JP4691499B2 - 対象となる信号およびノイズ間のロバストな分離を可能にする装置および方法 - Google Patents
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Description
Tilt_Drection = atan (z(2), z(1));
Tilt_Magnitude = sqrt (z(2) * z(2) + z(1) * z(1)); および
Bowl_Shape = z(4).
iが0,1,2,3,4,…,に等しいZ(i)はゼルニケあてはめ係数である。2以上の次数は、3つのパラメータ全てを計算するために用いられえる。そうでなければ、次数は9より小さい。以下のファクタが次数を選択するのに考慮されえる。すなわち、よいあてはめであるか、メモリの使用量、およびスループットである。
Claims (30)
- 試料の表面から与えられるヘイズデータを分析する方法であって、
ヘイズデータを提供すること、および
低周波数の変化を前記ヘイズデータから除去することによって、前記試料の前記表面中に存在する任意の欠陥に対応する残差データを形成すること
を含み、
前記ヘイズデータからの低周波数の変化の除去は、
前記ヘイズデータの低周波数の変化を、2次元(2D)多項式方程式の形式をとるあてはめプランにあてはめること、および
前記あてはめプランを前記ヘイズデータから引くことによって、前記残差データを形成すること
により行なわれる方法。 - 試料の表面から与えられるヘイズデータを分析するよう動作可能なコンピュータシステムであって、
1つ以上のプロセッサ、
1つ以上のメモリ
を備え、前記プロセッサおよびメモリの少なくとも1つは、
ヘイズデータを提供すること、および
低周波数の変化を前記ヘイズデータから除去することによって、残差データを形成すること
を行うよう構成され、
前記ヘイズデータからの低周波数の変化の除去は、
前記ヘイズデータの前記低周波数の変化を、2次元(2D)多項式方程式の形式をとるあてはめプランにあてはめること、および
前記あてはめプランを前記ヘイズデータから引くことによって、前記残差データを形成すること
により行なうコンピュータシステム。 - 請求項2に記載のコンピュータシステムであって、前記2D多項式方程式は、ゼルニケ多項式であるコンピュータシステム。
- 請求項3に記載のコンピュータシステムであって、前記ゼルニケ多項式は、2より大きい次数を有するコンピュータシステム。
- 請求項3に記載のコンピュータシステムであって、前記ゼルニケ多項式は、9より小さい次数を有するコンピュータシステム。
- 請求項2に記載のコンピュータシステムであって、前記ヘイズデータを前処理することによって、前記あてはめプランから前記ヘイズデータの一部を除外することをさらに含むコンピュータシステム。
- 請求項6に記載のコンピュータシステムであって、前記前処理は、前記ヘイズデータ内の異常値を前記あてはめプランから除外することを含むコンピュータシステム。
- 請求項7に記載のコンピュータシステムであって、前記異常値は、前記試料のエッジおよび大きいブロブ欠陥に対応する輝度値を含むコンピュータシステム。
- 請求項7または請求項8に記載のコンピュータシステムであって、前記異常値を除外することは、
前記ヘイズデータについての平均および標準偏差を決定すること、
前記平均および標準偏差に依存するスレッショルドを決定すること、および
前記スレッショルドに届かないヘイズデータを前記あてはめプランから除外すること
を含むコンピュータシステム。 - 請求項2ないし請求項9のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記プロセッサおよびメモリの少なくとも1つは、前記残差データを分析することによって前記試料が任意の欠陥を有するかを決定するよう構成されるコンピュータシステム。
- 請求項10に記載のコンピュータシステムであって、前記残差データは、
a)前記残差データの一部を含むウィンドウを得ること、
b)前記得られたウィンドウ内で最低の輝度を有する最小ピクセルおよび最大の輝度を有する最大ピクセルを決定すること、および
c)前記ウィンドウが欠陥を有するかを、前記最小ピクセル、前記最大ピクセル、および所定のスレッショルドに基づいて決定すること
によって分析されるコンピュータシステム。 - 請求項11に記載のコンピュータシステムであって、前記最小ピクセルから前記最大ピクセルを引いたものが前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータシステム。
- 請求項11に記載のコンピュータシステムであって、(A)前記ウィンドウの中心ピクセルから前記最小ピクセルを引いたもの、および(B)前記最大ピクセルから前記中心ピクセルを引いたものの最大が、前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータシステム。
- 請求項11ないし請求項13のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記所定のスレッショルドは、
前記残差データに基づいてヒストグラムを決定すること、
前記残差データから残差値の範囲を選択すること、および
