JP4698125B2 - バンプおよびポリマー層を有しない、基板アセンブリのためのフリップチップ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は一般的には電子システムおよび半導体デバイスの技術分野に関し、より詳細には、バンプおよびポリマー層のないウェーハスケールデバイスの構造および製造方法、ならびに配線基板へのこれらウェーハスケールデバイスの組み立てに関する。
【0002】
【従来の技術】
これら技術に関する書籍「チップスケールパッケージ」(マックグロウヒル社、1999年)において、ジョン・H・ラウおよびシー・ウェイ・リッキー・リーは世界中の多くの半導体製造会社によって製造されている現代のチップスケールファミリーの種々の半導体デバイスおよびパッケージについて述べている。マイクロ電子アセンブリおよびパッケージングにおける最新のデザインおよび概念はシリコンチップ自体よりも実質的に大きくないプレーナー領域または多くて20%広い領域を有するパッケージを目的としている。チップスケールパッケージ(CSP)として知られるこの概念は特に、携帯電話、ポケベル、ハードディスクドライブ、ラップトップコンピュータおよび医療機器の製品サイズが小さくなり続けている電子工業界による支持を得ている。ほとんどのCSPの方法はシステムまたは配線基板とインターフェースするためのパッケージの外側にハンダバンプまたはハンダボールを有するフリップチップアセンブリに基づくものである。
【0003】
代表的なフリップチッププロセスはチップの回路表面に設けられるハンダと相容性のあるコンタクトパッドおよびこれらパッドへのハンダバンプまたはボールをデポジットすることを必要としている。半導体ウェーハは基板へフリップチップ取り付けする前に分離しチップ内に実装できなければならない。現在のハンダバンププロセスとしては金属マスクを通過するハンダ付け、電気メッキされるハンダ付け、または各金属接点へのハンダペーストのマウンドのスクリーンプリントが挙げられる。一般に、ハンダバンプはチェーンタイプの炉内でリフローされるか、またはあらかじめ製造したハンダボールをチップパッドに載せ、同じようなチェーンタイプの炉内でリフローしてもよい。
【0004】
次に、フリップ化するチップをインターポーザーのような第2の相互接続表面に取り付けるか、または直接プリント回路基板(PCB)に結合してもよい。次の相互接続部へのフリップチップの取り付けは、チップ上のハンダバンプまたはボールを第2レベルの相互接続部上の接点パッドに整合し、次に第2のハンダの再フロー操作を実行することによって行われる。リフロー中、バンプまたはボールは液状化し、ハンダを受け入れるためのパッドまたはトレースを有する次の相互接続レベルへの接合部を形成する。ハンダのリフロー工程の後に、フリップフロップは半導体チップ、インターポーザー(使用する場合)とPCBとの間の熱膨張係数(CTE)の不一致によって生じる機械的応力を緩和するために、チップとインターポーザーまたはPCBとの間にポリマーアンダーフィルを使用することが多い。信頼性に関する問題の多くは操作中に集積回路を高温状態から低温状態に移行させる際に、はんだバンプまたはボールに応力がかかることに起因して生じている。従来技術のインターポーザーおよびアンダーフィルは、熱サイクルによって生じ、ハンダバンプまたはボールにかかる機械的応力を減少または解消するのに使用されているが、これらは熱エネルギーを散逸させるのにほとんど役立たない。
【0005】
PCBへの接合プロセスを完了するのに、インターポーザーの反対側にあるハンダボールの別の組を使用する時に、この第2の組をエンドユーザーによる取り付けのために整合し、リフロー化できる。上記のように基板にチップを取り付ける際に基板面積の最終消費面積は通常、チップの面積よりもあまり広くならない(約20%広い)。従って、このような製品ファミリーは「チップスケールパッケージ」として分類される。しかしながら、これらデバイスは小型装置に重要なデバイス高さを低くするのにほとんど寄与しない。
【0006】
実装後、応力を吸収するようになっているハンダボールのフリップチップ構造体の一例は1989年8月23日に公開された、日本国公開特許公報平1-209746号(発明者:モリヤマヨシフミ、発明の名称「半導体デバイス」)に記載されている。ここではハンダボールのバンプ下の金属化層の周辺はポリイミド層によって支持されており、更にバンプの金属化層の下には第2の厚いポリイミド層が低応力の、耐熱性樹脂層として示されている。
【0007】
上記に引用したような構造体はリチャード・A・ラーセン著の刊行物「シリコンおよびアルミニウムダナミックメモリ技術」(IBM開発ジャーナルレジュメ、第24巻、第3号、1980年5月、268〜282ページ)に基づくものである。この論文は厚いポリイミド層上の周辺に載っているバンプ下の金属化層の上でハンダバンプを使用するフリップチップパッケージ技術について述べている。このバンプ構造は別のポリイミド層によって支持されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
フリップチップ技術を使用したチップスケールパッケージのための従来のプロセス機器およびフローには問題がある。第1に、代表的なハンダバンププロセスは極めて機器集約的方法であり、この結果、資本コストは膨大となっている。蒸発、メッキおよびスクリーニングは鉛を含むことが多い過剰なハンダを使用するという点で環境上好ましくない。これらの稼働に当たり、処理コストおよびクリーンアップコストのいずれも高くなっている。
【0009】
第2に、フリップチップアセンブリの製造はサイクル時間が長くなり得る。一般に、赤外線オーブンまたは強制対流オーブン内で実施されるリフロー化はサイクル時間が5分またはそれ以上となる。これら炉は、通常、極めて長く(3mより長い)、この大きな構造物はアセンブリフロアの大きいスペースを占める。かかる炉内の移動部品は粒子による汚染の大きな発生源となっている。
