JP4685877B2 - 微結晶粒の方位分布測定方法及びその装置 - Google Patents
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Description
Δω=arctan(W/Lc)=arctan(6.33/225)=1.6° …(1)
Δχ=arccos(sinδ・sqrt(1/2(1−cosδcos2θ))) …(2)
ここで、δ=arctan(V/Lc)、Lcはカメラ長、2θは回折角である。また、式中のsqrtは平方根を意味する記号である。
110…X線源
120…コリメータ
130…Kβカットフィルタ
140…スウィング機構
200…2次元X線検出器
210…2次元X線検出器の受光面
MT…金属テープ
S…測定試料(YBCO膜(層)の微結晶粒)
Claims (17)
- 連続的に移動される測定試料における微結晶粒の方位分布測定を行なう微結晶粒の方位分布測定方法であって、単色化したX線をX線ビームに形成し、当該形成したX線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、当該所定の角度幅で入射したX線の回折像をその回折方向において積分して極点図を取得し、当該得られた極点図の回折方向での広がりのうち少なくとも一方を指標として、連続的に移動される前記測定試料における微結晶粒の方位分布測定を行なうことを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- 請求項1に記載した方位分布測定方法において、前記X線ビームの所定の傾斜角を0°〜90°の範囲で設定可能であり、前記測定試料の表面に対して前記所定の角度幅で入射することを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- 請求項1に記載した方位分布測定方法において、前記X線ビームを前記所定の入射角を中心にして移動することにより、前記測定試料の表面に対して前記所定の角度幅で入射することを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- 請求項1に記載した方位分布測定方法において、前記X線ビームを所定の発散角を有するX線を利用することにより、前記測定試料の表面に対して前記所定の角度幅で入射することを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- 請求項1に記載した方位分布測定方法を、連続的に移動される前記測定試料の移動方向に対して、複数のチャンネルで実行することにより、前記測定試料における微結晶粒の方位分布測定を行なうことを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- 請求項1に記載した方位分布測定方法により微結晶粒の方位分布測定を行なう前記測定試料は、テープ状の部材の表面に成長された微結晶粒であることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- 請求項5に記載した方位分布測定方法により微結晶粒の方位分布測定を行なう前記測定試料は、超電導線材であるYBCOの微結晶粒であることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定方法。
- X線を発生するX線発生装置と、当該X線発生装置からのX線を単色化して所定のX線ビームに形成し、測定試料の表面に対して入射する光学系と、当該光学系から入射したX線ビームの回折X線を検出する2次元X線検出器とを備えた微結晶粒の方位分布測定装置において、前記測定試料は連続的に移動されると共に、前記光学系は前記形成したX線ビームを前記測定試料の表面に対し、所定の入射角を中心にした所定の角度幅で入射し、更に、前記2次元X線検出器は、当該所定の角度幅で入射したX線の回折像を積分して極点図を取得し、かつ、当該得られた極点図の回折方向での広がりの少なくとも一方を指標として、連続的に移動される前記測定試料における微結晶粒の方位測定を行なう手段を備えていることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項8に記載した方位分布測定装置において、前記X線ビームの所定の傾斜角を0°〜90°の範囲で設定可能であり、前記測定試料の表面に対して前記所定の角度幅で入射することを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項8に記載した方位分布測定装置において、前記光学系は、前記X線ビームを前記所定の入射角を中心にして移動することにより、前記測定試料の表面に対して前記所定の角度幅で入射する手段を備えていることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項9に記載した方位分布測定装置において、前記入射手段は、スウィング機構を備えていることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項8に記載した方位分布測定装置において、前記光学系は、前記X線ビームを所定の発散角を有するX線を利用することにより、前記測定試料の表面に対して前記所定の角度幅で入射する手段を備えていることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項12に記載した方位分布測定装置において、前記入射手段は、湾曲結晶モノクロメータを備えていることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項12に記載した方位分布測定装置において、前記X線発生装置は線状のX線源を備え、かつ、前記入射手段は所定の発散角を有するX線を形成することを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項8に記載した方位分布測定装置を、連続的に移動される前記測定試料に対して、複数のチャンネルに配置したことを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項8に記載した方位分布測定装置により微結晶粒の方位分布測定を行なう前記測定試料は、テープ状の部材の表面に成長された微結晶粒であることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
- 請求項8に記載した方位分布測定装置により微結晶粒の方位分布測定を行なう前記測定試料は、超電導線材であるYBCOの微結晶粒であることを特徴とする微結晶粒の方位分布測定装置。
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