JP4647510B2 - 基板の欠陥検査方法及びプログラム - Google Patents
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Description
正常な基板の画像と検査対象となる基板の画像との差分画像を求める工程と,
前記差分画像を,基板の中心を原点として所定の角度ごとに360度回転して,回転前の差分画像と回転後の差分画像とを,合成後の画像の各ピクセル値が大きくなるように合成する工程と,前記合成によって得られた画像をゼルニケ多項式に分解して解析して,各ゼルニケ係数ごとのゼルニケ値を算出して数値化する工程と,前記ゼルニケ多項式によって数値化した後のゼルニケ値のうち,同心円成分を著すゼルニケ係数のゼルニケ値に基づいて基板の欠陥の有無を判定する工程とを有することを特徴としている。
Z2 r・cosθ
Z3 r・sinθ
Z4 2r2−1
Z5 r2・cos2θ
Z6 r2・sin2θ
Z7 (3r3−2r)・cosθ
Z8 (3r3−2r)・sinθ
Z9 6r4−6r2+1
Z10 r3・cos3θ
Z11 r3・sin3θ
Z12 (4r4−3r2)・cos2θ
Z13 (4r4−3r2)・sin2θ
Z14 (10r5−12r3+3r)・cosθ
Z15 (10r5−12r3+3r)・sinθ
Z16 20r6−30r4+12r2−1
上記したゼルニケ多項式の各ゼルニケ係数ごとに分解して得られる画像は,図2に示した通りであり,図2の左端の列の係数,すなわちゼルニケ係数がZ1,Z4,Z9,Z16が,同心円成分を著している。
3 ステージ
11 CCDカメラ
12 制御部
13 プログラム格納部
21 差分演算部
22 合成演算部
23 ゼルニケ演算部
24 判定部
W ウエハ
Claims (4)
- 基板の欠陥を検査する方法であって,
正常な基板の画像と検査対象となる基板の画像との差分画像を求める工程と,
前記差分画像を,基板の中心を原点として所定の角度ごとに360度回転して,回転前の差分画像と回転後の差分画像とを,合成後の画像の各ピクセル値が大きくなるように合成する工程と,
前記合成によって得られた画像をゼルニケ多項式に分解して解析して,各ゼルニケ係数ごとのゼルニケ値を算出して数値化する工程と,
前記ゼルニケ多項式によって数値化した後のゼルニケ値のうち,同心円成分を著すゼルニケ係数のゼルニケ値に基づいて基板の欠陥の有無を判定する工程とを有することを特徴とする,基板の欠陥検査方法。 - 前記所定の角度は10度以下であることを特徴とする,請求項1に記載の基板の欠陥検査方法。
- 前記差分画像はカラー画像であり,前記ゼルニケ多項式によって数値化した後のゼルニケ値のうち,R,G,Bのうちの少なくともいずれかの1の同心円成分のゼルニケ値に基づいて基板の欠陥の有無を判定することを特徴とする,請求項1又は2に記載の基板の欠陥検査方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の基板の欠陥検査方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
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