JP2986902B2 - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
- Publication number
- JP2986902B2 JP2986902B2 JP2314878A JP31487890A JP2986902B2 JP 2986902 B2 JP2986902 B2 JP 2986902B2 JP 2314878 A JP2314878 A JP 2314878A JP 31487890 A JP31487890 A JP 31487890A JP 2986902 B2 JP2986902 B2 JP 2986902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vector
- pixel
- axis direction
- value
- differential value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
する。
によることなく自動的に行う検査装置が開発されてい
る。
より製品を撮影し、その映像信号を各画素毎に濃度値に
変換する。そして、通常と異なる濃度値の部分があれ
ば、そこに製品の欠けや割れ等の欠陥があるものと判定
する。
では、次のような問題があった。
するためには、検査範囲を製品の輪郭より若干内側(例
えば2,3画素分)に設定しなければならない。このた
め、第4図に示すように、製品の輪郭1の極めて近くに
生じた欠陥2を検出できない場合がある。
図に示すように、歪んだ製品の輪郭3が検査範囲4内に
入り、欠陥あると誤って判定する場合がある。
6図に示すように、検査範囲5は最も小さな製品6を基
準に定める必要がある。このため、最も小さな製品6と
それよりも大きな製品7との間にある欠陥8を検出でき
ない場合がある。
ことがあるため、第7図に示すように、傾いた製品の輪
郭9が検査範囲10内に入り、欠陥あると誤って判定する
場合がある。
を検出できない場合や誤って欠陥を検出する場合があっ
た。
被検査対象の欠陥等を確実に検出することができる画像
処理装置を提供することを目的としている。
に変換する変換手段と、前記映像信号のX軸方向に対す
る前記濃度値の微分値を各画素毎に求めるX軸方向微分
手段と、前記映像信号のY軸方向に対する前記濃度値の
微分値を各画素毎に求めるY軸方向微分手段と、前記X
軸方向微分手段により求められた微分値及び前記Y軸方
向微分手段により求められた微分値を各方向のベクトル
としてとらえ、これらベクトルを各画素毎に合成し、こ
れら合成ベクトルの方向と大きさを求めるベクトル演算
手段と、前記被検査対象のうち非検査部分の映像信号の
前記濃度値に関する合成ベクトルの方向を予め記憶する
記憶手段と、前記ベクトル演算手段により求められた合
成ベクトルの方向を前記記憶手段により記憶された合成
ベクトルの方向と各画素毎に所定の許容値内で比較し、
合致しない合成ベクトルを抽出する第1の抽出手段と、
この第1の抽出手段により抽出された合成ベクトルに該
当する画素の合成ベクトルの大きさを前記ベクトル演算
手段より抽出する第2の抽出手段とを具備するものであ
る。
の濃度値を各方向のベクトルとしてとらえ、合成ベクト
ルの方向成分に基づき被検査対象のうち非検査部分を検
査対象から外しているので、検査範囲を被検査対象より
も広くとることができる。よって、従来例で説明した種
々の不具合を生ずることがなく、被検査対象の欠陥等を
確実に検出することができる。
す図である。
に濃度値に変換する変換回路、12は第2図に示す映像信
号SのX軸方向SX及びY軸方向SYに対する濃度値に対応
する微分値を記憶する濃度値/微分値対応テーブルであ
る。
X軸方向SX及びY軸方向SYの微分値をそれぞれ各方向の
ベクトルとしてとらえ、X軸方向SXの微分値のベクトル
をf′X(i,j)、Y軸方向SYの微分値のベクトルを
f′Y(i,j)と定義する。
の方向を記憶するベクトル/方向対応テーブル、14は
f′X(i,j)とf′Y(i,j)との合成ベクトルの大き
さを記憶するベクトル/大きさ対応テーブルである。
示すように、 θ(i,j)=tan-1(f′Y(i,j)/f′X(i,j))と
定義し、合成ベクトルの大きさI(i,j)は、 と定義する。
に関する合成ベクトルの方向を予め記憶する非検査部分
登録テーブルである。具体的には、第2図に示す映像信
号において、製品領域16と非製品領域17との境界18にお
けるX軸方向及びY軸方向の濃度値の変化(微分値)を
ベクトルとしてとらえ、これらの合成ベクトルの方向θ
S(i,j)を記憶する。
の演算処理に必要なプログラムを記憶する記憶部であ
る。
動作を第3図に従って説明する。
画素毎に濃度値に変換される(第3図(a))。
びY軸方向SYの微分値を濃度値/微分値対応テーブル12
より抽出する(第3図(b),(c))。
f′X(i,j)、Y軸方向SYの微分値のベクトルをf′
Y(i,j)とする。
に対応する合成ベクトルの方向θ(i,j)及び合成ベク
トルの大きさI(i,j)をそれぞれベクトル/方向対応
テーブル13、ベクトル/大きさ対応テーブル14より抽出
する(第3図(d),(e))。
非検査部分登録テーブル15により記憶された合成ベクト
ルの方向θS(i,j)と各画素毎に所定の許容値内で比
較し、合致しない合成ベクトルD1(i,j)を抽出する
(第3図(f),(g))。ここで、合成ベクトルD1
(i,j)の存在する画素が欠陥候補のある画素となる。
なお、上記の比較を所定の許容値内で行ったのは、被検
査対象の大きさのばらつきや位置ずれをある程度許容す
るためである。
j)に該当する画素の合成ベクトルの大きさI(i,j)を
抽出する(第3図(h))。
し、判定等を行う。
したように、検査範囲を製品領域16ばかりでなく非製品
領域17に広げることができまた製品領域16と非製品領域
17との境界18を確実に検査対象から回避できるので、被
検査対象の欠陥等を確実に検出することができる。
度値の微分値及びY軸方向の濃度値を各方向のベクトル
としてとらえ、合成ベクトルの方向成分に基づき被検査
対象のうち非検査部分を検査対象から外しているので、
被検査対象の欠陥等を確実に検出することができる。
示すブロック図、第2図はこの画像処理装置により処理
される画像を示す図、第3図はこの画像処理装置による
処理の流れを示すブロック図、第4図乃至第7図は従来
の画像処理による検査装置の問題点を説明するための図