【0010】
第3に、今日のフリップチップのアセンブリはチップの形態で処理される。アセンブリプロセスはウェーハからチップがダイシング切り出しされた後にスタートする。このタイプの製造方針は、ウェーハ製造およびテストプラントとアセンブリおよび最終テストサイトとを切り離している。その理由は、ウェーハの製造およびテストプラントのクリーンルーム環境の外でウェーハのダイシングを行わなければならないからである。更に、貴重なウェーハを世界中に出荷する際にかなりのコストがかかる。アセンブリサイトでパッケージングを完了した後、デバイスは顧客に出荷できるようになる前に最終テストを受けなければならない。従って、ウェーハの製造およびテストプラント自体の、好ましくはクリーンルーム設備内で、集積回路のウェーハスケールアセンブリを可能にするパッケージ方法が求められている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、無機オーバーコート層によって保護された集積回路を備えたプレーナー状アクティブ表面を有する半導体チップに関し、この集積回路は複数のコンタクトパッドを含む金属化パターンを有する。これらコンタクトパッドの各々は金属化パターン上に追加された導電層を有する。この追加された導電層はオーバーコート層の周辺部分を含む、チップに隣接したコンフォーマル表面および外側のプレーナー表面を有する。この外側表面は溶融することなく冶金学的接合部を形成するのに適している。チップコンタクトパッドはチップの中立ラインに接近した状態でチップの中心に配列された配置を有することができ、この配置は伝熱性プレートを取り付けるのに利用できるアクティブなチップ表面の領域部分を残すことができる。更にこのチップはオーバーコート層の上に非導電性接着層を有し、各コンタクトパッド上の追加された導電層の間のスペースを満たすことができる。
【0012】
無機オーバーコート層は水分を透過せず、堅い。このオーバーコート層は耐熱性で、かつコンプライアントな有機オーバーコートの追加頂部層を有することができる。
【0013】
チップコンタクトパッドはアクティブチップ表面の領域部分が伝熱性プレートの取り付けに利用できるような配置を有することができ、このプレートは導電性パッド層の厚みに適合した厚みを有する。
【0014】
本発明はチップコンタクトパッドの分布に整合した配置となっている冶金技術で接合可能な複数のプレーナー状ターミナルパッドを有する配線基板に上記のようなチップを接合した半導体アセンブリのいくつかの実施例を更に開示するものである。この接合は、
・金属相互拡散による直接溶着
・ハンダペーストによる取り付け
・導電性接着剤による取り付け
から選択した技術によって実行される。
【0015】
第1実施例では、熱スプレッダを有するか、または有しないチップが基板に直接接合される。
【0016】
第2実施例では、熱スプレッダを有するか、または有しないチップがまず基板に取り付けられる。この実施例のボール−グリッドアレイバージョンでは基板は配線基板に取り付けるためのハンダボールを含む。この実施例のランド−グリッドアレイバージョンでは、デバイスは配線基板に取り付けるための接合可能なパッドを含む。
【0017】
第3実施例では、熱スプレッダを有するか、または有しないチップがまずチップコンタクトパッドの鏡像内でパターン化された比較的厚い金属に取り付けられる。次に、この厚い金属は直接配線基板に接合される。第3実施例のみならず第2実施例においても、チップおよび基板を、例えば保護モールディングコンパウンドにより封止することが好ましい。この特徴により、超薄のシリコンチップ材料を組み立てるための条件が得られる。すなわち高さが低いチップスケールデバイスの製造に寄与できる。
【0018】
第1実施例および第3実施例は真のチップサイズのデバイスとして設計し、製造できる。
【0019】
本発明の技術的利点は、推奨される金属化(メタライゼーション)工程および組み立て工程に対して種々の材料および技術を使用できるということである。
【0020】
本発明の他の技術的利点としては、製造コストを低減できること、鉛を使用しない組み立てが可能であること、パッケージの熱性能を改善できること、およびデバイスの信頼性を改善できることが挙げられる。
【0021】
添付図面および特許請求の範囲に記載の新規な特徴事項と共に、本発明の好ましい実施例の次の説明を検討すれば、本発明の技術的利点だけでなく、その特徴も明らかとなろう。
【0022】
【発明の実施の形態】
本発明は1999年12月10日に出願された米国特許出願第09/458,593号(発明者:ツニガ外、発明の名称「集積回路上への接合」)および2001年12月6日に出願された米国特許出願第10/006,576号(発明者:コジュリ外、発明の名称「半導体ウェーハの背面コーティング」)に関連するものである。更に、本発明は2001年11月1日に出願された米国特許出願第10/001,302号(発明者:ツニガ外、発明の名称「バンプレスウェーハスケールデバイスおよび基板アセンブリ」)に関するものであり、この米国特許出願を参考例として本願に援用する。
【0023】
本発明の影響は、公知の技術の欠点を明確にすることによって最も容易に評価できよう。公知の技術の代表的な例として、図1の略横断面図はハンダボールを使用するフリップチップアセンブリのための準備をするように、集積回路接点パッド100のための冶金学的条件の詳細を示す。半導体チップ101、一般にシリコンは、水分を通さない誘電体の保護オーバーコート層102、通常窒化シリコン層と、オプションの追加有機オーバーコート層108と、回路コンタクトパッドのアルミまたは銅層104上のパターン化された金属化バンプ下層103によって保護されている。金属化層103は通常、一連の薄膜から成る。回路の金属化層104がアルミニウムである場合、回路に隣接するコンフォーマル層105は一般に耐火性金属層105、例えばクロム、チタン、タングステン、モリブデン、タンタルまたはそれらの合金の層である。回路の金属化層104が銅である場合、コンフォーマル層105は一般にアルミニウムであり、次のバッファ層106は一般にニッケルである。最も外側の層107はハンダ付けできる金属、例えば金、銅、ニッケルまたはパラジウムとしなければならない。
