CN105082006A - 调心装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种调心装置，具备具有简单且合理的设计构造的旋转限制机构。旋转限制机构具有：包围调心构件的周围的接头框架；形成在该接头框架的X轴方向相对的位置的一对第一嵌合部和形成在Y轴方向相对的位置的一对第二嵌合部；在X轴方向形成在装置主体并个别地嵌合在上述一对第一嵌合部的一对X轴销；以及在Y轴方向形成在上述调心构件并个别地嵌合在上述一对第二嵌合部的一对Y轴销；上述销是圆柱状的销，上述嵌合部的内壁具有横向宽度朝向上述销的前端部侧逐渐扩大的倾斜面，并且在该倾斜面的端部具有供上述销抵接的抵接部。

Description

调心装置

技术领域

本发明涉及用于将半导体芯片等工件平行模仿地配置在安装对象部位的调心装置。

背景技术

用于将半导体芯片等工件平行模仿地配置在印刷基板等安装对象部位的调心装置(模仿装置)，例如像专利文献1公开的那样是公知的。该专利文献1公开的调心装置具有固定构件和可动构件，上述固定构件具备凹状半球面，上述可动构件具备摆动自如地与上述凹状半球面嵌合的凸状半球面，该可动构件由设置在相互正交的X轴方向和Y轴方向上的销支承，以便以X轴和Y轴为中心转动自如。而且，通过向上述凹状半球面和凸状半球面之间供给空气而使上述固定构件和可动构件处于非接触状态，在该状态下使上述可动构件以上述X轴和Y轴为中心摆动，从而由该可动构件将工件平行模仿地按压在对象部位。

为了防止由上述可动构件绕与上述X轴和Y轴正交的Z轴旋转而导致的定位精度的降低，上述调心装置具有用于限制该可动构件的旋转的止转装置。该止转装置由上述销和供该销嵌合的销插入槽形成，通过由该销插入槽来限制上述销绕Z轴的位移，限制上述可动构件绕Z轴的旋转。

在此情况下，只要使上述销的外面和上述销插入槽的内面之间的间隙在上述销能够转动的范围内尽可能小，就能够使上述可动构件绕Z轴的位移为最小限度地提高定位精度。但是，将上述销在X轴方向和Y轴方向安装到上述固定构件、可动构件时的安装精度的保持是有限度的，一定会产生由加工公差、装配公差等而导致的销和销插入槽的位置关系的误差等。因此，如果减小上述销和销插入槽的间隙，则在模仿动作时两者之间产生卡阻，产生上述可动构件的摆动无法顺滑地进行等问题。

因此，在上述专利文献1公开的上述调心装置中，施加如下的改进：使上述销形成为桶形，或者上述销形成为一定直径的圆筒形，在上述销插入槽的侧壁的中间位置形成用于局部性地缩小槽宽度的细且具有一定的厚度的肋状的突条部等，由此，即使在存在由加工公差、装配公差等而导致的销和销插入槽的位置关系的误差等情况下，也可防止在模仿动作时上述销的前端部与销插入孔的孔壁接触，消除卡阻的问题。

但是，上述以往的调心装置所采用的用于消除卡阻的结构，由于销或销插入槽具有特殊且复杂的形状或者构造，所以它们的加工费事且加工和制造成本也升高。因此，要求提供结构更为简单且低成本的止转装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4713966号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的在于提供一种调心装置，具备具有与以往装置相比更为简单且合理的设计构造的止转装置。

用于解决课题的手段

为了达到上述目的，根据本发明，提供一种调心装置，具备装置主体和调心构件，上述装置主体具有凹球面，上述调心构件具有与上述凹球面嵌合的凸球面，通过向上述凹球面和凸球面之间供给空气而使该凹球面和凸球面成为非接触状态，在该状态下使上述调心构件摆动，将工件平行地按压在对象部位。

