JP6191537B2 - 調芯装置 - Google Patents
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Description
前記調芯装置は、前記凹球面の中心を通るZ軸の回りの前記調芯部材の回転を規制する回転規制機構を有していて、該回転規制機構は、前記調芯部材の回りを取り囲むジョイントフレームと、該ジョイントフレームに、前記Z軸を挟んで該Z軸と直交するX軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第1嵌合部と、前記ジョイントフレームに、前記Z軸を挟んで該Z軸及び前記X軸と直交するY軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第2嵌合部と、前記装置本体の前記Z軸を挟んで相対する位置に前記X軸方向に形成され、前記一対の第1嵌合部に個別に嵌合する一対のX軸ピンと、前記調芯部材の前記Z軸を挟んで相対する位置に前記Y軸方向に形成され、前記一対の第2嵌合部に個別に嵌合する一対のY軸ピンとを有し、前記X軸ピン及びY軸ピンは、均一直径を有する円柱状のピンであり、前記第1嵌合部及び第2嵌合部の内壁は、前記X軸ピン及びY軸ピンの先端部側に向けて次第に横幅が拡大する方向に傾斜する傾斜面を有すると共に、該傾斜面の端部に、前記X軸ピン及びY軸ピンが当接する当接部を有する。
また、本発明において、前記第1嵌合部及び第2嵌合部の前記傾斜面は、前記横幅が拡大する方向に直線状に傾斜していることが望ましい。
本発明の好ましい具体的な構成態様によれば、前記第1嵌合部及び第2嵌合部はZ軸方向に延びる溝であり、前記第2嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記装置本体側を向く後端面に開口し、前記第1嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記後端面と反対側の前端面に開口している。
前記凹球面3の曲率半径と凸球面4の曲率半径とは互いに等しく、前記凸球面4の曲率中心は、前記ボンダーヘッドのワーク押圧面の中心に設定されている。
前記磁石取付溝9aの内周と前記永久磁石9の外周との間、及び、前記永久磁石9の前端面と前記エア軸受8の後端面との間には、互いに連通するエア通路10b,10cが形成され、このエア通路10b,10cが、前記装置本体1の側面に形成されたエア供給ポート11にエア供給路10aを通じて連通している。
前記本体部2aは、下面視外形状が略正方形をなす部材で、外周面の4つの角部は円弧状に面取りされ、該本体部2aの中心に、後述するロック機構13のロッド14が挿通するロッド挿通孔15が形成され、該本体部2aの上面に前記球面形成部2bが連結され、該本体部2aの下面即ち前面に、前記ボンダーヘッドを取り付けるための螺子孔16が形成されている。
一方、前記球面形成部2bは、平面視形状が円形の部材で、前記本体部2aに連結された面とは反対側の面即ち上面に、前記凸球面4が形成されている。該球面形成部2bの直径は前記本体部2aの対角方向の寸法より大きい。
前記拡大孔部22の頂面22aは凹球面状に形成され、該凹球面の曲率中心は、前記凸球面4の曲率中心と同じ位置にある。これに対し、前記ロッド14の前記ロック用頭部21の上端面21aは、平面状に形成されているが、前記拡大孔部22の頂面22aに合わせて凸球面状に形成しても良い。
そして、調芯動作時に、前記エア供給ポート11から前記凹球面3と凸球面4との間にエアを供給している状態で、前記第1エアポート24aから前記第1圧力室23a内に圧力エアを供給すると共に、前記第2圧力室23b内のエアを第2エアポート24bから排出すると、前記ロッド14が図4において下降するため、前記調芯部材2のロックが解除され、該調芯部材2によるワークの調芯動作が可能になる。このとき、前記第1圧力室23a内に圧力エアを供給することなく、該第1圧力室23aと前記第2圧力室23bとを共に大気に開放した状態にしても良い。