【0024】
最後に、デポジットされた(蒸着またはメッキされた)ハンダ合金(一般に錫と銅、インジウムまたはその他の金属との混合物)をリフロー化することによってハンダバンプ109を形成する。これらハンダバンプはリフロー化プロセス中に表面張力により影響を受けた基板へチップを取り付けた後に種々の形状をとる。図1に示された全プロセスは一般に10以上のプロセス工程、例えばクロムおよび銅(またはニッケルもしくは文献に記載されている金属を種々選択したうちのいずれか)のスパッタリング、フォトレジストのスピニング、ベーキング、露光、現像、金属のエッチング、フォトレジストの除去、ハンダのシーディング、ハンダの蒸着またはメッキ、ハンダのリフロー化、フリップチップ取り付け工程が必要となるので、図1に示された全プロセスは高価につく。
【0025】
公知の技術の一部のプロセスフローでは、バンプ下の金属層103とハンダ材料層109との間の応力緩和バッファとして働くことができるように、窒化シリコン層102の上にポリマー材料(ベンゾシクロブテン、BCB)の層108をデポジットする。ハンダバンプが温度変動時の熱機械応力に耐えなければならない時に、ハンダのジョイント部の故障を防止する上でこの層が有効であることが示されている(1989年の日本国公開特許公報平1-209746号およびR.A.ラーセン氏による1980年のIBMの刊行物(いずれも既に記載し、引用したものである)を参照されたい)。
【0026】
集積回路を有し、バンプの設けられたチップの表面がアセンブリ基板を向くように、バンプの設けられたチップをフリップし、チップをその基板にハンダによって取り付ける。このアセンブリはチップと同じアウトラインを有するいわゆるチップサイズのデバイスの製造を可能にするものである。不幸なことにこのデバイスは作動時および温度変動時に半導体材料と基板材料との熱膨張係数の不一致に起因する熱機械応力に影響されやすいという欠点を有する。
【0027】
これら信頼性の問題だけでなく、特定パッドの金属化のための条件は1959年におけるIBM社による一連の詳細な刊行物(IBM開発ジャーナルレジュメ、第13巻、226〜296ページに記載されており、上記刊行物としては、P.A.トッタ外による「SLTデバイスメタラジーおよびそのモノリシックな拡張」、L.F.ミラー著「制御された陥没(Collapse)リフローチップ接続」、L.S.ゴールドマン著「制御された陥没相互接続部の幾何学的最適化」、K.C.ノリス外著「制御された陥没接続部の信頼性」、S.オクテイ著「制御された陥没技術によって接続されたチップ内の温度プロフィルのパラメータ研究」、B.S.ベリー外著「SLTチップ熱メタロジーの研究」がある。
【0028】
ハンダジョイントの最適な高さおよび容積、ならびに熱疲労および割れの予想される発生のこれら調査により、次のようにすることが望ましいことがわかった。
・高度に延性のハンダ
・チップ/ジョイントおよび基板/ジョイントの境界部の究極的に高度な剪断強度
・(バンプ対チップ接触部の半径)/(チップの中立点までの距離)の比を大きくすること
【0029】
1つの方法は、ジョイントをプラスチック材料で囲み、チップと基板との間のギャップをプラスチック材料で満たすことにより、ハンダジョイント部にかかる熱機械応力の一部を吸収することを目的としている。例えば米国特許第6,213,347号および同第6,228,680号(発明者:トーマス、発明の名称「フリップチップ電子デバイスをアンダーフィルする低応力方法および装置」)を参照されたい。しかしながら、この方法は追加プロセス工程を必要とするので高価であり、顧客がマザーボードにデバイスを取り付けた後にプロセスを実行しなければならないことがあるので、歓迎されないことがある。
【0030】
別の方法は、凹状表面輪郭を有するコラムに組み立てた後に、ハンダジョイント部を延ばすことを目的とする。しかしながらこの方法はハンダの容積および製造可能性による制限がある。
【0031】
図2の略横断面図は、本発明の第1の好ましい実施例を示す。番号201は集積回路(IC)を含むプレーナーアクティブ表面201aを備えた半導体チップの一部である。この半導体材料は一般にシリコンであるが、別の材料としてはシリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウムまたはその他のIC製造で使用される任意の半導体材料が挙げられる。このICは複数の接点パッド202aを含む金属化パターン202を有する。このチップ金属化層202はアルミニウム、銅またはそれらの合金から構成できる。このIC表面は誘電性保護オーバーコート層203、通常約1.0μmの厚みの窒化シリコンまたはシリコンオキシナイトライドによって保護されている。この表面は水分を透過せず、機械的に堅い。図2が示すように、保護オーバーコート層203を貫通するように、接点パッド202aを構成するフォトレジストウィンドーが開口している。
【0032】
層202がアルミニウムまたは0.5〜2%の銅および/または0.5〜1%のシリコンとの合金化されたアルミニウム(この層は0.4〜1.5μmの厚みである)である場合、この接点パッドはアルミニウム層の下にチタン、窒化チタン、チタンタングステン、タンタル、窒化タンタル、窒化タンタルシリコン、窒化タングステンまたは窒化タングステンシリコンの薄膜(4〜20nmの厚み)(図には示されず)を有することが多い。
【0033】
