JP4547652B2 - 自動調芯押付け装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、若干斜めに置かれたワークを均等な力で対象部位に押付けるための押付け装置に関するものであり、更に詳しくは、若干斜めになっている平面等に置かれた半導体チップ等のワークを、押付け用のヘッドを自動調芯することによって対象部位に均等に押付けることができるようにした、自動調芯押付け装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
若干斜めになっている平面等に置かれたワークを、押付け用のヘッドを自動調芯することによって対象部位に均等な力で押付けられるようにした自動調芯押付け装置は、既に公知である。
【０００３】
この種の押付け装置は、一般に、部分凹球面状の軸受面を有するエア軸受と、前記軸受面に嵌合する部分凸球面状の被軸受面を有する調芯部材とを有していて、この調芯部材にワーク押圧用の前記押付けヘッドが取り付けられている。そして、前記軸受面と被軸受面との間にエアを供給することによって調芯部材をフローティングさせ、その状態で前記押付けヘッドでワークを押圧することにより、該ワークの傾きに合わせて前記調芯部材及び押付けヘッドを自動的に調芯させ、それによってワークを対象部位に対して均等に押付けることができるようになっている。
【０００４】
かかる押付け装置は、調芯後の前記調芯部材をエア軸受に押付けてロックするためのロック機構を有している。従来のロック機構は、前記軸受面と被軸受面との間の隙間を真空引きすることにより調芯部材をエア軸受に圧接させてロックするものであるが、真空引きによるロックは、前記軸受面と被軸受面との表面積を大きくして必要な引込み力を確保しなければならないので、装置が大型化してしまうといった問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、調芯部材をフローティングさせることによって自動的な調芯が可能であると共に、調芯した位置で該調芯部材を機械的な手段によってロックすることが可能な、小型でエア消費の少ない調芯押付け装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明の自動調芯押付け装置は、自動機器に取り付けるための装置本体；該装置本体に取り付けられて先端に部分凹球面状の軸受面を有するエア軸受；該エア軸受の軸受面と同じ曲率を持つ部分凸球面状の被軸受面と、ワーク用押付けヘッドを取り付けるためのヘッド取付面とを有していて、前記被軸受面を軸受面に嵌合させた状態で前記エア軸受に支持されている調芯部材；前記エア軸受の軸受面に圧縮空気を供給して前記調芯部材をエア軸受からフローティングさせるためのエア供給用流路；前記調芯部材をエア軸受の軸受面に圧接させてロックするためのロック機構；前記ロック機構を駆動するためのシリンダ駆動部；を有し、前記ロック機構が、前記エア軸受及び調芯部材を軸受面及び被軸受面の中心部の位置で遊挿状態に貫通し、前記シリンダ駆動部により前後進されるピストンロッドと、このピストンロッドの先端に形成されたフランジ状の係止部と、前記調芯部材に形成されてこの係止部が嵌合する窪みと、これらの係止部と窪みとに形成されてロック時に相互に当接し合う部分球面状の当り面とを有し、これらの当たり面が上記被軸受面と同心に形成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
前記構成を有する自動調芯押付け装置において、シリンダ駆動部によりピストンロッドが前進させられると、エア軸受の軸受面と調芯部材の被軸受面との間に０．０２〜０．０５ｍｍ程度の隙間が発生し、この隙間に軸受面のエア吹出し孔から圧縮空気が供給されて、調芯部材がエア膜によりフローティング状態に保持される。この状態で該調芯部材に取り付けた押付けヘッドをワークに押付けたとき、前記調芯部材における被軸受面と当り面とが同心であることから、ワークが若干斜めになっていても、その傾斜に倣って上記調芯部材が自動的に調芯され、ワークは対象部位に均等に押し付けられる。
【０００８】
そして、前記シリンダ駆動部によりピストンロッドを引込めると、該ピストンロッドの先端の係止部の当たり面が調芯部材の当たり面に当接して該調芯部材がエア軸受の軸受面に押付けられ、フローティングしていた調芯部材が調芯した位置でエア軸受に滑らかにロックされる。
【０００９】
このように、シリンダ駆動部によりピストンロッドを介して調芯部材を機械的にロックすることにより、従来の真空引きによるロック方法に比べて押付け装置を小型にすることができると共に、エア消費も少なくなる。
【００１０】
本発明においては、前記エア軸受の軸受面、調芯部材の被軸受面、並びに係止部及び調芯部材の当たり面の曲率の中心が、前記調芯部材に取り付けられた押付けヘッドにおけるワークを押圧する押付け面の中心に設定されている。これにより、上述したフローティングを一層安定的に行わせることができる。
【００１１】
本発明において好ましくは、前記装置本体が前端面に窪みを有していて、該窪み内において前記エア軸受が装置本体に固定されると共に、該エア軸受に前記調芯部材が支持され、これらのエア軸受及び調芯部材の外周面と窪みの内周面との間には前記軸受面と被軸受面との間の隙間に通じるエア吸引用のラビリンスが設けられ、該ラビリンスがエア回収用のポートに連通していることである。これにより、調芯部材のフローティングに使用された後の圧縮空気を回収することが可能となり、周囲環境への粉塵の排出を抑制することができると共に、クリーンルームでの装置の使用が可能になる。
【００１２】
本発明においてはまた、前記エア供給用流路が、装置本体に形成された供給ポートから、該装置本体とエア軸受との結合部を横切って前記軸受面に開口する吹き出し孔に通じていて、前記結合部には、該結合部からのエア漏れを防ぐためのシール手段が設けられている。このようなシール手段を設けることにより、エアの消費量を削減することができると共に、エア軸受けの負荷量を増大させることができる。
【００１３】