上述调心装置具有旋转限制机构，该旋转限制机构限制上述调心构件绕通过上述凹球面的中心的Z轴的旋转，该旋转限制机构具有：接头框架，其包围上述调心构件的周围；一对第一嵌合部，其以占据隔着上述Z轴地与该Z轴正交的X轴方向的相对的位置的方式形成在上述接头框架，呈孔状或槽状；一对第二嵌合部，其以占据隔着上述Z轴地与该Z轴和上述X轴正交的Y轴方向的相对的位置的方式形成在上述接头框架，呈孔状或槽状；一对X轴销，其在上述X轴方向形成在上述装置主体的隔着上述Z轴相对的位置，个别地嵌合在上述一对第一嵌合部；以及一对Y轴销，其在上述Y轴方向形成在上述调心构件的隔着上述Z轴相对的位置，个别地嵌合在上述一对第二嵌合部；上述X轴销和Y轴销是具有均等直径的圆柱状的销，上述第一嵌合部和第二嵌合部的内壁具有倾斜面，并且在该倾斜面的端部具有供上述X轴销和Y轴销抵接的抵接部，上述倾斜面在横向宽度朝向上述X轴销和Y轴销的前端部侧逐渐扩大的方向上倾斜。

在本发明中优选为：上述X轴销从上述接头框架的外侧嵌合在上述第一嵌合部，上述Y轴销从上述接头框架的内侧嵌合在上述第二嵌合部，上述第一嵌合部的上述倾斜面在该第一嵌合部的横向宽度从上述接头框架的外侧朝向内侧逐渐扩大的方向上倾斜，上述第二嵌合部的上述倾斜面在该第二嵌合部的横向宽度从上述接头框架的内侧朝向外侧逐渐扩大的方向上倾斜。

在本发明中，上述X轴销通过与上述第一嵌合部的Z轴方向上的端部接触来支承上述接头框架，上述Y轴销可以与上述第二嵌合部的Z轴方向上的端部不接触。

另外，在本发明中，上述第一嵌合部和第二嵌合部的上述倾斜面优选为在上述横向宽度扩大的方向上呈直线状地倾斜。

根据本发明的优选的具体结构方式，上述第一嵌合部和第二嵌合部是在Z轴方向上延伸的槽，上述第二嵌合部在上述接头框架的朝向上述装置主体侧的后端面开口，上述第一嵌合部在上述接头框架的与上述后端面相反侧的前端面开口。

发明的效果

根据本发明，使旋转限制机构中的X轴销和Y轴销形成为具有均等直径的圆柱状，并且使上述第一嵌合部和第二嵌合部的内壁形成为在横向宽度朝向上述X轴销和Y轴销的前端部侧逐渐扩大的方向上倾斜的倾斜面，在该倾斜面的端部形成了供上述X轴销和Y轴销抵接的抵接部，因此与以往装置的旋转限制机构相比，上述X轴销和Y轴销以及上述第一嵌合部和第二嵌合部的结构非常简单且合理，结果，上述X轴销和Y轴销以及上述第一嵌合部和第二嵌合部的加工和制造变得容易，能够实现低成本化。

附图说明

图1是从斜下方观察的本发明的调心装置的立体图。

图2是图1的分解立体图。

图3是图1的仰视图。

图4是在图3的IV－IV线的剖视图。

图5是在图3的V－V线的主要部分剖视图。

图6是图3的主要部分放大剖视图。

图7是图3的主要部分放大剖视图。

图8是表示旋转限制机构的变形例的主要部分剖视图。

具体实施方式

附图表示本发明的调心装置的一实施方式，如图1至图5所示，该调心装置具备装置主体1和调心构件2，该装置主体1具有凹球面3，该调心构件2具有摆动自如地与上述凹球面3嵌合的凸球面4，通过向上述凹球面3和凸球面4之间供给空气而使该凹球面3和凸球面4处于非接触状态，在该状态下，经由安装在上述调心构件2的下面(前面)上的未图示的连接器头将半导体芯片等工件按压在印刷电路板等安装对象部位，从而平行模仿地配置在上述安装对象部位。

上述凹球面3的曲率半径和凸球面4的曲率半径彼此相等，上述凸球面4的曲率中心设定为上述连接器头的工件按压面的中心。

另外，上述调心构件2构成为：通过对以旋转限制机构5的相互正交的X轴销6和Y轴销7为中心的绕X轴和绕Y轴的旋转进行复合，能够在任意的方向上摆动。关于上述旋转限制机构5的结构，在后文详细地说明。

