JP2008294099A - 揺動体拘束機構および基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る揺動体拘束機構は、球面座111に沿って運動する揺動体113の運動を拘束する揺動体拘束機構であって、揺動体113に形成された円筒面形状の切り込み面119と、先端が球面形状であって切り込み面119に当接する押し部材115とを有して構成されている。
【選択図】図2
Description
115 押し部材 119 切り込み面
311 ボールローラ
405 上部基板保持部 406 下部基板保持部
407 ティルトステージ(傾き制御部材)
409 XYステージ 441 Zステージ
Claims (3)
- 球面座に沿って運動する揺動体の運動を拘束する揺動体拘束機構であって、
前記揺動体に形成された円筒面形状の切り込み面と、
先端が球面形状であって前記切り込み面に当接する押し部材とを有することを特徴とする揺動体拘束機構。 - 前記押し部材がボールローラであることを特徴とする請求項1に記載の揺動体拘束機構。
- 基板貼り合わせ装置であって、
上部基板保持部材と、
下部基板保持部材と、
前記下部基板保持部材を支持する、球面座と球面形状を有する揺動体からなる傾き制御部材と、
前記傾き制御部材を基板面と平行な面内で移動させるXYステージと、
前記傾き制御部材を前記基板面に垂直方向に移動させるZステージと、
貼り合わせ基板同士の位置合わせを行うアライメント部材とを有し、
前記傾き制御部材は、前記揺動体に形成された円筒面形状の切り込み面と、先端が球面形状で前記切り込み面に当接する押し部材とからなる揺動体拘束機構を有することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
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