この場合に好ましくは、前記シール手段がフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材であって、このシール手段が、前記装置本体側とエア軸受との結合部において何れか一方の結合面に設けた外周環状溝及び内周環状溝に挿入されていることである。これにより、高温の環境下でも自動調芯押付け装置を使用することができる。
【００１４】
本発明においては更に、フローティング時に前記調芯部材にエア軸受側に向かう作用力を加えるための付勢手段を有していることが望ましい。この付勢手段は例えば、マグネットで形成されていて、このマグネットにより、磁性体からなる調芯部材をエア軸受側に向けて吸引可能なるように構成される。
【００１５】
本発明において好ましくは、前記エア軸受に対する調芯部材の回転を防止するための回転防止機構を有することである。この回転防止機構は、例えばエア軸受と調芯部材の何れか一方に固定されたピンと、他方に設けられてこのピンが周囲に隙間を有する状態で嵌合するピン孔と、該ピン孔内において前記ピンの回りに配設された弾性体とで構成することができる。
ことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１〜図５は、本発明に係る自動調芯押付け装置の第１実施例を示している。
この自動調芯押付け装置Ａは、シリンダ駆動部２を備えた矩形ブロック形の装置本体１と、該装置本体１に固定されたエア軸受３と、該エア軸受３に調芯可能に支承された調芯部材４とを備えており、該調芯部材４の前端面には、ワーク押圧用の押付けヘッド（ボンダヘッド）５を着脱自在に取付けるためのヘッド取付面４ａが形成されている。
【００１７】
そして、該自動調芯押付け装置Ａは、若干斜めになっている平面等に置かれた半導体チップ等のワーク（図示せず）を、前記調芯部材４に取付けられた前記押付けヘッド５で自動調芯して対象部位に押付けることにより、それを所定の場所に均等な力で押付けて取り付けることができるものである。
【００１８】
前記装置本体１のシリンダ駆動部２は、装置本体１内のピストン室１２と、該ピストン室１２に摺動自在に収容したピストン２０と、該装置本体１から突出して調芯部材４の下方端部まで延びるピストンロッド２３とを有している。該ロッド２３は、前記調芯部材４をエア軸受３に押付けることによって機械的にロックするロック機構を構成するもので、シール部材を有するボルト２１を介してピストン２０に気密に固着され、該ロッド２３の先端にはフランジ状の係止部２５が設けられ、該係止部２５の上面には、調芯部材４の当たり面４４に当接する部分凸球面状の当たり面２４が形成されている。また、前記装置本体１に設けられてピストンロッド２３が通る貫通孔の内壁には、該ロッド２３を気密に挿通するためのシール部材６１及び軸受６２が設けられている。
そして、前記ピストン室１２は、ピストン２０により上部ピストン室と下部ピストン室に仕切られ、装置本体１には、該上部ピストン室及び下部ピストン室に圧縮空気を給・排するための通路５２，５３及びポート５４，５５が設けられている。
【００１９】
前記シリンダ駆動部２を形成するため、装置本体１には、その上部に上面側が開口する窪み１１が形成され、該窪み１１の上部にシール部材１５を介してキャップ１３が気密に取付けられ、このキャップ１３によって前記ピストン室１２が区画されている。前記キャップ１３を固定するため、前記窪み１１の上方にある環状溝１６には拡縮可能なＣ形止め輪１７が装着され、この止め輪１７で前記キャップ１３が窪み１１の環状段部に押し付けられている。
【００２０】
また、前記装置本体１は、その上面に複数のねじ孔９を有し（図２参照）、該ねじ孔９に螺合するボルトにより、装置本体１をロボットアーム等の自動機器に着脱自在に取付けられるようになっている。
【００２１】
前記装置本体１には、その下面に一定の深さを有する円形の窪み１８が形成されていて、該窪み１８内に前記エア軸受３及び調芯部材４が収容されている。そして前記エア軸受３は、その平らな背面３ａを前記窪み１８の平らな底壁面１８ａに接触させた状態で該窪み１８内に収容され、該底壁面１８ａのねじ孔１４に螺入したボルト３７で装置本体１に固着されている。
【００２２】
また、前記窪み１８の内側壁とエア軸受３及び調芯部材４の外側壁との間には、真空吸引用のラビリンス６０が、前記エア軸受３の軸受面３２と調芯部材４の被軸受面４２との間の隙間に通じるように設けられ、該ラビリンス６０が、装置本体１における窪み１８の側部に形成されたエア回収ポート５７に接続されている。
【００２３】
前記エア軸受３は円板形をしていて、部分凹球面状をした先端の前記軸受面３２と、平坦な前記背面３ａと、前記ピストンロッド２３が遊挿状態に貫通する中央部の孔３１と、前記軸受面３２に開口する複数のエア吹出し孔に通じる複数のエア通路３３ａとを有している。これらのエア通路３３ａの一端は前記背面３ａに開口していて、前記窪み１８の底壁面１８ａに開口する装置本体１側のエア通路３３ｂに連通し、このエア通路３３ｂ及びエア供給通路１９を通じてエア供給ポート５６から圧縮空気が供給されるようになっている（図１、図３及び図４参照）。即ち、前記エア供給ポート５６から軸受面３２のエア吹出し孔に至るエア供給用流路は、前記エア通路３３ａ及び３３ｂの部分で装置本体１とエア軸受３との結合部５０を横切り、前記エア吹出し孔に連通している。
【００２４】
一方、前記調芯部材４は、前記エア軸受３とほぼ同径の円板形をなしていて、その後端面にエア軸受３の軸受面３２と同じ曲率半径の部分凸球面状をした前記被軸受面４２を有し、該被軸受面４２を前記軸受面３２に嵌合させた状態でエア軸受３に支承されている。該調芯部材４の中央部分には、前記ロッド２３が遊挿状態に貫通する孔４１が設けられ、該孔４１の先端部には拡径された窪み４３が形成され、この窪み４３内に前記ロッド２３の先端の係止部２５が収容されている。また、該窪み４３の底壁面は、前記ロッド２３の部分凸球面状の当たり面２４と当接し合う部分凹球面状の当たり面４４となっていて、これらの当たり面２４と４４は互いに同じ曲率に形成されている。そして、これらの当たり面２４，４４の曲率半径Ｒ２と、調芯部材４における被軸受面４２の曲率半径Ｒ１とは、図１に示すような関係にあって、それらは１つの曲率中心Ｏを共有している。この曲率中心Ｏは、前記押付けヘッド５のワーク押付け面上の中心に設定することが望ましい。
【００２５】