該ジョイントフレーム28の4つの枠辺のうち、前記X軸と交差する2つの相対する枠辺28aの各々の中央位置には、Z軸方向の前端面28cに開口する溝状をした前記第1嵌合部29が、前記Z軸と平行に形成され、前記Y軸と交差する2つの相対する枠辺28bの各々の中央位置には、Z軸方向の後端面28dに開口する溝状をした前記第2嵌合部30が、前記Z軸と平行に形成されている。前記後端面28dは、前記ジョイントフレーム28の前記装置本体1側を向く端面であり、前記前端面28cは、該後端面28dの反対側の端面で、調芯装置の前方を向く面である。
更に、前記ジョイントフレーム28の平面視形状は、図示したような正方形に限定されず、長方形であっても、円形であっても構わない。
2 調芯部材
3 凹球面
4 凸球面
5 回転規制機構
6 X軸ピン
6a 先端部
7 Y軸ピン
7a 先端部
28 ジョイントフレーム
28c 前端面
28d 後端面
29 第1嵌合部
30 第2嵌合部
33 内壁
33a 傾斜面
33b 当接部
Claims (5)
- 凹球面を有する装置本体と、前記凹球面に嵌合する凸球面を有する調芯部材とを備え、前記凹球面と凸球面との間にエアを供給することにより該凹球面と凸球面とを非接触状態にし、その状態で前記調芯部材を揺動させてワークを対象部位に平行に押し付けるようにした調芯装置において、
前記調芯装置が、前記凹球面の中心を通るZ軸の回りの前記調芯部材の回転を規制する回転規制機構を有し、
前記回転規制機構は、前記調芯部材の回りを取り囲むジョイントフレームと、該ジョイントフレームに、前記Z軸を挟んで該Z軸と直交するX軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第1嵌合部と、前記ジョイントフレームに、前記Z軸を挟んで該Z軸及び前記X軸と直交するY軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第2嵌合部と、前記装置本体の前記Z軸を挟んで相対する位置に前記X軸方向に形成され、前記一対の第1嵌合部に個別に嵌合する一対のX軸ピンと、前記調芯部材の前記Z軸を挟んで相対する位置に前記Y軸方向に形成され、前記一対の第2嵌合部に個別に嵌合する一対のY軸ピンとを有し、
前記X軸ピン及びY軸ピンは、均一直径を有する円柱状のピンであり、
前記第1嵌合部及び第2嵌合部の内壁は、前記X軸ピン及びY軸ピンの先端部側に向けて次第に横幅が拡大する方向に傾斜する傾斜面を有すると共に、該傾斜面の端部に、前記X軸ピン及びY軸ピンが当接する当接部を有する、
ことを特徴とする調芯装置。 - 前記X軸ピンは、前記第1嵌合部に前記ジョイントフレームの外側から嵌合し、前記Y軸ピンは、前記第2嵌合部に前記ジョイントフレームの内側から嵌合し、前記第1嵌合部の前記傾斜面は、前記ジョイントフレームの外側から内側に向けて該第1嵌合部の横幅が次第に拡大する方向に傾斜し、前記第2嵌合部の前記傾斜面は、前記ジョイントフレームの内側から外側に向けて該第2嵌合部の横幅が次第に拡大する方向に傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の調芯装置。
- 前記X軸ピンは、前記第1嵌合部のZ軸方向の端部に接触することによって前記ジョイントフレームを支持しており、前記Y軸ピンは、前記第2嵌合部のZ軸方向の端部と非接触であることを特徴する請求項1又は2に記載の調芯装置。
- 前記第1嵌合部及び第2嵌合部の前記傾斜面は、前記横幅が拡大する方向に直線状に傾斜していることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の調芯装置。
- 前記第1嵌合部及び第2嵌合部はZ軸方向に延びる溝であり、前記第2嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記装置本体側を向く後端面に開口し、前記第1嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記後端面と反対側の前端面に開口していることを特徴する請求項1から4の何れかに記載の調芯装置。
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