JP2007027516A - 倣い装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台11に球面ベース12とサイドプレート13を装着し、球面ベース12に回り止めリング14を装着する。そして、球面ベース12の回動規制ピン23は回り止めリング14のピン挿入孔29に係合されるとともに、サイドプレート13の回動規制ピン27は回り止めリング14のピン挿入孔29に係合され、球面ベース12のZ軸の軸線周りへの回動が規制される。そして、回動規制ピン23,27は、曲面を有するように形成されている。
【選択図】 図1
Description
また、前記接触回避部は、前記溝部に設けられており、前記溝部の内方に突出し、前記突部に係合される突条部から構成しても良い。
なお、以下の説明では、倣い装置10の上下(鉛直)方向をZ軸(第1軸)方向とし、このZ軸方向に対して直交し、かつ同一水平面上において互いに直交する方向をX軸(第2軸)方向及びY軸(第3軸)方向とする。
本実施形態の回動規制ピン23,27は、図4(a),(b)に示すように、先端部(係合部位)31と挿入部32とからなる。本実施形態において、球面ベース12に装着される回動規制ピン23とサイドプレート13に装着される回動規制ピン27は、同一構成(形状、大きさ)とされている。挿入部32は、球面ベース12のピン挿入孔22及びサイドプレート13のピン挿入孔26に挿入される部位である。一方、先端部31は、球面ベース12及びサイドプレート13のそれぞれの外方に突出される部位である。回動規制ピン23,27は、その径方向断面が円形となる軸状に形成されている。そして、回動規制ピン23,27の先端部31は、軸方向中央が膨出し、その中央両側が縮径され、その全体が樽形となるように形成されている。すなわち、先端部31は、その全体が曲面をなすように形成されている。一方、挿入部32は、軸方向全体に亘って同一径をなす円柱状に形成されている。回動規制ピン23,27は、径方向断面が円形をなす平行ピンの先端が樽形となるように旋削などにより削り出すことで作製される。
倣い装置10は、エアポートから加圧エアが供給されると、凹状半球面16に加圧エアが噴出される。これにより、基台11(凹状半球面16)と球面ベース12(凸状半球面20)との界面に静圧がもたらされ、球面ベース12は基台11から離間する。それと同時に、球面ベース12は、磁石Mの磁力によって基台11に引き寄せられる。したがって、球面ベース12は、基台11から離れる力と基台11に引き寄せられる力とが釣り合うことにより、凹状半球面16と凸状半球面20とが非接触な状態で回動可能に支持される。
(1)球面ベース12の回り止めとなる回動規制ピン23,27を、その係合部31が曲面を有するように形成した。倣い装置10では、回動規制ピン23,27がピン挿入溝29に挿入されることにより、球面ベース12のZ軸周りの回動が規制される。そして、倣い装置10では、球面ベース12がX軸周り又はY軸周りに回動した際、回動規制ピン23,27がピン挿入溝29の内面にてこじれない。このため、倣い装置10の高精度化(位置決め精度の高精度化)を図ることができる。また、回動規制ピン23,27が曲面を有することにより、ピン挿入溝29の内面でこじないので、倣い装置10の組み付け時には回動規制ピン23,27とピン挿入溝29との相対的な位置関係(位置や角度)を精度良く調整する必要がない。したがって、製造コスト増を抑制できる。
○ 実施形態において、回動規制ピン23,27の係合部31の形状を、図6に示すように変更しても良い。図6(a)は、係合部31が球状に形成された回動規制ピン23,27である。図6(b)は、係合部31の両端部に曲面を形成し(R面取り)、その中央部を円柱状に形成した回動規制ピン23,27である。すなわち、回動規制ピン23,27は、角部を排除した形状であれば、球面のように全体が曲面となるように形成しても良いし、一部を曲面に形成しても良い。
○ 実施形態において、サイドプレート13を基台11に対して装着する方法は変更しても良い。例えば、溶接固定しても良い。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
(ハ)第1溝部及び第2溝部は断面凹状に形成されている一方で、第1突部及び第2突部は断面円形に形成されている。
Claims (6)
- 凹状半球面及び凸状半球面のうちいずれか一方を備える固定部材に他方を備える可動部材を揺動可能に設け、前記両部材との間に加圧流体を噴出することによって前記両部材同士を非接触にし、その状態で前記可動部材を対象物に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置において、
前記対象物と平行に倣う前記可動部材の面に直交する第1軸周りにおける前記可動部材の回動を規制する回り止め装置を備え、
前記回り止め装置は、
前記第1軸に直交する第2軸方向に配置され、一方が前記可動部材に設けられるとともに他方が前記可動部材に装着される回り止め部材に設けられて摺動可能に係合される第1溝部及び第1突部と、
前記第1軸及び前記第2軸に直交する第3軸方向に配置され、一方が前記回り止め部材に設けられるとともに他方が前記固定部材に装着される支持部材に設けられて摺動可能に係合される第2溝部と第2突部とを有し、
係合し合う溝部と突部のいずれか一方に、前記突部の先端と前記溝部の内面との接触を回避する接触回避部を設けたことを特徴とする倣い装置。 - 前記接触回避部は、前記突部に設けられており、
前記溝部に係合される係合部位の全部又は一部を曲面で形成することにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の倣い装置。 - 前記突部は、前記係合部位が樽形に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の倣い装置。
- 前記接触回避部は、前記突部に設けられており、
前記溝部に係合される円板部と、その円板部が外周に形成されて当該円板部よりも小径の筒部とから構成されていることを特徴とする請求項1に記載の倣い装置。 - 前記接触回避部は、前記溝部に設けられており、
前記溝部の内方に突出し、前記突部に係合される突条部から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の倣い装置。 - 前記突部は、圧入固定又は接着固定されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のうちいずれか一項に記載の倣い装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005209126A JP4713966B2 (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | 倣い装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005209126A JP4713966B2 (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | 倣い装置 |
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JP2007027516A true JP2007027516A (ja) | 2007-02-01 |
JP4713966B2 JP4713966B2 (ja) | 2011-06-29 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005209126A Active JP4713966B2 (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | 倣い装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4713966B2 (ja) |
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