前記調芯部材４は、その下面に複数のねじ孔４６を有していて、該ねじ孔４６に螺合するボルトで前記押付けヘッド５を着脱自在に取付けられるようになっている。
【００２６】
上記構成を有する自動調芯押付け装置において、ポート５４から上部ピストン室に圧縮空気を供給することによってピストン２０及びロッド２３を前進させると、エア軸受３の軸受面３２と調芯部材４の被軸受面４２との間に０．０２〜０．０５ｍｍ程度の隙間が発生し、この隙間に、エア通路３３ｂ，３３ａから軸受面３２の複数のエア吹出し孔を通じて圧縮空気が供給されてエア膜が張られるので、調芯部材４がフローティング状態に保持される。この際、該調芯部材４の被軸受面４２と当たり面４４との曲率の中心が同じであることから、調芯部材４に取り付けた押付けヘッド５を対象物に押付けたとき、その対象物が若干斜めになっていても、調芯部材４及び押付けヘッド５はその面に倣ってフローティング状態で自動的に調芯される。
【００２７】
また、前記調芯部材４のフローティングに使用された圧縮空気は、前記軸受面３２と被軸受面４２との間の隙間からラビリンス６０に流出し、このラビリンス６０からエア回収ポート５７を介して吸引、回収される。それにより、周囲環境への粉塵の排出を抑制し、クリーンルームでの使用が可能になる。
【００２８】
前記押付けヘッド５を対象物に押し付けることにより調芯部材４を自動調芯した状態で、ポート５５から下部ピストン室に圧縮空気を供給すると共に上部ピストン室から圧縮空気を排出させてピストン２０及びロッド２３を後退させると、前記ロッド２３の先端の係止部２５の当たり面２４が調芯部材４の当たり面４４に当接し、該調芯部材４がエア軸受３側に引き寄せられる。このため、前記調芯部材４の被軸受面４２がエア軸受３の軸受面３２に押付けられ、フローティングしていた該調芯部材４が調芯した位置でエア軸受３に滑らかにロックされる。この際、調芯部材４の被軸受面４２は、エア軸受３の軸受面３２にエア膜を介した状態から滑らかにロックされため、ロックの際、それらの面３２，４２が摩擦抵抗によりこじられるというようなことがない。
【００２９】
このように、シリンダ駆動部２を用いて調芯部材４を機械的にロックすることにより、従来の真空引きによるロック方法に比べて押付け装置を小型にすることができると共に、エア消費も少なくなる。
【００３０】
前記調芯部材４の揺動量は、ピストンロッド２３と該ロッド２３が貫通する前記調芯機構４の孔４１との隙間δを任意に変更することにより変えることができる。
このとき、前記調芯部材４とエア軸受３との間には回転防止機構６３が設けられているため、該エア軸受３に対する調芯部材４の回転は防止される。この回転防止機構６３は、エア軸受３の軸受面３２の複数カ所に先端が突出する状態に固定されたピン６４と、調芯部材４の被軸受面４２に形成されて前記ピン６４が周囲に隙間を有する状態で嵌合する複数のピン孔６５とからなるもので、これらのピン６４とピン孔６５との間の隙間は、前記隙間δより十分に大きく設定されることにより、調芯の妨げにならないようになっている。
【００３１】
図６は本発明に係る自動調芯押付け装置の第２実施例を示すもので、この第２実施例の押付け装置Ｂが前記第１実施例と相違する点は、装置本体１の窪み１８の底壁面１８ａとエア軸受３の背面３ａとが相互に接触する結合部５０の外周位置と内周位置とに、この結合部からのエア漏れを防ぐためのシール手段を設けている点、及び軸受面３２に圧縮空気を供給するためのエア供給用流路の構造を簡単にした点である。
【００３２】
即ち、この第２実施例では、前記第１実施例と同様に、装置本体１の窪み１８内にエア軸受３及び調芯部材４が収容され、該窪み１８の底壁面１８ａに設けたねじ孔１４に螺入されるボルト３７によりエア軸受３が装置本体１に固着されている。また前記エア軸受３は、調芯部材４をエア膜を介して支承する部分凹球面状の軸受面３２と、該軸受面３２に開口する複数のエア吹出し孔と、これらのエア吹出し孔にエア供給ポート及びエア供給通路からの圧縮空気を供給するエア通路３３ａとを有していて、このエア通路３３ａが、装置本体１の窪み１８の底壁面１８ａとエア軸受３の背面３ａとの結合部５０を横切って装置本体１側のエア通路３３ｂに連通している。
【００３３】
そしてこの第２実施例では、第１実施例と違って、前記結合部５０の外周部及び内周部に、該結合部５０からのエア漏れを防ぐためのシール手段が設けられている。具体的には、何れかの部材の結合面、例えば、装置本体１の窪み１８の底壁面１８ａの外周部かまたはエア軸受３の背面３ａの外周部のどちらか一方と、前記底壁面１８ａの内周部かまたは前記背面３ａの内周部のどちらか一方とにそれぞれ環状溝が設けられ、この環状溝に、フッ素ゴムから成る耐熱性の環状シール材７１、７２がそれぞれ挿入されている。
【００３４】
なお、前記結合部５０の内周部に環状溝を設ける場合、装置本体１における窪み１８の底壁面１８ａに設けても、図６に示すように、窪み１８の底壁面１８ａと同じ面をなす軸受け６２の面に設けてもよい。また、前記外周部のシール手段は、必ずしもフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材７１に限定されるものではなく、耐熱接着剤であってもよい。
【００３５】
このように、装置本体１とエア軸受３との結合部５０の外周部及び内周部にシール手段を設けることにより、該結合部５０からのエア漏れを防ぐことができるため、エアの消費量を削減することができると共に、エア軸受３けの負荷量を増大させることができる。また、前記シール手段をフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材にすると、高温の環境でも本発明の自動調芯押付け装置を使用することができる。
【００３６】
また、図６に示す第２実施例では、装置本体１の側面のポート５６から中心に向かう横方向の１本のエア供給通路１９が、縦方向の複数のエア通路３３ｂに分岐し、各エア通路３３ｂは、エア軸受３の背面３ａに同心状に設けられた複数の環状溝７７にそれぞれ連通し、各環状溝７７が、軸受面３２に開口する複数のエア吹出し孔に通じる前記エア通路３３ａにそれぞれ連通している。したがってこの第２実施例では、図４に示す第１実施例に比べ、エア供給用流路の構造が簡単になる。
【００３７】
なお、図６における符号７３はフッ素ゴム製の耐熱ピストンパッキン、符号７４はフッ素ゴム製の耐熱Ｏリングである。