上述装置主体1是用于安装到机器人手臂等作业机器上的构件，通过由螺栓1c连结第一构件1a和第二构件1b而形成为矩形的块形，该装置主体1的上面被设为用于安装到上述作业机器上的安装面，在该装置主体1的下面形成了以Z轴为中心轴线的上述凹球面3。该凹球面3形成在固定到上述装置主体1上的多孔质的空气轴承8的下面，该空气轴承8由不锈钢等非磁性材料形成为环状，以包围上述Z轴的方式固定在形成于上述装置主体1的环状的轴承安装槽8a内。

另外，在上述装置主体1的内部的、上述空气轴承8的背后的位置，形成环状的磁铁安装槽9a，在该磁铁安装槽9a内安装了呈环状的永磁铁9。

在上述磁铁安装槽9a的内周和上述永磁铁9的外周之间，以及在上述永磁铁9的前端面和上述空气轴承8的后端面之间，形成相互连通的空气通路10b、10c，该空气通路10b、10c通过空气供给路10a与形成于上述装置主体1的侧面的空气供给端口11连通。

而且，当压缩空气从上述空气供给端口11通过上述空气供给路10a和空气通路10b、10c供给到上述空气轴承8并从上述凹球面3喷出时，上述凸球面4从该凹球面3分离，上述凸球面4由空气压力从上述凹球面3分离的力和磁性材料制的上述调心构件2由上述永磁铁9吸引到装置主体1侧的力取得平衡，从而上述凹球面3和凸球面4构成为经由微小的间隙来维持非接触状态。

在不欲使向上述凹球面3和凸球面4之间供给的空气朝向调心装置的前方喷出的情况下，只要构成为在上述装置主体1的侧面设置空气回收端口，使该空气回收端口通过在上述装置主体1和调心构件2之间形成的间隙而与上述凹球面3和凸球面4之间的空隙部连通，通过该空气回收端口从上述间隙回收上述空气即可。

上述调心构件2由铁等磁性材料形成，由用于安装上述连接器头的主体部2a和具有上述凸球面4的球面形成部2b构成。上述主体部2a是仰视外形形状呈大致正方形的构件，外周面的四个角部被倒角成圆弧状，在该主体部2a的中心形成供后述的锁定机构13的杆14插通的杆插通孔15，上述球面形成部2b与上述主体部2a的上面连结，在该主体部2a的下面即前面，形成了用于安装上述连接器头的螺钉孔16。

另一方面，上述球面形成部2b是俯视形状为圆形的构件，在与上述主体部2a连结的面的相反侧的面即上面，形成了上述凸球面4。该球面形成部2b的直径比上述主体部2a的对角方向的尺寸大。

另外，在上述装置主体1的内部设置了上述锁定机构13，该锁定机构13用于将上述调心构件2锁定在调心位置。从图4可知，该锁定机构13具有：活塞室19，其形成在上述装置主体1的第一构件1a和第二构件1b之间；活塞20，其经由活塞密封料20a以气密状态在Z轴方向上位移自如地收容在上述活塞室19内；以及上述杆14，其基端部由螺钉17连结到上述活塞20，该杆沿着上述Z轴延伸。

图中的附图标记1d是对上述装置主体1的第一构件1a和第二构件1b之间进行密封的O型圈，附图标记14a是对上述杆14的外周和装置主体1的内周之间进行密封的O型圈，附图标记17a是对上述螺钉17的头部的外周进行密封的O型圈。

上述杆14的前端部分呈浮动状态插通在形成于上述调心构件2的中心的上述杆插通孔15中，在其前端具有大径化了的锁定用头部21，该锁定用头部21以不从该扩大孔部22向外部突出的方式嵌合在上述杆插通孔15的端部的大径化了的扩大孔部22内。

上述扩大孔部22的顶面22a形成为凹球面状，该凹球面的曲率中心处于与上述凸球面4的曲率中心相同的位置。与此相对，上述杆14的上述锁定用头部21的上端面21a形成为平面状，但也可以与上述扩大孔部22的顶面22a相匹配地形成为凸球面状。