アルミニウムだけでなく銅のチップ金属化層にとって、この金属化層の下方の絶縁体は一般に二酸化シリコンである。しかしながら、より小さい誘電率の誘電材料を使用する最近の動向と共に、シリコンを含む水素シルセスキオキサン(HSQ)、エアロゲル、有機ポリイミドおよびパリレンは、これまでの標準的な絶縁体、例えばプラズマでエンハンスされた化学的気相法でデポジットされた誘電体よりも低密度であり、機械的に弱いという事実にも拘わらず、これら材料から製造された膜も使用されている。更にプラズマによって発生されたテトラエチルオルソシリケート(TEOS)オキサイドとHSQの交互の層、またはオゾンTEOSオキサイドとHSQとを交互に配置した層のような誘電層のスタックも使用できる。
【0034】
チップコンタクトパッドを機械的に強化するために接合パッド(図2には示されず)の下方に時々補強構造体が設けられる。これに関しては2000年11月7日に発行された米国特許第6,143,396号(発明者:サラン外、発明の名称「接合パッドを補強するためのシステムおよび方法」)、2001年5月15日に発行された米国特許第6,232,662号(発明者:サラン、発明の名称「アクティブな集積回路上でボンディングをするためのシステムおよび方法」)および1999年5月14日に出願された米国特許出願第09/312,385号(発明者:サラン外、発明の名称「半導体デバイスにおけるボンドパッドを補強するための微細ピッチシステムおよび方法」)に記載がある。
【0035】
図2の実施例では、コンタクトパッドはパッド金属化層202の上に追加された導電層205を有する。この層205は、チップの表面に対してコンフォーマルであり、パッド金属化層202に対する信頼性の高い低抵抗の接触を提供するだけでなく、無機オーバーコート層203に対して強力かつ信頼性のある付着を提供する。図2が示すように、層205はパッド202a固有の領域だけでなく、保護層203のウィンドー側壁およびパッドウィンドーを囲む表面の一部205aもカバーする。層205に対して好ましい材料は約500〜1000nmの厚み範囲にあるアルミである。この層205をデポジットする方法は種々ある。好ましい方法はスパッタリングである。その理由は、このスパッタリング方法によって実際の金属をデポジットする直前にパッド表面を効果的に清掃することができるからである(特にアルミニウムのパッド金属化層202に対して有効である)。その他のデポジット技術としては蒸着技術およびメッキ技術が挙げられる。
【0036】
図2における第2の追加層206は、チップ表面の輪郭に従うコンフォーマルアウトラインからチップ表面にほぼ平行なプレーナー外側表面を構成するフラットなアウトラインまで移行できるようにする重要な機能を有する。チップ金属化層202として銅が使用されている場合、この第2導電層206は拡散バリアとして働かなければならないこともあり得る。この第2の導電層はニッケル、バナジウム、チタン、タングステン、タンタル、オスミウム、クロームおよびアルミニウムおよびその他の合金から成る群から選択されたものである。
【0037】
金属の選択に応じて層206をデポジットする方法は次のようにいくつか存在する。
・無電極メッキ方法。完全なプロセスは次の工程を含む。
・スピンオン技術を使用し、シリコンICウェーハの背面をレジストでコーティングする工程。このコート層はウェーハの背面に対する事故による金属のデポジションを防止するものである。
・約30分〜60分の時間の間、一般に110℃にてレジストをベーキングする工程。
・約2分間、プラズマアッシング方法を使って、露出した接合パッド金属表面をクリーニングする工程。
・接合パッドの露出した金属層を有するウェーハを約50〜60秒の間、硫酸、硝酸またはその他の任意の酸の溶液内に浸漬することによってクリーニングする工程。
・約100〜180秒の間、オーバーフロー洗浄機内で洗浄する工程。
・約40〜80秒の間、塩化パラジウムのような触媒の塩化金属溶液内にウェーハを浸漬し、金属表面、すなわちシード金属(例えばパラジウム)の層を、酸化されていないクリーンな金属表面にデポジットする工程。
・約100〜180秒の間、ダンプ洗浄機内で洗浄する工程。
・バリア金属を無電極メッキする工程。ニッケルを選択した場合、約150〜180秒の間のメッキによって約0.4〜0.6μmの厚みのニッケルをデポジットする。
これに関するプロセスおよび密接に関連するプロセスのより詳細については、2001年2月1日に出願された米国特許出願第09/775,322号(発明者:スティールマン外、発明の名称「銅による金属化層が設けられた集積回路のボンドパッドのための構造および方法」)に記載されており、この米国特許出願を参考例として援用する。
【0038】
・スクリーンプリンティング方法。マスクステンシルに複数の開口部を形成し、これら開口部の位置がIC表面上のコンタクトパッドの位置と鏡像関係となるようにする。次に、各マスク開口部がそれぞれのICコンタクトパッドと整合するように、マスクステンシルを半導体ウェーハに整合する。金属または金属合金を液状化し、また開口部を通してデポジットし、よってこの金属がオーバーコート層を通したエッチング工程から残るパッドウィンドーのオーバーコート層の輪郭と等しくなるようにする。
・保護オーバーコート層のアイランドによるサポート。上記に引用した米国特許出願第09/458,593号の変形例を使用して、ウィンドー領域内に複数の窒化シリコンのアイランドがエッチングされない状態で残り、これらアイランドの間に狭いビア孔を有する多数の窒化シリコンメサを形成するように、コンタクトパッドに孔開けをする。次の金属デポジション工程(例えば第1層としてアルミニウム、第2層としてニッケルを使用する)において、ビア孔を短時間で充填し、メサの頂部にも金属をデポジットする。ウィンドー金属表面全体が徐々に均一に平坦な構造に接近する。
【0039】
図2において、最上部の金属層207は溶融を生じることなく、冶金接合部を形成するのに適した表面を有する。一例として、層207は金、パラジウム、白金、銀およびそれらの合金から成る群から選択した金属から製造される。こうして層207の接合機能が高められる。接合可能な金属層207、通常は貴金属の層の全厚みが最小に維持されるので、コストを節約できる。許容できる厚みは約0.02〜0.1μmの範囲であり、一部の金属に対しては1つのフラッシュで十分である。