【００３８】
第２実施例における前記以外の構成は実質的に第１実施例と同じであるから、第１実施例と共通する主要な構成部分にこの第１実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。なお、この第２実施例においては押付けヘッド５の図示が省略されている。
【００３９】
図７は本発明の第３実施例を示すもので、この第３実施例の押付け装置Ｃが前記第２実施例と相違する点は、前記調芯部材４の調芯性を高めるために、フローティング時に該調芯部材４にエア軸受３側に向かう力を作用させるための付勢手段８０を新たに付加した点と、該調芯部材４の回転を防止するための回転防止機構６３に若干の改良を加えた点とである。
【００４０】
即ち、この押付け装置Ｃにおいては、前記調芯部材４が磁性体により形成されていて、装置本体１に、該調芯部材４をエア軸受３側に向けて吸引可能なるようにマグネット８１が配設されている。このマグネット８１は円環状をしていて、装置本体１におけるピストン室１２の底部に形成された取付溝内にピストンロッド２３の回りを取り囲んで同心状に設置されており、これにより、該マグネット８１による吸引力が調芯部材４に均等に作用するようになっている。
【００４１】
このような付勢手段８０を設けることにより、前記調芯部材４が、エア軸受３側に一定の力で引っ張られた状態でフローティングするため、そのフローティング状態が安定すると共に、軸受面３２と被軸受面４２との間のエア膜の厚さが全体としてほぼ均一化され、この結果、静圧軸受としての負荷に対する剛性が向上し、前記調芯部材４の調芯性が高められることになる。
【００４２】
なお、前記マグネット８１を取り付ける位置は、ピストン２０であっても、エア軸受３であって良い。また、前記付勢手段８０をマグネット８１で構成する代わりにばねで構成し、このばねを、前記調芯部材４をエア軸受３側に向けて弾発するように設置しても良い。
【００４３】
一方、この第３実施例の回転防止機構６３は、エア軸受３の軸受面３２に取付けられたピン６４と、調芯部材４の被軸受面４２に設けられてこのピン６４が周囲に隙間を有する状態で嵌合するピン孔６５とを有していて、該ピン孔６５内には、前記ピン６４の回りを取り囲む円環状の弾性体８３が配設されている。この弾性体８３はゴムや合成樹脂等により形成されたものである。これにより、調芯時に前記調芯部材４がエア軸受３に対して大きく傾いた場合でも、前記ピン６４がピン孔６５の孔壁に直接接触するのが前記弾性体８３により防止され、これらのピン６４及び孔壁の摩耗が生じないため、その摩耗に伴う調芯性の低下が防止される。
【００４４】
なお、図示した実施例とは逆に、前記ピン６４を調芯部材４の被軸受面４２に設け、ピン孔６５をエア軸受３の軸受面３２に設けても良い。これは第１及び第２実施例においても同様である。
【００４５】
第３実施例における前記以外の構成は実質的に第２実施例と同じであるから、第２実施例と共通する主要な構成部分にこの第２実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、調芯部材をフローティングさせた状態で自動的に調芯させ、該調芯した位置でロック及び押付けが可能な、小型でエア消費の少ない、自動調芯押付け装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る自動調芯押付け装置の第１実施例を示す断面図である。
【図２】図１の上面図である。
【図３】図１の側面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
【図５】図１の下面図である。
【図６】本発明に係る自動調芯押付け装置の第２実施例を示す断面図である。
【図７】本発明に係る自動調芯押付け装置の第３実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ，Ｂ，Ｃ 自動調芯押付け装置
Ｏ 曲率の中心
１ 装置本体
２ シリンダ駆動部
３ エア軸受
４ 調芯部材
４ａ ヘッド取付面
５ 押付けヘッド
１８ 窪み
２３ ピストンロッド
２４，４４ 当たり面
２５ 係止部
３２ 軸受面
４２ 被軸受面
４３ 窪み
５０ 結合部
５６ エア供給ポート
５７ エア回収ポート
６０ ラビリンス
６１，７１ シール部材
６３ 回転防止機構
６４ ピン
６５ ピン孔
８０ 付勢手段
８１ マグネット
８３ 弾性体
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、若干斜めに置かれたワークを均等な力で対象部位に押付けるための押付け装置に関するものであり、更に詳しくは、若干斜めになっている平面等に置かれた半導体チップ等のワークを、押付け用のヘッドを自動調芯することによって対象部位に均等に押付けることができるようにした、自動調芯押付け装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
若干斜めになっている平面等に置かれたワークを、押付け用のヘッドを自動調芯することによって対象部位に均等な力で押付けられるようにした自動調芯押付け装置は、既に公知である。
【０００３】
この種の押付け装置は、一般に、部分凹球面状の軸受面を有するエア軸受と、前記軸受面に嵌合する部分凸球面状の被軸受面を有する調芯部材とを有していて、この調芯部材にワーク押圧用の前記押付けヘッドが取り付けられている。そして、前記軸受面と被軸受面との間にエアを供給することによって調芯部材をフローティングさせ、その状態で前記押付けヘッドでワークを押圧することにより、該ワークの傾きに合わせて前記調芯部材及び押付けヘッドを自動的に調芯させ、それによってワークを対象部位に対して均等に押付けることができるようになっている。
【０００４】
