JP5458683B2 - レーザー散乱法を用いた半導体ウェーハの良品判定方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 161
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 title claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 175
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 87
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 58
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 1
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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Description
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。面内標準偏差値及び面内平均値は、従来の検査装置でも自動で測定して出力され得る値である。Yの値については、従来の検査装置が自動で測定した面内標準偏差値及び面内平均値を基に、手動で算出しても良いし、後述するY値の自動算出手段を備える検査装置を用いて自動で算出しても良い。また、判定基準となる上記Yの値の所定値については、人間の官能検査の結果と照らし合わせて設定する。
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。従来、本発明の判定方法を実施するには、図7に示す一般的な検査装置50によって自動で測定されたヘイズ信号の面内平均値及び標準偏差値から、手動でYの値を算出しなければならなかった。しかし、この検査装置10は、制御部20がYの値を算出する手段21を備えるため、この検査装置10により自動で上記Yの値を半導体ウェーハ毎に算出でき、本発明の判定方法をより効率よく実施することができる。
先ず、CZ法(チョクラルスキー法)により育成されたシリコン単結晶から、スライス工程、面取り工程、研磨工程等を経て得られた半導体ウェーハ(直径30cm)を複数枚用意した。これらの半導体ウェーハは、レーザー散乱法を用いた検査装置(型名:SP1 KLA−Tencor社製)により測定された60nm以上のLPD個数が、デバイス製造メーカーとの交渉により設定された条件を合格したものである。
参考例1と同様に、先ず、CZ法(チョクラルスキー法)により育成されたシリコン単結晶から、スライス工程、面取り工程、研磨工程等を経て得られた半導体ウェーハ(直径30cm)を複数枚用意した。これらの半導体ウェーハは、参考例1で使用したものと同一の検査装置により測定された60nm以上のLPD個数が、デバイス製造メーカーとの交渉により設定された条件を合格したものである。
このように半導体ウェーハ1枚に付きYの値を算出した計100枚の半導体ウェーハについて、Yの値に対する半導体ウェーハ枚数を度数とする度数分布図を図5に示す。同時に、これらの半導体ウェーハについて、ヘイズ信号の面内平均値μに対する半導体ウェーハ枚数を度数とする度数分布図を図3に、ヘイズ信号の面内標準偏差値σに対するウェーハ枚数を度数とする度数分布図を図4に示す。図5に示す検出状況に基づいて、上記Yの値が0.100以下の半導体ウェーハを良品ウェーハ、Yの値が0.100を超える半導体ウェーハを不良品ウェーハと判定した。なお、参考例1で良品と判定された図1に示す半導体ウェーハのYの値は0.051であり、不良品と判定された図2に示す半導体ウェーハのYの値は0.152であった。
参考例1と同様に、先ず、CZ法(チョクラルスキー法)により育成されたシリコン単結晶から、スライス工程、面取り工程、研磨工程等を経て得られた半導体ウェーハ(直径30cm)を複数枚用意した。これらの半導体ウェーハは、参考例1で使用したものと同一の検査装置により測定された60nm以上のLPD個数が、デバイス製造メーカーとの交渉により設定された条件を合格したものである。
参考例1と同様に、先ず、CZ法(チョクラルスキー法)により育成されたシリコン単結晶から、スライス工程、面取り工程、研磨工程等を経て得られた半導体ウェーハ(直径30cm)を複数枚用意した。これらの半導体ウェーハは、参考例1で使用したものと同一の検査装置により測定された80nm以上のLPD個数が、デバイス製造メーカーとの交渉により設定された条件を合格したものである。
Claims (2)
- レーザー散乱法を用いた検出装置により、デバイスパターンの形成されていない複数の半導体ウェーハ表面におけるLPDの個数を半導体ウェーハ毎に測定する際に、検出するLPDの最小サイズを65nm以下の所定値に設定し、前記測定したLPDの個数に基づいて前記複数の半導体ウェーハの中から良品の半導体ウェーハを判定する方法において、
前記半導体ウェーハ表面から半導体ウェーハ面内における前記所定値以上のLPDの個数と半導体ウェーハ面内におけるヘイズ信号の平均値及び標準偏差値を半導体ウェーハ毎に測定する工程と、
前記測定した半導体ウェーハの中から前記測定した半導体ウェーハあたりのLPDの個数が所定の個数以下である半導体ウェーハを選別する工程と、
前記選別した半導体ウェーハの中から、下記の式(1)から算出されるYの値が所定値以下である半導体ウェーハを良品の半導体ウェーハとして判定する工程と
を含むことを特徴とするレーザー散乱法を用いた半導体ウェーハの良品判定方法。
Y=σ/μ (1)
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。 - レーザー光をデバイスパターンの形成されていない半導体ウェーハ表面に照射し、前記半導体ウェーハ表面からの散乱光の強度を測定することにより複数の半導体ウェーハ表面におけるLPDの個数を半導体ウェーハ毎に測定する際、検出するLPDの最小サイズを65nm以下の所定値に設定可能であり、前記複数の半導体ウェーハの中から良品の半導体ウェーハを判定する際、測定したLPDの個数に基づいて半導体ウェーハを選別し、前記選別した半導体ウェーハの中から下記式(1)に示すYの値に基づいて良品の半導体ウェーハを判定する、前記半導体ウェーハの表面性状を検査するレーザー散乱法を用いた検査装置であって、
前記半導体ウェーハ表面から半導体ウェーハ面内におけるLPDの個数と半導体ウェーハ面内におけるヘイズ信号の最大値、最小値、平均値及び標準偏差値を測定する手段と、
前記ヘイズ信号の平均値及び標準偏差値から、下記の式(1)に示すYの値を算出する手段とを備えることを特徴とする検査装置。
Y=σ/μ (1)
ただし、式(1)中、σはヘイズ信号の面内標準偏差値、μはヘイズ信号の面内平均値である。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009137105A JP5458683B2 (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | レーザー散乱法を用いた半導体ウェーハの良品判定方法 |