前記選択された範囲に基づいてスレッショルドを決定すること
によって決定されるコンピュータシステム。 - 請求項14に記載のコンピュータシステムであって、前記スレッショルドは、前記範囲を所定の係数倍することによって決定され、前記所定の係数は、ヘイズデータを提供するそれぞれのシステムについて変化することによって、前記スレッショルドが前記異なるシステム間で正規化されるコンピュータシステム。
- 請求項15に記載のコンピュータシステムであって、前記所定の係数は0.5であるコンピュータシステム。
- 請求項14ないし請求項16のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記選択された範囲は、約5および95パーセントの間であるコンピュータシステム。
- 請求項2ないし請求項17のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記ヘイズデータから低周波数の変化を除去することは、フィルタを用いて達成されるコンピュータシステム。
- コンピュータで読み取り可能な媒体に記録され、試料の表面から与えられるヘイズデータを分析するコンピュータプログラムであって、
前記コンピュータで読み取り可能な媒体内に記憶されたコンピュータプログラム命令を備え、
前記コンピュータプログラム命令は、
ヘイズデータを提供すること、および
低周波数の変化を前記ヘイズデータから除去することによって、前記試料の前記表面中に存在する任意の欠陥に対応する残差データを形成すること
を行うよう構成され、
前記ヘイズデータからの低周波数の変化の除去は、
前記ヘイズデータの低周波数の変化を、2次元(2D)多項式方程式の形式をとるあてはめプランにあてはめること、および
前記あてはめプランを前記ヘイズデータから引くことによって、前記残差データを形成すること
により行なうコンピュータプログラム。 - 請求項19に記載のコンピュータプログラムであって、前記2D多項式方程式は、ゼルニケ多項式であるコンピュータプログラム。
- 請求項19または請求項20に記載のコンピュータプログラムであって、前記ヘイズデータを前処理することによって、前記あてはめプランから前記ヘイズデータの一部を除外することをさらに含むコンピュータプログラム。
- 請求項21に記載のコンピュータプログラムであって、前記異常値を除外することは、
前記ヘイズデータについての平均および標準偏差を決定すること、
前記平均および標準偏差に依存するスレッショルドを決定すること、および
前記スレッショルドに届かないヘイズデータを前記あてはめプランから除外すること
を含むコンピュータプログラム。 - 請求項19ないし請求項22のいずれかに記載のコンピュータプログラムであって、前記少なくとも1つのコンピュータで読み取り可能な媒体内に記憶された前記コンピュータプログラム命令は、前記残差データを分析することによって、前記試料が任意の欠陥を有するかを決定するようさらに構成されるコンピュータプログラム。
- 請求項23に記載のコンピュータプログラムであって、前記残差データは、
a)前記残差データの一部を含むウィンドウを得ること、
b)前記得られたウィンドウ内で最低の輝度を有する最小ピクセルおよび最大の輝度を有する最大ピクセルを決定すること、および
c)前記ウィンドウが欠陥を有するかを、前記最小ピクセル、前記最大ピクセル、および所定のスレッショルドに基づいて決定すること
によって分析されるコンピュータプログラム。 - 請求項24に記載のコンピュータプログラムであって、前記最小ピクセルから前記最大ピクセルを引いたものが前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータプログラム。
- 請求項24に記載のコンピュータプログラムであって、(A)前記ウィンドウの中心ピクセルから前記最小ピクセルを引いたもの、および(B)前記最大ピクセルから前記中心ピクセルを引いたものの最大が、前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータプログラム。
- 請求項24ないし請求項26のいずれかに記載のコンピュータプログラムであって、前記所定のスレッショルドは、
前記残差データに基づいてヒストグラムを決定すること、
前記残差データから残差値の範囲を選択すること、および
前記選択された範囲に基づいてスレッショルドを決定すること
によって決定されるコンピュータプログラム。 - 請求項27に記載のコンピュータプログラムであって、前記スレッショルドは、前記範囲を所定の係数倍することによって決定され、前記所定の係数は、ヘイズデータを提供するそれぞれのシステムについて変化することによって、前記スレッショルドが前記異なるシステム間で正規化されるコンピュータプログラム。
- 請求項27または請求項28に記載のコンピュータプログラムであって、前記選択された範囲は、約5および95パーセントの間であるコンピュータプログラム。
- 請求項19ないし請求項29のいずれかに記載のコンピュータプログラムであって、前記ヘイズデータから低周波数の変化を除去することは、フィルタを用いて達成されるコンピュータプログラム。
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