かかる押付け装置は、調芯後の前記調芯部材をエア軸受に押付けてロックするためのロック機構を有している。従来のロック機構は、前記軸受面と被軸受面との間の隙間を真空引きすることにより調芯部材をエア軸受に圧接させてロックするものであるが、真空引きによるロックは、前記軸受面と被軸受面との表面積を大きくして必要な引込み力を確保しなければならないので、装置が大型化してしまうといった問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、調芯部材をフローティングさせることによって自動的な調芯が可能であると共に、調芯した位置で該調芯部材を機械的な手段によってロックすることが可能な、小型でエア消費の少ない調芯押付け装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明の自動調芯押付け装置は、自動機器に取り付けるための装置本体；該装置本体に取り付けられて先端に部分凹球面状の軸受面を有するエア軸受；該エア軸受の軸受面と同じ曲率を持つ部分凸球面状の被軸受面と、ワーク用押付けヘッドを取り付けるためのヘッド取付面とを有していて、前記被軸受面を軸受面に嵌合させた状態で前記エア軸受に支持されている調芯部材；前記エア軸受の軸受面に圧縮空気を供給して前記調芯部材をエア軸受からフローティングさせるためのエア供給用流路；前記調芯部材をエア軸受の軸受面に圧接させてロックするためのロック機構；前記ロック機構を駆動するためのシリンダ駆動部；を有し、前記ロック機構が、前記エア軸受及び調芯部材を軸受面及び被軸受面の中心部の位置で遊挿状態に貫通し、前記シリンダ駆動部により前後進されるピストンロッドと、このピストンロッドの先端に形成されたフランジ状の係止部と、前記調芯部材に形成されてこの係止部が嵌合する窪みと、これらの係止部と窪みとに形成されてロック時に相互に当接し合う部分球面状の当り面とを有し、これらの当たり面が上記被軸受面と同心に形成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
前記構成を有する自動調芯押付け装置において、シリンダ駆動部によりピストンロッドが前進させられると、エア軸受の軸受面と調芯部材の被軸受面との間に０．０２〜０．０５ｍｍ程度の隙間が発生し、この隙間に軸受面のエア吹出し孔から圧縮空気が供給されて、調芯部材がエア膜によりフローティング状態に保持される。この状態で該調芯部材に取り付けた押付けヘッドをワークに押付けたとき、前記調芯部材における被軸受面と当り面とが同心であることから、ワークが若干斜めになっていても、その傾斜に倣って上記調芯部材が自動的に調芯され、ワークは対象部位に均等に押し付けられる。
【０００８】
そして、前記シリンダ駆動部によりピストンロッドを引込めると、該ピストンロッドの先端の係止部の当たり面が調芯部材の当たり面に当接して該調芯部材がエア軸受の軸受面に押付けられ、フローティングしていた調芯部材が調芯した位置でエア軸受に滑らかにロックされる。
【０００９】
このように、シリンダ駆動部によりピストンロッドを介して調芯部材を機械的にロックすることにより、従来の真空引きによるロック方法に比べて押付け装置を小型にすることができると共に、エア消費も少なくなる。
【００１０】
本発明においては、前記エア軸受の軸受面、調芯部材の被軸受面、並びに係止部及び調芯部材の当たり面の曲率の中心が、前記調芯部材に取り付けられた押付けヘッドにおけるワークを押圧する押付け面の中心に設定されている。これにより、上述したフローティングを一層安定的に行わせることができる。
【００１１】
本発明において好ましくは、前記装置本体が前端面に窪みを有していて、該窪み内において前記エア軸受が装置本体に固定されると共に、該エア軸受に前記調芯部材が支持され、これらのエア軸受及び調芯部材の外周面と窪みの内周面との間には前記軸受面と被軸受面との間の隙間に通じるエア吸引用のラビリンスが設けられ、該ラビリンスがエア回収用のポートに連通していることである。これにより、調芯部材のフローティングに使用された後の圧縮空気を回収することが可能となり、周囲環境への粉塵の排出を抑制することができると共に、クリーンルームでの装置の使用が可能になる。
【００１２】
本発明においてはまた、前記エア供給用流路が、装置本体に形成された供給ポートから、該装置本体とエア軸受との結合部を横切って前記軸受面に開口する吹き出し孔に通じていて、前記結合部には、該結合部からのエア漏れを防ぐためのシール手段が設けられている。このようなシール手段を設けることにより、エアの消費量を削減することができると共に、エア軸受けの負荷量を増大させることができる。
【００１３】
この場合に好ましくは、前記シール手段がフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材であって、このシール手段が、前記装置本体側とエア軸受との結合部において何れか一方の結合面に設けた外周環状溝及び内周環状溝に挿入されていることである。これにより、高温の環境下でも自動調芯押付け装置を使用することができる。
【００１４】
本発明においては更に、フローティング時に前記調芯部材にエア軸受側に向かう作用力を加えるための付勢手段を有していることが望ましい。この付勢手段は例えば、マグネットで形成されていて、このマグネットにより、磁性体からなる調芯部材をエア軸受側に向けて吸引可能なるように構成される。
【００１５】
本発明において好ましくは、前記エア軸受に対する調芯部材の回転を防止するための回転防止機構を有することである。この回転防止機構は、例えばエア軸受と調芯部材の何れか一方に固定されたピンと、他方に設けられてこのピンが周囲に隙間を有する状態で嵌合するピン孔と、該ピン孔内において前記ピンの回りに配設された弾性体とで構成することができる。
ことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１〜図５は、本発明に係る自動調芯押付け装置の第１実施例を示している。
この自動調芯押付け装置Ａは、シリンダ駆動部２を備えた矩形ブロック形の装置本体１と、該装置本体１に固定されたエア軸受３と、該エア軸受３に調芯可能に支承された調芯部材４とを備えており、該調芯部材４の前端面には、ワーク押圧用の押付けヘッド（ボンダヘッド）５を着脱自在に取付けるためのヘッド取付面４ａが形成されている。
【００１７】
そして、該自動調芯押付け装置Ａは、若干斜めになっている平面等に置かれた半導体チップ等のワーク（図示せず）を、前記調芯部材４に取付けられた前記押付けヘッド５で自動調芯して対象部位に押付けることにより、それを所定の場所に均等な力で押付けて取り付けることができるものである。
【００１８】