である。 11……変換回路、12……濃度値/微分値対応テーブル、
13……ベクトル/方向対応テーブル、14……ベクトル/
大きさ対応テーブル、15……非検査部分登録テーブル、
19……制御部、20……記憶部。
Claims (1)
- 【請求項1】被検査対象の映像信号を各画素毎に濃度値
に変換する交換手段と、 前記映像信号のX軸方向に対する前記濃度値の微分値を
各画素毎に求めるX軸方向微分手段と、 前記映像信号のY軸方向に対する前記濃度値の微分値を
各画素毎に求めるY軸方向微分手段と、 前記X軸方向微分手段により求められた微分値及び前記
Y軸方向微分手段により求められた微分値を各方向のベ
クトルとしてとらえ、これらベクトルを各画素毎に合成
し、これら合成ベクトルの方向と大きさを求めるベクト
ル演算手段と、 前記被検査対象のうち非検査部分の映像信号の前記濃度
値に関する合成ベクトルの方向を予め記憶する記憶手段
と、 前記ベクトル演算手段により求められた合成ベクトルの
方向を前記記憶手段により記憶された合成ベクトルの方
向と各画素毎に所定の許容値内で比較し、合致しない合
成ベクトルを抽出する第1の抽出手段と、 この第1の抽出手段により抽出された合成ベクトルに該
当する画素の合成ベクトルの大きさを前記ベクトル演算
手段より抽出する第2の抽出手段と を具備することを特徴とする画像処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2314878A JP2986902B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2314878A JP2986902B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 画像処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04184579A JPH04184579A (ja) | 1992-07-01 |
JP2986902B2 true JP2986902B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=18058711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2314878A Expired - Lifetime JP2986902B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2986902B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT502810B1 (de) * | 2005-11-17 | 2007-06-15 | Arc Seibersdorf Res Gmbh | Verfahren zur optischen prüfung von gegenständen |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP2314878A patent/JP2986902B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04184579A (ja) | 1992-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7411669B2 (en) | Substrate defect inspection method, computer readable storage medium, and defect inspection apparatus | |
CN110288040A (zh) | 一种基于拓扑验证的图像相似评判方法及设备 | |
JPH08292014A (ja) | パターン位置の計測方法および計測装置 | |
US6920241B1 (en) | System and method for bundled location and regional inspection | |
JP2986902B2 (ja) | 画像処理装置 | |
JPH1117400A (ja) | 実装部品検査装置 | |
JP2924859B2 (ja) | 外観検査方法及び装置 | |
JPH05149728A (ja) | 視覚認識装置 | |
JP2009139166A (ja) | 画像欠陥検査方法および画像欠陥検査装置 | |
JPH07504978A (ja) | 製品の検査方法 | |
JPH11340115A (ja) | パターンマッチング方法およびそれを用いた露光方法 | |
CN114219802A (zh) | 一种基于图像处理的蒙皮连接孔孔位检测方法 | |
JP2561193B2 (ja) | 印刷パターン検査装置 | |
US6240202B1 (en) | Appearance inspection method for electronic parts | |
JPS61273088A (ja) | 表面パタ−ン検査方法 | |
JPH1091788A (ja) | パターン位置合わせ装置およびパターン位置合わせ方法 | |
JP2737077B2 (ja) | 画像処理方法 | |
JPS62221077A (ja) | パタ−ン検出装置 | |
JP2879357B2 (ja) | 形状判定方法 | |
JP3146882B2 (ja) | 絵柄検査方法 | |
JP2804761B2 (ja) | 走査電子顕微鏡画像からの3次元形状再構成法 | |
JPH11271232A (ja) | プリント基板の配線の欠陥検出方法および装置 | |
JP2635303B2 (ja) | ウェハのオリフラ検出装置 | |
JP2961777B2 (ja) | 画像の比較方法 | |
JPH0359362B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081001 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081001 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111001 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111001 Year of fee payment: 12 |