【0040】
溶融ハンダに必ずしも依存しなくても、これら表面は既に適当な接合可能な金属表面(一般には銅で金属メッキされたターミナルパッド上の金フラッシュ)で調製されている基板の外側面に対するつぎのような取り付け方法に適す。
・金属の相互拡散による直接溶着。このボンディングを行うために、チップのコンタクトパッドおよび基板ターミナルパッドのクリーンな表面は、1秒の長さの時間の間、高温で適度な圧力にて若干の圧縮または熱圧縮を受ける。
・導電性接着剤による取り付け。導電性接着剤は架橋する性質がないので、このような好ましい実施例によって小さいパッドサイズおよび微細なパッドのピッチが可能となる。
・ハンダペーストによる取り付け。チップコンタクトパッドおよび基板ターミナルパッドのいずれもハンダ付け可能であるので、冶金学的に強力なハンダ接続部を容易に形成できる。
【0041】
本発明の重要な特徴は、追加される導電層の数が3つに限定されないことである。チップコンタクトパッドの金属層に追加されるのは、1つの層だけである場合、または2つの層となる場合、または4つ以上の層となる場合がある。追加される導電層(単数または複数)はチップに隣接するコンフォーマル表面および外側のプレーナー表面を有するだけでよく、かつ、必ずしもハンダを溶融することに依存しなくても外側表面は冶金学的な接合部を形成するのに適しているだけでよい。
【0042】
本発明の別の重要な特徴は、任意の数のチップコンタクトパッドに上記追加導電層を形成できるということである。従って、上記技術は少い数のI/O(例えば図6Aに示されるように12個のI/O)だけでなく、多数のI/O(多数200個または600個のI/O)を有するチップにも適用できる。コンタクトパッドは辺の長さが約40〜150μm、好ましくは90〜100μmの長方形、正方形または円のような形状でよい。隣接するコンタクトパッドの間のピッチは一般に0.4〜0.6mmの範囲内にあり、パッドの間の分離距離は50〜200μmであり、多数の入出力ターミナルを有する長方形に対しては好ましくは50〜75μmである。本発明の技術的な利点は、隣接するコンタクト間のピッチを中心から中心までの距離で100μmまで減少できることであり、このことはハンダボールコンタクトに対する主要な改良点となっている。
【0043】
本発明の別の重要な特徴は、コンタクトパッドの配置および分布がどのようなものであれ、上記追加導電層を形成できることである。一例として、図6Aに示されるように、アクティブチップ表面の周辺に沿ってコンタクトパッドを配列できる。別の例では、図4におけるアクティブチップ表面の略平面図に示されるように、アクティブチップ表面の中心にコンタクトパッドを配列してもよい。本発明のこの第3の実施例では、組み立て後、コンタクトジョイントにかかる応力が最小となるように、チップの中立ラインに接近した状態で、チップの中心にアクティブチップ表面401上の接点パッド402の分布が配置されている。更に別の例では、これらコンタクトパッドはアクティブチップ表面を横断するように任意の構成に配置してもよい。
【0044】
本発明の技術的利点は、図2における層210が示すチップの受動的表面を保護できるということである。層210は光またはその他の電磁放射線、水分およびほこりのような環境を劣化させる物質および引っ掻きのような機械的な乱れを生じさせる影響からチップを保護するように、黒色の被導電材料とすることが好ましい。層210を製造する方法は次の工程から成る。
・ドープされていないか、またはドープされているポリマー材料をスクリーンプリントする工程。
・硬化性絶縁材料をスピニングする工程。
・テープまたはフィルムを取り付ける工程。
・硬化性低粘性材料をスプレイする工程。
・保護層をトランスファー成形する工程。
【0045】
図3は図2に類似する略横断面図における本発明の第2の好ましい実施例を示す。無機オーバーコート層203の上には非導電性接着層301がデポジットされており、このオーバーコート層203に付着しているだけでなく、チップ組み立て後に外側部分にも付着される。この接着層はコンタクトパッド上において追加された金属化層200と同じ高さ301aを有する。このように、接着層301はコンタクトパッドの各々の上における追加された金属化層の間の空間を満たすように働く。
【0046】
図5は、本発明の第5の実施例を示す。無機オーバーコート層203の上には厚み範囲が1〜3μmのポリマー層501がデポジットされており、この有機オーバーコート層501は耐熱性であり、機械的にコンプライアントである。従って、この層はR.A.ラーセンによる上記引用刊行物(1980年)に記載されているように、バンプ下の金属化層とハンダ材料との間の応力緩和バッファとなっている。層501に好ましい材料としてはポリイミドおよびベンゾシクロブテン(BCB)が挙げられる。
【0047】
図6Aは組み立て後のチップ601の略平面図における本発明の第5の好ましい実施例を示し、図6Bは配線基板604に取り付けられたチップの略横断面図における本発明の第5の好ましい実施例を示す。図6Aに示された第5実施例では、上記の追加導電層でカバーされたチップコンタクトパッド602はアクティブチップ表面の領域部分を熱導電性プレート603の取り付けに利用できるように配置されている。図6Aの例では、この領域部分はアクティブチップ表面601の中心領域である。プレートは熱スプレッダーとして作動できるので、このプレートは良好な伝熱体(かつ低コストの材料)、例えば銅から製造し、追加導電性パッド層の厚み(0.2〜0.8μm)に適合した厚みを有することが望ましい。
【0048】