前記装置本体１のシリンダ駆動部２は、装置本体１内のピストン室１２と、該ピストン室１２に摺動自在に収容したピストン２０と、該装置本体１から突出して調芯部材４の下方端部まで延びるピストンロッド２３とを有している。該ロッド２３は、前記調芯部材４をエア軸受３に押付けることによって機械的にロックするロック機構を構成するもので、シール部材を有するボルト２１を介してピストン２０に気密に固着され、該ロッド２３の先端にはフランジ状の係止部２５が設けられ、該係止部２５の上面には、調芯部材４の当たり面４４に当接する部分凸球面状の当たり面２４が形成されている。また、前記装置本体１に設けられてピストンロッド２３が通る貫通孔の内壁には、該ロッド２３を気密に挿通するためのシール部材６１及び軸受６２が設けられている。
そして、前記ピストン室１２は、ピストン２０により上部ピストン室と下部ピストン室に仕切られ、装置本体１には、該上部ピストン室及び下部ピストン室に圧縮空気を給・排するための通路５２，５３及びポート５４，５５が設けられている。
【００１９】
前記シリンダ駆動部２を形成するため、装置本体１には、その上部に上面側が開口する窪み１１が形成され、該窪み１１の上部にシール部材１５を介してキャップ１３が気密に取付けられ、このキャップ１３によって前記ピストン室１２が区画されている。前記キャップ１３を固定するため、前記窪み１１の上方にある環状溝１６には拡縮可能なＣ形止め輪１７が装着され、この止め輪１７で前記キャップ１３が窪み１１の環状段部に押し付けられている。
【００２０】
また、前記装置本体１は、その上面に複数のねじ孔９を有し（図２参照）、該ねじ孔９に螺合するボルトにより、装置本体１をロボットアーム等の自動機器に着脱自在に取付けられるようになっている。
【００２１】
前記装置本体１には、その下面に一定の深さを有する円形の窪み１８が形成されていて、該窪み１８内に前記エア軸受３及び調芯部材４が収容されている。そして前記エア軸受３は、その平らな背面３ａを前記窪み１８の平らな底壁面１８ａに接触させた状態で該窪み１８内に収容され、該底壁面１８ａのねじ孔１４に螺入したボルト３７で装置本体１に固着されている。
【００２２】
また、前記窪み１８の内側壁とエア軸受３及び調芯部材４の外側壁との間には、真空吸引用のラビリンス６０が、前記エア軸受３の軸受面３２と調芯部材４の被軸受面４２との間の隙間に通じるように設けられ、該ラビリンス６０が、装置本体１における窪み１８の側部に形成されたエア回収ポート５７に接続されている。
【００２３】
前記エア軸受３は円板形をしていて、部分凹球面状をした先端の前記軸受面３２と、平坦な前記背面３ａと、前記ピストンロッド２３が遊挿状態に貫通する中央部の孔３１と、前記軸受面３２に開口する複数のエア吹出し孔に通じる複数のエア通路３３ａとを有している。これらのエア通路３３ａの一端は前記背面３ａに開口していて、前記窪み１８の底壁面１８ａに開口する装置本体１側のエア通路３３ｂに連通し、このエア通路３３ｂ及びエア供給通路１９を通じてエア供給ポート５６から圧縮空気が供給されるようになっている（図１、図３及び図４参照）。即ち、前記エア供給ポート５６から軸受面３２のエア吹出し孔に至るエア供給用流路は、前記エア通路３３ａ及び３３ｂの部分で装置本体１とエア軸受３との結合部５０を横切り、前記エア吹出し孔に連通している。
【００２４】
一方、前記調芯部材４は、前記エア軸受３とほぼ同径の円板形をなしていて、その後端面にエア軸受３の軸受面３２と同じ曲率半径の部分凸球面状をした前記被軸受面４２を有し、該被軸受面４２を前記軸受面３２に嵌合させた状態でエア軸受３に支承されている。該調芯部材４の中央部分には、前記ロッド２３が遊挿状態に貫通する孔４１が設けられ、該孔４１の先端部には拡径された窪み４３が形成され、この窪み４３内に前記ロッド２３の先端の係止部２５が収容されている。また、該窪み４３の底壁面は、前記ロッド２３の部分凸球面状の当たり面２４と当接し合う部分凹球面状の当たり面４４となっていて、これらの当たり面２４と４４は互いに同じ曲率に形成されている。そして、これらの当たり面２４，４４の曲率半径Ｒ２と、調芯部材４における被軸受面４２の曲率半径Ｒ１とは、図１に示すような関係にあって、それらは１つの曲率中心Ｏを共有している。この曲率中心Ｏは、前記押付けヘッド５のワーク押付け面上の中心に設定することが望ましい。
【００２５】
前記調芯部材４は、その下面に複数のねじ孔４６を有していて、該ねじ孔４６に螺合するボルトで前記押付けヘッド５を着脱自在に取付けられるようになっている。
【００２６】
上記構成を有する自動調芯押付け装置において、ポート５４から上部ピストン室に圧縮空気を供給することによってピストン２０及びロッド２３を前進させると、エア軸受３の軸受面３２と調芯部材４の被軸受面４２との間に０．０２〜０．０５ｍｍ程度の隙間が発生し、この隙間に、エア通路３３ｂ，３３ａから軸受面３２の複数のエア吹出し孔を通じて圧縮空気が供給されてエア膜が張られるので、調芯部材４がフローティング状態に保持される。この際、該調芯部材４の被軸受面４２と当たり面４４との曲率の中心が同じであることから、調芯部材４に取り付けた押付けヘッド５を対象物に押付けたとき、その対象物が若干斜めになっていても、調芯部材４及び押付けヘッド５はその面に倣ってフローティング状態で自動的に調芯される。
【００２７】
また、前記調芯部材４のフローティングに使用された圧縮空気は、前記軸受面３２と被軸受面４２との間の隙間からラビリンス６０に流出し、このラビリンス６０からエア回収ポート５７を介して吸引、回収される。それにより、周囲環境への粉塵の排出を抑制し、クリーンルームでの使用が可能になる。
【００２８】
前記押付けヘッド５を対象物に押し付けることにより調芯部材４を自動調芯した状態で、ポート５５から下部ピストン室に圧縮空気を供給すると共に上部ピストン室から圧縮空気を排出させてピストン２０及びロッド２３を後退させると、前記ロッド２３の先端の係止部２５の当たり面２４が調芯部材４の当たり面４４に当接し、該調芯部材４がエア軸受３側に引き寄せられる。このため、前記調芯部材４の被軸受面４２がエア軸受３の軸受面３２に押付けられ、フローティングしていた該調芯部材４が調芯した位置でエア軸受３に滑らかにロックされる。この際、調芯部材４の被軸受面４２は、エア軸受３の軸受面３２にエア膜を介した状態から滑らかにロックされため、ロックの際、それらの面３２，４２が摩擦抵抗によりこじられるというようなことがない。