US12/792,148 US8379196B2 (en) | 2009-06-08 | 2010-06-02 | Method for judging whether semiconductor wafer is non-defective wafer by using laser scattering method |
EP17197729.1A EP3290910B1 (en) | 2009-06-08 | 2010-06-04 | Method for judging whether semiconductor wafer is non-defective wafer by using laser scattering method |
EP10164908.5A EP2261644B1 (en) | 2009-06-08 | 2010-06-04 | Method for judging whether a semiconductor wafer is a non-defective wafer by using a laser scattering method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009137105A JP5458683B2 (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | レーザー散乱法を用いた半導体ウェーハの良品判定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010283264A JP2010283264A (ja) | 2010-12-16 |
JP2010283264A5 JP2010283264A5 (ja) | 2012-03-08 |
JP5458683B2 true JP5458683B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=42289673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009137105A Active JP5458683B2 (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | レーザー散乱法を用いた半導体ウェーハの良品判定方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8379196B2 (ja) |
EP (2) | EP3290910B1 (ja) |
JP (1) | JP5458683B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5463943B2 (ja) * | 2010-02-08 | 2014-04-09 | 株式会社Sumco | 画像データ処理方法および画像作成方法 |
KR101214806B1 (ko) | 2010-05-11 | 2012-12-24 | 가부시키가이샤 사무코 | 웨이퍼 결함 검사 장치 및 웨이퍼 결함 검사 방법 |
US9098894B2 (en) * | 2013-02-01 | 2015-08-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Defect determination in integrated circuit manufacturing process |
DE112014002133B4 (de) * | 2013-04-24 | 2017-06-22 | Sumco Techxiv Corporation | Herstellungsverfahren für einen Einkristall, Silicium-Einkristall, Verfahren zur Herstellung eines Siliciumwafers, Herstellungsverfahren für einen Silicium-Epitaxialwafer, sowie Silicium-Epitaxialwafer |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63140904A (ja) | 1986-12-04 | 1988-06-13 | Toshiba Corp | 散乱光測定装置 |
EP1639342A4 (en) * | 2003-05-19 | 2010-04-14 | Kla Tencor Tech Corp | DEVICE AND METHOD FOR ENABLING A ROBUST SEPARATION BETWEEN INTERESTING SIGNALS AND NOISE |
US7505125B2 (en) * | 2004-12-19 | 2009-03-17 | Kla-Tencor Corporation | System and method for signal processing for a workpiece surface inspection system |
US7528944B2 (en) * | 2006-05-22 | 2009-05-05 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Methods and systems for detecting pinholes in a film formed on a wafer or for monitoring a thermal process tool |
US8269960B2 (en) * | 2008-07-24 | 2012-09-18 | Kla-Tencor Corp. | Computer-implemented methods for inspecting and/or classifying a wafer |
-
2009
- 2009-06-08 JP JP2009137105A patent/JP5458683B2/ja active Active
-
2010
- 2010-06-02 US US12/792,148 patent/US8379196B2/en active Active
- 2010-06-04 EP EP17197729.1A patent/EP3290910B1/en active Active
- 2010-06-04 EP EP10164908.5A patent/EP2261644B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010283264A (ja) | 2010-12-16 |
US8379196B2 (en) | 2013-02-19 |
EP2261644B1 (en) | 2019-02-20 |
EP2261644A1 (en) | 2010-12-15 |
EP3290910A1 (en) | 2018-03-07 |
US20100309461A1 (en) | 2010-12-09 |
EP3290910B1 (en) | 2020-11-04 |
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