プレート603は冶金学的接合に適した外側表面を有する。特にこの外側表面はハンダ付け可能とすることができる。この外側プレートの表面は図2に示された層207に類似する貴金属層、例えば金のフラッシュとすることが好ましい。次に、このプレートはコンタクト金属構造体602の基板への取り付けと同時に、整合した位置にあらかじめ製造された配線基板の金属パッドにプレートを取り付けることができる。基板へのこのような取り付けを行うために、これまで説明したのと同じ選択案を利用できる。
・金属相互拡散による直接溶着。
・導電性接着剤による取り付け。
・ハンダペーストによる取り付け。
【0049】
図6Bの略横断面図は組み立てられたシステムを示す。ICチップ610はチップの周辺に沿って配列された複数の金属化されたコンタクトパッド611を有する。更にこのチップはコンタクトパッドによって利用されないチップ表面領域内に熱スプレッドプレート612を有する。配線基板620は鏡像のカウンタ部分、すなわちターミナルパッド621とターミナルシンク622を有する。このアセンブリはICチップと基板との間の電気接点を確立し、金属化された領域の間の空間内のギャップ630を形成する。これらギャップの幅はチップコンタクトパッド上の追加された導電層611の厚みに基板上の整合された金属化層621の高さを加えた値にほぼ等しい。図3を参照して説明したような、本発明の第2の実施例を特徴付けるチップを使用する場合、ギャップ630には非導電性接着剤が充填される。
【0050】
アセンブリ基板620は一般にファイバー、金属およびセラミックスを強化したいまたは熱によりモジュレートしたり、またはそうすることのない、FR−4、FR−5およびBT樹脂を含む有機材料から成る群から一般に選択される。基板の熱膨張係数(CTE)をシリコンのCTEに近似させ、よってCTEの不一致に起因するコンタクトジョイントにかかる応力を最小にするよう、基板620を酸化シリコン(約10〜100μmのサイズ)の粒子で充填することが技術的に有利である。
【0051】
図4における本発明の第3実施例に記載されているように、アクティブチップ表面の中心にコンタクトパッドを配列してもよい。このケースは、図7Aおよび7Bに示されており、この場合、中心パッド702および711はそれぞれチップ710の表面701の中心に位置する。伝熱性プレートを取り付けるのに利用できるアクティブチップ表面の領域部分はチップの周辺部である。ここではコンタクトパッドのまわりの基板フレーム703および712として熱スプレッダーが形成される。この配置はシステムが温度変動を受け、更にICチップのCTEと基板のCTEの不一致が重要となる時に、組み立てられたコンタクトパッドにおける熱機械式応力を最小にするのに特に好ましい。基板720上の鏡像関係にある金属化された領域は、コンタクトパッドに対しては番号721で表示されており、伝熱フレームに対しては番号722で表示されている。
【0052】
本発明の更に別の重要な特徴は、少なくともアクティブ表面に対向するチップ表面を保護する封止部を形成でき、基板にこの封止されたデバイスを組み立てることができることである。好ましい封止材料はモールディングコンパウンドであり、好ましい封止方法はトランスファー成形技術である。I/Cチップが275μmの通常の厚みよりも薄い時は特に、成形された封止部を呈するデバイスの変形例が推奨される。図7Cはデバイスが封止部730を有する図7Bのアセンブリを示す。
【0053】
図8および9では、図6Bに示された実施例に類似する成形されたデバイスが比較的薄い基板、好ましくは絶縁体をベースとする基板、例えばポリイミドフィルム上のアセンブリ内に示されている。図8では、このような組み立てられたデバイスはハンダボールを有するボール−グリッドアレイのデバイスとして完成しており、図9では、組み立てられたデバイスは接合可能な、またはハンダ付け可能な取り付けパッドを有するランド−グリッドアレイ(鉛フリー)として完成されている。
【0054】
図8の略横断面図では、I/Cチップ810は複数のパッドのための追加導電性コンタクト金属化層811および図6Bに類似する熱スプレッダ812を有し、モールディングコンパウンド813がデバイスを封止している。フィルム状基板820はコンタクトパッド811のための鏡像ターミナル821と熱スプレッダ812のための熱シンク822を有する。モールディングコンパウンド813はチップのパッシーブ表面を封止し、基板820に強力に取り付けられ、ギャップ830を満たしている。ハンダボール840を使用することにより、デバイスはプリント回路基板850に取り付けられている。
【0055】
図9の略横断面図では、接合可能な、またハンダ付け可能なランド940が図8のハンダボール840の代わりとなっている。その他の点では、デバイスの構造および基板への組み立ては図8に類似する。
【0056】
図10の実施例では、リードフレーム状の比較的厚いシートの金属層1020上のカウンタ部分1021にチップ1010のコンタクト金属化層1011が取り付けられている。このサブアセンブリはギャップ1030も満たすモールディングコンパウンド1013内に封止されている。シート状金属層1021の外側表面は接合可能、すなわちハンダ付け可能である。この外側表面はプリント回路基板1050に取り付けられている。図10の実施例はチップサイズのパッケージを製造可能にするものと指摘しなければならない。個々のチップを封止する代わりにウェーハ全体をモールディングコンパウンドで封止している。その後、チップ1010のアウトラインが決定するライン1014に沿って好ましくはソーイングすることによって、デバイスを別々にする。
【0057】
図11は、所定のロケーションでチップコンタクトパッドからリモート接点パッドへの接続ラインを再分配することが望まれるケースに、本発明のコンタクト金属化層を使用する例を略図で示す。かかる再分配は固定ターミナルを有するプリント配線基板に接続するのに必要となることが多い。チップ1101は銅またはアルミニウム製のコンタクトパッド1102および窒化シリコンまたはシリコンオキシナイトライドから製造することが好ましい第1保護オーバーコート層1103(または無機層と有機層のスタック)を有する。好ましくは銅製の金属ライン1104はチップコンタクトパッド1102を再分配されたパッド1105に接続している。パッド1105は層のシーケンスおよび上記製造方法を呈す。これら再分配金属ライン1104は別の層1106(または有機層と無機層のスタック)によって保護してもよい。