另外，在上述活塞20的两侧，形成第一压力室23a和第二压力室23b，该第一压力室23a和第二压力室23b通过空气通孔25a、25b，与形成在上述装置主体1的侧面的第一空气端口24a和第二空气端口24b个别地连通。

而且，在调心动作时，在从上述空气供给端口11向上述凹球面3和凸球面4之间供给空气的状态下，当从上述第一空气端口24a向上述第一压力室23a内供给压力空气并且将上述第二压力室23b内的空气从第二空气端口24b排出时，上述杆14在图4中下降，因此上述调心构件2的锁定被解除，能够由该调心构件2进行工件的调心动作。此时，也可以不向上述第一压力室23a内供给压力空气，而是使该第一压力室23a和上述第二压力室23b都处于向大气开放了的状态。

在由上述调心构件2进行了工件的调心之后，当将上述第一压力室23a内的空气从第一空气端口24a排出并且从上述第二空气端口24b向上述第二压力室23b内供给压力空气时，上述杆14上升，该杆14的锁定用头部21与上述调心构件2的扩大孔部22的顶面22a抵接而使该调心构件2上升，使该调心构件2的凸球面4压接到装置主体1的凹球面3而使该调心构件2和装置主体1一体化，因此该调心构件2被锁定在调心位置。

上述调心装置具有限制上述调心构件2绕Z轴旋转的上述旋转限制机构5。特别是从图1至图3可知，该旋转限制机构5具有：接头框架28，其包围上述调心构件2的外周；一对第一嵌合部29，其以占据隔着上述Z轴地与该Z轴正交的X轴方向的相对的位置的方式形成在该接头框架28；一对第二嵌合部30，其以占据隔着上述Z轴地与该Z轴和上述X轴正交的Y轴方向的相对的位置的方式形成在上述接头框架28；一对上述X轴销6，其在上述X轴方向形成在上述装置主体1的隔着上述Z轴相对的位置，个别地嵌合在上述一对第一嵌合部29；以及一对上述Y轴销7，其在上述Y轴方向形成在上述调心构件2的隔着上述Z轴相对的位置，个别地嵌合在上述一对第二嵌合部30。上述X轴和Y轴优选处于上述Z轴方向上的相同高度，但高度也可以稍微不同。

上述接头框架28是俯视形状呈大致正方形的构件，外周面的四个角部被倒角成直线状，内周面的四个角部形成为圆弧状。

在该接头框架28的四个框边之中的与上述X轴交叉的两个相对的框边28a的各自的中央位置，与上述Z轴平行地形成上述第一嵌合部29，其呈在Z轴方向的前端面28c开口的槽状，在与上述Y轴交叉的两个相对的框边28b的各自的中央位置，与上述Z轴平行地形成上述第二嵌合部30，其呈在Z轴方向的后端面28d开口的槽状。上述后端面28d是上述接头框架28的朝向上述装置主体1侧的端面，上述前端面28c是该后端面28d的相反侧的端面，是朝向调心装置的前方的面。

上述X轴销6分别安装在固定于上述装置主体1的一对销安装块31。该销安装块31是主视形状呈凸字形的构件，在上述接头框架28的外侧的位置，由螺钉32固定在形成于上述装置主体1的块安装部1e，在各销安装块31分别沿着上述X轴安装一个上述X轴销6，该X轴销6从上述接头框架28的外侧嵌合在上述第一嵌合部29内。图中的附图标记32a是形成在上述块安装部1e的螺钉孔。

另外，上述Y轴销7沿着Y轴安装在上述调心构件2的四个侧边之中的与上述Y轴交叉的两个相对的侧边2c的中央位置，从上述接头框架28的内侧嵌合在上述第二嵌合部30内。

在将上述旋转限制机构5向调心装置组装时，以从上述装置主体1拆下了上述一对销安装块31的状态，将上述接头框架28在使上述调心构件2的Y轴销7嵌合在上述第二嵌合部30的状态下配置成包围该调心构件2的外周，接着，将上述一对销安装块31在使上述X轴销6嵌合在第一嵌合部29的状态下固定在装置主体1。