【００２９】
このように、シリンダ駆動部２を用いて調芯部材４を機械的にロックすることにより、従来の真空引きによるロック方法に比べて押付け装置を小型にすることができると共に、エア消費も少なくなる。
【００３０】
前記調芯部材４の揺動量は、ピストンロッド２３と該ロッド２３が貫通する前記調芯機構４の孔４１との隙間δを任意に変更することにより変えることができる。
このとき、前記調芯部材４とエア軸受３との間には回転防止機構６３が設けられているため、該エア軸受３に対する調芯部材４の回転は防止される。この回転防止機構６３は、エア軸受３の軸受面３２の複数カ所に先端が突出する状態に固定されたピン６４と、調芯部材４の被軸受面４２に形成されて前記ピン６４が周囲に隙間を有する状態で嵌合する複数のピン孔６５とからなるもので、これらのピン６４とピン孔６５との間の隙間は、前記隙間δより十分に大きく設定されることにより、調芯の妨げにならないようになっている。
【００３１】
図６は本発明に係る自動調芯押付け装置の第２実施例を示すもので、この第２実施例の押付け装置Ｂが前記第１実施例と相違する点は、装置本体１の窪み１８の底壁面１８ａとエア軸受３の背面３ａとが相互に接触する結合部５０の外周位置と内周位置とに、この結合部からのエア漏れを防ぐためのシール手段を設けている点、及び軸受面３２に圧縮空気を供給するためのエア供給用流路の構造を簡単にした点である。
【００３２】
即ち、この第２実施例では、前記第１実施例と同様に、装置本体１の窪み１８内にエア軸受３及び調芯部材４が収容され、該窪み１８の底壁面１８ａに設けたねじ孔１４に螺入されるボルト３７によりエア軸受３が装置本体１に固着されている。また前記エア軸受３は、調芯部材４をエア膜を介して支承する部分凹球面状の軸受面３２と、該軸受面３２に開口する複数のエア吹出し孔と、これらのエア吹出し孔にエア供給ポート及びエア供給通路からの圧縮空気を供給するエア通路３３ａとを有していて、このエア通路３３ａが、装置本体１の窪み１８の底壁面１８ａとエア軸受３の背面３ａとの結合部５０を横切って装置本体１側のエア通路３３ｂに連通している。
【００３３】
そしてこの第２実施例では、第１実施例と違って、前記結合部５０の外周部及び内周部に、該結合部５０からのエア漏れを防ぐためのシール手段が設けられている。具体的には、何れかの部材の結合面、例えば、装置本体１の窪み１８の底壁面１８ａの外周部かまたはエア軸受３の背面３ａの外周部のどちらか一方と、前記底壁面１８ａの内周部かまたは前記背面３ａの内周部のどちらか一方とにそれぞれ環状溝が設けられ、この環状溝に、フッ素ゴムから成る耐熱性の環状シール材７１、７２がそれぞれ挿入されている。
【００３４】
なお、前記結合部５０の内周部に環状溝を設ける場合、装置本体１における窪み１８の底壁面１８ａに設けても、図６に示すように、窪み１８の底壁面１８ａと同じ面をなす軸受け６２の面に設けてもよい。また、前記外周部のシール手段は、必ずしもフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材７１に限定されるものではなく、耐熱接着剤であってもよい。
【００３５】
このように、装置本体１とエア軸受３との結合部５０の外周部及び内周部にシール手段を設けることにより、該結合部５０からのエア漏れを防ぐことができるため、エアの消費量を削減することができると共に、エア軸受３けの負荷量を増大させることができる。また、前記シール手段をフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材にすると、高温の環境でも本発明の自動調芯押付け装置を使用することができる。
【００３６】
また、図６に示す第２実施例では、装置本体１の側面のポート５６から中心に向かう横方向の１本のエア供給通路１９が、縦方向の複数のエア通路３３ｂに分岐し、各エア通路３３ｂは、エア軸受３の背面３ａに同心状に設けられた複数の環状溝７７にそれぞれ連通し、各環状溝７７が、軸受面３２に開口する複数のエア吹出し孔に通じる前記エア通路３３ａにそれぞれ連通している。したがってこの第２実施例では、図４に示す第１実施例に比べ、エア供給用流路の構造が簡単になる。
【００３７】
なお、図６における符号７３はフッ素ゴム製の耐熱ピストンパッキン、符号７４はフッ素ゴム製の耐熱Ｏリングである。
【００３８】
第２実施例における前記以外の構成は実質的に第１実施例と同じであるから、第１実施例と共通する主要な構成部分にこの第１実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。なお、この第２実施例においては押付けヘッド５の図示が省略されている。
【００３９】
図７は本発明の第３実施例を示すもので、この第３実施例の押付け装置Ｃが前記第２実施例と相違する点は、前記調芯部材４の調芯性を高めるために、フローティング時に該調芯部材４にエア軸受３側に向かう力を作用させるための付勢手段８０を新たに付加した点と、該調芯部材４の回転を防止するための回転防止機構６３に若干の改良を加えた点とである。
【００４０】
即ち、この押付け装置Ｃにおいては、前記調芯部材４が磁性体により形成されていて、装置本体１に、該調芯部材４をエア軸受３側に向けて吸引可能なるようにマグネット８１が配設されている。このマグネット８１は円環状をしていて、装置本体１におけるピストン室１２の底部に形成された取付溝内にピストンロッド２３の回りを取り囲んで同心状に設置されており、これにより、該マグネット８１による吸引力が調芯部材４に均等に作用するようになっている。
【００４１】
このような付勢手段８０を設けることにより、前記調芯部材４が、エア軸受３側に一定の力で引っ張られた状態でフローティングするため、そのフローティング状態が安定すると共に、軸受面３２と被軸受面４２との間のエア膜の厚さが全体としてほぼ均一化され、この結果、静圧軸受としての負荷に対する剛性が向上し、前記調芯部材４の調芯性が高められることになる。
【００４２】
なお、前記マグネット８１を取り付ける位置は、ピストン２０であっても、エア軸受３であって良い。また、前記付勢手段８０をマグネット８１で構成する代わりにばねで構成し、このばねを、前記調芯部材４をエア軸受３側に向けて弾発するように設置しても良い。
