軸銷7，其係沿著前述Y軸方向形成於夾隔著前述調芯構件2之前述Z軸而相對的位置，且個別地嵌合於前述一對第2嵌合部30。雖然前述X軸和Y軸，較佳是位在前述Z軸方向之相同的高度，但是也可為稍微的高度不同。

前述接合框架28，為俯視形狀構成為大致正 方形的構件，而外周面之四個角隅部係倒角成直線狀，內周面之四個角隅部係形成為圓弧狀。

在該接合框架28之四個框邊當中之與前述X軸交叉的二個相對框邊28a之各自的中央位置，係與前述Z軸平 行地形成有開口於Z軸方向之前端面28c之呈槽狀的前述第1嵌合部29，而在與前述Y軸交叉的二個相對框邊28b之各自的中央位置，係與前述Z軸平行地形成有開口於Z軸方向之後端面28d之呈槽狀的前述第2嵌合部30。前述後端面28d，為前述接合框架28之面向前述裝置本體1側的端面，前述前端面28c，係位在該後端面28d之相反側的端面，且為面向調芯裝置之前方的面。

前述X軸銷6，係分別安裝於前述裝置本體1 上所固定的一對銷安裝用塊體31。該銷安裝用塊體31，為前視形狀呈凸字形的構件，位在前述接合框架28之外側的位置，且用螺桿32固定於前述裝置本體1上所形成的塊體安裝部1e，分別使一個前述X軸銷6，以沿著前述X軸的方式安裝於各銷安裝用塊體31，該X軸銷6，從前述接合框架28之外側嵌合於前述第1嵌合部29內。圖中的符號32a，為形成於前述塊體安裝部1e的螺孔。

又，前述Y軸銷7，係以沿著Y軸的方式安 裝於前述調芯構件2之四個側邊當中之與前述Y軸交叉的二個相對側邊2c的中央位置，且從前述接合框架28之內側嵌合於前述第2嵌合部30內。

在將前述旋轉限制機構5裝配於調芯裝置 時，係在將前述一對銷安裝用塊體31從前述裝置本體1卸下的狀態下，使前述接合框架28，配置成：在使前述調芯構件2之Y軸銷7嵌合於前述第2嵌合部30的狀態下包圍該調芯構件2之外周，接著，將前述一對銷安裝用 塊體31，在使前述X軸銷6嵌合於第1嵌合部29的狀態下固定於裝置本體1。

藉此，固定於前述裝置本體1的X軸銷6， 就會嵌合、卡止於前述接合框架28之前述第1嵌合部29，藉此可限制該接合框架28之繞著Z軸的旋轉，又，因藉由固定於前述調芯構件2的Y軸銷7，嵌合、卡止於該接合框架28之前述第2嵌合部30，就可限制該調芯構件2之繞著Z軸的旋轉，故而可限制該調芯構件2對前述裝置本體1之繞著Z軸的旋轉。另一方面，該調芯構件2，係能夠繞著前述X軸及繞著Y軸而進行擺動。

此時，前述接合框架28，係藉由前述X軸銷 6接觸於前述第1嵌合部29之Z軸方向的端部(槽之上端部)，而支撐成已由該X軸銷6所懸吊的狀態，相對於此，前述Y軸銷7，係與前述第2嵌合部30之Z軸方向的端部(槽之下端部)成為非接觸的狀態。

因而，雖然前述接合框架28，係僅以夾介存 在於前述Y軸銷7與第2嵌合部30之內壁之間的間隙量可動於X軸方向，但是因前述X軸銷6接觸於前述第1嵌合部29之Z軸方向的端部，故而無法繞著Y軸而擺動。另一方面，因前述調芯構件2，係使前述Y軸銷7與第2嵌合部30之Z軸方向的端部處於非接觸的狀態，故而即便繞著X軸而擺動也不會接觸於前述接合框架28。

前述X軸銷6及Y軸銷7，為及於全長具有 均一直徑的圓柱狀之銷。前述X軸銷6和Y軸銷7之直 徑，可為彼此相等也可為彼此不同，在彼此不同的情況下，前述第1嵌合部和第2嵌合部之橫寬也會配合此而成為彼此不同。

又，前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之 槽寬即橫寬，雖然在該第1嵌合部29及第2嵌合部30之深度方向(Z軸方向)為固定，但是在進深方向(X軸及Y軸方向)並非為固定，如第6圖針對一對第1嵌合部29當中之一方的第1嵌合部29所示，又如第7圖針對一對第2嵌合部30當中之一方的第2嵌合部30所示，前述橫寬，係朝向前述X軸銷6及Y軸銷7之前端部6a、7a側(自由端側)逐漸地擴大，在該X軸銷6及Y軸銷7之基端部6b、7b側(固定端側)的部分成為最小，該橫寬為最小的部分，且構成藉由前述X軸銷6及Y軸銷7抵接於前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之內壁33，就可限制前述調芯構件2之旋轉。