由此，固定于上述装置主体1的X轴销6嵌合并卡定在上述接头框架28的上述第一嵌合部29，从而该接头框架28绕Z轴的旋转被限制，另外，固定于上述调心构件2的Y轴销7嵌合并卡定在该接头框架28的上述第二嵌合部30，从而该调心构件2绕Z轴的旋转被限制，因此该调心构件2的相对于上述装置主体1的绕Z轴的旋转会被限制。另一方面，该调心构件2能够绕上述X轴和绕Y轴摆动。

此时，通过上述X轴销6与上述第一嵌合部29的Z轴方向的端部(槽的上端部)接触，上述接头框架28由该X轴销6以悬挂的状态支承，与此相对地，上述Y轴销7与上述第二嵌合部30的Z轴方向上的端部(槽的下端部)成为非接触的状态。

因此，上述接头框架28与介于上述Y轴销7和第二嵌合部30的内壁之间的间隙量相应地在X轴方向上可动，但由于上述X轴销6与上述第一嵌合部29的Z轴方向上的端部接触，所以无法绕Y轴摆动。另一方面，由于上述Y轴销7与第二嵌合部30的Z轴方向上的端部处于非接触的状态，所以即使上述调心构件2绕X轴摆动也不与上述接头框架28接触。

上述X轴销6和Y轴销7是在全长上具有均等直径的圆柱状的销。上述X轴销6和Y轴销7的直径可以彼此相等，也可以彼此不同，在彼此不同的情况下，与之相匹配地，上述第一嵌合部和第二嵌合部的横向宽度也彼此不同。

另外，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的槽宽度即横向宽度在该第一嵌合部29和第二嵌合部30的深度方向(Z轴方向)上是一定的，但在进深方向(X轴和Y轴方向)上不是一定的，如图6表示一对第一嵌合部29之中的一方的第一嵌合部29的那样，另外，如图7表示一对第二嵌合部30之中的一方的第二嵌合部30的那样，构成为：上述横向宽度朝向上述X轴销6和Y轴销7的前端部6a、7a侧(自由端侧)逐渐扩大，在该X轴销6和Y轴销7的基端部6b、7b侧(固定端侧)的部分为最小，在该横向宽度最小的部分，上述X轴销6和Y轴销7与上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的内壁33抵接，由此限制上述调心构件2的旋转。

即，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的内壁33具有倾斜面33a，并且在该倾斜面33a的端部的上述横向宽度最小的部分，具有供上述X轴销6和Y轴销7抵接的抵接部33b，上述倾斜面33a在横向宽度朝向上述X轴销6和Y轴销7的前端部6a、7a侧逐渐扩大的方向上呈直线性地倾斜。而且，上述第一嵌合部29的倾斜面33a，如图6所示，在横向宽度从上述接头框架28的外侧朝向内侧逐渐扩大的方向上倾斜，在该接头框架28的外侧端具有上述抵接部33b，另外，上述第二嵌合部30的倾斜面33a，如图7所示，在横向宽度从上述接头框架28的内侧朝向外侧逐渐扩大的方向上倾斜，在该接头框架28的内侧端具有上述抵接部33b。

通过该结构，如图6和图7中点划线所示，即使上述X轴销6和Y轴销7存在基于加工公差、装配公差等的微小的位置偏移、倾斜等，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的横向宽度由上述倾斜面33a扩大了的部分也成为避让部分，在调心动作时，防止由上述X轴销6及Y轴销7的前端部6a、7a与上述第一嵌合部29及第二嵌合部30的内壁33的接触而导致的卡阻。