【００４３】
一方、この第３実施例の回転防止機構６３は、エア軸受３の軸受面３２に取付けられたピン６４と、調芯部材４の被軸受面４２に設けられてこのピン６４が周囲に隙間を有する状態で嵌合するピン孔６５とを有していて、該ピン孔６５内には、前記ピン６４の回りを取り囲む円環状の弾性体８３が配設されている。この弾性体８３はゴムや合成樹脂等により形成されたものである。これにより、調芯時に前記調芯部材４がエア軸受３に対して大きく傾いた場合でも、前記ピン６４がピン孔６５の孔壁に直接接触するのが前記弾性体８３により防止され、これらのピン６４及び孔壁の摩耗が生じないため、その摩耗に伴う調芯性の低下が防止される。
【００４４】
なお、図示した実施例とは逆に、前記ピン６４を調芯部材４の被軸受面４２に設け、ピン孔６５をエア軸受３の軸受面３２に設けても良い。これは第１及び第２実施例においても同様である。
【００４５】
第３実施例における前記以外の構成は実質的に第２実施例と同じであるから、第２実施例と共通する主要な構成部分にこの第２実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、調芯部材をフローティングさせた状態で自動的に調芯させ、該調芯した位置でロック及び押付けが可能な、小型でエア消費の少ない、自動調芯押付け装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る自動調芯押付け装置の第１実施例を示す断面図である。
【図２】図１の上面図である。
【図３】図１の側面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
【図５】図１の下面図である。
【図６】本発明に係る自動調芯押付け装置の第２実施例を示す断面図である。
【図７】本発明に係る自動調芯押付け装置の第３実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ，Ｂ，Ｃ 自動調芯押付け装置
Ｏ 曲率の中心
１ 装置本体
２ シリンダ駆動部
３ エア軸受
４ 調芯部材
４ａ ヘッド取付面
５ 押付けヘッド
１８ 窪み
２３ ピストンロッド
２４，４４ 当たり面
２５ 係止部
３２ 軸受面
４２ 被軸受面
４３ 窪み
５０ 結合部
５６ エア供給ポート
５７ エア回収ポート
６０ ラビリンス
６１，７１ シール部材
６３ 回転防止機構
６４ ピン
６５ ピン孔
８０ 付勢手段
８１ マグネット
８３ 弾性体
Claims (9)
- 自動機器に取り付けるための装置本体；該装置本体に取り付けられて先端に部分凹球面状の軸受面を有するエア軸受；該エア軸受の軸受面と同じ曲率を持つ部分凸球面状の被軸受面と、ワーク用押付けヘッドを取り付けるためのヘッド取付面とを有していて、被軸受面を軸受面に嵌合させた状態で前記エア軸受に支持されている調芯部材；前記エア軸受の軸受面に圧縮空気を供給して前記調芯部材をエア軸受からフローティングさせるためのエア供給用流路；前記調芯部材をエア軸受の軸受面に圧接させてロックするためのロック機構；前記ロック機構を駆動するためのシリンダ駆動部；を有し、
前記ロック機構が、前記エア軸受及び調芯部材を軸受面及び被軸受面の中心部の位置で遊挿状態に貫通し、前記シリンダ駆動部により前後進されるピストンロッドと、このピストンロッドの先端に形成されたフランジ状の係止部と、前記調芯部材に形成されてこの係止部が嵌合する窪みと、これらの係止部と窪みとに形成されてロック時に相互に当接し合う部分球面状の当り面とを有し、これらの当たり面が上記被軸受面と同心に形成されていることを特徴とする自動調芯押付け装置。 - 請求項１に記載の自動調芯押付け装置において、前記エア軸受の軸受面、調芯部材の被軸受面、並びに係止部及び調芯部材の当たり面の曲率の中心を、前記調芯部材に取り付けられた押付けヘッドにおけるワークを押圧する押付け面の中心に設定したことを特徴とするもの。
- 請求項１または２に記載の自動調芯押付け装置において、前記装置本体が前端面に窪みを有していて、該窪み内において前記エア軸受が装置本体に固定されると共に、該エア軸受に前記調芯部材が支持されており、これらのエア軸受及び調芯部材の外側面と窪みの内側面との間には、前記軸受面と被軸受面との間の隙間に通じるエア吸引用のラビリンスが設けられ、該ラビリンスがエア回収用のポートに連通していることを特徴とするもの。
- 請求項１から３までの何れかに記載の自動調芯押付け装置において、前記エア軸受の軸受面に圧縮空気を供給するため前記エア供給用流路が、装置本体に形成された供給ポートから、該装置本体とエア軸受との結合部を横切って前記軸受面に開口する吹き出し孔に通じていて、前記結合部には、該結合部からのエア漏れを防ぐためのシール手段が設けられていることを特徴とするもの。
- 請求項４に記載の自動調芯押付け装置において、前記シール手段がフッ素ゴムから成る耐熱環状シール材であって、このシール部材が、前記装置本体側とエア軸受との結合部において何れか一方の結合面に設けた外周環状溝及び内周環状溝に挿入されていることを特徴とするもの。
- 請求項１から５までの何れかに記載の自動調芯押付け装置において、該押付け装置が、フローティング時に前記調芯部材にエア軸受側に向かう作用力を加えるための付勢手段を有していることを特徴とするもの。
- 請求項６に記載の自動調芯押付け装置において、前記付勢手段がマグネットで形成されると共に、前記調芯部材が磁性体により形成されていて、前記マグネットで該調芯部材をエア軸受側に向けて吸引するように構成されていることを特徴とするもの。
- 請求項１から７までの何れかに記載の自動調芯押付け装置において、該押付け装置が、前記エア軸受に対する調芯部材の回転を防止するための回転防止機構を有することを特徴とするもの。
- 請求項８に記載の自動調芯押付け装置において、前記回転防止機構が、エア軸受と調芯部材の何れか一方に固定されたピンと、他方に設けられてこのピンが周囲に隙間を有する状態で嵌合するピン孔とを有していて、該ピン孔内に前記ピンの回りを取り囲む弾性体が配設されていることを特徴とするもの。
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