亦即，前述第1嵌合部29及第2嵌合部30 之內壁33，係具有傾斜面33a，該傾斜面33a是直線地傾斜於：其橫寬朝向前述X軸銷6及Y軸銷7之前端部6a、7a側逐漸地擴大的方向，並且在該傾斜面33a之端部的前述橫寬為最小的部分，具有可供前述X軸銷6及Y軸銷7抵接的抵接部33b。然後，如第6圖所示，前述第1嵌合部29之傾斜面33a，係傾斜於：其橫寬從前述接合框架28之外側朝向內側逐漸地擴大的方向，並在該接合框架28之外側端具有前述抵接部33b，又，如第7圖所 示，前述第2嵌合部30之傾斜面33a，係傾斜於：其橫寬從前述接合框架28之內側朝向外側逐漸地擴大的方向，並在該接合框架28之內側端具有前述抵接部33b。

藉由該構成，就如第6圖及第7圖之鏈線所 示，即便是在前述X軸銷6及Y軸銷7，具有基於加工公差或組裝公差等而致使的微少的位置偏移或傾斜等，前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之橫寬依前述傾斜面33a而擴大的部分仍會成為凹口，可在調芯動作時，防止因前述X軸銷6及Y軸銷7之前端部6a、7a與前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之內壁33的接觸所引起的扭轉。

雖然前述傾斜面33a，也可形成於前述內壁 33整體，但是在該情況下，前述抵接部33b，係形成於前述接合框架28之外周端或內周端的位置並成為前端尖銳的形狀。於是，在欲避開抵接部33b之前端成為如此尖銳的形狀之情況下，如第6圖及第7圖所示，只要將前述抵接部33b之突端的抵接面33c，形成為與X軸及Y軸構成平行的平面，或是形成為圓弧狀之凸曲面即可。在將前述抵接面33c形成為平面的情況下，該抵接面33c之寬度H，較佳是儘量的小，例如較佳為0.5mm至2mm左右。 但是，也能夠按照繞著Z軸之定位精度或X軸銷6及Y軸銷7之安裝精度等而形成比其更大，例如，也能夠將前述抵接面33c之寬度H，擴大至如前述框邊28a、28b之厚度T的1/4以下或1/2以下之範圍。此時，前述抵接面33c之X軸方向及Y軸方向的兩端部、尤其是前述X軸 銷6及Y軸銷7之基端部6b、7b側的端部，也可倒角成直線狀或圓弧狀。

在用具有前述構成的調芯裝置來將工件安裝 於安裝對象部位時，藉由前述鎖定裝置而致使的前述調芯構件2之鎖定就會被解除。然後，當從前述裝置本體1之空氣供應埠口11供應壓縮空氣至前述凹球面3與凸球面4之間時，前述凹球面3和凸球面4即前述裝置本體1和調芯裝置就會成為非接觸狀態，在該狀態下，半導體晶片等的工件可透過被安裝於前述調芯構件2的未圖示之接合頭，按壓於印刷電路基板等的安裝對象部位，該工件，可藉此而配置成已對前述安裝對象部位平行地仿形的狀態。 此時，在前述安裝對象部位和工件相對地傾斜的情況下，前述調芯構件2，會按照該傾斜而以前述X軸銷6及Y軸銷7為中心而繞著X軸及繞著Y軸而複合式地擺動，且以使前述工件對前述安裝對象部位平行地仿形的方式進行調芯動作。

在前述調芯動作結束後，藉由從前述第2空 氣埠口24b將壓力空氣供應至前述鎖定裝置之第2壓力室23b內，並且將前述第1壓力室23a內之空氣從第1空氣埠口24a排出，來使前述桿14上升並使前述調芯構件2之凸球面4壓接於裝置本體1之凹球面3，藉此可以將該調芯構件2鎖定於調芯位置。

另一方面，在前述旋轉限制機構5中，因可 藉由被固定於前述裝置本體1的X軸銷6，抵接於前述接 合框架28之前述第1嵌合部29的抵接部33b並予以卡止，來限制該接合框架28之繞著Z軸的旋轉，又，可藉由被固定於前述調芯構件2的Y軸銷7，抵接於該接合框架28之前述第2嵌合部30的抵接部33b並予以卡止，來限制該調芯構件2之繞著Z軸的旋轉，故而可限制該調芯構件2對前述裝置本體1之繞著Z軸的旋轉。

此時，因前述第1嵌合部29及第2嵌合部30 之內壁33，係具有傾斜面33a，該傾斜面33a是傾斜於：其橫寬朝向前述X軸銷6及Y軸銷7之前端部6a、7a側逐漸地擴大的方向，故而即便是在前述X軸銷6及Y軸銷7，具有因加工公差或組裝公差等所引起的微少之位置偏移或傾斜等，前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之橫寬所擴大的部分仍會成為凹口，而可防止因前述X軸銷6及Y軸銷7之前端部6a、7a與前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之內壁33的接觸所引起的扭轉。

況且，將前述X軸銷6及Y軸銷7，形成為 及於全長具有均一直徑的圓柱狀，又，在前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之內壁33，具有傾斜面33a，該傾斜面33a是傾斜於：其橫寬朝向前述X軸銷6及Y軸銷7之前端側逐漸地擴大的方向，並在該傾斜面33a之端部的橫寬成為最小的部分，具有抵接於前述X軸銷6及Y軸銷7以限制旋轉的抵接部33b，藉此與習知裝置之旋轉限制機構5相較，則前述X軸銷6及Y軸銷7和前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之構成就變得非常簡單且合 理，結果，前述X軸銷6及Y軸銷7和前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之加工及製造就變得容易，並可以謀求低成本化。