上述倾斜面33a也可以形成在整个上述内壁33，但在该情况下，上述抵接部33b形成在上述接头框架28的外周端或内周端的位置，成为前端尖的形状。因此，在想避免这样地抵接部33b成为前端尖的形状的情况下，只要如图6和图7所示，使上述抵接部33b的突端的抵接面33c形成为与X轴和Y轴平行的平面，或者形成为圆弧状的凸曲面即可。在使上述抵接面33c形成为平面的情况下，该抵接面33c的宽度H优选为尽可能小，例如优选为0.5～2mm左右。但是，也能够与绕Z轴的定位精度、X轴销6和Y轴销7的安装精度等对应地使宽度大于上述宽度，例如，也能够使上述抵接面33c的宽度H扩大到上述框边28a、28b的厚度T的1/4以下、1/2以下这样的范围。此时，上述抵接面33c的X轴方向和Y轴方向的两端部，特别是上述X轴销6和Y轴销7的基端部6b、7b侧的端部也可以倒角成直线状或圆弧状。

在用具有上述结构的调心装置将工件安装到安装对象部位时，由上述锁定装置进行的上述调心构件2的锁定被解除。然后，当从上述装置主体1的空气供给端口11向上述凹球面3和凸球面4之间供给压缩空气时，上述凹球面3和凸球面4即上述装置主体1和调心装置变成非接触状态，在该状态下，半导体芯片等工件经由安装在上述调心构件2的未图示的连接器头而被按压在印刷电路板等安装对象部位，由此，该工件被配置成相对于上述安装对象部位平行地模仿的状态。此时，在上述安装对象部位和工件相对地倾斜的情况下，上述调心构件2与该倾斜对应地以上述X轴销6和Y轴销7为中心绕X轴和绕Y轴复合地摆动，进行调心动作，以使上述工件相对于上述安装对象部位平行地模仿。

上述调心动作结束后，从上述第二空气端口24b向上述锁定装置的第二压力室23b内供给压力空气，并且将上述第一压力室23a内的空气从第一空气端口24a排出，由此使上述杆14上升而使上述调心构件2的凸球面4压接到装置主体1的凹球面3，从而能够将该调心构件2锁定在调心位置。

另一方面，在上述旋转限制机构5中，固定于上述装置主体1的X轴销6抵接并卡定在上述接头框架28的上述第一嵌合部29的抵接部33b，由此，该接头框架28绕Z轴的旋转被限制，另外，固定于上述调心构件2的Y轴销7抵接并卡定在该接头框架28的上述第二嵌合部30的抵接部33b，由此，该调心构件2绕Z轴的旋转被限制，因此该调心构件2相对于上述装置主体1的绕Z轴的旋转被限制。

此时，由于上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的内壁33具有在横向宽度朝向上述X轴销6和Y轴销7的前端部6a、7a侧逐渐扩大的方向上倾斜的倾斜面33a，所以即使上述X轴销6和Y轴销7存在由加工公差、装配公差等而导致的微小的位置偏移、倾斜等，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的横向宽度扩大了的部分也成为避让部分，防止由上述X轴销6和Y轴销7的前端部6a、7a与上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的内壁33的接触而导致的卡阻。

如此，使上述X轴销6和Y轴销7形成为在全长上具有均等直径的圆柱状，另外，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30在其内壁33形成在横向宽度朝向上述X轴销6和Y轴销7的前端侧逐渐扩大的方向上倾斜的倾斜面33a，在该倾斜面33a的端部的横向宽度最小的部分形成了与上述X轴销6和Y轴销7抵接来限制旋转的抵接部33b，从而与以往装置的旋转限制机构5相比，上述X轴销6和Y轴销7以及上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的结构非常简单且合理，结果，上述X轴销6和Y轴销7以及上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的加工与制造变得容易，能够实现低成本化。

此外，在图示的实施方式中，上述倾斜面33a呈直线状，但该倾斜面33a也可以朝向上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的内部弯曲成凸曲面状。在此情况下，在上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的内壁33上呈凸曲面状的上述倾斜面33a的端部，也可以形成与X轴和Y轴平行的平面状的上述抵接面33c，或者，也可以以构成上述倾斜面33a的凸曲面的延长的方式形成呈凸曲面状的上述抵接面33c。

另外，在图示的实施方式中，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30呈在Z轴方向上具有深度的槽的形状，但该第一嵌合部29和第二嵌合部30也可以是圆形的孔，或者也可以是在Z轴方向上长的椭圆形或长圆形的孔。在此情况下，当然也在该孔的内壁形成如上述槽的情况那样的倾斜面33a、抵接面33c等。