【0058】
以上で、図示した実施例を参照して本発明について説明したが、この説明は限定的に解してはならない。この説明を当業者が読めば、本発明の図示した実施例だけでなく他の実施例の種々の変形および組み合わせが明らかとなろう。一例として、コンタクトパッドと熱スプレッダの相互配置は多数の異なる構造に設計できる。別の例としてコンタクトパッドへ追加される金属層の選択は基板の取り付けに選択されるアセンブリ技術に最も適すように変更できる。
【0059】
従って、特許請求の範囲はかかる任意の変形例または実施例を含むものである。
【0060】
以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
(1) 複数のコンタクトパッドを含む金属化パターンを有し、無機オーバーコート層によって保護された集積回路を備えたプレーナー状アクティブ表面を有する半導体チップを備え、
前記コンタクトパッドの各々が前記金属化層上に追加された導電層を有し、前記追加された層が前記オーバーコート層の周辺部分を含む、前記チップに隣接したコンフォーマル表面とプレーナー外側表面とを有し、前記外側表面が溶融をすることなく、冶金学的接合部を形成するようになっている、半導体デバイス。
(2) 前記コンタクトパッドの各々の上の前記追加された導電層の間の空間を満たす、前記オーバーコート層を覆うように設けられた非導電性接着層を更に備えた、第1項記載のデバイス。
(3) チップの中心ラインに接近した状態で前記チップの中心に配列された前記コンタクトパッドの配置を更に含む、第1項記載のデバイス。
(4) 前記導電層が少なくとも2つの導電性サブ層から成り、一方のサブ層が導電性拡散バリアであり、他方の外側層が接合可能である、第1項記載のデバイス。
(5) 前記外側表面が相互拡散に適した金属によって形成された別の平坦表面との金属相互拡散に適した平坦度を有する、第1項記載のデバイス。
(6) 前記アクティブチップ表面の領域部分が伝熱性プレートを取り付けるのに利用できるような前記コンタクトパッドの配置を更に備え、前記伝熱性プレートが前記導電性パッド層の厚みと適合できる厚みを有する、第1項記載のデバイス。
(7) 前記チップコンタクトパッドの配置に整合したターミナルパッドを有する金属または絶縁基板を更に備え、各ターミナルパッドが絶縁基板追加された層を有する絶縁基板チップコンタクトパッドの1つに接合され、よって絶縁基板チップと絶縁基板基板との間の電気コンタクトが確立され、一方、前記追加された層の厚みにほぼ等しい幅を有するギャップを前記チップと前記基板との間に形成している、第1項記載のデバイス。
(8) 基板に前記デバイスを取り付けるのに適した基板追加部を更に備え、前記追加部がハンダボール、導電性ランドおよび接合可能な表面仕上げ部から成る群から選択されたものである、請求項7記載のデバイス。
(9) 前記アクティブ表面に対向するチップ表面上に設けられた保護層を更に備え、該保護層が光および乱れを生じさせる環境上の影響をシールドするようになっている、第1項記載のデバイス。
【0061】
(10) 無機オーバーコート層によって保護された集積回路を含むプレーナー状アクティブ表面および複数のコンタクトパッドを含む金属化パターンを有する半導体チップを設ける工程を備え、前記コンタクトパッドの各々が前記金属化層に設けられた追加された導電層および前記オーバーコート層の一部を有し、前記追加された層が前記チップに隣接するコンフォーマル表面および外側のプレーナー表面を有し、前記外側表面が溶融することなく、冶金学的接合部を形成するのに適しており、
前記チップコンタクトパッドの分布に整合するように配置された複数のプレーナー状の冶金学的に接合可能なターミナルパッドを有するアセンブリ基板を設ける工程と、
前記チップコンタクトパッドの各々が対応する基板ターミナルパッドに接続するように、前記追加チップ金属化層および前記基板パッドを整合する工程と、
前記チップ金属化層および前記基板パッドを冶金学的に接合する工程とを備えた、半導体アセンブリを製造するための方法。
【0062】
(11) 半導体チップ(201)は無機オーバーコート層(203)によって保護された集積回路を備えたプレーナーアクティブ表面(201a)を有し、この集積回路は複数のコンタクトパッド(202a)を含む金属化パターン(202)を有する。これらコンタクトパッド(202a)の各々は金属化パターン(202)上に追加された導電層(205)を有する。この追加された導電層(205)はオーバーコート層(203)の周辺部分を含む、チップに隣接したコンフォーマル表面および外側のプレーナー表面を有する。この外側表面は溶融することなく冶金学的接合部を形成するのに適している。チップコンタクトパッド(202a)はチップの中立ラインに接近した状態でチップの中心に配列された配置を有することができ、この配置は伝熱性プレートを取り付けるのに利用できるアクティブなチップ表面の領域部分を残すことができる。更にこのチップはオーバーコート層の上に非導電性接着層(501)を有し、各コンタクトパッド上の追加された導電層の間のスペースを満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】公知の技術に係わるフリップチップ取り付けのためのバンプ下の金属化層およびハンダボールを溶融するICコンタクトパッドの略横断面図である。
【図2】コンタクトパッドが追加導電層を有し、外側層が冶金学的接合部を形成するのに適したプレーナー表面を有する、無機オーバーコート層を備えたICを示す、本発明の第1実施例の略横断面図である。
【図3】図2のデバイスに追加される非導電性接着剤の層を示す、本発明の第2実施例の略横断面図である。