另外，在圖示之實施形態中，雖然前述傾斜 面33a是形成直線狀，但是該傾斜面33a，也可朝向前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之內部彎曲成凸曲面狀。 在此情況下，在前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之內壁33，也可在呈凸曲面狀的前述傾斜面33a之端部，形成有與X軸及Y軸平行的平面狀之前述抵接面33c，或是也可為了構成前述傾斜面33a之凸曲面的延長而形成有呈凸曲面狀的前述抵接面33c。

又，在圖示之實施形態中，雖然前述第1嵌 合部29及第2嵌合部30，是形成在Z軸方向具有深度的槽之形狀，但是該第1嵌合部29及第2嵌合部30，也可為圓形的孔，或是也可為在Z軸方向較長之橢圓形或長圓形的孔。在此情況下，當然也是在該孔之內壁，形成有如前述槽之情況的傾斜面33a或抵接面33c。

更且，前述接合框架28之俯視形狀，並未被限定於如圖示之正方形，而是既可為長方形，又可為圓形。

又，在前述實施形態中，雖然前述第1嵌合部29及第2嵌合部30之前述抵接部33b，是形成於前述接合框架28之外周端及內周端，但是如第8圖所示之變化例，也可以將前述抵接部33b，形成於內壁33之X軸方向及Y軸方向的中間位置，且夾隔著該內壁33之前述 抵接部33b而在與前述傾斜面33a為相反側的部分，形成傾斜於與該傾斜面33a為相反方向的第2傾斜面33d。在此情況下，前述抵接部33b，較佳是形成於與前述內壁33之中央相對而偏靠X軸銷6及Y軸銷7之基端部6b、7b側的位置。

Claims (5)

1. 一種調芯裝置，係具備：裝置本體，其係具有凹球面；以及調芯構件，其係具有與前述凹球面嵌合的凸球面，且藉由在前述凹球面與凸球面之間供應空氣而使該凹球面和凸球面呈非接觸狀態，在該狀態下使前述調芯構件擺動以將工件平行地按壓於對象部位的調芯裝置，其特徵為：前述調芯裝置，是具有用以限制前述調芯構件繞著通過前述凹球面之中心之Z軸而旋轉的旋轉限制機構，前述旋轉限制機構，係具有：接合框架，其係包圍前述調芯構件之周圍；及一對第1嵌合部，其係構成孔狀或槽狀，且以夾隔著前述Z軸而佔據與該Z軸正交的X軸方向之相對的位置之方式形成於該接合框架；及一對第2嵌合部，其係構成孔狀或槽狀，且以夾隔著前述Z軸而佔據與該Z軸及前述X軸正交的Y軸方向之相對的位置之方式形成於前述接合框架；及一對X軸銷，其係沿著前述X軸方向形成於夾隔著前述裝置本體之前述Z軸而相對的位置，且個別地嵌合於前述一對第1嵌合部；以及一對Y軸銷，其係沿著前述Y軸方向形成於夾隔著前述調芯構件之前述Z軸而相對的位置，且個別地嵌合於前述一對第2嵌合部，前述X軸銷及Y軸銷，為具有均一直徑的圓柱狀之銷，前述第1嵌合部及第2嵌合部之內壁，係具有傾斜 面，該傾斜面是傾斜於：其橫寬朝向前述X軸銷及Y軸銷之前端部側逐漸地擴大的方向，並且在該傾斜面之端部，具有前述X軸銷及Y軸銷所抵接的抵接部。
2. 如申請專利範圍第1項所述的調芯裝置，其中，前述X軸銷，係從前述接合框架之外側嵌合於前述第1嵌合部，前述Y軸銷，係從前述接合框架之內側嵌合於前述第2嵌合部，前述第1嵌合部之前述傾斜面，係傾斜於：從前述接合框架之外側朝向內側使該第1嵌合部之橫寬逐漸地擴大的方向，前述第2嵌合部之前述傾斜面，係傾斜於：從前述接合框架之內側朝向外側使該第2嵌合部之橫寬逐漸地擴大的方向。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述的調芯裝置，其中，前述X軸銷，係藉由接觸於前述第1嵌合部之Z軸方向的端部來支撐前述接合框架，前述Y軸銷，係與前述第2嵌合部之Z軸方向的端部處於非接觸狀態。
4. 如申請專利範圍第1或2項所述的調芯裝置，其中，前述第1嵌合部及第2嵌合部之前述傾斜面，係直線狀地傾斜於前述橫寬所擴大的方向。
5. 如申請專利範圍第1或2項所述的調芯裝置，其中，前述第1嵌合部及第2嵌合部為朝向Z軸方向延伸的槽，前述第2嵌合部，係開口於前述接合框架之面向前述裝置本體側的後端面，前述第1嵌合部，係開口於與前述接合框架之前述後端面為相反側的前端面。