并且，上述接头框架28的俯视形状不限定于如图所示的正方形，无论是长方形还是圆形都可以。

另外，在上述实施方式中，上述第一嵌合部29和第二嵌合部30的上述抵接部33b形成在上述接头框架28的外周端和内周端，但也能够如图8所示的变形例那样，使上述抵接部33b形成在内壁33的X轴方向和Y轴方向的中间位置，在该内壁33的隔着上述抵接部33b与上述倾斜面33a相反侧的部分，形成在该倾斜面33a相反方向上倾斜的第二倾斜面33d。在此情况下，上述抵接部33b优选为形成在相对于上述内壁33的中央靠近X轴销6和Y轴销7的基端部6b、7b侧的位置。

附图标记说明

1装置主体

2调心构件

3凹球面

4凸球面

5旋转限制机构

6X轴销

6a前端部

7Y轴销

7a前端部

28接头框架

28c前端面

28d后端面

29第一嵌合部

30第二嵌合部

33内壁

33a倾斜面

33b抵接部

Claims (5)

1.一种调心装置，具备装置主体和调心构件，所述装置主体具有凹球面，所述调心构件具有与所述凹球面嵌合的凸球面，通过向所述凹球面和凸球面之间供给空气而使所述凹球面和凸球面成为非接触状态，在该状态下使所述调心构件摆动，从而将工件平行地按压在对象部位，其特征在于，

所述调心装置具有旋转限制机构，该旋转限制机构限制所述调心构件绕通过所述凹球面的中心的Z轴的旋转，

所述旋转限制机构具有：接头框架，其包围所述调心构件的周围；一对第一嵌合部，其以占据隔着所述Z轴地与该Z轴正交的X轴方向的相对的位置的方式形成在所述接头框架，呈孔状或槽状；一对第二嵌合部，其以占据隔着所述Z轴地与该Z轴和所述X轴正交的Y轴方向的相对的位置的方式形成在所述接头框架，呈孔状或槽状；一对X轴销，其在所述X轴方向形成在所述装置主体的隔着所述Z轴相对的位置，个别地嵌合在所述一对第一嵌合部；以及一对Y轴销，其在所述Y轴方向形成在所述调心构件的隔着所述Z轴相对的位置，个别地嵌合在所述一对第二嵌合部；

所述X轴销和Y轴销是具有均等直径的圆柱状的销，

所述第一嵌合部和第二嵌合部的内壁具有倾斜面，并且在该倾斜面的端部具有供所述X轴销和Y轴销抵接的抵接部，所述倾斜面在横向宽度朝向所述X轴销和Y轴销的前端部侧逐渐扩大的方向上倾斜。

2.根据权利要求1上述的调心装置，其特征在于，

所述X轴销从所述接头框架的外侧嵌合在所述第一嵌合部，所述Y轴销从所述接头框架的内侧嵌合在所述第二嵌合部，所述第一嵌合部的所述倾斜面在该第一嵌合部的横向宽度从所述接头框架的外侧朝向内侧逐渐扩大的方向上倾斜，所述第二嵌合部的所述倾斜面在该第二嵌合部的横向宽度从所述接头框架的内侧朝向外侧逐渐扩大的方向上倾斜。

3.根据权利要求1或2上述的调心装置，其特征在于，

所述X轴销通过与所述第一嵌合部的Z轴方向上的端部接触来支承所述接头框架，所述Y轴销与所述第二嵌合部的Z轴方向上的端部不接触。

4.根据权利要求1或2上述的调心装置，其特征在于，

所述第一嵌合部和第二嵌合部的所述倾斜面在所述横向宽度扩大的方向上呈直线状地倾斜。

5.根据权利要求1或2上述的调心装置，其特征在于，

所述第一嵌合部和第二嵌合部是在Z轴方向上延伸的槽，所述第二嵌合部在所述接头框架的朝向所述装置主体侧的后端面开口，所述第一嵌合部在所述接头框架的与所述后端面相反侧的前端面开口。