【図4】チップの中心に配列されたコンタクトパッドを示す、本発明の第3実施例に係わるチップのアクティブ表面の略平面図である。
【図5】コンタクトパッドが追加導電層を有し、外側層が冶金学的接合部を形成するのに適したプレーナー表面を有する、無機オーバーコート層および有機オーバーコート層を備えたICを示す、本発明の第4の好ましい実施例の略横断面図である。
【図6A】(周辺アレイ内の)複数の金属化コンタクトパッドおよび残りの表面領域内に位置する熱スプレッダを有する組み立てられたアクティブチップ表面を示す、本発明の第5実施例の略平面図である。
【図6B】プリント回路基板に取り付けられた金属化コンタクトパッドおよび熱スプレッダを有する第5実施例の略横断面図である。
【図7A】中心アレイ内の複数の金属化コンタクトパッドおよび残りの表領域内に位置する熱スプレッダを有するアクティブチップ表面を有する、第3実施例と第5実施例との組み合わせの略平面図である。
【図7B】プリント回路基板に取り付けられた金属化コンタクトパッドおよび熱スプレッダを有する図7Aの構造の略横断面図である。
【図7C】保護デバイス封止部を含む、図7Bのアセンブリの略横断面図である。
【図8】絶縁体をベースとする基板に取り付けられ、次に成形されたパッケージ内に封止され、最後にハンダボールを使ってボールに取り付けられた、図6B内のアセンブリの略横断面図である。
【図9】絶縁体をベースとする基板に取り付けられ、次に成形されたパッケージ内に封止され、最後に接合可能な金属ランドを使って基板に取り付けられた、図6B内のアセンブリの略横断面図である。
【図10】シート状の金属に取り付けられ、次に封止され、最後に金属シートの接合可能な外側表面を使って基板に取り付けられた、図6B内のアセンブリの略横断面図である。
【図11】コンタクトパッド、再分配ラインおよび本発明に従って他の部品に接続するための追加導電層を有するチップの略横断面図を示す。
【符号の説明】
201 半導体チップ
201a プレーナー状アクティブ表面
202 金属化パターン
202a コンタクトパッド
203 無機オーバーコート層
205 導電層
501 非導電性接着層
Claims (8)
- 無機オーバーコートによって保護された集積回路を含むプレーナー状アクティブ表面を有する半導体チップを備え、前記集積回路が複数のコンタクトパッドを含む金属化パターンを有し、前記無機オーバーコートが前記コンタクトパッドの各表面の上の側壁を含み、
前記コンタクトパッドの各々の上に追加された導電層を備え、前記追加された導電層が、前記無機オーバーコートの周辺部分を含む、前記チップに面したコンフォーマル表面と、前記無機オーバーコートの側壁をカバーし、前記チップの表面に対してほぼ平行なフラットなアウトラインを規定するプレーナー外側表面とを有し、前記プレーナー外側表面が、溶融をすることなく、冶金学的接合部を形成するようになっており、
そして、前記無機オーバーコートの上の非導電性接着剤と、前記コンタクトパッドが配置されていない前記アクティブ表面の或る領域部分に取り付けられた熱導電性プレートとを備え、
前記熱導電性プレートが前記追加された導電層の厚さに適合する厚さを有し、
前記非導電性接着剤が、前記コンタクトパッド上の前記追加された導電層の間のギャップと、前記追加された導電層と前記熱導電性プレートの間のギャップに配置されている、
半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記熱導電性プレートが冶金学的接合により熱導電性端子に接続される外側表面を有する、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記熱導電性プレートが半田接合により熱導電性端子に接続される外側表面を有する、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記コンタクトパッドが前記半導体チップの周辺に沿って配置され、前記熱導電性プレートが前記周辺の内側に位置する、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
前記コンタクトパッドが前記半導体チップの中心に配置され、前記熱導電性プレートが前記コンタクトパッドのまわりのフレームとして形成される、半導体デバイス。 - 無機オーバーコートによって保護された集積回路を含むプレーナー状アクティブ表面を有する半導体チップを備え、
前記集積回路が複数のコンタクトパッドを含む金属化パターンを有し、前記無機オーバーコートが前記コンタクトパッドの各表面の上の側壁を含み、
前記コンタクトパッドの各々の上に追加された導電層を備え、前記追加された導電層が、前記無機オーバーコートの周辺部分を含む、前記チップに面したコンフォーマル表面と、前記無機オーバーコートの側壁をカバーし、前記チップの表面に対してほぼ平行なフラットなアウトラインを規定するプレーナー外側表面とを有し、前記プレーナー外側表面が、溶融をすることなく、冶金学的接合部を形成するようになっており、
そして、前記無機オーバーコートの上の非導電性接着剤を備え、前記非導電性接着剤が、前記コンタクトパッド上の前記追加された導電層の間のギャップに配置されており、
前記半導体チップがシリコンゲルマニウムを含む材料により作られている、
半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
更に、前記半導体デバイスの配線基板への取り付けに適した基板付加部を備え、前記基板付加部が半田ボール、導電性ランド及び接合可能な表面仕上げ部からなる群から選択される、半導体デバイス。 - 請求項1に記載の半導体デバイスであって、
更に、前記アクティブ表面の反対側の、前記チップの裏面上の保護層を備え、前記保護層は光及び環境の影響を乱すものをシールドする、半導体デバイス。
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